JPS62208863A - 平面研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、内歯歯車と太陽歯車とを昇降自在とした平面
研磨装置に関するものである。

［従来の技術］ 上下の定盤と内歯歯車及び太陽歯車を備え、両歯車によ
り遊星歯車状に駆動されるキャリヤに保持させたワーク
を上下の定盤により研磨するようにした平面研磨装置に
おいて、キャリヤの噛合位置を変えたりワークの取り出
しを行うために、下定盤を昇降させたり、あるいは内歯
歯車及び太陽歯車を昇降させるようにしたものは知られ
ている。

しかしながら、前者の場合には、昇降のための構成によ
って生ずるクリアランスで下定盤の回転精度が悪くなり
、加工精度が著しく低下するという欠点があり、一方、
後者の場合は、例えば特開昭［１０−１１４４８５号公
報に開示されているように、内歯歯車及び太陽歯車の昇
降をスクリュウジヤツキによって行うようにしたものが
知られているが、単一のスクリュウジヤツキによって内
歯歯車及び太陽歯車の駆動軸をそれらの軸心から外れた
位置で片持梁状に支持させ、その片寄った支持位置にお
いて昇降させるようにしていたため、偏荷重の作用によ
って円滑な昇降が行われにくいという欠点があった。

内歯歯車及び太陽歯車の駆動軸をその細心の回りの複数
か所で支持させるようにすることも考えられるが、複数
のスクリュウジヤツキが必要になるばかりでなく、装置
の大形化及び構造の複雑化が避けられない。

［発明が解決しようとする問題点］ 本発明の課題は、内歯歯車及び太陽歯車を簡単な構造に
より安定的に支持させ、その昇降を円滑且つ確実に行い
得るようにした平面研磨装置を提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ 上記課題を解決するため、本発明の平面研磨装置は、昇
降自在に配設された内歯歯車用駆動軸にそれと同心をな
す従動側螺子部材を相対回転自在に嵌着し、該従動側螺
子部材と螺合する駆動側螺子部材を機体に回転自在に支
持させると共に、該駆動側螺子部材を駆動源に連結し、
上記従動側螺子部材の回りに一定間隔で位置する複数の
支持棒を介して太陽歯車を内歯歯車と共に昇降自在に支
持させたことを特徴とするものである。

［作　用］ 上記構成を有する平面研磨装置において、キャリヤに保
持されたワークの研磨は、両歯車により該キャリヤを遊
星歯車状に駆動させながら上下の定盤により公知の平面
研磨装置と同様にして行われる。

また、太陽歯車及び内歯歯車を研磨位置か゛ら下降させ
るに当っては、駆動源により駆動側螺子部材を所定の方
向に回転させる。これにより、該駆動側螺子部材と螺合
する従動側螺子部材が下降し、それと軸線方向に固定関
係にある太陽歯車用駆動軸、及び支持棒を介して従動側
螺子部材と一体的に支持された内歯歯車が一緒に下降す
る。

太陽歯車及び内歯歯車を上昇させるときは、駆動用螺子
部材を逆向きに回転させればよい。

［実施例］ 以下１本発明の実施例を図面を参照しながら詳述する。

第１図に示す平面研磨装置は、上下の定ｆｉｌｌ。

１２と太陽歯車１３、及び内歯歯車１４を備え、両歯車
１３．１４で遊星歯車状に駆動されるキャリヤ１５に保
持させたワーク１６を上下の定盤１１．１２で研磨する
ように構成したものである。

土足５８１１は、機体に取付けられた図示しないシリン
ダによって昇降自在に支持され、その下降時に上定盤用
駆動軸２０の上端に設けられたドライバ２４と係合する
ようになっている。

上記上定盤用駆動軸２０は、機枠１０ａにベアリング２
５を介して回転自在に支持されており、該駆動軸２０の
回りには、太陽歯車用駆動軸２２と下定盤用駆動軸２１
とが同心状に配設され、ざらにその外側に、機枠１０ｂ
上に形成された支持筒部１０ｃ及び後述する摺動筒４０
を介して内歯歯車用駆動軸２３が同心状に配設されてい
る。そして、これら各駆動軸２０〜２３の下端部には、
それぞれギヤ２０ａ〜２３ａが設けられ、これらのギヤ
が図示しない駆動源に連結されている。

上記太陽歯車用駆動軸２２は、ベアリング２Ｂ及び２７
を介して上定盤用駆動軸２０及び下定盤用駆動軸２１に
対して昇降自在となっており、該太陽歯車用駆動軸２２
の下部には、スクリュウジャフキからなる昇降機構３０
が付設されている。

上記昇降機構３０は１機枠１０ｄに受は金具３１を介し
て回転自在且つ軸線方向に固定的に取付けられた駆動側
雌螺子部材３２と、ベアリング３４を介して上記太陽歯
車用駆動軸２２に相対回転自在且つ軸線方向に固定的に
嵌着された従動側雄螺子部材３３とからなっており、該
雄螺子部材３３の外倒しこ螺合する上記雌螺子部材３２
は、そのスプロケツ）　３２ａに巻掛けたチェーン３５
を介して駆動源としてのモータ３６に連結されている。

また、上記従動側雄螺子部材３３には、支持板３８が一
体的に固定され、該支持板３日上には、第２図からも明
らかなように、複数の支持棒３９が雄螺子部材３３の回
りに一定間隔で位置するように立設され、該支持棒３９
の上部に、上記支持筒部１０ｃに軸方向摺動自在に嵌合
する摺動筒４０が設けられ、該摺動筒４０の外側に、上
記内歯歯車用駆動軸２３がベアリング４１を介して回転
自在且つ軸線方向に固定的に嵌装されている。

上記支持棒３９は、第２図に示すように３木を正３角形
状に設けるのが好ましいが、２本または４本以上であっ
てもよい。

なお、図中４２．４３．４４は、研磨剤が軸部の方へ侵
入するのを防止するために設けられたシール部材である
。

上記構成を有する平面研磨装置において、キャリヤ１５
に保持されたワーク１６の研磨は、両歯車１３．１４に
より該キャリヤ１５を遊星歯車状に駆動させながら上下
の定ｉｌｌ、１２により公知の平面研磨装置と同様にし
て行われる。

研磨されたワーク１８の取出しを行う場合には、太陽歯
車１３及び内歯歯車１４を第１図に示す位置から下降さ
せるが、その下降は昇降機構３０により次のようにして
行われる。即ち、モータ３６により駆動側雌螺子部材３
２を所定の方向に回転させると、それと螺合する従動側
雄螺子部材３３が下降し、該雄螺子部材３３と軸線方向
に固定関係にある太陽歯車用駆動軸２２が下降する。同
時に、支持棒３９を介して上記雄螺子部材３３と一体を
なす摺動筒４０も下降するため、これに支持された内歯
歯車１４が一緒に下降することになる。

太陽歯車１３及び内歯歯車１４を上昇させるときは、モ
ータ３６により駆動側雌螺子部材３２を逆向きに回転さ
せればよい。

ここで、上記歯車１３．１４の昇降は、昇降機構３０の
軸心とそれで駆動される太陽歯車用駆動軸２２の軸心と
が一致しており、しかも、その軸心の回りに一定間隔で
位置する複数の支持棒３９によって内歯歯車１４が支持
゛されているため、上記昇降機構３０に偏荷重が作用す
ることがなく、昇降動作が円滑に行われる。

上記両歯車１３．１４の昇降位置の設定は、図示しない
リミットスイッチや近接スイッチ、光電素子等のセンサ
を用いて行われる。

［発明の効果］ このように本発明によれば、太陽歯車用ＷＩＡｌｈ軸に
従動側螺子部材を嵌着し、それと螺合する駆動側螺子部
材を駆動することにより上記従動側螺子部材を介して太
陽歯車及び内歯歯車を昇降させるようにしたので、単一
の昇降機構によってその昇降を行うことができ、これに
よって構造の簡略化と小形化とを図ることができる。

また、上記昇降に際しては、昇降機構の軸心とそれで駆
動される太陽歯車用駆動軸の軸心とが一致しており、し
かも、その軸心の回りに一定間隔で位置する複数の支持
棒によって内歯歯車が支持されているため、昇降機構に
片持梁の場合のような偏荷重が作用することがなく、昇
降動作が非常に円滑に行われる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第２図はそ
のＡ−Ａ線での断面図である。 １１・・上定盤、　　１２・・下定盤、１３・・太陽歯
車　　１４・・内歯歯車、１５・壷キャリヤ、　　１８
・・ワーク、２３・・内歯歯車用駆動軸、 ３２・・駆動側螺子部材、 ３３・・従動側螺子部材、 ３６・・モータ、　　３９・・支持棒。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、上下の定盤と内歯歯車及び太陽歯車を備え、両歯車
   により遊星歯車状に駆動されるキャリヤに保持させたワ
   ークを上下の定盤により研磨するようにしたものにおい
   て、昇降自在に配設された内歯歯車用駆動軸にそれと同
   心をなす従動側螺子部材を相対回転自在に嵌着し、該従
   動側螺子部材と螺合する駆動側螺子部材を機体に回転自
   在に支持させると共に、該駆動側螺子部材を駆動源に連
   結し、上記従動側螺子部材の回りに一定間隔で位置する
   複数の支持棒を介して太陽歯車を内歯歯車と共に昇降自
   在に支持させたことを特徴とする平面研磨装置。