JPS62201712A - ベルト搬送位置決め装置 - Google Patents
ベルト搬送位置決め装置Info
- Publication number
- JPS62201712A JPS62201712A JP3932286A JP3932286A JPS62201712A JP S62201712 A JPS62201712 A JP S62201712A JP 3932286 A JP3932286 A JP 3932286A JP 3932286 A JP3932286 A JP 3932286A JP S62201712 A JPS62201712 A JP S62201712A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- belt
- conveyor belt
- stage
- positioning device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 39
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000006748 scratching Methods 0.000 description 1
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Control Of Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の分野］
本発明は一般に半導体製造装置に係り、特に半導体製造
装置における半導体基板のベルト搬送位置決め装置に係
るものである。
装置における半導体基板のベルト搬送位置決め装置に係
るものである。
［発明の背景］
半導体製造装置における基板の自動供給および収納にお
いて多く搬送ベルトが用いられている。
いて多く搬送ベルトが用いられている。
このようにして搬送された基板は種々の工程において所
定位置に位置決めする必要がある。このような場合、従
来は基板を所定位置までベルト搬送し、ベルトからはず
れた後にエアーを基板の下方向から斜めに噴射して基板
を移動させ、位置決めビンに押しあてながら位置決めし
ていた。
定位置に位置決めする必要がある。このような場合、従
来は基板を所定位置までベルト搬送し、ベルトからはず
れた後にエアーを基板の下方向から斜めに噴射して基板
を移動させ、位置決めビンに押しあてながら位置決めし
ていた。
しかしながら、この方法によるとベルトからはずれた後
基板が移動する際にゴミが発生したり、あるいは位置決
めの際に基板の周縁が欠けたり、割れたりするという問
題があった。
基板が移動する際にゴミが発生したり、あるいは位置決
めの際に基板の周縁が欠けたり、割れたりするという問
題があった。
［発明の目的］
本発明の目的は、これらの問題を解消し、基板表面や周
縁をこすったり、ピンにつきあてて損傷させたり、ゴミ
を付着させる可能性を排除して基板を位置決めする装置
を提供することにある。
縁をこすったり、ピンにつきあてて損傷させたり、ゴミ
を付着させる可能性を排除して基板を位置決めする装置
を提供することにある。
この目的は本発明に従って、ベースプレート、このベー
スプレート上に平行に、そして長さ方向に相互に間隔を
あけて配置された複数の搬送ベルト、搬送ベルト上を搬
送されてくる基板の前縁を検出する停止センサ、この停
止センサからの信号に応答して搬送ベルトを停止させる
搬送ベルト停止手段、前記の停止センサに隣接して前記
のベースプレート上に配置されたステージ、このステー
ジ上に取付けた位置決め装置、および前記の停止センサ
からの信号に応答して搬送ベルトの停止後前記のステー
ジを上昇、または前記の搬送ベルトを下降させて前記の
位置決め装置上の基板を前記の搬送ベルトよりも高い位
置へ穆す昇降手段を備え、それにより基板を搬送ベルト
から離間させて基板の位置合せをするベルト搬送位置決
め装置によって達成される。
スプレート上に平行に、そして長さ方向に相互に間隔を
あけて配置された複数の搬送ベルト、搬送ベルト上を搬
送されてくる基板の前縁を検出する停止センサ、この停
止センサからの信号に応答して搬送ベルトを停止させる
搬送ベルト停止手段、前記の停止センサに隣接して前記
のベースプレート上に配置されたステージ、このステー
ジ上に取付けた位置決め装置、および前記の停止センサ
からの信号に応答して搬送ベルトの停止後前記のステー
ジを上昇、または前記の搬送ベルトを下降させて前記の
位置決め装置上の基板を前記の搬送ベルトよりも高い位
置へ穆す昇降手段を備え、それにより基板を搬送ベルト
から離間させて基板の位置合せをするベルト搬送位置決
め装置によって達成される。
［実施例］
添付図を参照して以下に本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の実施例のベルト搬送位置決め装置の平
面図であり、第２図は端面図である。これらの図におい
て、１はベースプレート、２はこのベースプレート上に
平行に、そして長さ方向に相互に間隔をあけて配置され
た搬送ベルト、４は搬送ベルト上を搬送されてくる基板
５の前縁を検出する停止センサである。これらの図面に
は示していないが、停止センサからの信号に応答して搬
送ベルト２を停止させる搬送ベルト停止手段を設ける。
面図であり、第２図は端面図である。これらの図におい
て、１はベースプレート、２はこのベースプレート上に
平行に、そして長さ方向に相互に間隔をあけて配置され
た搬送ベルト、４は搬送ベルト上を搬送されてくる基板
５の前縁を検出する停止センサである。これらの図面に
は示していないが、停止センサからの信号に応答して搬
送ベルト２を停止させる搬送ベルト停止手段を設ける。
６は停止センサ４に隣接してベースプレート１上に配置
されたステージであり、３はこのステージ上に取付けた
位置決め装置である。停止センサからの信号に応答して
搬送ベルトの停止後ステージ６を上昇させる昇降手段（
図示せず）を設けて搬送ベルト２よりも高い位置へ位置
決め装置３上の基板５を移すことがでとるようにしてい
る。
されたステージであり、３はこのステージ上に取付けた
位置決め装置である。停止センサからの信号に応答して
搬送ベルトの停止後ステージ６を上昇させる昇降手段（
図示せず）を設けて搬送ベルト２よりも高い位置へ位置
決め装置３上の基板５を移すことがでとるようにしてい
る。
以上の構成において、長さ方向Ａから搬送されてきた基
板５は５Ａの位置まで達すると、停止センサ４が基板５
を検出し、搬送ベルト２の運動を停止させる。その後、
ステージ６は上昇し、位置決め装置３の上面が基板に達
し、さらにベルト面と基板がΔａだけ離間したときステ
ージ６は停止する。その後位置決め装置３は基板５の位
置合せを開始する。
板５は５Ａの位置まで達すると、停止センサ４が基板５
を検出し、搬送ベルト２の運動を停止させる。その後、
ステージ６は上昇し、位置決め装置３の上面が基板に達
し、さらにベルト面と基板がΔａだけ離間したときステ
ージ６は停止する。その後位置決め装置３は基板５の位
置合せを開始する。
この実施例においては位置決め装置を上昇させることに
より搬送ベルトから位置決め装置上に基板を載せている
が、位置決め装置を固定したまま搬送ベルトを下降させ
ることにより、基板を位置決め装置上に載せるようにし
てもよい。
より搬送ベルトから位置決め装置上に基板を載せている
が、位置決め装置を固定したまま搬送ベルトを下降させ
ることにより、基板を位置決め装置上に載せるようにし
てもよい。
［発明の効果］
以上のように、本発明においてはベルト搬送された基板
の表面をこすったり、ビンにつきあてる方法によらずベ
ルトから離間させて位置合わせを行なうため、従来の位
置決めピン抑圧による基板の損傷やゴミの付着を回避し
て所要の位置合わせな実施することができる。
の表面をこすったり、ビンにつきあてる方法によらずベ
ルトから離間させて位置合わせを行なうため、従来の位
置決めピン抑圧による基板の損傷やゴミの付着を回避し
て所要の位置合わせな実施することができる。
第１図は本発明の実施例のベルト搬送位置決め装置の平
面図であり、３４２図は端面図である。 図中： １：ベースプレート、 ２：搬送ベルト、 ３；位置決め装置、 ４：停止センサ、 ５：基板、 ６：ｚステージ。
面図であり、３４２図は端面図である。 図中： １：ベースプレート、 ２：搬送ベルト、 ３；位置決め装置、 ４：停止センサ、 ５：基板、 ６：ｚステージ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ベースプレート、 このベースプレート上に平行に、そして長さ方向に相互
に間隔をあけて配置された複数の搬送ベルト、 搬送ベルト上を搬送されてくる基板の前縁を検出する停
止センサ、 この停止センサからの信号に応答して搬送ベルトを停止
させる搬送ベルト停止手段、 前記の停止センサに隣接して前記のベースプレート上に
配置されたステージ、 このステージ上に取付けた位置決め装置、 および 前記の停止センサからの信号に応答して搬送ベルトの停
止後前記のステージを上昇、または前記の搬送ベルトを
下降させて前記の位置決め装置上の基板を前記の搬送ベ
ルトよりも高い位置へ移す昇降手段 を備えたことを特徴とするベルト搬送位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3932286A JPS62201712A (ja) | 1986-02-26 | 1986-02-26 | ベルト搬送位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3932286A JPS62201712A (ja) | 1986-02-26 | 1986-02-26 | ベルト搬送位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62201712A true JPS62201712A (ja) | 1987-09-05 |
Family
ID=12549868
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3932286A Pending JPS62201712A (ja) | 1986-02-26 | 1986-02-26 | ベルト搬送位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62201712A (ja) |
-
1986
- 1986-02-26 JP JP3932286A patent/JPS62201712A/ja active Pending
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