JPS62210000A

JPS62210000A - 振動子

Info

Publication number: JPS62210000A
Application number: JP5386786A
Authority: JP
Inventors: Hideaki Akata; 赤田　英明; Sumio Horiike; 純夫堀池; Yoshiyuki Morita; 善之森田
Original assignee: Omron Tateisi Electronics Co
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 1986-03-11
Filing date: 1986-03-11
Publication date: 1987-09-16

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（イ）発明の分野この発明は、例えば、アコースティックエミッション（
ａｃｏｕｓｔｉｃ　０ｍ１ｓｓｉｏｎ）信号を検知する
ＡＥセンサや超音波発娠体として用いられるような振動
子に関する。

（ロ）発明の背景従来、上述例の振動子としては、例えば、第５図に示す
如き構造のＷ１＃Ｊ子がある。

すなわち、偏平な円柱状の半導性チタン酸バリウム焼結
体いわゆるＢａＴｉＯ３セラミックスの圧電素子５１の
相対向する表裏両面に゛電極１１！Ｉ５２．５３を例え
ばスクリーン中頃手段で印刷形成すると共に、これら両
電極膜５２．５３にリード線５４゜５５を接続するため
に、片方の電極膜５３を上述の圧ｊｄｉ索子５１の外＠
ｆｉ５１　ａまで引出してリード線５５接続用のリード
電極１１１５３ａとした振動子である。

上述の振動子は、例えば同図に示す如くアルミナ（Ａ１
２０３）製の振動板５６上に配設し、この振動板５６か
ら入力される振動エネルギを電気エネルギに変換するが
、上述した従来構造の振動子では次の如き問題点があっ
た。

つまり、スキージを移動させて心電ペーストを塗着する
スクリーン印舅手段によって、前）ホの電極膜５３とリ
ード電極膜５３ａとを形成する際、これら各電極膜５３
．５３８の形成面が互に直交する方向である関係上、ス
キージの移動方向が２方向となり、電極膜５３．５３８
形成に２工程を必要とするばかりでなく、上述の電極膜
５３どリード電極膜５３ａとの直角の境界部５３ｂにお
いて断線が生じやすい問題点を有していた。

（ハ）発明の目的この発明は、素子片面の電極膜とリード′７Ｐ１極膜と
を１工程で形成することができると共に、これら両電極
股間に断線が生じにくい振動子の提供を目的とする。

（ニ）発明の要約この発明は、素子の片面と、この片面に隣接する側面と
の間に、これら両面の境界部を切削したリード電気膜形
成面を形成すると共に、上記片面とリード電極膜形成面
とに、一体の電極膜を同時形成した振動子ぐあることを
特徴とＪる。

（ホ）発明の効果この発明によれば、素子の片面と側面との境界部を切削
した上述のリード電極膜形成面を形成しているのぐ、例
えばスキージを移動させて導電ペーストを塗着づるスク
リーン印刷手段で、上述の電極膜とリード電極膜とを形
成するとき、スキージの１方向への移動でこれら両電極
膜を同時形成することができ、この結果、素子片面の電
極膜とり一ド電穫膜とを１工程で形成することができる
効果がある。

加えて、素子表面と隣接側面との境界部を例えば傾斜し
た直線状もしくは円弧状に切削しているので、電極膜と
リード電極膜との開角を鈍角に設定したり、或は、電極
膜とリード電極膜とを円弧状に連続させることができ、
この結果、上述の両電極股間に断線が生じにくい効果が
ある。

（へ）発明の実施例この発明の一実施例を以下図面に基づいて詳述する。

図面は振動子を示し、第１図、第２図において、この振
動子１は、偏平な円柱状の半導性チタン酸バリウム焼結
体いわゆるＢａＴｉＯ３セラミックスの圧電索子２の相
対向する表裏両面に電極膜３．４を形成している。

しかも、上述の圧電素子２の振動板と対設する側の片面
つまり裏面２ａと、この裏面２ａに隣接する外側面２ｂ
との間には、これら両面２ａ、２ｂの角ばった境界部を
傾斜した直線状に切削してリード電極膜形成面２Ｃを形
成している。

そして、上述の表面２ａとリード電極膜形成面２Ｃとに
、電極膜３およびリード電極膜５を一体に連続形成して
いる。

ここで、上述の各電極膜３．５は次の如く形成する。

すなわち、第３図、第４図に示す如く、予め切削により
リードＴｉ極膜形成面２ｃを形成した圧電素子２の表面
２ｄに、電極膜４を印刷形成した振動子を、治具６の凹
所７に挿入しで、圧電索子２の裏面２ａを上方に向け、
この裏面２ａ上に配設したスクリーンマスク８の上面に
４ｆｆｉペースト９を載せ、上述のスクリーンマスク８
上を移動するスキージ１０を、リード電極膜形成面２Ｃ
から裏面２ａ方向に向けて矢印で示す如く上述のスキー
ジ１０を１方向に移動させることで、スクリーンマスク
８の所定開口部から導電ベース１−９を上述のリード電
極膜形成面２Ｃと裏面２ａとに塗着して、これら両面２
Ｃ，２ａにリード電極膜５および電極膜３を一体に連続
形成している。

このように、圧Ｔｉ素子２の裏面２ａと側面２ｂとの境
界部を切削した上述のリード電極膜形成面２Ｇを形成し
ているので、スキージ１０を移動させて１３電ペースト
９を塗着するスクリーン印刷手段で、上述の電極ＩＩ！
３とリード′Ｆ１極膜５とを形成するとき、スキージ１
０の１方向への移動で・、これら両電極１１１３．５を
同時形成することができ、この結果、上述の電極膜３と
リード電極膜５とを１工程で形成することができる効果
がある。

加えて、圧電素子２の裏面２ａと、この裏面２ａＣ隣接
する側面２ｂとの境界部を、傾斜した直線状に切削して
いるので、電極膜３とリード電極膜５との開角を鈍角に
設定することができ、この結果、−し述の両電極膜３，
５問に断線が生じにくい効果がある。

なＪ３、上述のリード電極膜形成面２ｃは、圧電素子２
の裏ｌ１ｒＩ２ａと、この裏面２ａに隣接する側而２ｂ
との境界部を、円弧状に切削し、電極膜３とリード電極
膜５とを円弧状に連続形成してもよく、このように構成
した場合においても、図示実施例とほぼ同様の作用・効
果を奏する。

この発明の構成と、上述の実施例との対応において、この発明の素子は、実施例の圧電素子２に対応し、以下同様に、素子の片面は圧電素子２の裏面２ａに対応し、同時形成
された一体の電極膜は、電極１９３とリード電極膜５に
対応するも、この発明は、上述の実施例の構成のみに限定されるもの
ではない。

例えば、圧電素子２としてはＢａＴｉＯ３セラミックス
の代わりにＰＺＴ系の他のセラミックスを用いてもよい
ことは勿論である。

【図面の簡単な説明】

図面はこの発明の一実施例を示し、第１図は振動子の斜視図、第２図は撮動子の断面図、第３図は電極膜形成工程の説明図、第４図は電４ｆ！股形成工程の説明図、第５図は従来の
振動子を示す断面図である。１・・・撮動子　　　　　　２・・・圧電素子２ａ・・
・央　面　　　　　２ｂ・・・側　面２Ｃ・・・リード
電極機形成面３．４・・・電Ｉ４ｉ膜　　　　　５・・・リード電極
膜第１図坂動士の赳椙図屓動子の断面図３　　　２ｔ）　　　　　２Ｃ第３図２・・・迂＠棄子２ａ・・・！面　　　　　第４図４、１９層Ｍ　　　　　　　　　’籟帽枡婿工禮の説明
ａ第５図従来の屓動子と示す暫面ω

Claims

【特許請求の範囲】１、素子の相対向する表裏両面に電極膜を形成する振動
子であって、上記素子の片面と、この片面に隣接する側面との間に、これら両面の境界部を切削したリード電極膜形成面を形成すると共に、上記片面とリード電極膜形成面とに、一体の電極膜を同時形成した振動子。