JPS62195562A - プロ−バ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は半導体基板上に形成された集積回路素子の検査
を行うプローバに関する。

［従来の技術］ 第５図に示すように、従来のプローブカード１１におい
てターミナルピン１２はプローブカード１１の上面に植
設され、各ピン１２はプローブカード１１の中央開口部
に配列されているプローブ３に配線パターンなどで電気
的にそれぞれ接続されており、実際に集積回路を測定す
る場合、ターミナルピン１２はプローブカード１１を直
接保持するプローブカードソケットボードに取り付けら
れる。この場合、ターミナルピン１２と電気的に良い接
合を得るために、プローブカードソケットボードにはタ
ーミナルピン１２を挿入する金属性のソケットが組み込
まれている。ターミナルピン１２とソケットとの結合が
弱いと接触不良の要因となるため、一般的にターミナル
ピン１２とソケットはしまりばめの状態にあり強い力で
結合している。従って、プローブカード上にターミナル
ピンが多数あれば、プローブカードソケットにプローブ
カード１１を取り付ける際、あるいは取り外す際にかな
り大きな挿入力、あるいは扱去力が必要になる。

［発明が解決しようとする問題点］ このように従来のプローブカードをプローブカードソケ
ットボードに取り付ける場合、おるいは取り外す場合に
はかなりの力が必要であり、場合によっては着脱のため
の治工具などを利用しなければならず、作業上好ましい
ものではなかった。

本発明の目的はプローブカードとプローブカードソケッ
トボードとの電気的接続状態を良好に保ちつつ、プロー
ブカードの脱着を容易にしたプローバを提供することに
ある。

［問題点を解決するための手段］ 本発明は半導体基板上に形成された集積回路素子の電極
の各々に接触させる複数本のプローブを有するプローブ
カードと、該プローブカードを一定姿勢に保持するプロ
ーブカードソケットボードとを備えたプローバにおいて
、複数本のプローブの各々と電気的に接続した複数個の
端子をプローブカードの外周面に配設し、かつプローブ
カードの外周を受け入れるプローブカードソケットボー
ドの開口内周縁に、プローブカードの端子の各々に接触
させるばね性電極を設けたことを特徴とするプローバで
ある。

［実施例］ 次に本発明の一実施例について図面を参照して説明する
。

第１図、第２図、第３図および第４図は本発明の一実施
例でおる。

第１図において、プローブカード１の中央開口部には複
数本のプローブ３，３・・・が配置されており、プロー
ブ３は配線パターン４によってプローブカード１の外周
部へ電気的に導かれている。プローブカード１の外周端
面には電極用の複数個の端子２，２・・・が配列されて
おり、各プローブ３と端子２とはスルーホールを利用し
たはんだ付けなどの方法により接合点５で接合される。

第２図は第１図のプローブカード１の断面図でおる。第
２図において、端子２は立体状の導電体でありプローブ
カード１の外周端面にはめ込まれた形になっている。

第３図はプローブカード１を直接保持するためのプロー
ブカードソケットボードの断面図である。

第３図において、ブローブカードソケットボーブカード
１に設けられた端子２と電気的接触を得るためのばね性
の電極７が設けられている。電極７・は当然ながらプロ
ーブカード１に設けられた端子２に合致契合するように
配置されている。

プローブカードを取り付けない状態では電極７のプロー
ブカード１の端子２と接触する部分は内壁面８ｑよりわ
ずかにプローブカードソケットボード６の中心方向に突
出している。

プローブカードソケットボード６はプローバに取り付け
られ、電気的に電極７を介して試験装置と接続される。

第４図はプローブカードソケットボード６にプローブカ
ード１を装着したときの断面図でおる。

プローブカード１を取り付けるときは矢印Ｂの方向へプ
ローブカード１を押し上げる形になり、プローブカード
１の外周端面はプローブカードソケットボード６の内壁
面＆に沿って電極７の突出部分をプローブカードソケッ
トボード６の径外方向Ａに押すようになる。つまり、プ
ローブカード１をプローブカードソケットボード６に装
着するとき、プローブカード１に作用する力はプローブ
カード１の中心方向であり、装着するときの方向Ｂとは
方向がほぼ直交することになり、取り付ける際の抗力は
きわめて少なくなる。

またプローブカード１を取り外す際も抗力はきわめて少
なくなることは前記のことから明らかでおる。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明はプローブカードの外周端面
に端子を設け、この端子と合致契合するばね性電極をプ
ローブカードソケットボードに設けることにより、プロ
ーブカードの端子とプローブカードソケットボードの電
極との電気的接続状態を良好に保ちつつ、プローブカー
ドの着脱にかかる力を軽減し作業を効率よく行うことが
できる効果がおる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のプローブカードを示す斜視図、第２図
は本発明のプローブカードの断面図、第３図は本発明の
プローブカードソケットボードの断面図、第４図はプロ
ーブカードを取り付けたプローブカードソケットボード
の断面図、第５図は従来のプローブカードの断面図であ
る。 １・・・プローブカード、２・・・端子。 ３・・・プローブ、　　　　４・・・配線パターン。 ５・・・接合点。 ６・・・プローブカードソケットボード。 ７・・・電極。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）半導体基板上に形成された集積回路素子の電極の
   各々に接触させる複数本のプローブを有するプローブカ
   ードと、該プローブカードを一定姿勢に保持するプロー
   ブカードソケットボードとを備えたプローバにおいて、
   複数本のプローブの各々と電気的に接続する複数個の端
   子をプローブカードの外周端面に配設し、かつプローブ
   カードの外周を受け入れるプローブカードソケットボー
   ドの開口内周縁に、プローブカードの端子の各々に接触
   させるばね性電極を設けたことを特徴とするプローバ。