JPS6219856A - パタ−ン被形成基板の位置合わせ方法 - Google Patents
パタ−ン被形成基板の位置合わせ方法Info
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- JPS6219856A JPS6219856A JP60159444A JP15944485A JPS6219856A JP S6219856 A JPS6219856 A JP S6219856A JP 60159444 A JP60159444 A JP 60159444A JP 15944485 A JP15944485 A JP 15944485A JP S6219856 A JPS6219856 A JP S6219856A
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60159444A JPS6219856A (ja) | 1985-07-18 | 1985-07-18 | パタ−ン被形成基板の位置合わせ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60159444A JPS6219856A (ja) | 1985-07-18 | 1985-07-18 | パタ−ン被形成基板の位置合わせ方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6219856A true JPS6219856A (ja) | 1987-01-28 |
JPH0560584B2 JPH0560584B2 (enrdf_load_stackoverflow) | 1993-09-02 |
Family
ID=15693885
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60159444A Granted JPS6219856A (ja) | 1985-07-18 | 1985-07-18 | パタ−ン被形成基板の位置合わせ方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6219856A (enrdf_load_stackoverflow) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0246458A (ja) * | 1988-08-08 | 1990-02-15 | Nec Corp | マスク目合せパターン |
JPH0326230A (ja) * | 1989-06-26 | 1991-02-04 | Kanebo Ltd | 皮膚特性チェック装置 |
JPWO2012133760A1 (ja) * | 2011-03-30 | 2014-07-28 | ボンドテック株式会社 | 電子部品実装方法、電子部品実装システムおよび基板 |
CN106004096A (zh) * | 2016-05-13 | 2016-10-12 | 清华大学深圳研究生院 | 一种用于打印石英晶体传感器敏感层的喷墨打印托盘 |
CN109358475A (zh) * | 2018-12-05 | 2019-02-19 | 全普光电科技(上海)有限公司 | 对准标记、掩膜版及其制备方法 |
JP2021173921A (ja) * | 2020-04-28 | 2021-11-01 | ローム株式会社 | サーマルプリントヘッド及びその製造方法並びにサーマルプリンタ |
-
1985
- 1985-07-18 JP JP60159444A patent/JPS6219856A/ja active Granted
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0246458A (ja) * | 1988-08-08 | 1990-02-15 | Nec Corp | マスク目合せパターン |
JPH0326230A (ja) * | 1989-06-26 | 1991-02-04 | Kanebo Ltd | 皮膚特性チェック装置 |
JPWO2012133760A1 (ja) * | 2011-03-30 | 2014-07-28 | ボンドテック株式会社 | 電子部品実装方法、電子部品実装システムおよび基板 |
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JP2021173921A (ja) * | 2020-04-28 | 2021-11-01 | ローム株式会社 | サーマルプリントヘッド及びその製造方法並びにサーマルプリンタ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0560584B2 (enrdf_load_stackoverflow) | 1993-09-02 |
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