JPS62201933A - 新規なシリコン含有プレセラミツクポリマ−の製造方法 - Google Patents

新規なシリコン含有プレセラミツクポリマ−の製造方法

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JPS62201933A
JPS62201933A JP61208837A JP20883786A JPS62201933A JP S62201933 A JPS62201933 A JP S62201933A JP 61208837 A JP61208837 A JP 61208837A JP 20883786 A JP20883786 A JP 20883786A JP S62201933 A JPS62201933 A JP S62201933A
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polycarbosilane
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ディートマー・セイファース
ユアンーフ・ユ
ガドラン・エーデルガード・コツペシユ
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    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
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    • C08G77/00Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule
    • C08G77/60Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule in which all the silicon atoms are connected by linkages other than oxygen atoms
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
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  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ケイ素、炭素およびその他の元素を含有する
プレセラミックポリマーの製造方法およびそれらのセラ
ミック材料への熱分解方法に関する。
熱分解によりStC,Si3N、および他のシ1ノコン
ーに一スのセラミック材料をつくりうるプレセラミック
ポリマーには多くの利点がある(R,W。
Rlce、 Amer、 CeramllSoc、 B
un、、 62 :889−892(1983))。そ
のようなポ1ツマ−の応用にはとりわけ以下のことが含
まれる:1、複雑な形をつくった後、熱分解しておなじ
形のセラミック材料をつくる; λ 連続繊維を紡いだ後、熱分解してセラミニックファ
イバーをつくる; 3、炭素あるいはセラミックファイノミ−用マトリツク
ス材料、あるいはセラミック用バインダーをつくる(そ
の後の熱分解によりセラミック体をつくる); 4、他の酸化性材料(例えは、炭素/炭素複合物)上に
耐酸化性のコーティングをする一一−ポリマーコーティ
ング後、熱分解してセラミックコーティングすることが
できる;5、反応−焼結シリコンニトライドから得られ
たようなセラミック多孔体にポリマー自体を(液体の場
合)あるいはポリマー液を浸透させる、その後で熱分解
して強度、耐酸化性等の大きいセラミック体をつくる。
6、 エレクトロニツクス用のセラミック材料の薄いフ
ィルムをつくる。
例えは、Penn等によるJ、 Appl、 Po’l
ymerSci、27:3751−61(1982) 
には、ポリカーボシラザン先駆体からのシリコンカーバ
イド−シリコンニトライドファイバー製造について記載
されている。先ず、トリス(N−メチルアミノ)メチル
シランモノマーは、ドライ石油エーテル中でモノメチル
アミンとメチルトリクロロシラントの反応によってつく
られた後、そのモノマーを520℃でガラスラシツヒリ
ング上を通過させることによりボリカーボシラザン樹脂
をつくる。この脆いポリマーは、塩化メチレンやクロロ
ホルム等に溶解する。この生成物をファイバーに紡ぎ、
空気中で架橋した後、熱分解してセラミックファイバー
をつくる。
シリコンカーバイドおよびシリコンニトライト9のセラ
ミックをつくるための他のポリマー先駆体については、
アメリカ特許肩λ10a985;485八567;31
892,583;4,31Q651および4312;9
70に記載されている。セラミック材料をつくるだめの
これらの線状あるいは架橋ポリマーおよび方法は、一般
に一つ以上の方法では不充分であることがわかっている
S、 Yajima、 Amer、 Caram、 S
ac、 Bull。
62:  893−898;  903(1983)に
は、5ic−含有セラミック製造用プレセラミックポリ
マーの原料として(0M3)2stc12を用いること
について記載されている。’Ya j imaのポリマ
ーは、(CH3)251C12のす) I)ラム金属縮
合によってつくられたポリシラン、−((CHs)Si
)n(nは約30)である。その後、このポリマーは、
用いる処理によって[MarlcTJポリマーあるいは
「Mark■」ポリマーのいずれかをつくることができ
る。
Mark l 、f:リマーをつくるには、アルゴン下
のオートクレーブ中で100kpa、450℃−470
’Cf 14 Hr 加熱する、一方、Mark II
l$リマーをつくるには、数チのポリボロジフェニルン
ロキサンtfA加した後窒素雰囲気下常圧350℃で、
l□Hr加熱する。いずれの場合にもz IJ−シリコ
ン骨格は、ポリマー鎖へ転化されるが、主な繰り返し単
位は;である。
Mark Iポリマーには、さらにいくつかの−((C
H3) 2SiCH2〕一単位が含まれている。Mar
k■ゼリマーには、−((Cl(3)2Si−Si(C
I(3)2)  (n=、2−8)の形のいくつかの5
i−Si結合単位および少量の((C6H5)2SiO
)単位がふくまれている。
これらのプレセラミックポリマーを処理してStC。
遊離炭素、およびS10□を含有するセラミックファイ
バーをつくることができる。しかしながら、これらのポ
リカルボシラン−誘導セラミックについては、問題があ
゛る。即ち、これは1200℃以下で結晶する傾向があ
シ;酸化キュア工程と同じような310□を含有しさら
に遊離炭素を含有しており;かつ、製品とするだめの熱
分解においてセラミックの収率が相当に低い。Mark
 ill yt”リマーによるセラミックの収率は68
%、Mark iでの収率は54チにすぎなかった。
I C: I Si の化学量論のメチルシリコンは、
公知である。これらには、 CH35iCj3およびC
H3S1HC12がある。しかしながら、前者は、相溶
性希釈剤中でのアルカリ金属処理で架橋、不溶性の生成
物をつくり、使用に適しない。CH35iH(J2は、
理論的にはアルカリ金属との反応で環状オリダマ−およ
び線状ポリマー〔CH35IH)n  をつくる。
C)!3SiHCI12 が混合オルガノクロロシラン
反応物の約30チから成り、後で金属カリウムで処理す
る方法が論議されてきた。これらのことは、C0L、 
Schilling、 Jr、 and T、 C,W
illiams。
(1984)  に記載されている。30チのCH35
IHC12は、最終生成物((CH3Sin)。、2(
CH8t)。、8)の生成に寄与する。
入手し易くかつ比較的安い原料からつくられ、室温で安
定で、有機溶剤に溶解し、かつ熱分解によってセラミッ
クを高収率で得られるポリマーをもつことは、有用であ
る。
さて、(A)  S 1− H官能基を有する有機ポリ
シラン、好ましくは、一般式((RSiH)x(RSi
)y)n(式中、Rは、1〜約6個の炭素原子を有する
低級アルキル基、3〜約6個の炭素原子を有するシクロ
アルキル基、6〜約10個の炭素原子を有する置換ある
いは非置換低級アリール基であり;x−4−7==l(
xおよびyは各々Oより大きい場合と、x = 1およ
びy=oの場合がある。)であり;かつnは1より大き
い整数である))のオルガノポリシランか、あるいは例
えば一般式(RaSi、(H)−(ORG)q〕、即ち
、 (式中、qが整数の1あるいは1より大きく;RaがH
,1〜約6個の炭素原子を有する低級アルキル基、3〜
約6個の炭素原子を有するシクロアルキル基、3〜約1
0個の炭素原子を有する置換あるいは非置換低級アリー
ル基であり;かっ(ORG)が二官能性のフルキレン、
アルケニレンあるいはアルキニレン基である。)の繰返
し単位を有するポリマーのような、itリマー骨格中に
81およびC原子を含有するポリカルボシランポリマー
かのいづれかと、(B)少なくとも2個のアルケニル基
を有する有機、オルガノ7ランあるいはオルガノ元素化
合物とのヒドロシリル化反応により、これらの反応剤が
熱分解によって高収率でセラミックが得られるプレセラ
ミック材料−転化されることをここに見出したのである
。先ず上記反応剤(A)および(B)を有機溶剤中で混
合する。その後反応速度を上げるためにエネルギーを加
える。この反応は、適当な触媒の存在下で実施すること
が好ましい。好ましくはフリーラジカルあるいは転移金
属触媒を使用する。フリーラジカル触媒を使用するのが
最も好ましい。71J−ラジカル触媒はアゾ化合物ある
いはノーオキシビである。最も好ましいフリーラジカル
触媒は、アゾ化合物である。
本発明のプレセラミックポリマーは、上述の(〜と申)
とのヒドロシリル化反応によってつくられる。
その後これらのポリマーを熱分解してセラミック材料を
つくる。
第1図は、l IJ 力# 4 シラy ト((CH3
XCH2−CH)SINH〕3 とのヒト90シリル化
反応によりつくられたポリマー(YF’Y IV−8)
のTGA曲線である。
第2図は、$ 1.1 カルボシラ7 トC(C)i)
3(CH2−CH)Sin)m(m=4,5および6)
とのヒドロシリル化反応によりつくられたポリマー(Y
F’Y ■−13)のTGA曲線である。
第3図は、ポリカルボシランとポリブタジェンとのヒド
ロシリル化反応によりつくられたポリマー(YFY  
IV−5)のTGA曲線である。
さて、われわれは、少なくとも2個のアルケニル基を含
有する有機、オルガノシランあるいはオルガノ元素化合
物と、Si−H官能基を有する有機ポリ7ランとのヒト
90シリル化反応により数多くの用途がある新規なプレ
セラミックポリマーをつくりうることをここに見出した
のである。これらのプレセラミックポリマーは、主とし
て、′親ゝの先駆体化合物より熱分解において、セラミ
ック収率が大きい。更に驚くべきことには、この方法に
おいてここに記載されているような反応剤全適当に選択
することにより、熱分解で5t−Cだけを得るプレセラ
ミックポリご一先駆体を得ることができるのである。
有機ポリシランは、本発明によって最も効率的にヒドロ
シリル化反応をうける多数の5i−H官能基を含有して
いる。鎖中のケイ素原子の少なくとも約30%が81−
H官能基であることが好ましく、また、鎖中のケイ素原
子の少なくとも約50チが31−H官能基であることが
更に好ましい。
有機ポリ7ランは、一般式((RSiH)x(RSi)
y)。
(式中、Rは、1〜約6個の炭素原子を有する低級アル
キル基、3〜約6個の炭素原子を有するシクロアルキル
基、あるいは、6〜約10個の炭素原子を有する置換あ
るいは非置換低級アリール基であυ;nは、1より大き
い整数であり:かつX+7=1(Xおよびyが各々Oよ
り大きく、更にx=1、Y=00場合がある。)である
)のオルガノボリンランか、あるいは一般式(R&Si
 (Ei)−(CH2)、) (式中、qは、1 以上
のutllF)、Raは、H,1〜約6個の炭素原子を
有する低級アルキル基、3〜約6個の炭素原子を有する
シクロアルキル基、および6〜約10個の炭素原子を有
する置換あるいは非置換低級アリール基である)の多数
の繰返し単位を含有するポリカルボシランポリマーかの
いづれかが好適である。このヒドロシリル化反応は、C
H35xHC1!2  のアルカリ金属縮合から得られ
たオルガノポリ7ラン単独かあるいは非改質ポリカルボ
シラン単独かのいづれかにより得られたものと比較し、
熱分解によるセラミック収率が大きい生成物をっくりう
る。
0H3E31HC12とアルカリ金属との反応では、一
般式((CH35iH)、(CH8Si)、)n(式中
、!−1−y=1であり、かつnは1より大きい整数で
ある)のメチルシリコン化合物がつくられる(今後これ
らの化合物は1メチルポリシラン1と記述する)。
しかしながらこの生成物自体は、プレセラミックポリマ
ーとしてそんなに有用でない。熱分解において、セラミ
ック収率が50チを越えるメチルポリシランは、有機溶
剤への溶解度が限定される。
このようなメチルボリンランは、処理が難しい。
架橋度が過剰でないために有機溶剤によく溶解するメチ
ルポリシランは、対称的に熱分解におけるセラミック収
率が通常かなり小さく、例えは、数例において12〜2
7チである。更に上述の式のメチルポリシランは、主に
熱分解において所望の(11ケイ素対(り炭素、よりむ
しろ遊離ケイ素が過剰の組成物を含有するセラミック生
成物を与へる。
従って、CH35iH(J2 のアルカリ金属縮合では
、S1C生成のための理想的なプレセラミックが得られ
ない。
われわれは、(〜−一般式(R81H)、(RSi)y
)n  のオルガノボリンランと(B)少なくとも2個
のアルケニル基を含有する有機、オルガノ7−)/ある
いはオルガノ元素化合物とのヒドロシリル化反応によっ
て、われわれの出願特許申請中のアメリカ出願面774
374(1985年9月4日付)記載のような非常に有
用なプレセラミックポリマーが得られることを見出した
のである。前述のオルガノポリシランとアルケニル−含
有有機あるいはオルガノシリコン化合物とを有機溶剤中
で反応させた後、熱分解により得られたプレセラミック
化合物は、通常50%を越えるセラミック収率である。
この生成プレセラミックポリマーは、通常、有機溶剤に
溶解可能であシ、熱分解によるセラミック収率は、CH
35IHC112のアルカリ金属縮合で得られたオルガ
ノポリシランと比較し大きい。
使用される有機溶剤に溶解しうる一般式((RSiH)
x(RSi )、)nのすべてのオルガノポリシランが
使用可能である。オルガノボリンランが一般に架橋され
ている、即ちy > 0の場合、上式の繰返し単位を有
し、かつX = l、y=Qの線状ポリマーが使用でき
る。前述のようなヒドロシリル化によりプレセラミック
ポリマーへ転化されるX=1.7 W Oのポリマーは
、(C,H,5il()n、即ちポリ(フェニルンリレ
ン)である。このポリマーはAitksn、 Cによる
1、 Organomet、 Chem、。
279:C11−C13(1985)に記載されている
。ここに述べたオルガノポリシランのいづれにおいても
、Rは、低級アルキルが好ましく、CH3が更に好まし
い。しかし異なるR基を含有する化合物の1合物も使用
できる。更に、前述の一般式、即ち、((RSiH)、
(R8t)y)n および〔(R′5IH)xl(R’
 Si )y/)nt  の化合物の混合物もまた、生
成物の性質に適合するようにさせ、更に柔軟性を持たせ
るために使用することができる。 R’ 、 xt 、
 fおよびn′ は上述のL’Xp7およびnと同じも
のである。これらの混合物は、過剰の遊離ケイ素あるい
は過剰の遊離炭素をもたないセラミック生成物を得るた
めに特に有用である。
新規なプレセラミックポリマーをつくるためにここに述
べたヒドロシリル化反応に使用できるその他の好適なグ
ループの有機+1 サシ2ンは、上述の(m式の多数の
繰返し単位を含有するポリカルボシランである。主とし
て本発明によるこの新しいポリマーの熱分解では、黒色
のセラミック固体が得られ、その収率は、元のポリカル
ボ7ランでの収率より約10〜60チ大きい。
ポリマーに単結合炭素が含まれる(m式の繰返し単位を
含有するポリマーの他に鎖中に炭素−炭素多重結合を含
有するポリマー、例えは、−(RaSt(H)−CH−
CH)−1((nj式) オj ヒ−(RaSi(H)
−CaaC:]−((5)式)もまた使用できる。後者
は、適当ナシクロロシラン、Ra5iHC1!2ト、X
M9C=CM9X。
(Xはハロゲン、好ましくはC1,Br、  あるいは
1)LIC1&ICL1.(MgC−C)n等のような
反応剤との反応によりつくられる。ポリマー中の−(R
aSt(H)−C=C)−単4fL (D 水添テu、
−(RaS、1.(H)−C−C)−単位(接触水添、
即ちLindlar  触媒、ヒドロボレーション/フ
ロト脱ヒト0ロボレーンヨンシーケンス)が得られる。
例えは、LICsILCLlとCH35iH(J2との
1:1モル反応後、ある量の(CH3) 2SIH(J
を添加して残存C−L土末端と反応させると褐色粘稠液
体が得られる。このものは、分析および光学特性から−
((0M3)(aH2−aH)−c、、cリ−と一致し
た。
このものをベンゼンを還流させなからAIBN触媒の存
在下で((01(3)(C)12−(J)SiN)I、
)と反応させると白色の固体が得られ、これを熱分解す
るとciooo’eまで)77%以上のセラミック収率
が得られる。
ポリカルボシランポリマーには、本発明によるヒドロシ
リル化反応を受けるため、(RaSt(CH) )2 
   2q (例えばYajimaポリマー)のような他の繰返し単
位に加えて(■)式、((2)式あるいは69式例えば
(RaS1(H)−(CH2)q )  ノm i L
 単位t 充分ニ含有されていなければならない。好ま
しくは、少なくとも約25 molチの(m式、(至)
式あるいはm式の繰返し単位を含まなければならない。
少なくとも約35 mo1%の繰返し単位を含有するの
が更に好ましい。またポリマーが、(■)式、(ホ)式
あるいはm式の繰返し単位が夕なくとも約50%を含有
するのが最も好ましい。
ポリマーには前述の(■)式、(1)式あるいは(5)
式のおよびqそれぞれと同じものと定義されるが、R″
はRa と異なってもよく、q′はqと異ってもよい)
、アルイハ、(RaS1(H)−(CH2)q) ト(
RaSt(H)−CH−CH2)の両者を含有すること
ができる。Ra は低級アルキル基が好ましく、CH3
が更に好ましい。
qは1〜3が好ましく;1が更に好ましい。
ポリカルボシランおよびアルケニル−含有有機、オルガ
ノシリコンあるいはオルガノ元素化合物は、主に広範囲
のポリカルボシラン対アルケニル−含有化合物の重量比
において添加される。14:1〜1:1の比で主として
使用されるが、個々の原料およびそれらの熱分解特性に
よってその他の重量比でも使用される。
本発明においては、少なくとも2個のアルケニル基を含
有する有機、オルガノシリコンあるいはオルガノ元素化
合物を使用することが好ましい。
少なくとも3個のアルケニル置換基を含有する環状の有
機、オルガノクリコンあるいはオルガノ元素化合物を使
用することが更に好ましい。有機、オルガノクリコンあ
るいはオルガノ元素化合物中のポリシラン中のSiN基
とアルケニル基とのモル比は3より大きいのが好まL2
.<、6以上が更に好ましい。
使用することができるアルケニル−含有有機、オルガノ
シリコンあるいはオルガノ元素化合物のタイプは、かか
る分野の技術者にとっては容易に決定しうるものである
。アルケニル基自体は、ビニ/l/、71Jル、 3−
7’テニル、α−プロイニル、α−スチリル、等のよう
な2〜6個の炭素を有する低級アルケニルが好ましい。
使用されるアルケニル基で更に好ましいものは、ビニル
、 CI(:2−C1(−である。更にC工、2 二重
結合含有量が多いジビニルインゼンあるいはポリブタジ
ェンのようなすべての有機、l(IJビニル化合物も使
用できる。またこれは、例えばB −トIJビニル−N
−)リフェニルボラジン、トリアリルンアヌレート等の
オルガノ元素ポリアルケニル化合物であってもよい。ポ
リビニルシリコン化合物を使用するのが更に好ましい。
本発明の実施のために有用なポリビニルシリコン化合物
は、一般式(R(CH−CH)Si)2Y。
(R1(CH2−CH))2M、 ((CH2−CH)
3Si)2M。
(R(CH2−CH)Y)n(式中、Y==O,S、 
 NH,NR2゜CH2,CH2CH2,−tc)j 
 (o、 m、あるいはp)およびその他の架橋);更
にYがOの場合は、即ちRn(C)i2−OH)3−n
S1−Si(CH−CH2)3−qRq(式9式% S:tY )rnあるいは((CH2−Cl)2StY
 )、、  (式中、Y”−0,S、 NH,NR、C
I(、CH−C1(、C賜C;Y=NH,NR、Sある
いはC)l 、 C)i=CH,C騙Cの場合は、mが
2以上、Yl が0の場合、mが3以上;Rは1−6個
の炭素原子を有する置換あるいは非置換低級アルキルあ
るいはFi−10個の炭素原子を有する置換あるいは非
置換低級アリール基、RはRに定義したものであって、
かつ同じかあるいは異なる)のものである。これらの例
は、説明のためのものであり、限定されるものではない
。例えは、これらの化合物は置換ビニル基、アリル基あ
るいはビニル基に代わって置換アリル基を有することも
できる。
特に有用なタイプのシリコン−含有ポリビニル化合物は
、(−R(Un)SiC−C−)n(式中Rは、前述の
ものであシ、Unは、置換あるいは非置換ビニル基、置
換あるいは非置換アリル基等のような前述のごとき不飽
和基でちり、例えばR−C)i3゜Un=ヒニル基が好
ましい)タイプのポリマー類であり、これは相当するR
 (U n )S i CA? 2とXM9 C,。
CMgX、 LtC−CLl、 (M2O−C)。等(
式中XはハQゲンであり、好ましくばC1!、 Brあ
るいは工)との反応によりつくられる。このタイプのポ
リビニル化合物の使用には、特にっぎのような有利な点
がある。(1)他の元素(例えばO,N、S)が導入さ
れない、(2)  これらのポリマーの熱分解がS10
に加えて過剰の遊離炭素を生じ、一方ボリシラン〔(C
H3SIH)X(CH3S1)y)nの熱分解がS1C
に加えて過剰の遊離ケイ素を生ずるのに対し、2種類の
異なるポリマーの反応生成物(適当な化学量論量を用い
たもの)の熱分解(充分高温においての)は、遊離の炭
素あるいはケイ素のいづれかが非常に借景で、実質上S
tCのみであるセラミック生成物を与へる。このことは
非常に重要なことであり、この試みの新規性とユニーク
性とを示すものである。遊離炭素かあるいは遊離ケイ素
のいづれかが過剰であると、一般にセラミック材料の性
質に悪影響があるがこの方法を使用することによりこの
ような遊離の炭素あるいはケイ素を防止することができ
る。
本発明において有用なポリビニルシリコン化合物は、公
知の合成技術により容易につくることができる。例えは
、市販のメチルビニルジクロロシランを用いて、これと
R20,NH3あるいはL1□Sとそれぞれ反応させる
と、容易に環状−((CH3)(CH2−CH)Sl、
)m(mは4,5あるいは6);環状−((CH3)(
C1(2−CH)SiNH)m(mは3および4);環
状−((CH3)(CH2−OH)Sl、)m(mは3
)を得ることができる。これらのポリ(ビニル)化合物
は、触媒の存在下、有機溶剤中でSiH官能基を有する
有機ポリシラン、好ましくはオルガノポリシランかある
いはポリカルボシランかのいづれかと容易に反応する。
ヒビロシリル化反応は、関連分野の技術者に公知の方法
により開始することができる。この開始手段は紫外線照
射であり好ましくは触媒による開始である。すなわち適
当なエネルギーを与へることにより反応性フリーラジカ
ルを提供する触媒を添加する。本発明の実施において使
用しうる触媒は転移金属触媒あるいはフリーラジカル触
媒である。
使用することができる種々の触媒は、文献に公知である
。転移金属ヒドロシリル化触媒は、Chem、 Lib
rary 5 : 1−180 (1977)に記載の
ような白金(H2Pt(J6・6H20を含む)、ロジ
ウム、ルテニウム、イリジウム、パラジウム、ニッケル
、コバルト、鉄、マンガンおよびその他の金属のコンプ
レックスであるが、これらに限定されるものではない。
転移金属を使用する場合、プレポリマー生成物はセラミ
ック生成物を形成させる前に金属種を除去するため処理
することが好ましい。フリーラジカル触媒は、パーオキ
シドおよびアゾ化合物である。これらの化合物は、関連
分野の技術者には公知である。例えばパーオキシドは、
ペンゾイルノぞ−オキシドのような有機過酸化物である
。アゾ化合物を使用することが更に好適である。このよ
りなアゾ触媒は関連技術者に公知であり、容易に入手可
能である。代表例は、アゾビスイソブチロニトリル(A
よりN)、他のR(0M3)(CN)−CN曹NC(C
N)(CH3)R化合物(式中、R=C2H5,イン−
C4H8)等である。
本発明のプレセラミックポリマーをつくるためには、先
ず有機ポリシラン、好ましくは、オルガノポリシランか
あるいはポリカルボシランのいづれかを有機溶媒、例え
ばキシレン、ヘキサンインインあるいはテトラヒト#ロ
フラン(TH1i’)  中に溶解させる。ついで溶剤
へ触媒を添加後その生成混合物を触媒が溶解する迄室温
で攪拌する。この時点で混合物ヘアルケニル含有有機あ
るいはオルガノシリコン化合物を添加し、ついで充分な
エネルギーを与へてヒドロシリル化反応を開始させる。
例えばエネルギーは、成分が反応するための充分な時間
、70〜90’Cまで加熱することにより加えられるの
である。しかしながら過度に長い時間加熱しないように
まだ不溶性ポリマーが生成しないように注意が肝要であ
る。その後生成反応混合物を室温まで冷却してから溶液
からプレセラミックポリマーを取り出す。この分離は、
文献に公知な方法によりおこなわれる。揮発性物′R′
!il−除去するために主に蒸留法が用いられるが、ト
ラップツートラップ蒸留が好ましい。
紫外照射の場合には反応剤を有機溶剤に混合後、紫外照
射線にばくろさせて反応を開始させる。紫外照射は、こ
れによりラジカルに分解される触媒と一緒にエネルギー
源として使用することもできる。
ここに記載の方法では、通常、はぼ定量収率でプレセラ
ミックポリマーが得られる。また生成プレセラミックポ
リマーの熱分解によるセラミック収率は、オルガノポリ
シラン含有ポリマーでハ通常50%以上、ポリカルボシ
ラン含有ポリマーでは通常60チ以上であり、多くの場
合82チ程度である。ポリマーの熱分解は、セラミック
生成物をつくるための充分な時間と充分な温度とをかけ
て窯素あるいは不活性ガス雰囲気下でおこなわれる。
アルケニル−含有有機、オルガノシリコン6るいは  
° ′  ・    オルガノ元素化合物の使用は、工
程を簡単にし、かっ/あるいはセラミック収率を向上さ
せるものであるが、更に重要なことは、適当なアルケニ
ル−含有化合物とオルガノポリシランとを妥当な化学量
論量で反応させた場合、反応生成物が、両原料を合体し
たものとなることである。この反応生成物を熱分解させ
た場合、オルガノポリシラン単独の熱分解で一般に得ら
れる過剰のケイ素とアルケニル−含有化合物により得ら
れる過剰の炭素とが結合してその結果セラミック生成物
中にはいづれの元素の過剰量が実質上存在しない。この
ため遊離ケイ素が約0、5 %より少ない、あるいは遊
離炭素が約0.5 %より少ないセラミック生成物、即
ち、実質的に遊離炭素を含有しないかあるいは遊離ケイ
素を含有しないセラミックポリマーを得ることができる
所望の化学量論fl−を得るために必要な2棒類の化合
物の正確な配合は、関連分野の技術者によって数種の異
なるポリシラン/アルケニル化合物組成のポリマーの熱
分解から得られたセラミック生成物の分析結果、即ち経
験的か試行に基いて、計算することができる。
ポリカルボシランとアルケニル含有有機物あるいはオル
ガノ7ランとを含有するヒドロシリル化反応は、熱分解
により過剰の遊離炭素を含有するセラミック材料を与へ
る新規のポリマーを生成する。と言うのは、使用したポ
リカルボシランとアルケニル含有有機あるいはオルガノ
クリコンJlとの両者が熱分解において過剰の炭素を提
供するからである。しかしながらこの過剰の炭素は、ヒ
ドロシリル化工程において、二元5i−Hポリマーシス
テム、即ち熱分解により過剰のケイ素を含有するセラミ
ック生成物を与へるポリカルボ7ランおよびポリシラン
、を用いることにより減少させることができる。ポリシ
ランとして、ここに記載したオルガノポリシランを使用
することが好ましい。従って三元システム、即ち、適当
な量のポリカルボシランおよびアルケニル−含有化合物
と共にオルガノポリシランを含有するヒドロシリル化反
応により、セラミック生成物中にいづれの元素の過剰量
が実質的に存在しない化合物が得られる。
使用されるオルガノポリシラン中のRは、低級アルキル
基であるのがより好ましく、RがOH3であるのが最も
好ましい。また、各ヒト゛ロシリル化システム単独、即
ち、それぞれポリカルボシランおおよびアルケニル・−
含有化合物、およびオルガノポリシランおよびアルケニ
ル−含有化合物−の熱分解生成物の分析結果から計算で
きるポリカルボ7ラン、オルガノポリシランおよびアル
ケニル含有化合物の適当な混合物を用いて、熱分解にお
いて遊離炭素あるいは遊離ケイ素のいづれかの過剰量が
最小となるセラミック生成物を得ることができる。
以下の実施例によp本発明を更に詳しく親切する。
A、全般的な操作手順 すべてのガラス器具を使用前に真空下あるいは窯素気流
下で加熱乾燥した。テトラヒドロフラン(THF)およ
びベンゼンは、ナトリウムおよびペンゾフエノンケチル
により蒸留した。ヘキサンは、LiAlH4により蒸留
した。溶剤は、使用前に窯素ガスあるいはアルゴンガス
を吹き込むことによυ酸素を除去(−た。メチルジクロ
ロ7ラン、(CH3SiHC12) オ!び(CH3)
 (C12−OH)Sj.C#2 は購入して、使用前
にマグネシウムにより蒸留した。
試薬グレードのナトIJウムは還流キシレン中に分散さ
せ、それを攪拌しながら冷却することにより精製した。
これにより被覆している酸化物の大部分を除去し念。
”H NMRスペクトルは、、TEOL−1i’X− 
9 0 0分光計を用い90Mhで操作して記録した。
光分解は16個の36Qnmの中圧水銀ランプを備えた
Rayonet  光反応話中でおこなった。
熱分析は、Dupont熱分析システムに接続したDu
pont 9 5 0 TG AかSystem / 
 熱分析コントローラ−を備えたPerkin−E:L
mer T G S − 2熱重量アナライザーかのい
づれかを用いておこなった。サンプルは窯素雰囲気下、
10℃/鵡で25〜1000’Cまで加熱した。大スケ
ールの熱分解は、窯素雰囲気下、Linci.berg
5 9 3 4 4  チューブ炉を用いて溶融シリカ
皿中でおこなった(25〜1000℃,10℃/#り。
走査電子顕微鏡写真はAMR器を用い20KVで操作し
て撮影した。
X−腺パウダー回折パターンは、CuKの照射線源およ
びN1 フィルターを備えたPhillips X−線
回折計を用いて測定した(λ=1.5418A)。
B.ヘキサy/TH1i″混合溶剤中での((CH3S
iH)x乾燥室中で、撹拌棒、滴下ロートおよび還流コ
ンデンザー付き1ノの三つ口、丸底フラスコへ金属ナト
リウム7 5.0 g( 3.2 6 nol)  を
仕込んだ。
ついでフラスコをSchlenk  マニホルドへ取付
ケ、排気後窯素でパージした。ついでTHF(70ff
il)およびヘキサン(420xJ)を仕込み、滴下ロ
ートにはメチルジクロロシラン150扉1c1、4 4
 mol)を入れた。メチルジクロロシランをフラスコ
中に3時間にわたって徐々に滴下した。反応溶液は紫色
に変化した。滴下終了時には若干還流させた。
反応混合物を室温で2時間攪拌後16時間還流しながら
加熱した。反応混合物(Na(J  の大きい結晶を除
き)を室温まで冷却後、vr管を用いて肉厚ガラスびん
に移した。この混合物を遠心分離後、透明無色の上層液
を攪拌押付ll丸底フラスコへ排管により移した。また
残りの固形物ヘヘ2キサン(200tJ)およびTHF
(20m/りを加え、その混合物を再び遠心分離器にか
けた後、上層液を最初の分離上層液と合わせた。溶剤を
トラップツートラップ蒸留により除去し残存容量を約1
00−とした後、その残液を排管を用いて秤量した25
0m/丸底フラスコへ移した。ついで残存溶剤をトラッ
プツー・トラップ蒸留により室温、約0.5rran 
H9の条件で除去したところ、にごった白色オイル51
.29(81%、  1.16 mol)が得られた。
1HNMR(90MHz、 CeD6 ):δ0.37
(ブロード’、  5iC1(3,3,74H)392
(ブロード、Sj、H,IH)。
生成物(7)NMR積分では〔(CH3SiH)。、(
CH3Si)04)nの組成であった。
工R(薄いフィルム、 cfn−1): 2967(a
)、2900(El)、2800(w)、2099(v
s)、1410fs)。
1385(w)、1249(a)、1055(br)、
933(s)、  56s(vs)、  770(vs
)、  685(br)。
650(sh)、585(W)。
分子量(ベンゼン中での氷点降下) : 600 g/
mOJ。
C3tH3,76のための分析(他の同じ製造による物
質)。
計X値:C,27,39;H,s、ss;si、64.
05゜測定値:C,27,49;H,8,98;Si、
61.58%。
TGA(25〜i、ooo’e、io℃/順):灰−黒
色のセラミック固体収率20チ。チューブ炉における他
の製造によるサンプルの熱分解では灰−黒色のセラミッ
ク固体が36チの収率(重量俤)で得られた。
セラミックの分析、測定値:C,22,93;Si、7
5.99% この操作により得られた液体は、特にその有効表面積が
大きい場合、溶融漏斗、Mlあるいは布のタオルと接触
した際に非常に空気−感応性である(どちらのケースに
おいても自然引火がおこるであろう)。
他の、同じ反応でば((CH3SiH)x(CH3Si
)y)nが収率62〜75%で得られた。数回の生成物
の分子量は、520〜7409 / no/の範囲であ
った。その生成物のすべては非常によく似たHNM、R
スにクトルを示したが、51CH3:S1H比は異って
いた。これらの生成物の物性データーを第1表に示す。
計算を簡略化するために(CH3Sif()x(CH3
Si)y単位を平均重量値44とした。従って、以下の
各実験においては、反応単位(0M3SIH)のモル数
は、使用したポリマー重量を44に、より除すことによ
り算出した。
C,ポリカルボンランの特性 Dovr CorningCorporation か
ら白色固体のポリカルボシランを入手した。そのデータ
はつぎの通りである。
1HNMR(90MH2,C,D、戸δ 4゜52(ブ
ロード。
81H1IH)、0.26(ブロード、 SiC林、 
およびStC見2Si、 8.6H) IR(KBr、y、ジョー/l/、 cm  ) : 
2104(s)+1253(s)、  1014(S、
  ブロード)、845(s。
ブロード) t  734 (s)。
分子量((ンゼン中での氷点降下): t2to9/m
ol。
TGA(25−1000℃、10℃/騙):黒色のセラ
ミラグ固体収率58%。T騒−510℃。
11の三つ口、丸底フラスコへオーバーヘッドメカニカ
ル攪拌器、冷却コンデンサー(ドライアイス−アセトン
)および隔膜をとりつけた後、激しく窯素を吹込みなが
ら加熱乾燥した。ついでそのフラスコへジエチルエーテ
ル(500+al)オヨび(CH)(CH=CH)Si
C12(170ne、 1.31 mo/)を管を用い
て仕込み、水浴で0℃まで冷却した。
激しく攪拌させながら反応混合物中へ過剰の無水アンモ
ニアを約3時間にわたって吹込んだ。ついで反応混合物
を室温で4時間攪拌後、乾燥室中で濾過した。残渣をエ
ーテルで数回洗浄した。溶剤をトラップツートラップ蒸
留により室温、約0.05、H9の条件で除去したとこ
ろ透明な残渣が得られた(92.31 83%)。生成
物を減圧蒸留により精製したら(C1(3(CH2−C
)l)Sin)365.6 g(59%)および(CH
3(CH2−CI)StNH)49.4 g(8,5チ
)が得られた。これらの生成物を更に繰返し減圧蒸留に
より精製した。
(CH3(CH2−CH)SiNH)3. b、p 9
9〜100℃(5問H9)。
’ HNMR(90MHz −CsD 6)+、  a
n92(−vxチベット。
5iCH−CH2,3H)、0.6 (ブロード、NI
i、  IH)。
0.15(マルチペット?  5tCH3,3H)(異
性体が存在) 工Rに−ト、cm   )83400(s)、  31
91(y)。
3058(s)、301i15(m)、2958(s)
、2900(W)。
1592(s)、1401(8)、1250(s)、1
145〜1 180(aン、  1 006(s)、 
 902〜958(s)。
840(s)、 780(s)、 720(s)、 6
2o(e)。
分子量(−?ンゼン中での氷点降下) : 2509/
mol(計算値、255)。
nDl、4830 (Andrianov、 K、 k
 等による工zv、  Akad、 Nauk 5SS
R)  948 (1963)および860 (Eng
、 Trans)に報告されたものは、nn  1.4
8 I OおよびZhinkin、 D、YによるZh
、 0beheh、 Khim、 33 : l 29
3(1963)およびl 263 (Eng、 Tra
ns)に報告きれたものはnD  1.4820である
)。
〔■3(CH2−CH)81皿、)4. bp 116
〜118℃(3間H9)。
”HNMR(90MHz、  C,D6) :δ 6.
00(マルチベット、5tCH=CH2,311)、0
.5(ブロード、NH,IH)、0.16 (マルチベ
ット。
5iCH3,3H’) (異性体が存在)。
工R(ニー)、an   ):  339 3(s)、
3191(w)、  3056(s)、3008(W)
、2960(8)、2901(W)、1596(e)、
1401(s)、1253(s)、1157〜1198
(8)。
1006(s)、915〜967(s)、867(s)
、785(a)。
747(s)、  678(m)、  610(s)。
分子t(Rンゼン中の氷点降下) : 320 t/m
o/。
np  1.4962 (Andrianov、による
上記のものに記載されたものは、np  i、 498
0 )。
以下の実験においては、蒸留トリマー、((CH3)(
0M2<H)SiNI() 3  を使用した。
製造 攪拌棒、還流コンデンサー、および隔膜キャップを備え
た500耐の三つ口、丸底フラスコへ(Cl1a ) 
(an2−cu )s i C13265ml (o、
 5 mo !l )およびジエチルエーテル250m
Jl仕込んだ。この溶液を0℃まで(氷水浴にて)冷却
した。ついでこの溶液へシリンジによりH2O10r!
11を徐々に添加した。氷水浴を取り除いてから室温で
反応混合物を24時間攪拌しつづけた。この混合物へH
2Oを200M1づつ5回添加した。ついでH2O10
0dで2回、エーテル層を洗浄後Mg5o 、により乾
燥しまた。溶剤をロータリーエバポレーターを用いて除
去したところ透明なオイル40.59 (((CH3)
(CH2−CH)St、)単位に基き94%収率)を得
た。これをガスクロマトグラフィ分析したところ生成物
は((OH3) (CH−CH2)Sin)rnC式中
m−4,5,、6でm−4が50%、mm5が30%、
mw−5が10チ)であった。それ以上の精製はおこな
わなかった。以下の実験ではこの環状物質の混合物を使
用した。
混合物の物性データをつぎに示す: ”HNMR(90MHz、C6D、’):δ5.97(
マルチペット、5iCH−CH2,IH)、0.27 
(ブロード、シングレット、5iCH3,XI()(異
性体が存在)IR(ニー)、 on  ): 3050
(m)、 3012(W)。
2958(m)、2944(m)t  1915(W)
、1592(m)。
140t(s)、1253(s)、1075(br、s
)。
1004(s)、  952(s)、  790 (ブ
ロード、8)。
748(e)、  680(m)。
n−4の化合物を集めた(調整GC)。これの物性を示
す: ”HNMR(90MHz、C6D6)’δ5.93(−
fルチにット、5iCH−CH21H)、  0.26
(マルチペット。
5iCH3,IH)(悪性体が存在) IR(ニート、  6n):  306 o(m)、 
 301 o(w)。
2985(ml、1925(w)、1600(m)、1
408(s)。
1260(eL  1075 (br、s)、  10
08(s)+950(s)、  790(s)、  7
48(s)。
マススにクトル:m/@ Ion。
329  M  −CH3 317M  −C1(2−CH 301M  −8tCH3 289M  −81CH3CH2−CH275M  −
31C)i30 S14C工2H24Q4のための分析値:計算値:C,
41,86;  H,7,02 測定値: C,41,97゜ H,7,12 メチルビニルジクロロシランおよびメチルビニルジェト
キシ7ランの加水分解については、引用のKantor
、 S、W等によるJ、 Am、 Chem、 Soa
、。
77:1685(1955)およびHurd、 D、T
によに記載されており環状のテトラマー、はンタマー、
およびヘキサマーが純粋化合物として示されている。
撹拌棒および隔膜キャップを備えた250g/の5Oh
lenk  フラスコへ硫黄パウダー2.39 (0,
07m0l)およびTHE’  20m/e仕込んだ。
この硫黄溶液へLtBEt3H溶液140++/(TH
E”  IM溶i、  0.14 nol、  2当廿
)をシリンジによりゆっくりと加えた( Gladys
z、、 J、A、 吟による、Tetrahedron
、 35 : 2329 (1979)。 直ちに反応
がおこなわれ溶液の色は暗褐色から黄色に変った。この
反応混合物を室温で1時間攪拌した。
生成した黄色の溶液へシリンジにより(CH3)(CH
2−CH)SIC1210ttt6 (0,077mo
l)  を徐々に加えた。ついで反応混合物を室温で一
夜攪拌した。
その後トラップツートラップ蒸留により溶剤を除去した
。その残渣をヘキサン60rxtで抽出した後、混合物
を遠心分離した。上層液を排管により秤量した100m
/丸底フラスコに移した。溶剤を再びトラップツートラ
ップ蒸留により除去したところ黄色のオイル5.4g(
収率75%)が得られた。
”HNMR(90MHz、C,D、):δ5.93(マ
ルチペット、  5iCH−CH2,I H)、  0
.67 (マルチにット。
5iCH,L H) (異性体が存在)。
工R(ニー1.  cm   ):  3050(m)
、  3001(w)−2942(m)、1911(W
)、  1585(m)、  1398(θ)。
1245(a)、  1040(m)t  998(s
)、952(s)−78o(s)t  725(s)t
  651(s)、542(5’)。
マスス堅りトル:    m/e  工。n306  
M+ 291  M  −CH3 279M  −CH−CH 252M  −2(CH2−CH) La5−)リメチル−L35−)リビエルシク町トリシ
ルチアンは、これまで(CH3’) (C)12−CH
)SiCA!2とH,H8とをピリジンの存在下で反応
させることによりつくられてきた。これには1穐より多
くの異性体が存在することが確認された。
(Milard、、 M、M、等による、J、Orga
nomet。
Chem、、52:283(1973))。
これらのすべての反応は、同じ一般的な操作によりおこ
なわれた。乾燥室において撹拌棒、還流コンデンサーお
よび隔膜キャップを備えた100dの三つ口、丸底フラ
スコへ((CH3SIB、)X(CH3St)y)n(
II−12)1.89g(0,043mol)を仕込ん
だ。フラスコを乾燥室から取出し、窯素雰囲気下の5c
hlenk  マニホルド3へ取付けた。シリンジによ
り(ンゼン(40ml)を〃口えたところ透明無色溶液
が得られた。窯素の逆流に対してAよりNを固体として
添加した。溶液を室温で5分間攪拌してAIBNを溶解
させた。ついでこの溶液へ((CH3)(CH2−C)
I)SiNH)30.639 (2,5mol。
SiCH−CM2単位としては7.5 mob) k加
えり0生成溶液を20分間還流させながら少し加熱した
この溶液’t−30分間より長く加熱してはいけない、
さもなくは、不溶性のポリマーが生成するであろう。ま
た若干反応温度を低めにしてもよい。反応混合物を室温
まで冷却した。ついで溶剤をトラップツートラップ蒸留
により除去したところ、白色パウダー2.409(はぼ
理論収率)が得られた。
これはつぎのデータに基くような((CH3S10)。
、73(CH3S10)0.1(CH3SiCH2CH
2Si(CH3)NH)0.17 )であると同定され
た。このポリマーは、ヘキサン、ベンゼンおよびTHF
’に可溶であった。
’HNMR(90MH1,C,D6):δ4.04(ブ
ロード。
βiH,1)1.) 、1.06 (シンベレット、5
iCH2C)I2Si)。
0.44(ブロード、  5tCH3,5tCH2CH
2S1  および51CH3の総面積に関しては5.9
14)。
分子量(ベンゼン中での氷点降下) : 2100 ’
;j/molTGA(25〜1000℃、10℃/韻)
:黒色セラミック固体収率70チ。
Cl810.77H3,37NO,11のための分析:
計算値:C,3L21 ;H,8,76; Si、56.038 N、  4.00 。
測定値:C,31゜30;H,8,02;Si、53.
92 ; N、  4.05゜(合計: 97.29チ
) このポリマーの一般式は、((CHa S i H)x
t (CHaSi)y(CH3SiC1(2CH2Si
(CH8)NH)2)(X’ +y+2−1)である、
従って、(CH3Si)y単位がヒドロシリル化反応中
に含まれていないと仮定すれは、y値は原料における(
(CH,5IH)!−(CH3St)、)nと同じであ
ろう。この一般式において xtにより除したIIZ、
3に’および3yの合計は、その” HNMRスペクト
ルから得られた5tCH面積およびBtu面積の積分比
に等1−い。このケースでは計算値はx’=0.73で
z = 0117である。セラミック分析:N2 雰囲
気下でのサンプルの大スケール熱分解(25〜1000
℃、10℃/馴)(セラミック収率60〜68%)。残
渣の測定値:C227,70;H,0,18;St、6
8.36 ;N、  4.11゜(合計: 100.3
5チ)。算出組成物:0.03331N4+tS1C+
Q、04C(遊離炭素1.0重iチに等しい)。
X線ノクダ−回折用サンプルをチューブ炉中で窯素雰囲
気下、1500℃で熱分解した。この回折パターンは、
β−31Gの非常に広いピークだけを示し、813N4
あるいは遊離S1 のピークは示さなかった。X線ノソ
ウダー回折(d o e A ) : 2.55 (s
)tβ−SiC,2,47(8)* β−810,1,
53(w)、β−Sin0異なる溶剤中で〔(CH3S
10)X(CH3S1)y)n と異なる借の((CH
3)(Cf(2−Cf()StNH:13との反応を、
前述のような一般的な操作を用いておこなった。
得られたプレセラミックポリマーを第2表および第3表
に示す。
第 2 表 面−■−14ベンゼン     2:1   120 
  不溶η了−■−18ベンゼン=      3:1
    10   不溶汀Y−ト18−1インゼア  
   3:1     5   溶解nチート19  
ベンゼン     6:1    30  わずか溶解
万”l’−II−26はンゼン     6:1   
 20   溶解YFY−II−17−<ンセン6:1
    10   溶mηか一ト21  ヘキサン  
   6:1    40   溶解YFY−m−54
7クロヘキサン  6:1     20   溶解η
n−m−、i 5  ベンゼン     8:1   
 20   溶解YFY−111−46ベンゼン   
 10:1    120   溶解a)これらのすべ
ての反応は、理論収率であった。
b)へキサン、ベンゼンおよびTHFに対するポリマー
の溶解度。
第3表 面−n−267740021001(5、9面−ll−
176840021201゜二6.0Yl=’Y−m−
454535020401=6.9面−m−46503
5015501+6.5面−ll−156135094
01(5、1酊−II−2160410−−−−−−−
a)窯素雰囲気下、25〜1000℃、10℃/聞。
b)全量の凭のロスがあった温度。
C)ベンゼンでの氷点降下法による。
a)SiH比(5tca2an2s1.5ICH3およ
びNH)。
始によるヒドロシリル化反応 前述の方法に従って、(ンゼン20m1に溶解した((
CH3SiH)X(CI(3Si)y)n(1,2L 
O,027mol、ll−40)、AIBN  O,0
5g(0,30mmol)および((CI(3)(CH
2−CH)Sin)mo、 49 ((CH2−CH)
SICH30単位、0.0045 mal)の反応を窯
素雰囲気下で実施した。反応混合物を還流しながら10
分間、わずかに加熱した。ついで室温まで冷却し、更に
1時間攪拌した。溶剤をトラップツートラップ蒸留1c
より除去し/こところ、白色パウダー1.579(98
重′tチ)が得られた。ポリマーは、以下のデータに基
き一般式、((CHa Hi H)。、67(CH3S
i)。、1.(CH3SiCH2St(CH3)O)。
、17〕であると同定された。ポリマーは、ヘキサン、
ベンゼンおよびTHFに可溶であった。
1HNMR(90h4Hz、  CD  ): 4.0
3  (ブrx−f、  Sin。
IH)、1.06(シングレット、 5tCfi2CH
2St)。
0.44(ブロード、 81Cf(3,5tCH2C1
(2St  および5iCH3の総面積に関し6.21
−[)。
分子t : 3500 g/ m、ol。
TGA(25〜1000℃、10℃/閲):黒色セラミ
ック固体収率73%。
前述と同じ一般的な操作を用いて、異なるモル比での(
(CHsSiH)x(CH3Si)y)nと〔(CH3
)(CH2−CH)St、)。との他の反応をおこなっ
た。得られたプレセラミックポリマーを第4表および第
5表・に示す。
セラミック分析:窯素雰囲気下でのサンプルの大スケー
ル熱分解(25−1000℃、10℃/順)(セラミッ
ク収車69チ)。
残渣の測定値:C,29,65;)l、  0.31 
;Si、  62.71;0.7.25(合計99.9
チ)算出組成物: I SiC+0.I L  SiO
□+0.23C0第4表 YF’f4−60  ベンゼン   12:1   3
00     溶解YFY−■−67ベンゼン    
9:1   120     溶解YPY−11−61
ヘンセン6:1    10     溶解a)これら
の反応はすべて定量収率であ・りた。
b)へキサン、ベンゼンおよびTHFに対するポリマー
の溶解度。
第5表 面−II−6763(′11)−−−31001:6.
6面−ll−61 73 3703500 1 : 6
.2(a)  窯素雰囲気下、25〜1000’C,1
0℃/広虞0 (1))  全量の彊のロスがあった温度。
(c)  SiHの比; (StCH2CH2Stおよ
び5tcH3)。
(a)  チューブ炉中、窯素雰囲気下。
ル化反応 前述の方法に従って、×ンゼン40罰に溶解した((’
CH35tH)x(CH3Si)、)n(1,19,0
,025mole u −40)、AIBNo、05g
(0,03mmolおよびC(CH3)(CH2−CH
)SiS)30.43 g(0,0042moA’)の
反応を窯素雰囲気下でおこなった。反応混合物を還流し
ながら1o分間ゎづかに加熱した後、室温壕で冷却し、
更に1時間攪拌した。ついで溶剤を減圧下除去したとこ
ろ白色パウダー1.47g(97重量%)が得られた。
このホ1,1マーは、以下のデータに基き一般式%式% CH35)。、□7〕であると同定された。ポリマーは
、ヘキサン、ベンゼンおよびTHFK可溶であった。
’HNMR(90MUz、C,D、):δ3.98(ブ
ロード。
SiH,IH)、1.22(シ/グルL/ッ)、  5
tCH2CH2St)、0.39 (ブロード’、5t
CH3,5ICH2CI(2Siおよび5ICH3の全
面積に関し65H)分子t(ベンゼン中での氷点降下)
 : 30001J/molTGA(25〜1000℃
、 l Q ℃7Q晰) :  黒色セラミツク固体収
率6o条。
セーyミック分析:窯素雰囲気下でのサンプルの大スケ
ール熱分解(25〜1000’C,10)    ’C
/a)(セラミック収率57%)測定値: C,24,
421,0,58;St、 60.44 ;S、  l
。45゜(合!It886.89チ)前述と同じ一般的
な方法を用いて、異なるモル比で、((CH8Sj、H
)x(CH3St)y)nト(((J(3)(CH2−
CH)S4S)、  との他の反応を実施j−た。得ら
れたプレセラミックポリマーを第6表および第7表に示
す。
第6表 面−■−66ベンゼン   12:1    1200
    溶解。YFY−II−65ベンゼン   6:
1   10  溶解育了−■−68ベンゼン    
681      20    溶解a)これらの反応
のすべては定量収率であった。
b)ヘキサン、ベンゼンおよびTl(Fに対するポリマ
ーの溶解度。
面−ll−665034021001:6.5道’1−
U−656039029001:6.5(a)  窯素
雰囲気下、25〜1000℃、10℃/順、 (b)  全量のAのロスがあった温度。
fc)  SiH比: (5iCH2CH2Si、 5
iCH3)。
化反応 上述の処理法にしたがって、((CH3StEi)x(
Cfi3Si)y)n(1,1g、0.025モル、l
l−40)と、AIBN(0,059,0,30ミリモ
ル)と、((C1(2−CH)Si(CH3)2.11
2Ni((1,4尻e、5L(CH−CH2)単位で0
.012モル)とを、ベンゼン40罰中で窒素雰囲気下
で反応させた。反応混合物を、還流温度で緩やかに24
時間加熱した後、室温に放冷した。溶媒を減圧下で留去
して、白色粉末2.149(95重tチ)を得た。ポリ
マーは、以下(7)デーfi−ニ基ツイーC1式(:(
Cf(3SiH)。、54(CH3Si ) o、xe
 (CH3StCH2CH2St (CH3) 2) 
2NI() o、go ) K 一致した。このポリマ
ーはヘキサン、ベンゼンおよびTHF’に可溶性である
”HNMR(90NI2.C6D、):δ3.93(ブ
ロード、5ialH)、0.11〜1.12(ブロード
、5tCH3゜51CH2CH2,NH,総面積で18
H)。
分子“量(ベンゼン中で氷点測定法による):1500
g1モル。
熱重量分析(25〜1O00”C110C/分):黒色
セラミック固形物の28チ収量。
元素分析: Cl510.51H2,9N0.08に対する計算値2
C,39,46;a、  9.53  ;s土、46.
95;N、3.73゜ 実測値:C,41,29:H,9,08;Si、 46
.25 ;N、3.88゜ 総i−:100.5俤。
上記と同様の一般的処理法を用いて、その他の異なるモ
ル比での((CH3SIH)x(CH381)y)nと
((CH2−CH)S:t(CH3)2)2NHとの反
応を行った。
生成したプレセラミックポリマー’t、表−sおよび表
−9に示す。
表−8 (: (CH3SiH)x(C)13Si )y)nと
((CH2−C1()StYFY−TI−52ベンゼン
   3:1   20    可溶性YF’Y−II
−55トルx:y     3:1   20    
可溶性YF’Y−n−54ベンゼン   4.5:1 
  24    可溶性0a:これらの反応は総て定量
的収率を与える。
b:へキサン、(ンゼンおよびTHE’中での溶解度。
C:ガム状固形物。
表−9 熱重量分析 面−ll−52321)1120 分。
b:管炉中で窒素雰囲気下。
上述の処理法にしたがって、((CH3SIH)x(C
H3Si)y)n(1,1g、0.25モル、ll−4
0)と、AIBN(0,05g、0.30ミリモル)と
、ジビニル4ンゼン(パラ、58.5%;メタ、40チ
:オルト、痕跡量;沸点60−63℃15閣H9)C1
6ml ((CH−GHz )  単位で0.0084
モル)とを、ぺ/イン20d中で窒素雰囲気下で反応さ
せた。生成する溶液を、還流温度で緩やかに40時間加
熱した後、室温に放冷した。溶液をトラップ−ツク−ト
ラップ(trap−to−trap)蒸留によって留去
して、白色粉末1.57 ’;j (95重[0を得た
。ポリマーは、以下のデーターに基づいて、式%式% に一致した。
”HNMR(90Mflz、C6D、):δ714(プ
o −F’。
C3H411H)、3.94(ブロー)”、SiH,I
 H)、2.50(ブロード、5iCH20H2−C,
)I、、0.9H)、0.26〜1.11(ブロード、
5tCH3,5ICH2゜6H)。
分子t(ベンゼン中で氷点測定法による):1500g
1モル。
熱it分析(25〜1000℃、10℃/分):黒色セ
ラミック固形物の55%収量、TI、4=410℃。
セラミック分析:N2 雰囲気下で試料の大規模熱分解
(25〜1000℃、10℃/分)(52%セラミック
収率)。
実測値:C,51,70;H,0,54;31゜46.
48 総量:98.72チ 組成:SiC+1.6G 上記と同様の一般的処理法を用いて、その他の異なるモ
ル比での((CH3SiH)X(CH8Si)y)nと
+  CCCH2−CI)、C,H4との反応を行った
。生成したプレセラミックポリマーを、表−10および
表−11に示す。
表−10 〔(CH3SiH)X(CH8S1)y)nと((0M
2−C)I)2C6H4”1釘”!’−II−43  
 ベンゼン  6:1    40    可溶性■了
−■−44ベンゼン  3:1   40    可溶
性Yl’l’−IN−45ベンゼン  2:1    
20    可溶性■了−■−51ベンゼン  2:1
   40    不溶性■了−II−47トルエン 
 2:1    20    可溶性で了−II−44
−1ヘキナン 2:1   16    液体Y胃−I
I−44−2ヘキナン  C116不溶性a:これらの
反応は総て定電的収率を与える。
b:へキサン、ベンゼンおよびTf(F中での溶解度。
表−11 Y吊−TI−445541015001,1:O:1:
0.9(5、6Y胃−U−454840011001,
4:0.1:1:C6゜Yl;”l’−II−4954
4608402:0.5:CC5,9a:窒素雰囲気下
、25〜1000℃、10℃/分。
b=総重量損失の捧が起きる温度。
C:ベンゼン中での氷点測定法。
a  :  SIC,H4:CH2−CH:SiH:5
iCH2CH2C,H4:(SiCH。
および8zCH2)の比率。
上述の処理法にしたがって、((C)i3SiH)x(
0M3Si)y)n(2,2g、0゜05モル、ll−
22)と、AよりN(0,05g、0.30ミリモル)
と、ポリブタジェン(A’l、5.rich社、φ20
050−6.ビニル45チおよびL455チを含有’)
 0.69(CH2−CH単位で0.005モル)とを
、ベンゼン401中で窒素雰囲気下で反応させた。反応
混合物を、還流温度で緩やかに90分間加熱した後、室
温に放冷した。溶媒をトラップ−ツウ−トラップ(tr
ap−to−trap)  蒸留によって留去して、白
色粉末2.749(98重量%)を得た。
2   ”HNMR(90MBZ、C,D、): δ5
.30(プロー−ド、  CH2−CH,0,2H’)
、4.00(ブロード。
SiH,IH)、1.55.1.07 (−重線、ポリ
ブタジェンのCI(2)、 0.44.0.27  (
ブロード、 5iCH3,5iCH2CH2St、5I
CH3およびCH2の総面積について6H)。
分子量(×ンゼン中で氷点測定法による):氷点でのベ
ンゼンには十分には溶解し7ない。
熱重量分析(25〜1,000℃%10℃/分):黒色
セラミック固形物の47チ収kk、T’A=380℃。
反応 上述のAitlcen、 C,の方法に従って、I:0
6H5SIH)nを調製した。
((Cf(3)(CH2−C:H)SiNH)3(0,
38L  1.5ミリモル)と、AよりN (0,01
9)と、ベンゼン5xJとを、還流冷却器を備えた50
g/三つロフラスコに入れて、(C,H,5iH)n(
0,479、0,55ミリモル)を窒素雰囲気下で加え
、生成する溶液を60℃で30分間攪拌した。その後、
溶媒を真空中で一晩除去すると、無色の粘稠なオイル0
.719(84チ)が残った。
”HNMR(C,D6): δO〜1.2(ブロードr
、5ICH3およびNH,0,72)[)、 4.5〜5.4(ブロード”、  SiH,,0,23
EN )、5.6〜63(m、  ビニルCH,0,4
H)、6.5〜7.6 (SiC6H5,I H)。
分子量(ベンゼン中での氷点測定法)8620g1モル
熱重量分析(25〜950℃、10℃/分)ニア0チ黒
色固形物。
((CH3)(CH2−CH)SINH)3/ (C,
H5SiH,’−〇モル比を2.7から8の間で変化さ
せ%60℃における反応時間を30分間から24時間ま
で変化させて、この種の各種反応を行った。生成物は、
一つを除いて分子量が440から730の粘稠なオイル
であった。比率を2.7とし、加熱時間を24時間とす
ると、分子量が1300の白色固形生成物を生じた。
これら総ての生成物のセラミック収率(1000℃まで
の熱重量分析)は、67〜75チの間で変化した。
大規模反応(比率を上記定義の通り2.9とし、ベンゼ
ン中でAIBN(0,0259)と60℃で24時間)
では、分子量が1260の白色固形物を87チの収率で
得た。
元素分析: 実測値:C,54,24;f(、6,74;N、  4
.80 ; St、 29.03チ。
試料2.529を管炉中で1000℃にアルゴン雰囲気
下で熱分解すると、黒色セラミック性物質を68%の収
率で得た。
元素分析: 実測値:C,51,08;H,0,62;N、  10
.55 ;Si、 37.90%。
応 乾燥箱中で、攪拌子を備えた100d丸底石英フラスコ
に、((CH3Sif()x(CH3Si)y)n(m
 −1)2、29 (0,05モル)と、入IBN (
0,05g、0、30 ミ+Jモル)を入れた。ベンゼ
ン(50mj)を加えて、d +)マーと触媒を溶解し
た。この溶液に((CH3XCH2−Cf()SINH
)30.719 (o、o O2sモル)を加えた。得
られた溶液を45分間元照射した。溶媒をトラップ−ツ
ウ−トラップ蒸留によって留去し、白色粉末2.88g
(99重量%)を得た。このポリマーは、ベンゼンにほ
ぼ中程度の溶解性を示す。
”HNMR(90M T(Z−C6D6 ) ’ δ3
.98 (ブロー ト=、  St、、   IH) 
、 1.06(−重gAIStCH2CH2St )、
0.45 (ズo  h゛t  S i CH3+5I
CH2CH2Siと5tCH3との総面積に対して6、
5 H)。
分子量:ベンゼンには十分には溶解しない。
熱重量分析(25〜1000℃、10℃/分):黒色セ
ラミック固形物の54%収率、T’A=400℃。
した反応 乾燥箱中で、攪拌子を備えた100!A’丸底石英フラ
スコに、  ((CH3Sin)x(CH3St)、)
n(m −53、x−0,78,y−0,22) 1.
X 9 (0,025モル)を加えた。ベンゼン(,5
0rttl)を加えて、ポリマーを溶解した。この溶液
に((CH3) (CH2,。
CH)SiNH)30.179 (0,67ミリモル)
を加えた。生成する溶液を、30分間露光した。溶媒を
トラップ−ツウ−トラップ蒸留によって留去し、白色粉
末1.23 g(97重量%)を得た。このポリマーは
、ベンゼンにほぼ中程度の溶解性を示す。
’HNMR(90MITz、  C,D、) :δ4.
01(ブロー ド、  SzH,IH) 、 1.06
(−J鵞【線。
5tCH2CH2Si)、0.46(ブロード、5IC
H3゜5tCH2CH2Stと5tCH3との総面積に
対して6H)。
分子量(ベンゼン中での氷点測定法): 1650g1
モル。
熱重量分析(25〜1000℃、10℃/分):黒色セ
ラミック固形物の59%収率、’I”l、4=350℃
((CH3SiH)x(CH3S1)y)n(2,2L
 o、 050モル、[1−53)と、((CH3)(
CH2−CH)S1Nf()3(0,709、5iCH
−CH2単位+7)0.008モ# )と(C6H5C
oo)20.05 g(0,21ミリモル)と、(ンゼ
ン5meとの反応では、本質的に同じ処理法を用いた。
反応生成物を、窒素雰囲気下で9分間還流温度で加熱し
た。溶媒をトラップ−ツウ−トラップ蒸留によって留去
し、白色粉末2.859(988重量%を得た。
”HNMR(90に4Hz、 CD ) :δ4.01
(ブロー 0−ト’v  SiH,L H)、0.47(ブロー)
・9゜5ICH2CH2−3tと5iCH3,総面積に
対して6.75H)。
分子量(4ンゼン中での氷点測定法): 1060g1
モル。
熱重量分析(25〜1000℃、10℃/分):黒色セ
ラミック固形物の60%収率、T%−400℃。
加熱時間を更に長くすると、不溶性生成物を生じた。
((CH3SiH)x(CH3Si)y)n(2,21
0,050モ#、 m−53)と、(can3)(CH
2−CH)SiNf()3(Q、 709 、5iCH
−CH2単位の0.008モル)とH2Pt(J6・6
H20触媒溶液(イソプロピルアルコール20m1!中
に19)50リツトルと、ベンゼン50mA’との混合
物を、還流温度で18時間加熱した。溶媒をトラップ−
ツウ−トラップ蒸留によって留去し、淡黄色粉末2.7
59 (95重量%)を得た。
”HNMR(9o MH2,C,D6) :δ4.04
(ブロード、S1H,IH)、1.19 (ブロード。
5iCH2CH2−Si )、0.49(ブロード、 
 5iCH3゜5iCH2CH2Siと51CH3との
総面積に対して66H)。
分子量(ベンゼン中での氷点測定法): 2500g1
モル。
熱重量分析(25〜1000℃、10℃/分):黒色セ
ラミック固形物の57チ収率、TI、4−400℃。
上記と同じ処理法を用いて、異なるモル比の〔(CH3
SIH)X(CH3S1)yおよび((CH3(CH2
−CH)81NH)3の間の反応を行った。生成したセ
ラミック性ポリマーは、表−12に記載する。
0、AよりN(rV−8)によって開始されるポリこれ
らの反応の何れに対しても、同一の一般的処理法を用い
た。乾燥箱中で、攪拌子と、還流冷却器と、セラムキャ
ップとを備えた100−三つ日丸底フラスコに、ポリカ
ルボシラン3.5gを入れた。フラスコを乾燥箱から取
シ出して、7ユレンク・7ニホルト9に窒素雰囲気下で
取シ付けた。
ベンゼン(40d)を注射器で加えて、透明で無色の溶
液を得た。AよりN(0,059,0,30ミリモル)
を、固形物として窒素気流に逆らって加えた。この溶液
を室温で5分間攪拌して、AIBNを溶解した。この溶
液に((CH3)(CH2−CH)SiN)I)30.
59(2,0ミリモル、S i −(CH−CH2)単
位の6.0ミlJモル)を加えた。生成する溶液を、還
流温度で24時間加熱した。反応混合物を、室温に放冷
した。溶媒をトラップ−ツウ−トラップ蒸留によって留
去し、白色粉末3.95g(99重量aIJ)を得た。
このポリマーは、ヘキサン、ベンゼンおよびTHFに可
溶性である。熱重量分析曲線を、第1図に示す。
”HNMR(90MHz、  C,D6) :δ5.9
5(多重線、StC旦−C!!2.0.6 H)、4.
51(ブロード、 S1旦、 IH)、   0.84
(−It線。
StC旦2C旦2S1)、0.25.0.16 (ブロ
ー自SIC旦、および5iCH2S1. StCl(2
GM2St と5ICH5と5t(H2S1  との総
面積に対して8、5 H)。
分子t< 纜ンゼン中での氷点測定法): 1350g
1モル。
熱重量分析(25〜1000℃、10℃/分):黒色セ
ラミック固形物の79チ収率。
融点(真空中での封入毛細管)1145℃で軟化し、1
60〜170℃で融解。
分析値: 実測値: C,29,70;H,8,03;Si、 6
0.13 ;N、 1.80 ;o、 0.66゜ 総t:100.32%。
アルゴン雰囲気下で大規模熱分解すると、黒色セラミッ
ク固形物(25〜1000℃、10℃/分)を76チの
収率で得た。
分析値: 実測値: C,36,70;H,0,71;Si、 6
1.07 ;N、 0.36 ;o、 1.44゜ 総量:100.28%。
組成: I S1G + 0.450  +  0.0
038t3N、+0、02310□ (遊離炭素の11
.3重量%に相当) 上記と同様の一般的処理法を用いて、ポリカルボシラン
と異なる量の((CH3)(0M2−C)1)SiNH
)3との間の反応を行った。生成したプレセラミックポ
リマーを、表−13および表−14にまとめている。
表−13 のヒドロシリル化反応1 ηi’f−tv−i o  はンゼン    1.17
:1    24   可溶性YFY−IV−2ベンゼ
ン    3.50:1     20   可溶性η
了−[V−8ベンゼン    7.00:1     
24   可溶性a:これらの反応は総て定量的収率を
与える。
1):へキサン、ベンゼンおよびTHF中での溶解度。
表−14 YFY−IV−107150055Q   2,4.l
:13.7YF’l’−[V−2785309001+
1:9.6万”i’−IV−87962013500,
6:1:8.5a:アルゴン雰囲気下、25〜1000
℃、10℃/分。
b:ベンゼン中での氷点測定法。
’ : 5ICH−CH2:S1H:(StCH2−C
H2St、 5tCH3および5iCH2Si)の比率
d:重量損失のAが起こった温度。
上述の処理法にしたがって、ポリカルボ7ラン(3,5
g)と、AよりN (0,059,0,30ミリモル)
と、((CH3)(CH2−CH)Sin)mo、 5
9((CH3) (CH2−CH)310  単位のO
,OO56モル)とを、ベンゼン50mA’中で窒素雰
囲気下で反応させた。生成する溶液を、還元温度で緩や
かに18時間加熱した。反応混合物を室温に放冷し、更
に1時間攪拌した。溶媒を、トラップ−ツウ−トラップ
(trap−to−trap)  蒸留によって留去し
て、白色粉末3.989(99重量%)を得た。ポリマ
ーは、ヘキサン、ベンゼンおよびTHE’に可溶性であ
る。ポリマーのTGA曲線を第2図に示す。
”HNMR(90Mllz−C6D6) ’δ5.96
(多重線、S 1(H7C見2,0.5H)、4.57
(ブロード、 SiH,tH)、0.84(−重線。
Si(:)N2CH2Si)、0.27 (プo −白
5iCHaおよび5ICH2St、StC見2C旦2S
1、Slす、および5tep2st  の総面積に対し
て8−8 H)。
分子量(ベンゼン中で氷点測定法による):16609
1モル。
熱重量分析(25〜1000℃、10℃/分):黒色セ
ラミック固形物の80チ収゛計。
融点(真空中での封入毛細管):2ρO℃で軟化し、2
00〜230℃で融解。
分析値: 実測値: C,41,54;H,7,85;Si、48
.86;0.1.96゜ 総量:100.2iチ アルゴン雰囲気下で試料の大規模熱分解を行うと、黒色
セラミック固形物を78チの収率で得た(25〜100
0℃、10℃/分)。
分析値: 実測値: C,36,07;H,0,89;Si、 6
1.04 ;0.2.51゜ 総量:100.51チ 組成:1sic+0.43c+0.04sio□(遊離
炭素の10.8重量%に等しい)。
上記と同様の一般的処理法を用いて、その他の異なるモ
ル比でのポリカルボシランと、((CH3)(CH2−
CH)St、)。との反応を行った。生成したプレセラ
ミックポリマーを、表−15および表−16に示す。
表−15 面−IV−4ベンゼン   3.5 : 1     
  19    可溶性汀”I’−IV−13ベンゼン
    7:1      18   可溶性a:これ
らの反応は総て定量的収率を与える。
b:ヘキサン、ベンゼンおよびTHF’中での溶解度。
表−16 ■’Y−mV−4  82  650 1200  1
:1:6.2ηi’Y−IV−13806401660
0,5:1:6.6’ :i素g囲気下、25〜100
0℃、10℃/分。
b=ベンゼン中での氷点測定法。
’ : 5iCH−CI(2:SiH:(StCH2C
H2St、 5tCH2Stおよび5ICH3)の比率
上述の処理法にしたがって、ポリカルボシラン(3,5
9)と、入より N (0,0511)、0.30ミリ
モル)と、ポリメタジェン(Aldrich社、≠20
050−6、ビニル45多および1,4を55チ含有)
 0.869(CH2−CH単位の0. OO7モル)
とを、インイン40t/中で窒素雰囲気下で反応させた
。生成する溶液を、還流温度で緩やかに20時間加熱し
た。反応混合物を、室温に放冷した。溶媒をトラップ−
ツク−トラップ蒸留によって留去して、白色粉末4.3
59(95重tS収率)を得た。このポリマーは、ベン
ゼンに可溶性である。このポリマーのTGA曲線を第3
図に示す。
”HNMR(90MHz、 C6D6) :δ5.44
 、5.07(ブロード、  C!!2−C豆、2H)
、4.50(ブロード、  SiH,IH)、 2.0
8,1.30(−重線、ポリブタジェンのCH2,2,
4H)、0.84(−重線、51Cf(2CH2S1)
、0.24(ブロード、SIC嬰3e 51CH2C見
2S1. sic■3およびS1C旦2S1  の総面
積について11H)。
分子t(ベンゼン中で氷点測定法による):12409
1モル。
融点(真空中での封入毛細管):105℃で軟化し、1
65〜185℃で融解し、300℃まではそれ以上に変
化しない。T G A、 (25〜1000℃、10℃
/分):黒色セラミック固形物の62チ収率、Tμm5
10℃。
上述の処理法にしたがって、ポリカルボシラン(3,5
g)と、AよりN(0,059,0,30ミリモル)と
、((CH3)2(CH2−CH)Si)2NH3,2
9とを、ベンゼン50m/中で窒素雰囲気下で反応させ
た。生成する溶液を、還流温度で緩やかに36時間加熱
した。反応混合物を室温に放冷した。溶媒をトラップ−
ツウ−トラップ蒸留によって留去して、白色粉末4.4
3g(66重量%)を得た。この4 リマーは、ヘキサ
ン、ベンゼンおよびTHFに可溶性である。
”HNMR(90MHz、 C6D6) :δ5.93
(多is、5iCH−CH2,I H)、4.50(ブ
0− )−”。
SIH,IH)、0.84.0.24.0.13 (ブ
ロード、  SiC旦3t SICせ2Cせ2.5iC
Q2SiおよびNH1総面積については18H)。
分子量(ベンゼン中で氷点測定法による)=6 s o
 ’ij1モル。
融点(真空中での封入毛細管):110℃で軟化し、1
25〜160℃で融解し、300℃まではそれ以上に変
化しない。
TGA(25〜’1000℃、10℃/分):黒色セラ
ミック固形物の65チ収率、Tl4−360℃。
上記の実験と同様に、ポリカルボシラン1.759と、
ポリシラン1.759と、シクロ−((CH3)(CH
2−CH)SiNH)30.59 (2,0ミリモル)
とを、AIBNo、05 g(0,30ミリモル)の存
在で、(74740m1中で還流温度で(窒素雰囲気下
で)24時間反応させた。溶媒を減圧下で留去すると白
色粉末3.849(96%)を生じ、この粉末は、ヘキ
サン、ベンゼンおよびTHF’に可溶性である。
1HNMR(9o Mllz、 C,D、): a 5
.04.4.60.4.03(ブロード、St、、IH
)、1.07(,5iCH2CH2Si ”)、0.4
2,0.27(ブロード、310M3および5ICH2
St )、SiCH2CH2Si、5ICH3,81す
2S1およびN月の総面積については&4f()。
分子量(−!、ンゼン中で氷点測定法による):116
091モル。
TGA(25〜1000℃、10℃/分):黒色セラミ
ック固形物の66%収率。
融点(真空中での封入毛細管)8270℃で軟化し、3
50℃までは融解しない。
分析値: 実測値: C,35,82;H,8,5I ;Si、 
54.77;N、7.09チ。
試料を管炉中でアルゴン雰囲気下で大規模熱分解すると
、黒色セラミック性物質を58%の収率で得た。
分析値: 実測値: C,28,o5 ;H,0,55;St、 
64.18 ;N、1.83チ。
計算した組成: I S1G+ 0.015t3N4+
 0.07 C(1,8重tチの炭素)。
添加漏斗と、還流冷却器と、ガス取シ入れ口/取り出し
口糸と、ゴム栓と、磁気攪拌子とを備えた250m/7
ラスコに、(2n −BuLi または21−Pr2N
Lt + HC−CHから得られる)LlCmCLi 
158ミリモルとTHF40t/とヘキサン130m/
との懸濁液を入れた。溶媒を減圧で留去して、TH1’
35dに置き換え、次いでaH3s:ta(J21(3
,5m/(157ミリモル)を滴下漏斗から室温で窒素
雰囲気下で少しずつ加えた。水浴を用いて、発熱反応を
抑制した。添加が終わったら、混合物を還流温度で4時
間加熱した。生成する白色沈殿を含む黄褐色溶液を、(
CH3)25tHClの5WI!!(45,4ミリモル
)で処理した。次いで、このよう液を更に1時間還流温
度で加熱した。濾過した後、減圧で濾液から揮発成分を
留去させた。残渣をトルエンで抽出して、抽出物を濾過
し、減圧で留去した。褐色の粘稠な液体が残った( 1
0.3L LiC2Liに対して95%収率)。
分子−tcRンゼン中での氷点測定法):430゜セラ
ミック収率(TGAによる) : 77.4%、黒色の
脆い固形物を生成する。
分析値: (” HNMR積分に基づイタ)計算値:C,52,0
9;H,7,28; Si、  40.61゜実測値:
 C,51,44;)l、 6.46 ;si、 35
.76チ” HNMR(C,D、 ) :δ −0,1
2−0,25(Sick(。
3.6f()、1.95(−CH,0,214)、3.
95−4.35 (SiH,IH)。
工旦(KEr):3300,3000,2890゜21
90.2060,1415,1265゜1075.95
5.cm−”。
CI(3SiHC12と(CH3) 2S tHclと
を一緒に加えるか、またはこの方法を用いて(CH3)
25iH(J(KOP−1−70)  の代わシに(C
1(3) 2(CH2−CH)S1C1を用いると、極
めて似九結果を得た。
上記に詳細に記載し九のと類似の別の実験において、(
C)I3(H)stc、、c)n  の熱分解で80%
の収率で得たセラミック材料の分析値は、以下のように
なった。
C,53,15;Si、46.35゜ 組成: l sic+ 1.68 G。
(2)オルガノマグネシウム法(KOP−m−2)閤様
な方法を用いて、THF/ヘキサン/ヘプタン混合物中
で、(MgC■C)n  を当量の0M3SiCHC1
2と反応させた後、幾らかの(C)i3) 2SiHC
1と反応させた。橙色の粘稠な生成物<SOS収率)で
得、分子量は900,1000℃までの熱分解時のセラ
ミック収率は81チであった。NMRスペクトルは、(
CH3(H)SIC−C)n  処方と一致した。
”HNMR(C6D6) : a O,02,0,06
(StCH3)、2.04 (HC,C,虜跡量)、4
.3 (、5iH);5ICH3プロトンのSiHプロ
トンに対する比率: 3.7 : 1 ((C)I3)
2SiHCl封入剤の添加による)。
13CNMR(C,D、 ) ニ ー 3.8 (SiCH3)、 96.69 (HC−
C,trace)。
109.44.(C■C)。
添加漏斗と、還流冷却器と、ガス取り入れ口/取り出し
口糸と、ゴム栓と、磁気攪拌子とを備えた500++t
/フラスコに、(i −P r 2 N L i 十H
C−Cl(から得られる) LlCmCLi 221ミ
リモルをTl(F300mj中の懸濁液として加えた。
メチルビニルジクロロ7ラン(221ミリモル)を、窒
素雰囲気下で攪拌しながら少しずつ加えた。発熱反応が
生じた。反応混合物を還流温度で24時間加熱した後、
(CH3)251HC14虎tを加えた。減圧で、揮発
成分を留去させ、残渣にヘキサン200m/を加えた。
生成するスラリーを、水200ytlで処理した。有機
層を乾燥し、減圧で蒸発させると、分子4&l 000
の黄褐色ワックス17.7 g(85チ)が残り、10
00’C−1で熱分解するとセラミック生成物を76チ
の収率(TGAによる)を得た。
分光学的特性は、予想される構造((CH3)(CH2
−CH)SiC−C)n  を支持した。
1HNMR(C,D6) :δ0.18 (SiCH3
)、 2 (HC−C;痕跡@ ’) 、 5.9 (
SiC1i、、CH) ; CH3/CH2m−CH比
=1゜ 13CNMR(C,D6) : C−1,46,−1,
78(SiCH3)、 96.9 (H(,5)、 1
10.6 (−C−C−)。
132.3.136.0 (CH2−Cl)。
(2)オルガノマグネシクム法(KOP−tll−3)
本質的に同様な方法を用いて、(THF/ヘキサン/ヘ
プタン混合物中でBu 2M9 + HC−CHから得
られる)CM9C−C)nl 69ミリモルを当量のC
H3(CH2−CH)31CJ2  と反応させた。反
応混合物を還流温度で18時間加熱した。上記の第U(
1)項と同様に処理した。1000℃(TGA)  の
熱分解で83チセラミツク生成物を与える分子量110
0の黄色ワックスが84%の収率で得られた。融点、4
5〜50℃。 Hおよび CNMRスペクトルは、上記
の第U(1)項と同様に、((CH3)(OH2−CH
)S1C−C)n構造を支持した。
V、A、よりHの存在での((CH3SiH)X(CH
3S1)y)n還流冷却器と、ガス取υ入れ口/取り出
し口糸と、ゴム栓と、磁気攪拌子とを備えfc 50 
m/フラスコに、上記の第BおよびT項で記載の方法で
調製した2つのポリマーと4ンゼ720m1’Q入れて
、溶液を5分間攪拌した。AIBN(50■を加えた後
、混合物を還流温度で、窒素雰囲気下で攪拌した。黄褐
色から暗赤色に混合物の色が変わった。
ベンゼンを留去すふと、ポリマー性残渣が残った。
更に詳細については、表−17および18に示す。
表−17 KOP−1−571,64:1 50分間 定量的 ガ
ラス状83%1 : 6.9)COP−1−583,5
:1 50分間 定量的 ガラズ犬 75チ 1:6.
5KOF−1−741:1 16時間 定量的 粉末8
5.7チ1ニア、IKOF−1−752:1 16時間
 定量的 粉末88.2チ1:9.4*A対Bにおける
モル比SiH結合/C=C結合に基づいて計算。
AのTGA:54.2チ BのTGAニア8.5嗟 表−18 KOP−t−612: 190分間定量的粘稠す78.
9%   1:4.7ガラ、ス伏 KOP−t−624: l 90分間定量的粘稠な 7
5.5チ  l : 5.8ガラ、ス伏 KOP−1−637,3:190分間定量的粘稠な 6
7.8チ  1(5、1ガラ、ス伏 KOP−ff−112:1 3時間定量的ガラス状 8
8.2チ −KOF−II−102: l 13時間定
量的粉末 84.5% −KOP−TI−42: 11
5時間定池杓粉末 87.6チ 1:4.5*表−17
の脚註を参照。
反応 一般的方法 還流冷却器と、ガス取り入れ口/取り出し口糸と、二つ
の栓と、攪拌子とを備えた50!A’フラスコに、第B
およびU項で上記のように調製した二種類のベリマーを
加えた。ベンゼン(20x1?)とAよりN(60mq
)を加え、次いで溶液を還流温度で窒素雰囲気下で所定
の時間攪拌、加熱した。
次いで、揮発成分を、減圧で留去したところ、混成ポリ
マーが残った。実験結果を、表−19に示す。
表−19 A−((MeSiH)、8(MeSi)。、2)n T
GA:  25’%  MW  650B=(Me■1
Si−C−C)      TGA:  72%  M
W 800モル比 還流              
セラミックKOP−IN−3945:1 2時間不溶性
、橙色の脆い 79.1%固形物 KOP−n−4034811時間不溶性、黄色粉末  
82.1%KOP−■−4110:1 1.5時間可溶
性、黄色の非常 66.2%に粘稠*** KOP−m−81810,5時間可溶性、黄色の粘稠 
878チKOP−TI)9  2:1 0.5時間僅7
5り可溶性の黄色 83.7チ固形物 KOP−111−103:l  O,5時間不溶性の黄
色粉末  82,9チKOP−[1−131:l  O
,25時間可溶性の黄色で粘稠 86.O%KOP−m
−142:1 0.25時間可溶性の黄色で粘稠 84
.2チ*:   表−17の脚註を参照。
**:   定量的に得られた。
***二  分子量、950゜ X、セラミックの応用 2+)マーTl1−2を、AよりHの存在で、還流ベン
ゼン中で、((C)i3SiH)X(CH3S1 )y
)。とシクロ−((0M3)(CH2−CH)SiNH
)3(SiH/5iCH−CH20モル比−6)から調
製した。
1、 セラミック繊維の調製 乾燥箱において、m−2、実施例Eの試料(■−26の
大規模な調製)はぼ1gを、トルエン(約10m1)に
溶解した。溶液を、真空中で繊維状のガム状物質が得ら
れる迄濃縮した。ガム状固形物中に浸漬したガラス棒で
、繊維を約1フイートの長さに伸ばした。繊維を素早く
溶融シリカ坩堝に移し、これを石英管炉中に入れて、窒
素を流した。ポリマー繊維を次に、1ooo’eまで1
0℃/分で熱分解することによってセラミック繊維に転
換した。この操作で、黒色セラミック繊維を生成した。
数本の繊維のSEM顕微鏡写真を取った。
ポリマー(3,09,m−2)を、3.9譚x1.3c
m  x  3.7cm  の矩形鋼製ダイに入れて、
5000ポンドで5分間−軸プレスした。このポリマー
棒を袋詰めにして、4QOOOpeiで1分間平衡的に
プレスした。この試料を、管炉中の石英管に入れて、1
0℃/分で加熱して、ioo。
℃で窒素雰囲気下で熱分解した。黒色の矩形棒を得た。
このセラミック棒は、元の重量の49%を損失した。こ
のセラミック棒の81M顕微鏡写真を得た。
ポリマー(TV−8,2,25g)を、3,9譚 Xl
、3cm  x  3.7cmの矩形の鋼製ダイに入れ
て、5oooJンドで5分間−軸プレスした。このポリ
マーを次に、袋詰めにして、4QOOOpsiで1分間
平衡的にプレスした。この試料を、石英製管炉中に入れ
て、10℃/分で加熱して1000℃でアルゴン雰囲気
下で熱分解した。元の重量の26チを損失した黒い発泡
生成物を得た。
且 ポリマー(rV−13,2,259)を隼3.9−x 
 1.3cWLX  3.7cmの矩形の鋼製ダイに入
れて、5000.t?ンドで5分間−軸プレスした。こ
Oポリマーを次に、袋詰めにして、4へ000psiで
1分間平衡的にプレスした。この試料凱石英製管炉中に
入れて、10℃/分で加熱し7て1000℃でアルゴン
雰囲気下で熱分解した。元の重量の25チを損失した黒
い発泡性生成物を得た。
3、  SiC粉末複合体の調製 乾燥箱中で、微細なβ−SiC粉末2.49と、ポリマ
ー([1−2)0.69(20重11%)を、100t
ttl丸底フラスコ中に入れた。このフラスコを乾燥箱
から出して、トルエン10rrtlを入れ、セラミック
粉末を超音波で1時間分散させた。トルエンを0−夕I
J−・エバポレーターで留去して、セラミック粉末/ポ
リマーを真空中で更に約30分間乾燥した。残置をフラ
スコから取り出し、孔付と杵で軽く摩砕した。粉末を、
3.9cm  x  1.3mX  3.7cmの矩形
の鋼製ダイに入れて、5000ボンドで5分間−軸プレ
スした。次いで、セラミック粉末の棒を袋詰めにして、
4QOOOpsiで1分間平衡的にプレスした。試料を
管炉中の石英管中に入れて、10℃/分で加熱して10
00℃まで窒素雰囲気下で熱分解した。元の重量の9%
を損失した若干圧縮したセラミック棒を、形成した。セ
ラミック棒のSEM顕微鏡写真を撮った。
【図面の簡単な説明】
第1図は、ポリカルボシランと((CH3)(CH2−
CH)SiNEi)3  とのヒドロシリル化反応によ
りつくられたポリマー(YFYrv−8>  のTGA
曲線であり、 第2図は、ポリカルボシランと((CH3)(CH2−
CH)S 1o )m (m−4p  5または6)と
のヒドロシリル化反応によりつくられたポリマーYFY
 IV−13)のTGA曲線であり、 第3図は、ポリカルボシランとポリブタジェンとのヒド
ロシリル化反応によりつくられたポリマー(Y14 I
V−5)のTGA曲線である。 1+i、ニー− (外5名) 図面の浄VC内容lこ変更なし) FIG、 l     温庵3°0′ FIG、2       ” 塵  (°C)、1.養
 (0C) FIG、3

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1、)(a)多数のS_1−H官能基を有する有機ポ
    リシランと少なくとも2個のアルケニル基を含有する充
    分な量の有機、オルガノシリコンあるいはオルガノ元素
    化合物とを混合すること; (b)(a)工程の混合物を反応させ、それにより該プ
    レセラミックオルガノシリコンポリマーをつくることか
    ら成ることを特徴とする、プレセラミックオルガノシリ
    コンポリマーの製造方法。 (2、)有機ポリシランが、一般式〔(RS_1H)_
    x(RS_1)_y〕、(式中、x+y=1、Rは、1
    〜約6個の炭素原子を有する低級アルキル基、2〜約6
    個の炭素原子を有する低級アルケニル基、6〜約10個
    の炭素原子を有する置換あるいは非置換低級アリール基
    、かつ、nが、1より大きい整数)のオルガノポリシラ
    ン、および一般式、 〔RS_1(H)−(ORG〕_q(Rが、H、1〜約
    6個の炭素原子を有する低級アルキル基、3〜約6個の
    炭素原子を有するシクロアルキル基、あるいは6〜約1
    0個の炭素原子を有する置換あるいは非置換低級アリー
    ル基、(ORG)が、二官能アルキレン、アルケニレン
    あるいはアルキニレン基、かつ、qが、1以上の整数)
    の多数の繰り返し単位を有するポリカルボシランから成
    る群から選ばれる、特許請求の範囲第1項記載の方法。 (3、)有機ポリシランが、オルガノポリシランであり
    、かつ、混合物がそのままでかあるいは有機溶剤中で反
    応される特許請求の範囲第2項の方法。 (4、)(b)工程の反応が、反応性フリーラジカル生
    成により開始される特許請求の範囲第1項記載の方法。 (5、)更に、(a)工程の混合物へ適当なエネルギー
    添加により反応性フリーラジカルを提供する触媒を添加
    することから成る特許請求の範囲第4項記載の方法。 (6、)ポリカルボシランの繰り返し単位が、一般式〔
    R^aSi(H)−(CH_2)_q〕、〔R^aSi
    (H)−C=H〕、〔R^aSi(H)−C=C〕、お
    よびこれらの混合物から成る群から選ばれる特許請求の
    範囲第2項記載の方法。 (7、)フリーラジカル生成用エネルギー源が加熱であ
    る特許請求の範囲第5項記載の方法。 (8、)触媒の不存在下において、フリーラジカル生成
    用エネルギー源が、紫外線照射である特許請求の範囲第
    4項記載の方法。 (9、)フリーラジカル触媒が、パーオキシドおよびア
    ゾ化合物である特許請求の範囲第4項記載の方法。 (10、)アゾ化合物が、アゾビスイソブチロニトリル
    である特許請求の範囲第9項記載の方法。 (11、)パーオキシドが、有機パーオキシドである特
    許請求の範囲第9項記載の方法。 (12、)有機パーオキシドが、ベンゾイルパーオキシ
    ドである特許請求の範囲第11項記載の方法。 (13、)更に、(a)工程の混合物へ、ヒドロシリル
    化反応に有効な転移金属触媒を添加することから成る特
    許請求の範囲第4項記載の方法。 (14、)転移金属触媒が、H_2PtCl_6・6H
    _2Oである特許請求の範囲第13項記載の方法。 (15、)ポリカルボシランが、一般式〔R^aSi(
    H)−(CH_2)_q〕の繰り返し単位を少なくとも
    約25mol%、有する特許請求の範囲第2項記載の方
    法。 (16、)混合物が、70〜90℃まで加熱される特許
    請求の範囲第7項記載の方法。 (17、)アルケニル基が、2〜6個の炭素原子を有す
    る低級アルケニル基であり、かつ、(b)工程の反応が
    、反応性フリーラジカルにより開始される特許請求の範
    囲第3項記載の方法。 (18、)アルケニル基が、CH_2=CHである特許
    請求の範囲第17項記載の方法。 (19、)オルガノポリシランおよび少なくとも2個の
    アルケニル基を含有する有機、オルガノシリコンあるい
    はオルガノ元素化合物が、オルガノポリシラン中のSi
    H対アルケニル含有化合物中のアルケニル基のモル比が
    、3より大きくなるような量で添加される、特許請求の
    範囲第2項記載の方法。 (20、)モル比が、約6以上である特許請求の範囲第
    19項記載の方法。 (21、)アルケニル基含有化合物が、少なくとも3個
    のアルケニル基を含有する環状有機化合物である特許請
    求の範囲第1項記載の方法。 (22、)アルケニル含有化合物が、少なくとも3個の
    アルケニル基を含有する環状有機化合物、少なくとも2
    個のアルケニル基を含有するオルガノシリコン化合物お
    よび少なくとも2個のアルケニル基を含有するオルガノ
    元素化合物から成る群から選ばれる、特許請求の範囲第
    2項記載の方法。 (23、)オルガノシリコン化合物およびオルガノ元素
    化合物が、少なくとも3個のアルケニル基を含有する、
    特許請求の範囲第22項記載の方法。 (24、)有機ポリシランが、低級アルキル基を含有す
    る特許請求の範囲第1項記載の方法。 (25、)RおよびR^aが、低級アルキル基である特
    許請求の範囲第2項記載の方法。 (26、)RおよびR^aが、低級アルキル基である特
    許請求の範囲第18項記載の方法。 (27、)RおよびR^aが、CH_3である特許請求
    の範囲第25項記載の方法。 (28、)RおよびR^aが、CH_3である特許請求
    の範囲第26項記載の方法。 (29、)qが、3以下である特許請求の範囲第2項記
    載の方法。 (30、)qが、1で、かつ、xが、1である特許請求
    の範囲第2項記載の方法。 (31、)ポリマー生成物が、窒素あるいは不活性ガス
    雰囲気下でセラミック生成物をつくるために充分な時間
    および充分な温度で熱分解される、特許請求の範囲第1
    項記載の方法。 (32、)ポリマー生成物が、窒素あるいは不活性ガス
    雰囲気下でセラミック生成物をつくるために充分な時間
    および充分な温度で熱分解される、特許請求の範囲第2
    項記載の方法。 (33、)ポリマー生成物が、窒素あるいは不活性ガス
    雰囲気下でセラミック生成物をつくるために充分な時間
    および充分な温度で熱分解される、特許請求の範囲第2
    5項記載の方法。 (34、)有機あるいはオルガノシリコン化合物が、〔
    R^1_2(A)Si〕_2Y、〔R^1(A)_2S
    i〕_2Y、〔(A)_3Si〕_2Y、〔R^1AS
    iY)_n、R^1(A)_3_−_nSi−Si(A
    )_3_−_qR^1_q、(A)_4Si、環状−〔
    R^1(A)SiY^1〕_m、および環状−〔(A)
    _2SiY^1〕_m(式中、Y=O、S、NH、NR
    ^2、CH_2、CH_2CH_2、▲数式、化学式、
    表等があります▼(■、■、あるいは■)およびその他
    の有機架橋;nおよびqは、0、1あるいは2であり、
    nは、qと同じか又は異なるものであり;Y^1はO、
    S、NH、NR^2、CH_2、CH=CH、C=Cで
    あり;Y^1が、NH、NR^2、S、およびCH_2
    の場合、mは、2以上、Y^1が、0の場合、mは、3
    以上であり;R^1は、1〜6個の炭素原子を有する置
    換あるいは非置換低級アルキル基、あるいは6〜10個
    の炭素原子を有する置換あるいは非置換低級アリール基
    であり、R^2は、R^1として定義したものであり、
    同じか異なるものであり;かつ、Aは、置換あるいは非
    置換ビニル基、あるいは置換あるいは非置換アリル基で
    ある)から成る群から選ばれる特許請求の範囲第26項
    記載の方法。 (35、)Aが、ビニル基である、特許請求の範囲第3
    4項記載の方法。 (36、)アルケニル基−含有オルガノシラン化合物が
    、 環状−〔(CH_3)(CH_2=CH)SiO〕_4
    、環状−〔(CH_3)(CH_2=CH)SiO〕_
    5、環状−〔(CH_3)(CH_2=CH)SiO〕
    _6、環状−〔(CH_3)(CH_2=CH)SiO
    〕_n(nは、4以上)の混合、 環状−〔(CH_3)(CH_2=CH)SiS〕_3
    、環状−〔(CH_3)(CH_2=CH)SiNH〕
    _3、環状−〔(CH_3)(CH_2=CH)SiN
    H〕_4、および、環状−〔(CH_3)(CH_2=
    CH)SiNH〕_n(nは、3以上)の混合 から成る群から選ばれる特許請求の範囲第27項記載の
    方法。 (37、)一般式〔(RS_iH)_x(RSi)_y
    )_nのオルガノポリシランをポリカルボシランととも
    に添加し第三プレセラミックポリマーをつくる特許請求
    の範囲第2項記載の方法。 (38、)オルガノポリシランの熱分解により得られる
    過剰のシリコンが、ポリカルボシランおよびアルケニル
    含有有機あるいはオルガノシリコン化合物の熱分解によ
    る過剰の炭素と反応するような充分な量でオルガノポリ
    シランが添加され、それにより遊離の炭素あるいはシリ
    コンの量が最小となる、特許請求の範囲第37項記載の
    方法。 (39、)有機ポリシランが、オルガノポリシランであ
    り、かつ、添加される有機あるいはオルガノシリコン化
    合物の熱分解で得られる過剰の炭素が、オルガノポリシ
    ラン化合物の熱分解からの過剰のシリコンと反応するよ
    うな充分な量でアルケニル含有化合物が添加され、それ
    により実質上遊離炭素あるいは遊離シリコンが含まれな
    いセラミック生成物がつくられる、特許請求の範囲第2
    項記載の方法。 (40、)シリコン化合物におけるアルケニル基の他の
    有機置換基がCH_3である、特許請求の範囲第38項
    あるいは第39項記載の方法。 (41、)オルガノポリシランが、〔(CH_3SiH
    )_x(CH_3Si)_y)_nである特許請求の範
    囲第40項記載の方法。 (42、)オルガノポリシランが、〔(CH_3SiH
    )_x(CH_3Si)_y)_nであり)かつ、シリ
    コン化合物におけるアルケニル基の他の有機置換基がC
    H_3である、特許請求の範囲第39項記載の方法。 (43、)すべての非−アルケニル基がCH_3である
    、特許請求の範囲第38項記載の方法。 (44、)混合物が70〜90℃に加熱される特許請求
    の範囲第43項記載の方法。 (45、)ポリマーが窒素あるいは不活性ガス流下、約
    1000〜1300℃で熱分解される、特許請求の範囲
    第44項記載の方法。 (46、)特許請求の範囲第1項記載の方法によりつく
    られるプレセラミックポリマー。 (47、)特許請求の範囲第2項記載の方法によりつく
    られるプレセラミックポリマー。 (48、)特許請求の範囲第6項記載の方法によりつく
    られるプレセラミックポリマー。 (49、)特許請求の範囲第15項記載の方法によりつ
    くられるプレセラミックポリマー。 (50、)特許請求の範囲第27項記載の方法によりつ
    くられるプレセラミックポリマー。 (51、)有機ポリシランがポリカルボシランである、
    特許請求の範囲第4項記載の方法。 (52、)第三プレセラミックポリマーをつくるために
    さらに一般式〔(RSiH)_x(RSi)_y)_n
    のオルガノポリシランが添加される、特許請求の範囲第
    51項記載の方法。 (53、)特許請求の範囲第52項記載の方法によりつ
    くられるプレセラミックポリマー。 (54、)ポリカルボシランポリマーが、一般式〔R^
    aSi(H)−(CH_2)_q〕の繰り返し単位を少
    なくとも約35モル%を有する特許請求の範囲第4項記
    載の方法。 (55、)ポリカルボシランポリマーが、一般式〔R^
    aSi(H)−(CH_2)_q〕の繰り返し単位を少
    なくとも約50モル%有する特許請求の範囲第4項記載
    の方法。 (56、)オルガノ元素化合物が、ポリアルキレン化合
    物である、特許請求の範囲第26項記載の方法。 (57、)有機、オルガノシリコンあるいはオルガノ元
    素化合物が、一般式−〔−R^1(Un)SiC=C−
    〕−_n(式中、R^1が1〜6個の炭素原子を有する
    置換あるいは非置換低級アルキル基、あるいは6〜10
    個の炭素原子を有する置換あるいは非置換低級アリール
    基、Unが不飽和基、および、nが1以上の整数である
    )のポリビニル化合物である、特許請求の範囲第26項
    記載の方法。 (58、)ポリカルボシランの繰り返し単位の少なくと
    も約25モル%が、〔R^aSi(H)−(CH_2)
    _q〕、〔R^aSi(H)−CH=CH〕、および〔
    R^aSi(H)−C=C〕から成る群から選ばれる特
    許請求の範囲第4項記載の方法。 (59、)ポリカルボシランが、一般式〔RSi(H)
    −C=C〕の繰り返し単位の少なくとも約25モル%を
    含有する、特許請求の範囲第58項記載の方法。 (60、)ポリカルボシランが、一般式〔R^aSi(
    H)−CH=CH〕の繰り返し単位の少なくとも約25
    モル%を含有する、特許請求の範囲第56項記載の方法
    。 (61、)R^1が、CH_3で、かつUnが、(CH
    _2=CH)である特許請求の範囲第57項記載の方法
    。 (62、)ポリカルボシランポリマーが、一般式〔R^
    aSi(H)−C=C〕の繰り返し単位の少なくとも約
    35モル%を有する、特許請求の範囲第4項記載の方法
    。 (63、)ポリカルボシランポリマーが、一般式〔R^
    aSi(H)−CH=CH〕の繰り返し単位の少なくと
    も約35モル%を有する特許請求の範囲第4項記載の方
    法。 (64、)ポリカルボシランが、一般式〔R^aSi(
    H)−CH=CH〕の繰り返し単位の少なくとも約35
    モル%含有する、特許請求の範囲第58項記載の方法。 (65、)ポリカルボシランが、一般式〔R^aSi(
    H)−CH=〕の繰り返し単位の少なくとも約50モル
    %を含有する、特許請求の範囲第64項記載の方法。
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