JPS62184483U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62184483U JPS62184483U JP7178586U JP7178586U JPS62184483U JP S62184483 U JPS62184483 U JP S62184483U JP 7178586 U JP7178586 U JP 7178586U JP 7178586 U JP7178586 U JP 7178586U JP S62184483 U JPS62184483 U JP S62184483U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal case
- electron beam
- opening
- semiconductor detector
- absorbing means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
第１図はこの考案による電子ビーム露光装置の
ビーム寸法測定器の一実施例を示すブロツク図、
第２図は特開昭５８―１２３７４号公報に示され
ている半導体検出器の断面図、第３図は従来の電
子ビーム露光装置のビーム寸法測定器に用いられ
たフアラデーカツプの斜視図、第４図は従来の電
子ビーム露光装置のビーム寸法測定器のブロツク
図、第５図は第１図及び第４図の測定器の動作を
説明するための波形図である。
ビーム寸法測定器の一実施例を示すブロツク図、
第２図は特開昭５８―１２３７４号公報に示され
ている半導体検出器の断面図、第３図は従来の電
子ビーム露光装置のビーム寸法測定器に用いられ
たフアラデーカツプの斜視図、第４図は従来の電
子ビーム露光装置のビーム寸法測定器のブロツク
図、第５図は第１図及び第４図の測定器の動作を
説明するための波形図である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 Ａ 電子ビームが照射される側に開口を有し、接
地された金属ケースと、 Ｂ 該金属ケースに内挿された半導体検出器と、 Ｃ 上記金属ケースの開口の一部を包う照射ビー
ム吸収手段と、 により構成され、上記照射ビーム吸収手段及び上
記金属ケースの開口上で電子ビームを走査し、そ
の時上記半導体検出器に流れる電流を測定するこ
とにより、上記電子ビームの寸法を求めるように
したことを特徴とする電子ビーム露光装置のビー
ム寸法測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7178586U JPS62184483U (ja) | 1986-05-13 | 1986-05-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7178586U JPS62184483U (ja) | 1986-05-13 | 1986-05-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62184483U true JPS62184483U (ja) | 1987-11-24 |
Family
ID=30914655
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7178586U Pending JPS62184483U (ja) | 1986-05-13 | 1986-05-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62184483U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5551338A (en) * | 1978-08-21 | 1980-04-15 | Technicon Instr | Method and device for measuring concentration of constituent in sample |
-
1986
- 1986-05-13 JP JP7178586U patent/JPS62184483U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5551338A (en) * | 1978-08-21 | 1980-04-15 | Technicon Instr | Method and device for measuring concentration of constituent in sample |