JPH0632900B2 - 平面研磨装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、内歯歯車と太陽歯車とを昇降自在とした平面
研磨装置に関するものである。

［従来の技術］ 上下の定盤と内歯歯車及び太陽歯車を備え、両歯車によ
り遊星歯車状に駆動されるキャリヤに保持させたワーク
を上下の定盤により研磨するようにした平面研磨装置に
おいて、キャリヤの噛合位置を変えたりワークの取り出
しを行うために、下定盤を昇降させたり、あるいは内歯
歯車及び太陽歯車を昇降させるようにしたものは知られ
ている。

しかしながら、前者の場合には、昇降のための構成によ
って生ずるクリアランスで下定盤の回転精度が悪くな
り、加工精度が著しく低下するという欠点があり、一
方、後者の場合は、例えば特開昭60-114465 号公報に開
示されているように、内歯歯車及び太陽歯車の昇降をス
クリュウジャッキによって行うようにしたものが知られ
ているが、単一のスクリュウジャッキによって内歯歯車
及び太陽歯車の駆動軸をそれらの軸心から外れた位置で
片持梁状に支持させ、その片寄った支持位置において昇
降させるようにしていたため、偏荷重の作用によって円
滑な昇降が行われにくいという欠点があった。

内歯歯車及び太陽歯車の駆動軸をその軸心の回りの複数
か所で支持させるようにすることも考えられるが、複数
のスクリュウジャッキが必要になるばかりでなく、装置
の大形化及び構造の複雑化が避けられない。

［発明が解決しようとする問題点］ 本発明の課題は、内歯歯車及び太陽歯車を簡単な構造に
より安定的に支持させ、その昇降を円滑且つ確実に行い
得るようにした平面研磨装置を提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ 上記課題を解決するため、本発明の平面研磨装置は、昇
降自在に配設された内歯歯車用駆動軸にそれと同心をな
す従動側螺子部材を相対回転自在に嵌着し、該従動側螺
子部材と螺合する駆動側螺子部材を機体に回転自在に支
持させると共に、該駆動側螺子部材を駆動源に連結し、
上記従動側螺子部材の回りに一定間隔で位置する複数の
支持棒を介して太陽歯車を内歯歯車と共に昇降自在に支
持させたことを特徴とするものである。

［作 用］ 上記構成を有する平面研磨装置において、キャリヤに保
持されたワークの研磨は、両歯車により該キャリヤを遊
星歯車状に駆動させながら上下の定盤により公知の平面
研磨装置と同様にして行われる。

また、太陽歯車及び内歯歯車を研磨位置から下降させる
に当っては、駆動源により駆動側螺子部材を所定の方向
に回転させる。これにより、該駆動側螺子部材と螺合す
る従動側螺子部材が下降し、それと軸線方向に固定関係
にある太陽歯車用駆動軸、及び支持棒を介して従動側螺
子部材と一体的に支持された内歯歯車が一緒に下降す
る。

太陽歯車及び内歯歯車を上昇させるときは、駆動用螺子
部材を逆向きに回転させればよい。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面を参照しながら詳述する。

第１図に示す平面研磨装置は、上下の定盤11，12と太陽
歯車13、及び内歯歯車14を備え、両歯車13,14 で遊星歯
車状に駆動されるキャリヤ15に保持させたワーク16を上
下の定盤11,12 で研磨するように構成したものである。

上定盤11は、機体に取付けられた図示しないシリンダに
よって昇降自在に支持され、その下降時に上定盤用駆動
軸20の上端に設けられたドライバ24と係合するようにな
っている。

上記上定盤用駆動軸20は、機枠10a にベアリング25を介
して回転自在に支持されており、該駆動軸20の回りに
は、太陽歯車用駆動軸22と下定盤用駆動軸21とが同心状
に配設され、さらにその外側に、機枠10b 上に形成され
た支持筒部10c 及び後述する摺動筒40を介して内歯歯車
用駆動軸23が同心状に配設されている。そして、これら
各駆動軸20〜23の下端部には、それぞれギヤ20a 〜23a
が設けられ、これらのギヤが図示しない駆動源に連結さ
れている。

上記太陽歯車用駆動軸22は、ベアリング26及び27を介し
て上定盤用駆動軸20及び下定盤用駆動軸21に対して昇降
自在となっており、該太陽歯車用駆動軸22の下部には、
スクリュウジャッキからなる昇降機構30が付設されてい
る。

上記昇降機構30は、機枠10d に受け金具31を介して回転
自在且つ軸線方向に固定的に取付けられた駆動側雌螺子
部材32と、ベアリング34を介して上記太陽歯車用駆動軸
22に相対回転自在且つ軸線方向に固定的に嵌着された従
動側雄螺子部材33とからなっており、該雄螺子部材33の
外側に螺合する上記雌螺子部材32は、そのスプロケット
32a に巻掛けたチェーン35を介して駆動源としてのモー
タ36に連結されている。

また、上記従動側雄螺子部材33には、支持板38が一体的
に固定され、該支持板38上には、第２図からも明らかな
ように、複数の支持棒39が雄螺子部材33の回りに一定間
隔で位置するように立設され、該支持棒39の上部に、上
記支持筒部10c に軸方向摺動自在に嵌合する摺動筒40が
設けられ、該摺動筒40の外側に、上記内歯歯車用駆動軸
23がベアリング41を介して回転自在且つ軸線方向に固定
的に嵌装されている。

上記支持棒39は、第２図に示すように３本を正３角形状
に設けるのが好ましいが、２本または４本以上であって
もよい。

なお、図中42,43,44は、研磨剤が軸部の方へ侵入するの
を防止するために設けられたシール部材である。

上記構成を有する平面研磨装置において、キャリヤ15に
保持されたワーク16の研磨は、両歯車13,14 により該キ
ャリヤ15を遊星歯車状に駆動させながら上下の定盤11,1
2 により公知の平面研磨装置と同様にして行われる。

研磨されたワーク16の取出しを行う場合には、太陽歯車
13及び内歯歯車14を第１図に示す位置から下降させる
が、その下降は昇降機構30により次のようにして行われ
る。即ち、モータ36により駆動側雌螺子部材32を所定の
方向に回転させると、それと螺合する従動側雄螺子部材
33が下降し、該雄螺子部材33と軸線方向に固定関係にあ
る太陽歯車用駆動軸22が下降する。同時に、支持棒39を
介して上記雄螺子部材33と一体をなす摺動筒40も下降す
るため、これに支持された内歯歯車14が一緒に下降する
ことになる。

太陽歯車13及び内歯歯車14を上昇させるときは、モータ
36により駆動側雌螺子部材32を逆向きに回転させればよ
い。

ここで、上記歯車13,14 の昇降は、昇降機構30の軸心と
それで駆動される太陽歯車用駆動軸22の軸心とが一致し
ており、しかも、その軸心の回りに一定間隔で位置する
複数の支持棒39によって内歯歯車14が支持されているた
め、上記昇降機構30に偏荷重が作用することがなく、昇
降動作が円滑に行われる。

上記両歯車13,14 の昇降位置の設定は、図示しないリミ
ットスイッチや近接スイッチ、光電素子等のセンサを用
いて行われる。

［発明の効果］ このように本発明によれば、太陽歯車用駆動軸に従動側
螺子部材を嵌着し、それと螺合する駆動側螺子部材を駆
動することにより上記従動側螺子部材を介して太陽歯車
及び内歯歯車を昇降させるようにしたので、単一の昇降
機構によってその昇降を行うことができ、これによって
構造の簡略化と小形化とを図ることができる。

また、上記昇降に際しては、昇降機構の軸心とそれで駆
動される太陽歯車用駆動軸の軸心とが一致しており、し
かも、その軸心のまわりに一定間隔で位置する複数の支
持棒によって内歯歯車が支持されているため、昇降機構
に片持梁の場合のような偏荷重が作用することがなく、
昇降動作が非常に円滑に行われる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第２図はそ
のＡ−Ａ線での断面図である。 11……上定盤、12……下定盤、 13……太陽歯車、14……内歯歯車、 15……キャリヤ、16……ワーク、 23……内歯歯車用駆動軸、 32……駆動側螺子部材、 33……従動側螺子部材、 36……モータ、39……支持棒。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】上下の定盤と内歯歯車及び太陽歯車を備
   え、両歯車により遊星歯車状に駆動されるキャリヤに保
   持させたワークを上下の定盤により研磨するようにした
   ものにおいて、昇降自在に配設された内歯歯車用駆動軸
   にそれと同心をなす従動側螺子部材を相対回転自在に嵌
   着し、該従動側螺子部材と螺合する駆動側螺子部材を機
   体に回転自在に支持させると共に、該駆動側螺子部材を
   駆動源に連結し、上記従動側螺子部材の回りに一定間隔
   で位置する複数の支持棒を介して太陽歯車を内歯歯車と
   共に昇降自在に支持させたことを特徴とする平面研磨装
   置。