DE1804646A1

DE1804646A1 - Korpuskularstrahl-Bearbeitungsgeraet mit einem Objekttisch und Ablenkmitteln fuer den Strahl

Info

Publication number: DE1804646A1
Application number: DE19681804646
Authority: DE
Inventors: Dipl-Phys Hans Rehme; Dipl-Phys Kurt Toegel
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1968-10-18
Filing date: 1968-10-18
Publication date: 1970-09-17
Also published as: AT296448B; GB1280328A; DE1804646B2; FR2021033A1; NL6915306A; US3651303A; CH514932A; DE1804646C3

Description

Korpuskularstrahl-Bearbcitungögerät mit einem Objekt-■tisch, und Ablenkmitteln für den Strahl,

Die Erfindung betrifft ein Korpuskularstrahl-Bearbeitungsgerät mit einem Strahlerzeuger, einem quer zum Strahl verstellbaren Tisch für ein zu bearbeitendes Objekt und zwischen Strahlerzeuger und Tisch angeordneten Fokussiereinrichtungen und Ablenkmittoln für den Strahl. Ein derartiges Gerät ist aus der französischen Patentschrift 1 215 825 bekannt.

Im Rahmen der Erfindung ist unter einem Korpuskularstrahl-Bearbeitungsgerät ein solches zu verstehen, das ganz allgemein eine physikalische oder chemische Veränderung des Werkstoffes des jeweiligen Objektes durch Ladungsträgerstrahlen hervorruft. Hierzu gehören außer dem Bohren, Fräsen, Schmelzen und Schweißen auch das Verdampfen, Zerstäuben, Ätzen, Dotieren, Oxydieren, Reduzieren usf.

Derartige Geräte haben besondere Bedeutung im Rahmen der Mikrominiaturisierung elektrischer Bauelemente gewonnen, also beispielsweise für die Herstellung integrierter Schaltkreise oder für die Herstellung von Dünnschichtbauelementen. Beispielsweise lassen sich Transistoren in dieser Weise herstellen.

Bei der Durchführung derartiger Bearbeitungsvorgänge ist es erforderlich, den jeweils zu bearbeitenden Objektbereich in eine ganz bestimmte Lage relativ zu dem die Bearbeitung vornehmenden Korpuskularstrahl zu bringen. Das Gerat muß ferner so ausgebildet sein, daß es möglich ist, auch relativ große Objektboreiche, beispielsweise mit einem Durchmesser von 50 mm,

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in der gewünschten Weise zu bearbeiten, wobei es sich nicht notv/endigorv/eise um die Herstellung nur eines einzigen "Systems", beispielsweise eines einzigen Schaltkreises, auf diesem Objektbereich zu handeln braucht, sondern auch die Herstellung einer Vielzahl gleicher SystC-DO vorgenommen A^erden kann.

Bekanntlich erfolgt die Herstellung in derartigen Geräten entweder nach der Methode der integralen Bestrahlung, bei der eine schablonenartige Maske mittels des Strahles verkleinert auf dem jeweils zu bearbeitenden Objektbereich abgebildet wird, oder nach dem Rasterverfahren, bei dem der zu bearbeitende Objektbereich von dem Korpuskularstrahl entsprechend einem Programm abgerantert wird. Man könnte auch daran denken, die beiden Verfahren in der V/eise zu kombinieren, daß eine Maske Verwendung findet und die einzelnen Bereiche der Maske mit dem dann sehr intensitätsstarken Strahl abgetastet und demgemäß zeitlich nacheinander auf dem Objekt "abgebildet" werden.

In allen diesen Fällen ist es erforderlich, zuvor eine genaue Ausrichtung des jeweils zu bearbeitenden Oborflächenbereiches relativ zu dem Korpuskularstrahl vorzunehmen. Im Prinzip ließe sich diese Ausrichtung durch einen Objekttisch, insbesondere einen Kreuztisch, mit sehr kleinen "Herstellungstoleranzen ermöglichen. Die Herstellung eines derartigen sehr genauen l'isches ist aber insbesondere dann 3ehr aufwendig, wenn relativ große Objektboroicho bearbeitet v/erden sollen. Dann muß der Tisch nämlich sehr genaue Bewegungen in einem großen Bereich zulassen.

Eine andere prinzipielle lösung wäre die, nicht das Objekt relativ zum Strahl, sondern diesen relativ zu dem zu bearbeitenden Objektbereich zu bewegen, wozu eine Ablenkung des

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Strahles odor eine Vergrößerung dos Strahlquerschnittes erforderlich wäre. Dem stehen aber die bekannten Abbildungsfehler korpuskularstrahloptischer Systeme hindernd entgegen. So ist es im Hinblick auf die prinzipbedingten Fehler korpuskularstrahloptischer Linsen nicht, möglich, den Strahlquerschnitt in der Objektebene beliebig groß zu !Dachen. Ebenso reduziert der bekannte Ablenkastigraatisiauo, der bei Auslenkungen des Korpuskularstrahles um größere Winkel auftritt, die vertretbaren Ablenkungen des Strahles auf Werte, die für die Einstellung der relativen Lage von zu bearbeitendem Objektbereich und Ladungsträgerstrahl nicht ausreichen.

rrfindungsgeraäß werden diese Schwierigkeiten bei einen Gerät der oben bezeichneten Art dadurch vermieden, daß der Tisch ein solcher mit nur zur Grobeinstellung der Lage de3 jeweils zu bearbeitenden Objektbereiche3 relativ zum Strahl ausreichender Genauigkeit ist, während zur Pcineinstellung die Ablenkmittol entsprechend erregt sind, und daß die Grobeinstellungen mittels des Tisches so bemessen sind, daß au störenden Abbildungofehlern führende Wirkungsflächen des Strahles in der Objektebene vermieden sind.

Durch die erfindungsgemäße Kombination ist es also einerseits möglich, einen Objekttisch, und zwar insbesondere einen Kreuztisch, mäßiger Genauigkeit zu verv/enden, andererseits werden störende Abbildungsfehler vermieden, wie sie bei großen'Erregungen der Ablenkmittel, beispielsweise von Ablenkspulen oder von Ablenkplatten, bekanntlich auftreten.

Unter der Wirkungsfläche wird bei integraler Bestrahlung eier Querschnitt des auf treffenden Strahles in der Objektebene verstanden, während bei rasterförmiger Bestrahlung der Wirkungsfläche die von dem Strahl bei der jeweiligen Grobeinstellung unter dem Einfluß von Ablenkmitteln über-

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stricheno Objektflache ist. Das erfindungsgemäße Gerät weist also auch dann, wenn es für integrale Bestrahlung eingerichtet ist, Ablenkmittel für den Korpuskularstrahl auf, die zur Peineinstellung dienen.

Unter einem Objekt im Sinne der Erfindung soll nicht nur ein elektrisches Bauelement verstanden werden; vielmehr kann das Objekt auch durch eine Maske gebildet sein, aus der nittelc des Strahles eine Schablone zur späteren, insbesondere durch Korpuskularstrahl-Bearbeitunc, erfolgenden verkleinerten Herstellung von Systemen auf anderen Objekten hergestellt wird. Derartige Masken sind als sogenannte Fotomasken bereits bekannt, auf denen auf fotografischem Wege die später auf das eigentliche Objekt zu übertragenden Systeme verkleinert abgebildet werden. In dem erfindungsgenäßen Gerät erfolgt die Herstellung auch dieser Hasken auf korpuskularstrahloptischem YJege, wobei von den Vorteilen der korpuskularstrahloptischen Abbildung, nämlich den geringeren Abbildungsfehlern und der größeren Schärfentiefe, Gebrauch gemacht wird.

Zunächst sei der Fall betrachtet, daß mittels desselben Strahles zeitlich nacheinander mehrere Systeme auf ver- achiedenen Objektbereichen hergestellt werden sollen. Dabei kann es sich um Objektbereicho desselben Objektes oder verschiedener Objekte handeln. Dann kommt es darauf an, daß die auf den Objektbereichen hergestellten Systeme möglichst identisch sind. Eine diesen Anforderungen besonders Rechnung tragende Ausbildung des erfindungsgemäßen Gerätes zeichnet sich dadurch aus, daß zur mittels des Strahles zeitlich nacheinander erfolgenden Herstellung mehrerer Systeme auf verschiedenen Objektbereichen die Grobeinstellung der Lage des jeweils zu bearbeitenden Bereiches mittels des Tisches so bemessen ist, daß störende Unterschiede -zwischen den bei der Herstellung der verschie-

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denen Systeme herrschenden Bestrahlungsbedingungen infolge der mittels der Ablenkmittel erfolgenden Feineinstellung vermieden sind. Auch hier erfolgt also die Grobeinstellung mit einer solchen Genauigkeit> daß durch die Feineinstellungen keine störenden Abbildungsfehler, und zwar im Sinne von Abweichungen der Systeme voneinander, auftreten.

Sowelil bei der Herstellung einzelner Systeme als auch bei derjenigen von mehreren Systemen kann es, sofern die Notwendigkeit vorliegt, die einzelnen Systeme in mehreren Arbeitsgtngen herzustellen, zweckmäßig sein, Strahlerzeuger zur | Erzeugung mehrerer Korpuskularstrahlen für die einzelnen Arbeitsgänge vorzusehen. Zwecks besserer Ausnutzung des dann komplizierteren und teureren Gerätes wird man dafür sorgen, daß alle Strahlen jeweils einen Objektbereich beaufschlagen, also an verschiedenen Systemen gleichzeitig verschiedene Arbeitsgänge durchgeführt werden. In diesem Falle ist es zweckmäßig, daß zur mittels mehrerer Strahlen zeitlich nacheinander in mehreren Arbeitsgängen erfolgenden Bearbeitung eines Objektbereiches die Grobeinstellungen mittels des Tisches so bemessen sind, daß störende Unterschiede zwischen den von den verschiedenen Strahlen beaufschlagten Objektflächen und ihren Sollwerten infolge der mittels der Ablenkmittel erfolgenden Feineinstellung ver- " mieden sind. Unter den Sollwerten der Objektflächen sind dabei die theoretisch angestrebten Konfigurationen zu verstehen.

In vorteilhafter Weiterbildung enthält das erfindungsgemäße Gerät Mittel zur Feststellung der Abweichungen der durch die Grobeinstellungen erzielten lagen von den exakten Lagen. Diese Mittel liefern dann Signale zur Durchführung der Feineinstellung.

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Liegt der Fall der Einzelfertigung vor, bei dem die Bearbeitung der einzolnen Objektberoicho zeitlich nacheinander erfolgt, so wird man zur Festlegung der lage jedes Objektbereiches den dem ersten Arbeitsgang zugeordneten Strahl auf de den einzelnen Objektbereichen Referenzmarken durch örtliche Veränderung der Objektoberfläche erzeugen lassen; ferner wird man die Lage der Referenzraarken nach der Grobeinstellung für die übrigen Arbeitsgänge feststellende Detektoren zur Gewinnung eines Kriteriums für die Feinjustierung vorsehen. Diese Referenzmarken können auf die verschiedenere 'Teisc hergestellt werden, beispielsweise durch lokale Erzeugung, Abtragung oder Veränderung von Oberflächenschichten, wie durch Kontamination, Oxydation, Reduktion, Verdampfung oder dergleichen. Dabei werden Unterschiede im Rückstreukoeffizienten von auftreffenden Teilchen_? beispielsweise Elektronen, in der Austrittsarbeit von Sekundärelektronen oder in der spektralen Zusammensetzung der charakteristischen Röntgen- oder Pluoreszenzstrahlung bewirkt. Bedingung ist natürlich, daß die lokalen Veränderungen der Objektoberfläche so groß sind, daß sich meßbare Unterschiede in Verhalten dieser Bereiche der Objektoberfläche gegenüber den anderen Bereichen ergeben.

Grundsätzlich ist es möglich, entsprechend den so gewonnenen Signalen von Hand eine Änderung der Erregung der Ablenkmittol vorzunehmen, die die erforderliche Feineinstellung bewirkt. Besonders zweckmäßig ist es aber, Signalausgänge der Detektoren mit Speisestromkreisen der Ablenkmittöl zu verbinden, so daß eine automatische Feineinstellung erfolgt. Wenn der dera ersten Arbeitsgang zugeordnete Strahl mehr als eine Referenzmarke erzeugt, kann man Detektoren vorsehen, die der / lateralen und der azimutalen Lage der Referenssmarken nach der Grobjustierung für die übrigen Arbeitsgänge entsprechende Signale abgeben. Hierbei wird dann auch eine etwaige Drehung

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der Objekte berücksichtigt. Man kann durch den ersten Strahl auch mehrere Referenzraarken schreiben lassen, die einen zugeordneten Detektor so beeinflussen, daß er den Ablenkamplituden der Ablenkmittel entsprechende Signale abgibt. Es kann nämlich zweckmäßig sein, die Amplituden der Ablenkungen der einzelnen Strahlen automatisch zu überprüfen und zu korrigieren (Maöstabskorrektur)y um bei allen Bearbeitungsschritten Deckungsgleichheit der Systeme zu garantieren.

Wurde bisher der Fall der Kontrolle der Grobeinstellung bei Einzelfertigung betrachtet, so zeichnet sich eine entspre- J chende Ausbildung des erfindungsgemäßen Gerätes für die Fließbandfertigung dadurch aus,, daß zur mittels mehrerer Korpuskularstrahlen zeitlich nacheinander in mehreren Arboitsg&ngen erfolgenden Bearbeitung von Objekten in der Weise, daß die verschiedenen Objekte gleichzeitig von verschiedenen Strahlen beaufschlagt sind (Fließbandfertigung), der Tioch zur gleichzeitigen Aufnahme der Objekte in gleichen Abständen voneinander eingerichtet ist und Grobeinstellungen durch gemeinsame Bewegungen der Objekte um den gleichen Abstünden entsprechende Strecken vornimmt, daß jeden Objekt eine Reforenzmarke zugeordnet ist, und daß die Lage der Referenzmarkcn nach der Grobeinstellung feststellende Detektoren zur Gewinnung von Kriterien für die Feineinstellung durch Becin- I flussung der Erregung der den einzelnen Strahlen zugeordneten Ablenksysteme vorhanden sind.

Beispielsweise kann der dem ersten Arbeitsgang zugeordnete Strahl auf den Objekten Referenzmarken erzeugen, die nach der nächstfolgenden Grobeinstellung von dem dem zweiten Arbeitsgang zugeordneten Strahl abgetastet werden. Entsprechende Abtastungen erfolgen durch die v/eiteren Strahlen. Diese Abtastungen liefern dann Signale zur Durchführung der Feineinstellung der einzelnen Strahlen.

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Lin Sonderfall ist die Herstellung von Einzelsystemen auf mehreren Masken eines Maskensatzes. Ein derartiger Maskensatz findet beispielsweise dann Anwendung, wenn ein Objekt in mehreren Arbeitsgängen nacheinander bearbeitet v/erden soll. Hier ist es erforderlich, die Position der Einzelsysteme auf jeder Maske des Satzes genau einzuhalten. Man wird dann als Referenzobjekt eine Roferenzmarke verwenden, die für alle Masken des Satzes verbindlich ist. Erfordert die Herstellung jeder Maske nur einen einzigen Arbeitsgang, so können die Masken auch gleichzeitig ohne Referenzmarke gefertigt werden (Parallelfertigung), wenn sie gemeinsam W auf demselben Tisch angeordnet sind und die Ablenkmittel der einzelnen Strahlen in geeigneter Weise miteinander gekoppelt sind.

Die Figuren zeigen Ausführungsbeispiele der Erfindung. Dabei stellt Figur 1 ein Gerät für Einzelfertigung dar, während Figur 2 einen Kreuztisch für die Verwendung im Rannen dos Gerätes für Fließbandfertigung wiedergibt.

In Figur 1 ist mit 1 das Vakuumgehäuse des Gerätes bezeichnet; 2 ist der die evakuierte Objektkaramer darstellende Teil des Gehäuses. Der vom Strahlerzeuger 3 emittierte Korpusku- ^ larstrahl 4, beispielsweise ein Elektronenstrahl, trifft ^ nach Bündelung durch die elektromagnetische linse 5 auf das in dem Objekttisch 6 gelagerte Objekt 7 auf. Zwischen dem Strahlerzeuger 3 und der fokussierenden Linse 5 befinden sich ferner in diesem Ausführungsbeispiel durch Spulen 8 gebildete Ablenkmittel für den Strahl 4. Der Objekttisch 6 ist in den durch Pfeile gekennzeichneten, zueinander senkrechten Richtungen durch Antriebe, die vakuumdicht durch das Vakuumgehäuse 1 hindurchgeführt sind, bewegbar.

Damit ein Objekttisch 6 üblicher Herstellungsgenauigkeit Verwendung finden kann, obwohl der zu bearbeitende Bereich. ·

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dee Objektes 7 sich in einer genau definierten lage relativ zu dem beaufschlagenden Strahl 4 befinden muß, erfolgt mittels . Tischbeuegung lediglich die Grobeinstellung dor lage des Objektes 7 j dagegen die Peineinstellung durch entsprechende Erregung der Ablenkspulen 8. Diese Ablenkspulen sind also unabhängig davon vorhanden, ob das Gerät durch integrale Bestrahlung oder durch rasterförmigc Bsofcrahlnng die/gewünschten Bearbeitungsvorgänge vornimmt. Um/boi der Durchführung der verschiedenen Bearbeitungsschritte in demselben Gerät oder in verschiedenen Geräten ein Kriterium dafür zu haben, daß das Objekt 7 nach der Grobeinstellung mittels des Tisches 6 dieselbe relative lage bezüglich dec Strahles 4 einnimmt wie bei " den anderen Bearbeitungsgängen, v/ird mittels des dem ersten Arbeitsgang zugeordneten Strahles eine Referenzmarke auf dem Objekt 7 erzeugt. Bei Beginn jedes v/eiteren Arbeitsganges wird mittels des Strahles das Objekt abgetastet und über den reflektierten Strahl 9 mittels des Detektors 10 die Lage der Markierung ermittelt. Bei dem in Figur 1 dargestellten Gerät trägt das Objekt mehrere Referenzmarken, deren Signale nach Passieren des Verstärkers 11 teils dem Stromversorgungsgerät für die Ablenkspulen 8 und teils dem Programm 12 zugeführt v/erden. Die die nach Grobeinstellung erreichte lage der Referenzraarken wiedergegebenen Signale gelangen über den Regelverstärker 14 zu dem Gerät 12, während der Regelverstärker 15 J den zur Amplitudenkorrektur (Maßstabskorrektur) der Ablenkungen des Strahles 4 entsprechenden Signalen zugeordnet ist. Bei integraler Abbildung würde eine entsprechende Maßstabskorrektur durch Beeinflussung der Erregung der abbildenden Linöen erfolgen.

Ein Gerät zur Fließbandfertigung kann dadurch realisiert werden, daß mehrere Strahlsysteme, wie sie in Fig. 1 dargestellt sind, in einem gemeinsamen Vakuumgehäuse angeordnet werden. Dann können die Objekte auf einem gemeinsamen Kreuztisch gelagert sein. Auf jedem Objekt werden, zweckmäßiger-

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weise beim ersten Arbeitsgang, Referenzraarken erzeugt, die bei jedem v/eiteren Arbeitsgang zur Pein justierung der einzelnen Strahlsystemc abgetastet v/erden. Die Bearbeitung dor Objekte durch die verschiedenen Strahlen kann synchron erfolgen, s.B. durch eine allen Strahlsysteraen gemeinsame Programmsteuerung.

Figur 2 zeigt einen als Kreuztisch ausgeführten Objekttisch, wie er beispielsweise im Rahmen einer Anordnung zur Fließbandfertigung Anwendung finden kann. Dabei ist angenommen, daß auf jeden einzelnen Objekt mehrere Systeme hergestellt werden sollen. Der Tisch besteht im wesentlichen aus dem rahmenartigen Teil 50, das mit mechanischen Mitteln mäßiger Genauigkeit in den beiden durch Pfeile angedeuteten, zueinander senkrechten Richtungen zur Grobeinstellung verschoben werden kann, und dem endlosen Band 51, das zum Transport der Objekte in die verschiedenen Bearbeitungslagen (Positionswechsel) mittels Unlenkrollen in dem Teil 50 bewegbar gelagert ist. Der einen Umlenkrolle ist der programmgesteuerte Antriebsmotor 52 zugeordnet. Das Band 51 trägt in diesem Ausführungsbeispiel fünf zu bearbeitende Objekte 53 bis 57 mit ihren Referenzmarken. Demgemäß sind fünf Strahlen 59 bis 63 zur nacheinander erfolgenden Durchführung mehrerer Arbeitsgänge vorhanden. Das Teil 50 wird bei jeder Objektlage entsprechend der Zahl und Anordnung der Systeme je Objekt bewegt.

Wie ersichtlich, sind die einzelnen zu bearbeitenden Objekte 53 bis 57 jeweils in demselben Abstand s voneinander auf dem Band 51 angeordnet. Zum Positionswechsel werden alle Objekte 53 bis 57 jeweils um die gleiche Strecke s transportiert, die, aber bei den einzelnen Transportbewegungen um kleine Beträge Λ s schwanken kann. Um diese Abweichung zu erfassen, wird mittels des Strahles 59, also jeweils beim ersten Bearbeitungsvorgang, auf dem jeweiligen Objekt, hier 53, eine einsige Referenzmarke erzeug*;.. Diese Marke wird nach dem Positions-

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wechsel, d.h. wenn das Objekt 53 die dargestellte lage des Objektes 54 bis 57 eingenommen hat, von den Strahlen 60 bis 63, die den weiteren Bearbeitungügängen zugeordnet sind, angesteuert.

V/ill man auch Ungenauigkeiten der einzelnen Strahlsyotono, beispielsweise durch Aufladungen, ausjustieren, so müssen auf jeden Objekt mehrere Referenzmarken erzeugt A-zerden.

Bei 65 ist ein Vorratsbehälter für die Objekte, bei 66 ein |

Auffangbehälter für die fertig bearbeiteten Objekte dargestellt. Diese fallen aus entsprechenden Ausnehmungen in dem Band 51 heraus, sobald sie in den Bereich der rechten Umlenkrolle gelangen.

Figur 3 zeigt zur Veranschaulichung der Begriffe ein Objekt 70, das durch Bearbeitung in dem erfindungsgemäßen Gerät mit einer Violzahl von Einzelsystemen versehen ist.

Eines dieser Einzolsysteme 71 ist in Figur 4 größer herauagezeichnct. Auf ihm sind während des ersten Bearbeitungnganges drei Referenzmarken 72, 73 und 74 erzeugt, die in der beschriebenen Weise zur Gewinnung von Kriterien hinsichtlich der durch { die Grobeinstellung jeweils ersielten Lage des Objektberciche3 relativ zu dem jeweiligen Strahl dienen und außerdem eine Korrektur der Ablenkamplituden des Strahles (bei Rasterung) bzw. dei|\bbildungsroaßntabes (bei integraler Bestrahlung) ermöglichen. Dies kann dadurch geschehen, daß die zeitlichen Abstände der bei der Rasterung von den Referenzmarken erzeugten Signale mit in einem Programm gespeicherten Sollwerten verglichen werden. Bei konstanter Frequenz bedeutet ein zu kleiner zeitlicher Abstand eine zu große Auslenkamplituae.

Figur 5 veranschaulicht die Anwendung eines ähnlichen für die Positionskorsektur bei der Herstellung einander

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barter Systeme 80, 81 und 82. Bei der Herstellung des ersten Systems 80 werden drei Referenzmarken 83 bis 85 erzeugt, und nach der Grobeinstellung erfolgt die 1'¹G ine inst ellung, durch
Strahlablenkung so, daß die Referenzmarken bei der Rasterung zu bestimmten Zeiten Signale aussenden. Entsprechende Referenzirarken werden auch bei der Herstellung· der weiteren Systeme
erzeugt.

14 Ansprüche
P 5 Figuren

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Claims

- 13 P a. t e η t a η 3 ρ r ti c h e

1. Korpuskularstrahl-Bearbeitungsgorät wit einem Strahlerzeuger, einem quer zum Strahl verstellbaren !Tisch für ein zu bearbeitendes Objekt und zwischen Strahlerzeuger und l'isch angeordneten Fokussiereinrichtungen und Ablenkraitteln für den Strahl, dadurch gekennzeichnet, daß der !Tisch ein solcher mit nur zur Grobeinstellung der lage des jeweils zu bearbeitenden Objektbereiches relativ zum Strahl ausreichender Genauigkeit ist, während zur Feineinstellung die Ablenkraittol j entsprechend erregt sind, und daß die Grobeinstellungen - mittels des lisches so bemessen sind, daß zu störenden Abbildungsfehlern führende Wirkung3flächen des Strahles in der Objektebene vermieden sind.

2. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Wirkungsflache durch den Querschnitt dos auftroffenden Strahles gebildet ist (integrale Bestrahlung).

3. Gerät nach Anspruch 1,dadurch gekennzeichnet, daß die Wirkungsflache die von dem Strahl bei der jeweiligen Grobeinstellung unter dem f Einfluß der Ablenkraittel überstrichene Objektfläche ist (rasterförraige Bestrahlung).

4. Gerät nach Anspruch 1 oder 2,dadurch gekennzeichnet, daß das Objekt eine Maske ist, au3 der mittels des Strahles eine Schablone zur späteren verkleinerten Herstellung von Systemen auf anderen Objekten hergestellt wird.

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Gerät nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß zur mittels dos Strahles zeitlich nacheinander erfolgenden Herstellung mehrerer Systeme auf verschiedenen Objektbereichen die Grobeinstellung der lage des jeweils zu bearbeitenden Bereiches mittels des l'isches so bemessen ist, daß störende Unterschiede zwischen den bei der Herstellung der verschiedenen Systeme herrschenden Bestrahlungsbedingungen infolge der mittels der Ablenkmittel erfolgenden Peineinstellung vermieden sind.

Gerät nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß zur mittels mehrerer Korpuskularstrahlen zeitlich nacheinander in mehreren Arbeitsgängen erfolgenden Bearbeitung eines Objoktbereichee die Grobeinstellungen mittels de3 Tisches so bemessen sind, daß störende Unterschiede zwischen den von den verschiedenen Strahlen beaufschlagten Objektflächen und ihren Sollwerten infolge der mittels der Ablenkmittel erfolgenden Peineinstellung vermieden sind.

Gerät nach den Ansprüchen 5 und 6,dadurch gekennzeichnet, daß die Bearbeitung der einzelnen Objektbereiche zeitlich nacheinander erfolgt (Einzelfertigung) , daß zur Festlegung der Lage jedes Objektbereicheo der dem ersten Arbeitsgang zugeordnete Strahl auf den einzelnen Objektbereichen Referenzmarken durch örtliche Veränderung der Objektoberfläche erzeugt, und daß die lage der Referenzmarken nach der Grobeinstellung für die übrigen Arbeitsgänge feststellende Detektoren zur Gewinnung eines ι Kriteriums für die Peinjustierung vorhanden sind. .

Gerät nach Anspruch 7,dadurch gekennaeichn et, daß Signalausgänge der Detektoren mit Speisestromkreiseu der Ablenkmittel verbunden sind.

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9. Gerät nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß der dem ersten Arbeitsgang zugeordnete Strahl mehr als eine Referenzmarke erzeugt und die Detektoren der lateralen und der azimutalen lage der Referenzmarken nach der Grobjustierung für die übrigen Arbeitsgänge entsprochende Signale abgeben.

10. Gerät nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß der den ersten Arbeitsgang zugeordnete Strahl mehr als eine Roferenzraarke erzeugt und zumindest ein Detektor vorhanden ist, der den { Ablenkamplituden der Ablenkmittel entsprechende Signale abgibt.

11. Gerät nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß zur Maßstabskorrcktur bei integraler Bestrahlung der dem ersten Arbeitsgang zugeordnete Strahl mehr als eine Referenzraarke erzeugt und zumindest ein Detektor vorhanden ist, der dem jeweiligen Querschnitt des Strahles entsprechende Signale an abbildende Linsen abgibt.

12. Gerät nach einem der Ansprüche 1 bis 3,dadurch gekennzeichnet, daß zur mittels mehrerer " Korpuskularstrahlen zeitlich nacheinander in mehreren Arboitsgängen erfolgenden Bearbeitung von Objekten in der Weise, daß die verschiedenen Objekte gleichzeitig von verschiedenen Strahlen beaufschlagt sind (Fließbandfertigung), der Tisch zur gleichzeitigen Aufnahme der Objekte in gleichen Abständen voneinander eingerichtet ist und Grobeinstellungen durch gemeinsame Bewegungen der Objekte um den gleichen Abständen entsprechende Strecken vornimmt, daß jedem Objekt eine Referenzmarke zugeordnet ist, und daß die lage der Referenzmarken nach der Grobeinstellung feststellende Detektoren zur Gewinnung

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von Kriterien für die i'einoinatollung durch Beeinflussung , der Erregung der den einzelnen Strahlen zugeordneten Ab- > lenksysteme vorhanden sind.

13. Gerät nach Anspruch 12,dadurch gekennzeichnet, daß der dem ersten Arbeitsgang zugeordnete Strahl auf den Objekten Refereiizmarken erzeugt, die nach der nächstfolgenden Grobeinstellung von den, den weiteren Arbeitsgängen zugeordneten Strahlen abgetastet werden.

14. Gerät nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß bei Objekten mit, jeweils mehreren Einzelsystemen der Tisch ein zur Grobeinstellung verschiebbares rahmenartiges Teil und ein die Objekte tragendes, in dem rahmenartigen Teil durch Umlenkrollen bewegbar gelagoites endloses Band enthält, dem ein Antrieb für den Wechsel der Arbeitsgänge zugeordnet ist.

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