JPS6219856A - パタ−ン被形成基板の位置合わせ方法 - Google Patents

パタ−ン被形成基板の位置合わせ方法

Info

Publication number
JPS6219856A
JPS6219856A JP60159444A JP15944485A JPS6219856A JP S6219856 A JPS6219856 A JP S6219856A JP 60159444 A JP60159444 A JP 60159444A JP 15944485 A JP15944485 A JP 15944485A JP S6219856 A JPS6219856 A JP S6219856A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
alignment
glaze
substrate
key
pattern
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP60159444A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JPH0560584B2 (enrdf_load_stackoverflow
Inventor
Takanari Nagahata
隆也 長畑
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rohm Co Ltd
Original Assignee
Rohm Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rohm Co Ltd filed Critical Rohm Co Ltd
Priority to JP60159444A priority Critical patent/JPS6219856A/ja
Publication of JPS6219856A publication Critical patent/JPS6219856A/ja
Publication of JPH0560584B2 publication Critical patent/JPH0560584B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F9/00Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Electronic Switches (AREA)
  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
JP60159444A 1985-07-18 1985-07-18 パタ−ン被形成基板の位置合わせ方法 Granted JPS6219856A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60159444A JPS6219856A (ja) 1985-07-18 1985-07-18 パタ−ン被形成基板の位置合わせ方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60159444A JPS6219856A (ja) 1985-07-18 1985-07-18 パタ−ン被形成基板の位置合わせ方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6219856A true JPS6219856A (ja) 1987-01-28
JPH0560584B2 JPH0560584B2 (enrdf_load_stackoverflow) 1993-09-02

Family

ID=15693885

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60159444A Granted JPS6219856A (ja) 1985-07-18 1985-07-18 パタ−ン被形成基板の位置合わせ方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6219856A (enrdf_load_stackoverflow)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0246458A (ja) * 1988-08-08 1990-02-15 Nec Corp マスク目合せパターン
JPH0326230A (ja) * 1989-06-26 1991-02-04 Kanebo Ltd 皮膚特性チェック装置
JPWO2012133760A1 (ja) * 2011-03-30 2014-07-28 ボンドテック株式会社 電子部品実装方法、電子部品実装システムおよび基板
CN106004096A (zh) * 2016-05-13 2016-10-12 清华大学深圳研究生院 一种用于打印石英晶体传感器敏感层的喷墨打印托盘
CN109358475A (zh) * 2018-12-05 2019-02-19 全普光电科技(上海)有限公司 对准标记、掩膜版及其制备方法
JP2021173921A (ja) * 2020-04-28 2021-11-01 ローム株式会社 サーマルプリントヘッド及びその製造方法並びにサーマルプリンタ

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0246458A (ja) * 1988-08-08 1990-02-15 Nec Corp マスク目合せパターン
JPH0326230A (ja) * 1989-06-26 1991-02-04 Kanebo Ltd 皮膚特性チェック装置
JPWO2012133760A1 (ja) * 2011-03-30 2014-07-28 ボンドテック株式会社 電子部品実装方法、電子部品実装システムおよび基板
CN106004096A (zh) * 2016-05-13 2016-10-12 清华大学深圳研究生院 一种用于打印石英晶体传感器敏感层的喷墨打印托盘
CN109358475A (zh) * 2018-12-05 2019-02-19 全普光电科技(上海)有限公司 对准标记、掩膜版及其制备方法
JP2021173921A (ja) * 2020-04-28 2021-11-01 ローム株式会社 サーマルプリントヘッド及びその製造方法並びにサーマルプリンタ

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0560584B2 (enrdf_load_stackoverflow) 1993-09-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5403684A (en) PCB tooling apparatus and method for forming patterns in registration on both sides of a substrate
JP3070908B2 (ja) 位置合わせマークを有するフィルム原版及び基板
JPS6219856A (ja) パタ−ン被形成基板の位置合わせ方法
JPS61170032A (ja) 集積回路のマスク位置合せ用アライメントマ−ク
JPS62258459A (ja) パタ−ン被形成基板の位置合わせ方法
JP2550781B2 (ja) 印刷配線板の製造方法
JPS6334266Y2 (enrdf_load_stackoverflow)
JPH0266994A (ja) 厚膜印刷基板
JPH0736197A (ja) プリント配線板製造用フィルム
JPS63311798A (ja) 位置合せマ−ク
JP2505743B2 (ja) 電子装置用基板およびこの電子装置用基板への厚膜素子形成方法
JP2667481B2 (ja) 位置合せマーク
JPH0226636Y2 (enrdf_load_stackoverflow)
JPH02265706A (ja) セラミック基板の製造方法
KR20000018745A (ko) 마스크 정렬용 마크
JPH01241461A (ja) サーマルヘッドのフォトリソ用マスク装置
JPS6224259A (ja) 手動による電子部品のマスク位置合せ方法
JPH04336413A (ja) マスク合せ法
JPH06333797A (ja) 転写工程におけるマスクの位置合わせ方法
JP3067168B2 (ja) 印刷配線板の製造方法
JPS61166550A (ja) サ−マルプリントヘツドの位置合わせ方法
JPS59804B2 (ja) 光フアイバ接続用基板の製法
JPH03255445A (ja) フォトマスク基板
JPS63234258A (ja) 混成集積回路の製造方法
JPS62112325A (ja) アライメントマ−クを有する半導体装置の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees