JPS62209878A - ガスレ−ザ管 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） この発明は、ガスレーザ管に係わシ、とくＫその放電細
管と放熱フィンが固定された金属円筒との固定構造に関
する。

（従来の技術） 例えばアルがンガスレーザ管は、およそ第６図に示すよ
うな構成を有する。同図において符号１ノは円筒状の放
電細管、１２はその中心軸上に穿設された放電路、１３
は陽極となる第１の金属円筒、１４は接地電位となる第
２の金属円筒、１５．１６は各金属円筒の外周に圧入固
定された放熱フィン、１７は一方の端管、１８はミラー
、１９は陰極フィラメント、２０は陰極側の真空外囲器
、２．１はガス帰還路、２２は遮蔽円筒をあられしてい
る。真空外囲器２００図示しない端部にはもう一方の端
管およびミラーが設けられている。

放電細管１１としては、発生する熱を効率よく放、熱フ
ィン１５に伝達させるため、熱伝導率の高いベリリアセ
ラミック絶縁体が使用される。そしてこの放電細管と金
属円筒１３．１４とは、全周がろう接によシ嵌合固定さ
れる。このため放電細管１１の外周面には予めメタライ
ズ層１１ｍが形成され、コパール（商品名）のようなセ
ラミックとのろう接性のよい材料で形成された各金属円
筒と全周がろう接されている。

（発明が解決しようとする問題点） 以上のような従来構造のガスレーザ管は、放電線管から
放熱フィンへの熱放散性がすぐれているが、工業的には
次のような問題がある。すなわち、ベリリア製の放電細
管の外周にろう接のだめのメタライズ層を形成しなけれ
ばならず、そのため表面の切削研磨を必要とする。ベリ
リアは周知のように有毒でちるため、この表面研磨の作
業性が悪い。またこのベリリアセラミック製放電細管と
ろう接する外周金属円筒は、上述のようにコパールなど
を使用する必要があシ、これは熱伝導性が必ずしもよく
なく、また価格も高い。このように従来のレーデ管は、
生産性が低く高価にならざるを得ない不都合を有する。

この発明は、ぺＩＪ　１７ア製放電細管と外周金属円筒
とのろう接を不要とし、また金ｉ円筒の材料を特定しな
いでもよく比較的安価に構成できるガスレーザ管を得る
ことを目的とする。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するだめの手段） この発明は、絶縁リングによシミ気的に分離された各金
属円筒を、ベリリアセラミ、りからなる放電細管の外周
に焼嵌めにより伝熱的に密に嵌合固着したガスレーザ管
である。

（作用） それによってベリリアセラミ、り製の放電細管は表面研
詩などの加工が不要であシ、また外周の金へ円筒の材料
も、比較的安価な例えば銅やアルミニウムあるいはそれ
らの合金などを使用することができ′、作業性および価
格的に安価に構成しうる。そして総合的な熱放散性も劣
化しないガスレーザ管が得られる。

（実施例） 以下図面を参照してその実施例を説明する。

なお同一部分は同一符号であられす。

第１図は完成状態の要部を示し、第２図および第３図は
その各構成部材を示している。ベリリアセラミ、り絶縁
体製の放電細管２１は、中心軸上に放電路となる微小内
径の透孔２２が穿設され、外周の片側約半分に通気用の
スリット２３が形成されている。このスリット２３は放
電細管２１のセラミ、り焼結成形の隙に形成できる。一
方、この放電細管の外周に密に嵌合する各金属円筒２４
゜２５は、第２図に示すようにいずれも比較的強度の高
い銅合金で形成されている。それらの各内径２４ｍ、２
５ｍの方法は予め、放電細管２ノの外径寸法よシもやや
小さい寸法に形成されている。

各金属円筒２４．２５の突合わせ端部には、コパールの
ような金属リング２６．２７を介してアルミナのような
セラミック絶縁リング２８が気密接合され、互いに電気
的に分離されている。

このように用意された金属円筒２４．２５の一部４成部
材を、高温加熱して熱膨張させて内径を拡張し、それら
の内部に放電細管２１を挿入し、冷却して焼嵌め固定す
る。なおスリット２３は、セラミックリング２８の内側
空間２９を排気する通気孔となる。このように放電細管
と各金属円筒とを密に嵌合固定した後、一方の金属円筒
２５の内側に陰極側接続リングの円筒部３０ａを嵌合し
てろう接部３０ｂを気密接合する。また各金属円筒の外
周に複数個の放熱フィン１５．１６を圧入固定する。

このような構成によれば、ベリリアセラミック製の放電
細管は表面研磨などの加工が不要であシ、また金属円筒
の材料も比較的安価な銅やアルミニウム或いはそれらを
主成分とする合金などを使用しうる。しかも放電細管の
外周面が真円でなかったシ、やや凹凸があっても焼嵌め
Ｋよシ金属円筒がその外形に沿って収縮変形し、全周で
の伝熱的密着性が確保される。したがって熱放散性が妨
げられることがない。

第４図および第５図に示す実施例は、あらかじめセラミ
ック絶縁リング２８の両面に半断面り字状の封着用金属
リング２６．２７を気密ろう接しておき、これを放電細
管２１の外周に嵌めておく。

一方、両金属円筒２４．２５に、封着用金属リング３１
．３２を気密接合しておく。なお一方の金属円筒２４の
内面の一部に通気用スリット２３が形成されている。そ
して両金属円筒２４．２５を高温加熱して熱膨張させ、
放電細管２１に両側から夫々矢印の如く挿入し、相対応
する金属リング２６．３１、および２７．３２が面合わ
せされた状態で冷却する。この焼滅めの援、相対応する
金属リングの合わせ目全周を例えばへりアーク溶接して
気密接合する。この気密溶接部を符号Ｂであられしてい
る。

この実施例によれば、両金属円筒の間に位置する絶Ｒ’
）ング２８を、焼滅めの際に高温にする必要がなく、そ
の気密ろう接部の劣化のおそれが少ない。またあらかじ
め両金属円筒相互の芯合わせが不要であシ、組立作業性
がすぐれている。

なお、金属円筒２４．２５や絶縁リング２８の材料は上
述の実施例のものに限定されない。また絶縁リング２８
を設ける位置は、放電細管の中央部に定める必要もなく
、いずれか一方の端又はその近傍などに位置させてもよ
い。さらにまた、放電細管とその外周の金Ｍ円筒との間
に薄い軟質な金属や、熱伝導性のよい材料の層を介在さ
せて焼滅め結合してもよい。

〔発明の効果〕

以上説明したようにこの発明によれば、ベリリアセラミ
ック製の放電細管は表面研磨などの加工が不要であシ、
また外周の金属円筒の材料も、比較的安価な例えば銅や
アルミニウムあるいはそれらの合金などを使用すること
ができ、作業性および価格的に安価に構成しうる。そし
て金属円筒として熱伝導性のよい銅やアルミニウムなど
を使用しうるので、総合的な熱放散性も劣化しないがス
レーザ管が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の実施例を示す要部縦断面図、第２図
はその要部断面図、第３図は同じくその要部斜視図、第
４図および第５図はこの発明の他の実施例を示す要部断
面図、第６図は従来構造を示す縦断面図である。 ２１・・・放電細管、２８・・・絶縁リング、２４゜２
５・・・全屈円筒、１５，１６・・・放熱フィン。 出顯人代理人　　弁理士　鈴　江　武　産業１図 第２図 第３図 第５図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ベリリアセラミックからなる放電細管の外周に、絶縁リ
   ングにより電気的に分離された金属円筒が嵌合され、こ
   れら金属円筒の外周に放熱フィンが固定されてなるガス
   レーザ管において、上記ベリリアセラミック製放電細管
   と金属円筒とが、焼嵌めにより伝熱的に接合されてなる
   ことを特徴とするガスレーザ管。