JPS6220276A

JPS6220276A - 面状発熱体素子

Info

Publication number: JPS6220276A
Application number: JP60158061A
Authority: JP
Inventors: 久保　哲治郎; 勇人中尾
Original assignee: RIBOOLE KK
Current assignee: RIBOOLE KK
Priority date: 1985-07-19
Filing date: 1985-07-19
Publication date: 1987-01-28

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、広くは面状発熱体素子に関するものであり、
特にグラファイト、カーボンブラックなどのカーボン系
導電材料または金属粉の微粒子を基材の上に塗工して１
２０°Ｃ以上の温度で加熱して得られる面状発熱体素子
に関するものである。

就中、ノンピンホールの強固な膜で包まれたものであり
、耐熱性の高い面状発熱体素子に関するものである。

（従来の技術）ｊＫ来、カーボン系の導電材料を用いた面状発熱体素子
として知られているものは、エポキシ樹脂やその他、熱
硬化型樹脂にカーボン系の導電材料を）ｄ合し各種基材
に塗工、含浸して、加熱硬化した発熱体素子がある。ま
た他のものとしては、ポリエチレン、ポリイミドなとの
熱可塑性樹脂にカーボン系または金属系の微粉を練りこ
んだ混合物を使用した発熱体素子がある。

叉、この有機性樹脂系の結合材（バインダー）の代りに
、水溶性珪酸塩水Ｉ″ａ液とコロイダルシリカ水溶液の
混合物または、水溶性珪酸塩にマグネシウム、アルミニ
ウム、亜鉛等金属の酸化物、または水酸化物と反応して
作られる変性珪酸塩を結合材とした面状発熱体素子を作
ることが知られて＝５− いる（特許５７−１２８７４）。

しかして２面状発熱体素子ではなく他の技術分野に属す
るものではあるか９本発明に関連する技術として以下の
ものがある。

すなわち、　Ｓｉ、Ｚｒ、へｌ、Ｔｉ、Ｓｎ等、多くの
金属か。

色々なアルコールの水素原子（Ｒ−叶→　Ｒ−（ｌ　Ｍ
　）と置換した化合物である金属アルコキシドを作るこ
とは古くから知られている通りである。これは。

アルコールに部分溶解して液状である。このものは、加
水分解と重合反応によりＭ−（叶）ｎの膜や塊状物を作
る。さらに、比較的低温で、脱水反応縮合によりＭＯｎ
となって緻密な膜や粉体、固形物を作ることも多くの報
告や実験によって知られている通りである。この膜はピ
ンホールのない膜であり、絶縁性も高く、硬度も２００
〜３００℃で１０分程度の焼成で８−８〜９と高い。

この工程に於て、加水分解に必要な水を加えておくこと
や、酸やアルカリが燗媒効果があることも報じられてい
る。併し、基材面に塗布して所定の工程によって得られ
る膜厚は極めて薄く、セル６一ローズ系の増粘剤を利用しても０．５Ｉｉｍ程度である
。しかし、その性質は極めて偏れていて、アモルファス
のセラミック膜を作り、その組成はＳん０２だ（うては
なくＺｒ（１２その他の単独または）捏合アモルファス
膜を作る。硬度等も、焼成５００℃を越える時は殆ど熔
融法によるりノラスやほうろうに匹敵する。

このような膜を、セルローズ等の有機物を用いないて一
同の塗布で厚膜をつくることが出来るならば、ビンボー
ルのない防食性、耐湿、耐水性。

」≦ 耐酸１′１２強アルカリ以囮の耐アルカリ性、電電絶縁
性、実用１−必要な程度の硬度等を備えた膜、及びバイ
ンダーとして、その応用範囲は大きいものがある。

この膜厚を厚くする手段にはイ欠のよろなものがある。

分かり易くする為に例をとって記するならば、このセラ
ミックアモルファスは単独でも膜を作るか、−万一つの
優れた結合材でもある。この結合＋４は、結合材単独て
厚膜をつくらなくても良い。セメントというバインダー
たけてつくった壁はむしろ弱く、内部応力の分散も出来
ないので割れｂい。その為に骨材として砂を混合する。

この手法をとり入れるならば、セラミック（カラス）ア
モルファスの内にセメントにおける砂に相当するものを
適当な配合比で混合することにより、膜厚も飛躍的に厚
くなり膜の強度も向−卜さ仕ることが出来るのである。

これに最適な骨材はコロイダルシリカに代表されるセラ
ミック（金属酸化物等）超微粒子ブロイ１ζ水溶液であ
る。幸い加水分解の為に水分を必要としたのでアルコキ
シドのアルコール溶液とセラミック系のコロイド水ｊ容
液は混合することに不都合なことが生しない。加熱によ
り放散するような酸（例えは酢酸、塩酸）等を触媒とし
て加えＰ　Ｈを４前後に調整する。このようなものを塗
工し１００〜３００　’Ｃ：″ｒ！焼成すると５〜１０
μｍのアモルファス膜が出来る。

この組成のものに更に１１１ｍ以下のセラミックの微粒
子を適量混合することにより、ざらに膜厚は２０〜３０
　）ｔ　ｍのものを一同で作ることが出来る。この膜は
砂を混合したセメントに砕石を混合して堤防やダムをつ
くるのと同じ理屈で強固であり、また粒子とアモルファ
ス組成との密着度が良く、用いられる原料が高純度のも
のをつくり易いので、ノンピンホール、不透過性、電気
絶縁性。

防食性、その他の物性が保持される。

ざらに、微粒子状のものたけでなく、鱗片状のセラミッ
クやマイカ微粉の混入により、塗装性の向上、フレーク
効果による応力伝達の停止効果により２割れやひびが入
りにくいものも出来る。加熱温度も１００〜３００℃、
１０分〜３０分と短くスプレー塗装、ディッピング、ロ
ール塗装２等通常の塗装手段、焼付設備でよい。とくに
赤外線の吸収率が高いので赤外線（特に遠赤外線）焼付
か最も効率がよい。

この様な塗料の一つに株式会社日板研究所の商品名「グ
ラス力」がある。尚９株式会社リボールの「リボグラス
」も同し部類に属する。

（発明が解決しようとした問題点）上記のエポキシ樹脂やその他、熱硬化型樹脂にカーボン
系の導電材料を混合し各種基材に塗工。

含浸して、加熱硬化した発熱体素子や、熱可塑性樹脂に
カーボン系または金属系の微粉を練りこんた混合物を使
用した発熱体素子は、用いられた樹脂の機械的性質や結
合力等は耐熱性に於いて欠点がある。また、使用中の加
熱により結合材の弱さから導電粒子の相対位置の変化、
所謂「ゆらぎ現象」を生じ抵抗値に変化を生しる。

又、使用限弊温度は結合材の耐熱温度で制限され、高価
な耐熱性樹脂で用いても約２００°Ｃが限度である。し
かし、この様な耐熱性樹脂９例えばポリイミド等は高価
にすぎ、一般商品としての利用範囲は極めて狭い。

上記の様な面状発熱体素子の欠点を克服する為に上述し
た特許５７−１２８７４の発明が為された。これは、所
謂、アルカリ金属塩系の無機塗料の製法と同し考え方に
属するものである。

この発熱体素子は、前記の有機性結合材によるものに比
べて次の点て著しく優れている。即ち。

抵抗値安定の為のニーソングは、有機性結合材を用いた
ものでは、約４００℃で長時間エーシング＝１０− により結合材の樹脂を完全に枯化安定しかけれはならな
い。しかし、前記、アルカリ金属塩系の結合材の場合で
は、１５０°〜２５０℃て短時間のエーシングで安定し
た抵抗値になる。

面状発熱体素子は、ニクロム線を巻きつけたマイカヒー
ターやシーズドヒーター、クォーツヒーターやセラミッ
クの棒状、板状ヒーター等に比べて熱容量を小さくする
ことが出来る。また２発熱体の温度に極度なむらの発生
がなく、立」−り時間の大幅な短縮や発熱面の均一化等
用途の拡大をもたらすものである。このために、アルカ
リ金属系珪酸塩、コロイダルシリカ等、無機結合材の利
用による面状発熱体素子が大きな進歩をすることは認め
られる。

しかし、このような結合材は、塗膜として、カーボン系
微粒子、金属系微粒子が通常の固体面と異なった表面活
性をもっていること、及び高温で使用されることによる
酸化、防湿、酸性雰囲気等に対する防御能力はない。そ
れは、アルカリ金属珪酸塩は、ピンホールのない膜をつ
くることが出来ないからである。それゆえに、耐湿、耐
酸、耐水性がよくない等のためである。したがって２例
えば吸湿した状態での電気絶縁性は良くない。

しかして、ここて述へる発熱体は、セラミックペーパー
や難燃紙、プラスチックフィルム、雲母板２石綿板等、
その使用温度や目的に応して用いられる基材の表面（そ
の形は平板、筒状形を問わない）に、導電性のカーボン
系又は金属系の微粉末をスクリーン印刷等に適した塗料
として、その電気抵抗値を調整するものである。このと
きの粘結材は製法上いくつかの選択がある。

先ず、出来るだけ低い温度（１２０°Ｃ以下）で枯１ヒ
安定するものてあって、印刷塗料に適した粘結剤となる
ものを用いる。例えは、乾性油や溶剤や可塑剤、鉱油２
合成樹脂、繊維、ゴム誘導体のいずれかに属するもので
ある。

つぎに、前記のアルカリ金属塩系の耐熱無機水溶液で前
記印刷塗料を調整する。この場合、この抵抗値を調整す
る為に、非導電性の無機粒子を配合することができる。

これは、炭酸カルシウムやマイカ、セラミック（シリカ
等）の微粉末、その他、タルクやカオリン等の微粉末で
ある。

基材は、必要により（密着度を良好にする等のため）脱
脂、ブラスト、薬品処理等の素地調整等の前処理が為さ
れる。

塗装は、スプレーや刷毛、ローラーコート、ディッピン
グ等も可能ではあるが、性能を一定にして均一な膜を得
るためにはスクリーン印刷法が適している。

有機系無機系を間はず、いずれかの導電性組成物を基材
に塗装したのち加熱焼成する。この温度および時間は、
粘着材の種類によって異なる。

有機系結合材を使用した場合の加熱焼製の目的は、加熱
によって有機系物質を枯化や気化等によって、少なくと
も発熱体として使用する温度に於いて、充分安定な物質
としてしか残らないようにするためである。

一方、無機系結合材の場合の加熱は、基材と強固に接着
した塗膜を形成することに目的がある。

したがって、ピンホールの形成等は問題にしてい−１３
＝ない。

以」−の工程で出来た導電抵抗膜が基板−■−に形成さ
れる。これに銀、銅２等電気抵抗の少ない金属粉を前記
に準じた組成の塗料（この場合結合材の量を可能な限り
少なくする）を用いて所定の電極面を形成する。

これ迄に述へた工程で、見かけ上は２種の面状発熱体素
子が形成される。しかし、いずれも実用上使用に耐える
耐久性のある安定な面状発熱体素子たり得ない。

すなわち、有機系バインダーによるものは、バインダー
の変質枯化により膜の強度が弱くなる。

又、導電性粒子間の相互間隔が固定せず不安定な抵抗値
を示す。さらに、カーボン系粒子や金属系粒子が、使用
温度により酸化を生じてしまい耐久性に問題を生しる。

一方、無機系バインダーによる面状発熱面の形成の場合
アルカリ金属塩法、ゾルゲル法、酸性金属塩法、アルカ
リ金属硬化剤法、シラン化合物法や有機・無機複合物性
等用い得るものは多いが。

優れている点は耐熱性と接着性が良いこと２粒子の固定
力か強く、「ゆるぎ現象」による抵抗値の不安定さも少
ないこと等である。しかし、これらのバインダーはピン
ホールの発生か避けられないので、加熱使用等の導電性
微粒子の酸化・吸湿は避けられず酸化による抵抗値の増
加は微粒子程大きい。したがって、この理由による耐久
性、安定性はない。

上述の二つの方法がいずれも大きな欠点を有しているこ
とは明らかである。実用化に当たって。

有機系バインダーによる場合は、ポリエステル系のプラ
スチックフィルムで両面から接着固定する等の方法によ
り、８０℃以下の低温における使用のみが可能である。

これはポリエステル等のフィルムの耐熱性で制限される
。しかもこれらのプラスチックフィルムは水蒸気、酸素
等は透過し得るものであり長朋間には劣化は避けられな
い。

無機系バインダーの場合は、ピンホールの発生による欠
点をカバーするために被覆層を厚くすることにより、酸
等や水蒸気等の透過を防くことが考えられるか、このこ
とは熱容量の増加による立上り時間の増大、ヒートサイ
クル熱膨張差による剥離や割れの発生による耐久度の低
下を生し、必ずしも効果的な対策とはならない。耐熱度
もバインダー自身の耐熱性および安定性があっても抵抗
体そのものが高温酸化により耐熱性が保障されない。

（問題点を解決するための手段）しかして２面状発熱体素子は、大別して、」二記の有機
、無機等のよく知られたバインダーを用いたものに依っ
ており、それぞれ大きな欠陥を有している。しかし、こ
れは、カーボン系、金属系等、導電抵抗体のもつ欠点で
はない。カーボン系はカーボン系粒子、金属系はそれぞ
れの金属粒子のもつ耐熱性を限度として、抵抗体として
は有効であることが出来る。

以上の点に鑑み、これらの欠点をなくすべく。

関連技術として最初に述へた無機系バインダーに本発明
は目を向けたものである。

すなわち、前記に大別して述べた二種の面状発熱体素子
の製造に、このアルコキシド法を応用したセラミックア
モルファス塗料を利用することによって、それぞれの致
命的な欠点を解決することとが出来たものである。

更には、このアルコキシド法を応用したセラミックアモ
ルファス塗料自体をバインターとして利用することによ
って、全く出発点から異なった手段を発明することが出
来たものである。

本発明にかかる面状発熱体素子の具体的な構成を以下に
述へる。

その第１と第２の発明は、このアルコキシド法を応用し
たセラミックアモルファス塗料を、保護膜として利用す
る場合である。

これは、先ず、不導電性の基材がある。この基材上に、
カーボン系または金属系の導電性の微粒子と有機系の粘
結剤とからなる物質が、加熱にまり枯化安定化した膜状
回路がある。この膜に、金属アルコキシド系セラミック
アモルファス塗料を均一に塗布含浸せしめ、これを加熱
したものが設けられている。しかして、上記の膜の両端
に、導電性の接続端子が取り付けられている。

第２の発明は、−ｈ記の粘結剤に無機系の物質を使用し
たものである。その他の部分は、第１の発明と同じ構成
であるからその説明を援用する。

その第３の発明は、前記の金属アルコキシド系塗料をカ
ーボン系粒子、金属系粒子の結合材として使用する場合
である。

これは、先ず、不導電性の基材がある。この基材上に、
カーボン系または金属系の導電性の微粒子と金属アルコ
キシド系塗料の粘結剤とからなる物質が、加水分解と重
合反応およびこれに続く脱水重合反応により得られた膜
状回路である。これには、コロイダルシリカ水溶液等の
セラミック超微粒子系のコロイドを骨材と為すと良い。

しかして、上記の膜の両端に、導電性の接続端子が取り
付けられている。

尚、上記の従来の技術の説明の個所で関連技術として述
べた金属アルコキシド系塗料の一切のものは９本発明お
よびその各実施例のそれぞれの構成の一部に応用出来る
ゆえにその記載はここに援用する。

（作用）本発明にかかる面状発熱体素子は１以上の如き構成に為
した故に、下記のことき作用が生じた。

すなわち、第１と第２の発明では、有機や無機のバイン
ダーで予め塗装された導電性発熱体は。

加熱による枯化安定化後に、このセラミックアモルファ
ス膜によって固定される。そして、このノンピンホール
膜によって保護される。必要によっては９発熱面一１−
はかりでなく、電極面も同しように固定され月つ保護す
ることが出来る。

そして、第３の発明では、このセラミックアモルファス
塗料が好適なバインダーとなり、電気抵抗をも安定した
ものに為す。

そして、全ての発明に共通して、このセラミックアモル
ファス塗料によってピンホールはなくなり、防湿、防水
や電気絶縁性の向上安定、高温酸化も防止され１強度で
安定した耐久性のある面状発熱体素子が完成されたもの
である。

（実施例）図面は、全て本発明のそれぞれの一実施例を示す側面断
面図であって、説明が分かり易いようにその厚さは分厚
く誇張してあり、導電性微粒子は粗く大きく図示しであ
る。

第１図は、その第１の発明の有機バインダーに関するも
のを示している。

先ず、第１の発明であるが、これは有機バインダー系の
面状発熱体素子の場合である。

しかして、不導電性の各種基材１の上に作られたカーボ
ン系または金属系の導電抵抗性微粒子２と粘結剤３とな
る有機バインダー３ａか加熱により枯化安定化した物質
から成る膜状回路４に、」−記のセラミックアモルファ
ス塗＄３１５を均一に塗布含浸せしめ加熱（１００℃〜
３００°Ｃ）（高温程短時間に反応が済み、硬度も高く
なる）シア導電抵抗性微粒子とバインダーの安定残存物
を強固に結合固定する。

このセラミックアモルファス塗料５は、前記の金属アル
コキシド、アルコール溶液、コロイダルシリカ（金属酸
化物）水溶液、水分量、酸２等の組成構成物の配合比率
によって、造膜力の強いものや含浸性の高いもの、撲水
性の大きいもの、撲水性の少ないもの等、その物性を色
々と変えることができる。Ｓｎ’０２（錫酸化物）のコ
ロイド水溶液とＳｎのアルコキシドの組み合わせによっ
て導電性の高いものをつくることも出来る。

この５ｎ０２系のものは、後述する有効な用途がある。

以上のようにして、有機バインダー３ａで予め塗装され
た導電性発熱体は加熱による枯化安定化後にセラミック
アモルファス５によって固定、且つこのノンピンホール
のセラミックアモルファス６により保護される。これに
より、上記の膜４に設けられた電極面６も同じように固
定、且つ保護される。

この電極面６からの接続端子７は基材ｌの材質　□等に
応じてろう付け、又は金属板で作られた端子板のかしめ
９等の方法で取り付けられる。

その第２の発明は、無機バインダー系の面状発−２１＝熱体素子の場合であって、その一実施例が第２図に示さ
れている。

これは、上記の粘結剤３に無機系の物質３ｈを使用した
ものである。そして、その他の部分は第１の発明と同じ
構成であるからして、その説明を援用する。

しかして、アルカリ金属塩系、ゾル−ゲル法。

焼酸塩系等の知られているものの中で、結合剤として用
いられるもの及び、その欠点は次の通りである。

バインダー名　耐熱性　耐水性　耐酸性　緻密性アルカ
リ金属塩　◎　　　Ｘ　　　　Ｘ　　　　Ｘ酸性金属塩
　　　◎　　　◎　　　×　　　へ金属酸化物ゾル　◎
　　　Ｏ×　　　×シラン化合物　　Δ　　　◎　　　
○　　　Ｏ金属アルコキ　　◎　　　◎　　　◎　　　
◎シト注　　−１，紀で「◎」は非常に良い、「○」は良い、
「△」は悪い、「×」は非常に悪いを示す。

これらのもので結合形成された発熱体に前記の金属アル
コキシド系の塗料を含浸塗布する。これは造膜力の強い
ダイブが適している。これによりピンホールはなくなり
、防湿、防水、電気絶縁性の向−Ｌ安定、高温酸化も防
止され、安定した耐久性のある面状発熱体素子か完成す
る。

その第３の発明は、新たなバインダーによる面状発熱体
素子の場合であって、その一実施例が第３図に示されて
いる。

これは、先ず、不導電性の基材１からな成る。

この基材１１に、カーボン系又は金属系の導電性の微粒
子２ど金属アルコキシド系塗料（前記のＳｎ系のものの
ように、導電抵抗性のものが適している。この抵抗性は
、他のもの例えはｓｌ系のものとの混合で調整出来る。

）の粘結剤５とからなる物質が、加水分解と重合反応に
より得られた膜状回路である。これには、コロイダルシ
リカ等のセラミック系のコロイド水溶液混合しコロイド
粒子を骨（オと為すと良い。しかして、上記の膜の両端
の電極面６に、導電性の接続端子７が取り付けられてい
る。

この発明の詳細な説明すると、前記の金属アルコキシド
系塗料をカーボン系粒子、金属系粒子の結合材として使
用するものである。この場合、このものは結合、固定に
役立つが、緻密性の為に絶縁性が高く予めこの塗液に導
電性粒子を分散混合して塗布した場合に粒子間の接触導
電性が失われる。

また、導電性を保つために濃度を極度に薄くすると結合
力、固定力が小さくなる。従って、このためには５ｎ０
２．Ｓｎ−アルコキシド等、導電性のアルコキシ）・、
コロイド溶液等を成分としたものを用いる。抵抗値の調
整にはＡ　Ｉ　２０３　。

ＴＬ０２．Ｓん０２等、抵抗値の高いセラミック粒子を
混合して調整することおよび他の絶縁度の高いアルコシ
ト系との混合により調整する。この面状発熱体素子は、
基材との接着力が上記のアルカリ金属塩系のものより弱
いゆえに、基材表面を予め接着力の強いアルカリ金属塩
系等の無機塗料をブライマー塗料として薄く塗布して焼
成しその上に形成する。形成された発熱体の表面は、絶
縁性の高い金属アルコキシド系の塗料をコートすること
により高い絶縁性を確保できる。

（発明の効果）本発明にかかる面状発熱体素子は９以上の如き構成に為
した故に耐久性のあるものと成った。

さらには９文中に述べた各実施例の効果をも充分に上げ
た。

【図面の簡単な説明】

図面は、全て本発明のそれぞれの一実施例を示す側面断
面図であって、説明が分かり易いように分厚く誇張しで
ある。第１図は、その第１の発明の有機バインダーに間するも
のを示している。第２図は、その第２の発明の無機バインダーに関するも
のを示している。第３図は、その第３の発明の新たなバインダーに関する
ものを示している。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）不導電性の基材、該基材上に設けられたものであ
って導電性の微粒子と有機性樹脂系の粘結剤とからなる
物質が加熱により枯化安定化した膜状回路、該膜状回路
に設けられたものであって金属アルコキシド系セラミッ
クアモルファス塗料を均一に塗布含浸せしめ加熱された
もの、上記の膜状回路の両端に取り付けられた導電性の
接続端子、より構成されることを特徴とした面状発熱体
素子。
（２）有機性樹脂系の粘結剤が、熱硬化型樹脂であるこ
とを特徴とした特許請求の範囲１に記載の面状発熱体素
子。
（３）有機性樹脂系の粘結剤が、熱可塑性樹脂であるこ
とを特徴とした特許請求の範囲１に記載の面状発熱体素
子。
（４）不導電性の基材、該基材上に設けられたものであ
って導電性の微粒子と無機系の粘結剤とからなる物質が
加熱により枯化安定化した膜、該膜に設けられたもので
あって金属アルコキシド系セラミックアモルファス塗料
を均一に塗布含浸せしめ加熱されたもの、上記の膜の両
端に取り付けられた導電性の接続端子、より構成される
ことを特徴とした面状発熱体素子。
（５）無機系の粘結剤が、水溶性珪酸塩水溶液とコロイ
ダルシリカ水溶液の混合物から成るものであることを特
徴とした特許請求の範囲１に記載の面状発熱体素子。
（６）無機系の粘結剤が、水溶性珪酸塩にマグネシウム
、アルミニウム、亜鉛等金属の酸化物、または水酸化物
と反応して作られる変性珪酸塩であることを特徴とした
特許請求の範囲１に記載の面状発熱体素子。
（７）不導電性の基材、該基材上に設けられたものであ
って導電性の微粒子と金属アルコキシド系塗料の粘結剤
とからなる物質が加水分解と重合反応および比較的低温
で脱水反応縮合により得られた膜状回路、上記の膜状回
路の両端に取り付けられた導電性の接続端子、より構成
されることを特徴とした面状発熱体素子。
（８）膜が、酸やアルカリを触媒としたものであること
を特徴とした特許請求の範囲７に記載の面状発熱体素子
。
（９）膜が、セルローズ系の増粘剤を利用したものであ
ることを特徴とした特許請求の範囲７に記載の面状発熱
体素子。
（１０）膜が、コロイダルシリカに代表されるセラミッ
ク系のコロイド水溶液を混合したものであることを特徴
とした特許請求の範囲７に記載の面状発熱体素子。
（１１）膜が、酢酸や塩酸等の加熱により放散する様な
酸を加えＰＨを４前後に調整して基材に塗工し１００〜
３００℃で焼成し、これに１μｍ以下のセラミックの微
粒子を適量混合したものであることを特徴とした特許請
求の範囲７に記載の面状発熱体素子。
（１２）セラミックが、鱗片状の微粉末または粒状物か
ら成るものであることを特徴とした特許請求の範囲１１
に記載の面状発熱体素子。
（１３）不導電性の基材が、セラミックペーパーや難燃
紙、プラスチックフィルム、雲母板、石綿板等であるこ
とを特徴とした特許請求の範囲１、４または７に記載の
面状発熱体素子。
（１４）導電性の微粒子が、カーボン系のものであるこ
とを特徴とした特許請求の範囲１、４または７に記載の
面状発熱体素子。
（１５）導電性の微粒子が、金属系のものであることを
特徴とした特許請求の範囲１、４または７に記載の面状
発熱体素子。