JPS62178903A - 無機コ−ト膜の表面改質法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用〕 本発明は、無機コート膜の表面状態の改質法に関する。

［従来の技術］ 真空蒸層法、イオンブレーティング法、スパッタリング
法などによって得られる無機コート膜はレンズ、ディス
プレー装置のパネルや種々の光学材料の反射防止膜、ハ
ードコート喚、各種機能性膜などに広く用いられている
。特１ｃｓｉｏ、膜は。

その基板との付層力、硬度、取扱い易さなどの点で幅広
く使用されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、Ｓｉｎ、等の無機コート膜は、８１．Ｎａ。

Ｏａ等の不純物を含む水滴等か付層した場合、乾燥する
過程に於いて不純物が無機コート漢表面に残シ、いわゆ
るヤケ現象を起こす。

また、蒸着による膜はバルクに比べ一般に密匿が小さく
、膜内での水分子、気体分子等の移動も容易であると考
えられている。その為、水分子等が膜の表面に吸着、そ
の後拡散により膜と基材の界面に達し、膜の密層性に悲
影響を及ぼすなど。

耐久性金招いていた。さらに環境の温度差により光学材
料上のコート膜表面に水ｌ商か細かく付層して生ずる遺
りによシ、材料の透過率が低下するという問題もあった
。その他１表面の帯電によりホコリかつきやすいなど表
面状態から生じる種々の間ｖｙｌ　ｄｌある。そこで本
発明は、このような問題点を解決するもので、その目的
とするところは、無慎コート嘆の表兜状、彌會改貞シフ
、上記にあげ之様なイ・−々の間、Ｉ！ｑ金１つまたに
ｔ２つ以上解消できうる機ｉ巳を表面に持たせるところ
にある、Ｅ問題全解決するための手段〕 すなわち、本発明は、無機コート膜に、Ｓｉ−Ｈ。

８ｌ−ＯＨ、Ｓｉ−ＯＲ、Ｓｉ−ＳＲ（Ｒは有機基）か
ら選ばれる結合を少くとも１種以上騎する構造のシラン
化合′吻を反１６させたことを特徴とする無機コート膜
の表面改頁法。

無機コート膜に処理を行なうには、すでに基材上に存在
しているコート膜の性質、賢４件、耐久性を低下させず
に処理を行う必要がある、その為には、＠層性、耐久性
を低下させない温度及び環境で、かつ反射防止膜等と処
理する場合、分光特性に＃／４１１を与えないなど、処
理前の緒特性に影響を与えない程度の表面付近で反応を
行なう処理が望ましい。本発明で用いるシラン化合物は
、水酸ｎ２所有する無機コート膜と脱水反応、脱アルコ
ール反応、脱水素等が起こシ、水酸基の存在する表面の
反応に非常に有効である。

例えば、Ｓ１０．膜表面付近では、下に示すような反Ｆ
ａ＋５１起こると考えられる。

０−８ｉ− 式 （Ｒ，Ｒ’は任意のｌｔ侠基） シラン化合物の無機コート膜との反応に関与する基以外
の置換基に種々の愼能を持たせることか可能である。無
機コート膜に付与する機能としては、疎水性、親水性、
導電性、ぬれ性など用途に応じて多彩に選択できる。本
発明では、用途に応じた機能を持つ基ｔ−有するシラン
化合物を用いることによって表面の改質を行う。

本発明で用いうるシラン化合物としては、トリメチルシ
ラノール、ジメトキシメチルシラン、トリメトキシシラ
ン、クロロメチルメトキシジメチルシラン、クロロメチ
ルトリメトキシシラン、ジエチルシラン、ジメチルエト
キシシラン、メトキシトリメチルシラン、ジメトキシジ
メチルシラン。

ジェトキシシラン、メチルトリメトキシシラン。

メルカプトメチルトリメトキシシラン、テトラメトキシ
シラン、メチルチオトリメチルシラン、ジメチルジメチ
ルアミノシラン、トリフルアセトキシメチルシラン、ジ
アセトキシメチルシラン、アリルジメチルシラン、２−
クロロエトキシクロロメチルジメチルシラン、ビス（２
−クロロエトキシ）メチルシラン、トリメチルビニルオ
キシシラン、メトキシジメチルビニルシラン、アセトキ
シメチルシラン、２−クロロエトジメチルシラン。

クロロメチルジメチルエトキシシラン、ジエチルメチル
シラン、エトキシトリメチルシラン、ジェトキシメチル
シラン、エチルトリメトキシシラン。

ビス（ジメチルアミノ）メチルシラン、フェニルシラン
、２−プロピニルオキシトリメチルシラン。

ジメチルエトキシエチニルシラン、ジアセトキシメチル
シラン、アリルオキシクロロメチルシラン。

トリス（２−クロロエトキシ）シラン、ジメトキシメチ
ル−３，３，３−トリフルオロプロピルシラン、３．３
．５−）リフルオログロビルトリメトキシシラン、２−
シアノエチルトリメトキシシラン、アリルトリメチルシ
ラン、１−クロロメチル−２−クロロエトキシトリメチ
ルシラン、アリルオキシトリメチルシラン、エトキシメ
チルビニル７ラン、インプロペンオキシトリメチルシラ
ン。

１−クロロメチルエトキシトリメチルシラン、３−クロ
ロプロホキトリメチルシラン、３−°クロロプロピルジ
メトキシメチルシラン、クロロメチルジェトキシメチル
シラン、３−クロロプロピルトジメトキシシラン。ジメ
チルケトオキシイミントリメチルシラン、トリエチルシ
ラン、ブチルジメチルシラン、トリメチルイソプロポキ
シシラン。

トリエチルシラノール、ジェトキシジメチルシラン、ジ
メトキシ−５−メルカプトプロピルメチルシラン、トリ
エトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシ
シラン、ジエチルアミノジメチルシラン、３−アミノプ
ロピルトリメトキシシラン、２−アミノエチルアミノメ
チルトリメトキシシラン、トリス（ジメチルアミノ）シ
ラン、メチルフェニルシラン、ジアセトキシメチルとニ
ルシラン、メチルトリアセトキシシラン、アリルオキシ
ジメチルビニルシラン、１−クロロメチルエトキシジメ
チルビニルシラン、ジメチルケトオキシメムジメチルピ
ニルシラン、メチルシラトラン。

ジェトキシメチルビニルシラン、クロロメチルトリエト
キシシラン、エチルメチルケトオキシムトリメチルシラ
ン、ジメトキエチルメチルケトオキシムメチルシラ７．
ｔｅｒｔ−ブトキシトリメチルシラン、１−メチルプロ
ポキシトリメチルシラン。

ブトキシトリメチルシラノ、ブチルトリメトキシシラン
、メチルトリエトキシシラン、ジエチルアミノキシトリ
メチルシラン、３−アミノプロピルジメチルエトキシシ
ラン、メチルトリス（２−アミンエトキシ）シラン、ジ
メチルフェニルシラン。

トリアセトキシビニルシラン、テトラアセトキシシラン
、フルフリルトリメチルシラン、エチルトリアセトキシ
シラン、３−トリフルオロアセトキシプロピルトリメト
キシシラン、エチニルジメチル−２−二トロブトキシシ
ラン、１．１−ジメチルプロピニルオキシトリメチルシ
ラノ、ジェトキシジビニルシラン、ジメチルエチルメチ
ルケトオキシムビニルシラン、ジメチル−２−ニトロブ
トキシビニルシラン、ジメチルインブトキシビニルシラ
ン、アセトキシトリエチルシラン、テトラヒドロフルフ
リルオキシトリメチルシラン、トリエトキシビニルシラ
ン、オクチルシラン、アリルオキシ−２−アミノエチル
アミノメチルジメチルシラ／、トリメチルペンチルオキ
シシラン、イノペンチルオキシトリッチルシラン、ジェ
トキシジエチルシラン、ジメチルジプロポキシシラン、
エチルトリエトキシシラン、テトラエトキシシラン。

３−アミノプロピルジェトキシメチルシラン、３−（２
−アミノエチルアミノプロピル）ジメトキシメチルシラ
ン、３−（２−アミノエチルアミノプロピル）トリメト
キシシラン、２．Ａ、５−トリクロロフェノキシトリメ
チルシラン、メチルフェニルビニルシラン、クロロメチ
ルジメチル−の−二トロフェニルシラン、クロロメチル
ジメチル−Ｐ−ニトロフェニルシラン、２．４−’））
ロロフエノキシトリメチルシラン、４−ブロモフェノキ
シトリメチルシラン、クロロメチルジメチルフェノキシ
シラン、２−クロロフェノキシトリメチルシラン、２−
クロロフェノキシトリメチルシラ７．４−クロロフェニ
ルトリメトキシシラン、４−二トロフエノキシトリメチ
ルシラン、フェノキシトリッチルシラン、５−ヒドロキ
シフェノキシトリメチルシラン、ジメトキシメチルフェ
ニルシラン、ジメチルフルフリルビニルシラン、２−ヒ
ドロキフエノキシトリメチルシラン、フェニルトリメト
キシシラン、１−シクロヘキシニルトリメトキシシラン
、クロロメチルシクロヘキシルオキシジメチルシラン、
２−シアノエチルトリエトキシシラン、シクロヘキシル
オキシトリメチルシラン、ジメチルインペンチルオキシ
ビニルシラン。

アリルエトキシシラン、３−アリルチオプロピルトリメ
トキシシラン、３−グリシドキシプロピリトリメトキシ
シラン、３−ブロモプロピルトリエトキシシラン、クロ
ロメチルジメチル−２−［（２−エトキシエトキン）エ
トキシコシラン、３−クロロプロピルトリエトキシシラ
ン、３−７１Ｊルアミノプロピルトリメトキシシラン、
ジェトキシエチルメチルケトオキシムメチルシラン、ト
リプロピルシラン、ヘキシルオキシドリッチルシラン。

２−（２−エトキシエトキシンエトキシトリフチルシラ
ン、プロピルトリエトキシシラン、ヘキシルトリメトキ
シシラン、２−（２−アミノエチルチオエチルクジエト
キシメチルシラン、３°−アミノプロピルトリエトキシ
シラノ、０．０′−ジエチル−５−（２−トリメトキシ
シリルエチル〕ジチオフオスフェート、２．４−ジクロ
ロフェノキシエチニルジメチルシラン、トリメチルシリ
ルベンゾエート、ベンゾイルオキシクロロメチルジメチ
ルシラン、３−もしくは４−アミノフェノキシジメチル
ビニルシラン、ジメチルエ゛トキシフェニルシラン、ベ
ンゾイルオキシトリメチルシラン、メチルトリスインプ
ロペンオキシシラン、３−メタクリロキシプロピルジメ
チルオキシメチルシラン。

３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン。

５−（３−シアノプロピルチオプロビル）ジメトキシメ
チルシラン、ビス（エチルメチルケトオキシム）メトキ
シメチルシラノ、ジメチルエトキシ−５−グリシドキシ
グロビルシラン、ジメチル−２−［（２−エトキシエト
キシンエトキシ〕ビニルシラン、ジメトキシメチル−２
−ピペリジノエチルシラン、３−モルフォリノプロピル
トリメトキシシラン、ジメトキシメチル−５−ピペラジ
ノプロピルシラン、６−ピペラジノプロピルトリメトキ
シシラン、Ｎ　−（５−）リエトキシシリルプロピル）
ウレア、メトキシトリプロピルシラン。

ジブトキシジメチルシラン、メチルトリプロポキシシラ
ン、メチルトリインプロポキシシラン、ジメトキシ−３
−（２−エトキシエチルチオプロピル）メチルシラン、
メチルトリス（２−メトキシエトキシフシラン。５−ジ
メチルアミンプロピルジェトキシメチルシラン、２−（
２−アミノエチルチオエチル）トリエトキシシラン、３
−（２−（２−アミノエチルアミノエチルアミノ）プロ
ビルコトリメトキシシラン、ジメチルエチニル−２−二
トロー４−メチルフェノキシシラン、ジアセトキシメチ
ルフェニルシラン、ジメチル−３−メチル−４−クロロ
フェノキシビニルシラン、ジメチル−２−メチル−４−
クロロフェノキシビニルシラン、クロロメチルジメチル
−２−フェニルエトキシシラン、ベンジルジメチルエト
キシシラン。

シェド中メチルフェニルシラン、トリス（１−メチルビ
ニルオキシ）ビニルシラン、２−（５，４−エポキシシ
クロヘキシルエチル）トリメトキシシラン、ジメチル−
２−ピペリジノエトキシビニルシラン、ビス（エチルメ
チルケトオキシム）エトキシメチルシラン、トリスイン
グロボキシピニルシラン、ジェトキシ−３−ｆ　ＩＪシ
ドキシグロビルメチルシラン、３−（３−アセトキシプ
ロピルチオンプロビルジメトキシメチルシラン、トリス
（２−メトキンエトキシ）ビニルシラン、ジメトキシメ
チル−３−ピペリジノプロピルシラノ、ジプロポキシエ
チルメチルケトオキシムメチルシラン、ジインプロポキ
シエチルメチルケトオキシムメチルシラン、３−ピペリ
ジノプロピルトリメトキシシラン、２−エチルへキシル
オキシメチルシラン、オクチルオキシトリメチルシラン
、ペンチルトリエトキシシラン、ジエチル−２（２−）
リメチルシリルエチルチオエチル）フォスファイト。

ジフェニルシランジオール、フェニルシラトラン。

４−クロロフェニルトリエトキシシラン、フェニルトリ
エトキシシラノ、テトラアリルオキシシラン、３−フェ
ニルアミノプロピルトリメトキシシラン、２−アミノエ
チルアミノメチルベンジルオキシジメチルシラン、Ｎ−
（３−ジェトキシメチルシリルプロビル）サクシンイミ
ド、ビス（エチルメチルケトオキシムンメチルグロボキ
シシラン。

ビス（エチルメチルケトオキシム）メチルトリプロポキ
シシラ／、ビス（エチルケトオキシム）−２−メトキシ
エトキシメチルシラン、ジメトキシメチル−３−（４−
メチルピペリジノプロビル）シラン、３−（２−メチル
ピペリジノプロビル）トリメトキシシラン、３−シクロ
ヘキシルアミノプロビルトリメトキシシラン、テトラグ
ロボキシシラン、テトライソプロポキシシラン、テトラ
キス（２−メトキシエトキシ）シラン、ｎ、ｏ’−ジエ
チル８−（２−トリエトキシシリルエチル）ジチオフォ
スフェート、ジフェニルメチルシラン。

トリエチルシリルベンゾエート、ベンジルトリエトキシ
シラン、６−ドリエトキシシリルー２−ノルボルネン、
ジェトキシ−２−ピペリジノエトキシビニルシラン、３
−ベンジルアミノプロビルトリメトキシシラン、メチル
トリス（エチルケトオキシムフシラン。ビス（エチルメ
チルケトオキシムンプトキシメチルシラン、ジブトキシ
メチルエチルメチルケトオキシムシラン、メチルトリス
（Ｎ、Ｎ−ジメチルアミノキシ）シラン、ジメトキシジ
フェニルシラン、ベンジリデン−３−エトキシジメチル
シリルプロピルアミン、オクチルトリエトキシシラン、
ジフェニルエトキシメチルシラン、ジメトキシフェニル
−２−ピペリジノエトキシシラン、フェニルトリス（２
−メトキシクシラン、３−（ビニルベンジルアミノプロ
ビル）トリメトキシシラン、ドデシルオキシトリメチル
シラン、トリフェニルオキシシラン、ジアセトキシジフ
ェニルシラン、ジフェニルエトキシビニルシラン、ジェ
トキシジフェニルシラン、ｌ？−（Ｓ−トリエトキシシ
リルプロビル）−Ｐ−ニトロベンズアミド、テトラブト
キシシラン、ビス（１，１−ジメチル−２−プロピルオ
キシ）メチル７エ二ルシラン、シェドキトデシルメチル
シラン、トリフェニルシラン、トリフェニルシラノール
、３−（ピニルベンジルアミノプロピルノトリエトキシ
シラン、トリへキシルシラン、ドデシルトリエトキシシ
ラン、アセトキシトリフェニルシラン、エトキシトリフ
ェニルシラン、ジフェニルメチル−２−ピペリジノエト
キシシラン、ジフェニルメトキシ−２−ピペリジノエト
キシシラン、ジェトキシメチルオクタデシルシラン、テ
トラフェノキシシラン、オクタデシルトリエトキシシラ
ン、テトラキス（２−エチルブトキシ）シラン、ジメチ
ルオクタデシル−３−トリメトキシシリルプロピルアン
モニウムクロリド、テトラキス（２−エチルへキシルオ
キシノシラン、１，１，３．３−テトラメチルジシロキ
サン、１，１，３．５−テトラメチルジシラザン、ペン
タメチルジシロキサン。

１．５−ジメトキシメチルジシロキサン、Ｎ、０−ビス
（トリメチルシリル）トリフルオロアセトアミド、Ｎ、
０−ビス（トリメチルシリル）アセトアミド、１．３−
ジエトキテトラメチルジシロキサン、ビス（トリメチル
シリルツー６−アザウレアシル、１．４−ビス（ジメチ
ルシリル）ベンゼン、１．４−（ヒドロキシジメチルシ
リル〕ベンゼン、ビス（トリメチルシリル）ウラシル、
ビス（トリメチルシリル）シトシン、１１．０′−ビス
（トリメチルシリル）ジアセチルジオキシム。

Ｎ、Ｏ−ビス（トリメチルシリル）ヒボキサンチン、ｆ
ｌ、０′−ビス（トリメチルシリル）チミン。

４−　）　ＩＪ　メチルシロキシフェニルトリメチルシ
ラン、１．２もしくは１．３もしくは１．４−ビス（ト
リメチルシロキシベンゼン、ビス（トリメチルシリル）
アジペート、トリメチルシリル−２−トリメチルシリル
チオベンゾエート、　１　、１　、３゜３．５．５−へ
キサメチルトリスシロキサン、１゜１．１，３．５．５
．５−へブタメチルトリスシロキサン、オクタメチルト
リスシロキサン、３−エトキシヘプタメチルシロキサン
、オクタメチルトリスシロキサン、３−エトキシへブタ
メチルトリスシロキサン、１．３，５．７−チトラメチ
ルシクロテトラシロキサン、１，１，１．！１，５゜７
．７．７−オクタメチルテトラシロキサン、トリス（ト
リメチルシロキン）シラン、１．７−ジアセドキシオク
タメチルテトラシロキサン、１゜３．５．７−テトラエ
トキシ−１，３，５，フーチトラメチルシクロテトラシ
ロキサン、１，３゜５．７−チトラメチルー１．５，５
．７−テトラメチル−１，５，５，フーチトラプロボキ
シシクロテトラシロキサン、１，３．５．７−チトライ
ンプロボキシー１．！５．５．７−チトラメチルシクロ
テトラシロキサン、２−ピペリジノエトキシトリス（ｌ
メチルシロキシ）シラン、　１　、５−ビスＣ５−ト９
メチルシロキシプロピル）−１゜５．３−テトラメチル
ジシロキサン、　１　、３　、５゜７−チトラプトキシ
ー１．３，５．７−チトラメチルシクロテトラシロキサ
ン、１，３，５．７−テトライソブトキシー１．３，５
．７−チトラメチルシクロテトラシロキサン、テトラキ
ス（ジメチルビニルシロキシメチル）メタン、１．３，
５゜７．９−ペンタメチルシクロペンタシロキサン。

１．３，５，７．９−ペンタメトキシ−１，３゜５．７
．９−ペンタメチルシクロペンタシロキサン、１，３，
５．７．９−ペンタインブトキシ−１，３，５，７，９
−ペンタメチルシクロペンタシロキサン等があげられる
。本発明では、これらに限足されるのではな（、−８ｉ
Ｈ，−８１−ＯＨ，−８ｉ−ＳＨ、Ｓｉ−ＯＲ、Ｓｉ−
ＳＲの結合を有する構造ならば、本発明の目的を達成出
来ることは言うまでもない。ま・た、本発明において、
使用するシラン化合物同志が無機コート膜との反厄前も
しくは反応後結合し、ポリマー化すること力１有り得る
か、本発明の目的と干るところの重合度を得るように調
整すればなんら問題はない。また、目的に応じて１ａ１
以上のシラン化合物を混合して用いても良い。

本発明において、疎水性の基を有するシラン化合物を用
いることにより、水によるヤケの防止、膜の耐久性の向
上、水による密着性の低下防止及びｍ擦係数の低下によ
り耐摩耗性の向上などのメリットか得られる。

さらに、後処理によって親水性の基に変換されるような
置換基を有するシラン化合物、あるいは後処理により親
水性の基に変換されるような置換基と疎水基を合わせ持
ったシラン化合物全無機コート膜に反応させたのち、後
処理で親水性処理を行なえば、コート膜表面に親水性あ
るいは親水性と疎水性を合わせもつ様な機能を持たせる
ことも可能である。後処理として、別の吻５１ヲ無機コ
ート膜と反応したシラン化合物に反応させてもよい。

後処理により親水性を最表面に持たせ、疎水性の基力３
コート膜と親水性基の間に配置していれば、ぬれ性はよ
くても水分子を透過させないなどの複会機能をコート膜
に持たせること力１できる。このように後処理により相
反する機能を同時にコート嗅に持之せることか可能であ
る。

シラン化合物を無機コート膜に反応させるにはＤｉｐ法
、スピンナー法、スプレー法等によ膜表面にシラン化合
物を塗布し反応させる方法、または、真空雰囲気中ある
いは大気中でシラン化合物のガスを無機コート膜と反応
させる方法など用いることができる。前者の場合、塗布
中の雰囲気、例えば、湿度、温度をコートロールするこ
とにより反応速度が制御出来、また浸漬時間、液温、シ
ラン化合物の濃度を調節することにより所望の処理膜を
得ることが出来る。さらに、塗布後、コート膜の特性に
影響を与えない程度の刀り熱や光照射を行うことにより
反応を促進すればより効果的である。後者の場合、真空
槽内で無機コート膜を形成後、シラン化合物のガスを導
入し１反応させてもよい。また、無機コート膜形成後、
アルゴンや酸素等のプラズマは雰囲気中にシラン化合物
のガスを導入し、反応性蒸着１反応性イオンブレーティ
ング等を行うことも可能である。

シラン化合物との反応性を高める為に前処理として、無
機コート膜表面を、洗浄、薬品処理、プラズマ処理を行
うことによシ効果的である。

反応に用いるシラン化合物は、単体もしくは混合で用い
てもよく、溶媒で希釈したシ、酸や塩基で前処理して使
用することも可能である。

反応が終了後、大気中の水分　と反応したシラン化合物
、コート膜表面との反応に寄与できなかったシラン化合
物を洗浄によシ洗い流すことにより、処理前の反射防止
特性などの外観が変わらない処理を行うことかできる。

今ｔで述べた処理は、８１０２　、　Ａｔｔｏ、　、　
ＺｒＯ，。

Ｔａ、○ｓ　ｅ　’ｒｉｏ、　＠　ＯｅＯ＠　　等の無
機コート膜表面へ有効である。

以下、実施１例に基づき本発明の詳細な説明する。。

が、本発明はこれらに限定されるものではない。

〔実施例１〕 ジエチレングリコールビス（アリルカーボネート）製樹
脂からなる合成樹脂製レンズをアセトンで洗浄し、その
後真空蒸着法によシ基板温度５０℃で、樹脂表面に反射
防止処理を行なった。膜構成はレンズ側からＳｉｎ、層
かλ”　＊　Ｚｒ１９．層と８１０、層の合計膜厚がλ
／ａ　、Ｚｒ０１層がλ／４．最上層の８１０１層かλ
／４とした（ここでλ＝５２０ｎｍ）。次にこのレンズ
をイソプロピルアルコールで洗浄し、十分乾燥させた後
、ジメチルジェトキシシラン５０？とインプロピルアル
コール４５０を及びα０５Ｎ塩酸２０９を混合した液温
１０℃の溶液に３分間浸漬した。浸漬後、湿度７５％。

１１１１層度５０℃の雰囲気中で１５分間放置し、その
後アセトンによシ洗浄金行なった。

洗浄後のレンズの外観、反射防止の特性に大きな変化は
みられなかった。

得られたコート膜の評価方法は以下に示す方法を用いた
。

■　ヤケ性：水道水をコート膜表面にたらし、乾燥させ
た後、布で残留物を払き取った。

Ａ：完全に払きとれる Ｂニ一部残留物が残る Ｃ：残留物にほとんど残る ■　耐摩耗性：コート膜表面を布（木綿）で１麺の荷重
をかけ１０００回摩擦し念。傷のついた度合を以下の３
段階に分けて評価した。

Ａ：全く傷かつかない Ｂ：１〜１０本、細かい偏力１つく Ｃ：細かく無数に傷がつく ■　密着性：！１７℃の純水に１週間浸漬した後コート
膜の密着性ｆｔ調べた。Ｊ工Ｅｌ−Ｄ−０２０２に臨じ
てクロスカットテープ試験によって行った。即ち、ナイ
フを用い、基板表面に１目間隔に切フ目を入れ、１ｃｌ
ｉのマス目を形成させる。次にその上にセロファン粘着
テープ（日東化学１ｒセロテープ”）を強くおしつけた
後、表面から９０°方向へ、急に引つばシ剥離したのち
、コート被膜の残っているマス目をもって密着性の指標
とした。

■　接触角：接触角計（協和科学■製０Ａ−Ｄ型）を用
いて液滴法により測定した。

■　防曇性：試料を湿度２０幅、＠度５℃の雰囲気中に
３０分間放置後、湿度８０％、温度３０℃の雰囲気に取
り出し、曇シの消失する時間を測定した。

■　防塵性：スタティックオ不ストメーター（宍戸商会
製〕による帯電圧の半減期を測定した。（測定条件：温
度２５℃、相対湿度６０％） 〔実施例２〕 実施例１で、シラン化合物による処理をする前のレンズ
を用い、以下に示す方法で処理を行った〇ジフェニルシ
ラノ１００ｆとテトラヒドロフラン３００ｔとを混合し
た液温２０℃の溶液に３０秒浸漬した後、ジエチルアミ
ン蒸気中に１分間放置し、水洗した。得られたコート膜
の評価方法は実施例１に示した評価方法に従って行った
。

〔実施例−３〕 クラウンガラスの表面に、屈折率１．６０の酸化アルミ
ニウムを１μ常の厚さにアルコンプラズマ中、イオンブ
レーティングで設けた。このガラスを、１，１，３，３
，５．５−へキサメチルトリスシロキサン１０ｆ、エチ
ルアルコール５ｆ、ジメチルホルムアミド２００２を混
合した液温１０℃の溶液に１分間浸漬し、その後、湿度
８０％。

温度６０℃の雰囲気中に５分間放置した。その後、アセ
トンによる洗浄を行った。得られたコート膜の評価方法
は実施例１に従って行った。

〔実施例４］ 実施例１で最上層に８１０３層を形成後、Ｓｉｎ。

表面をアルコンプラズマで１分間処理を行なった後に、
トリメチルシラノールをＳ　ＣＣ／―の割合で真空槽内
へ２分間導入した。その時の表面温度は６０℃であった
。その後レンズを大気中に取シ出した。外観は、処理前
とほとんど変化がなかつｆＣ−。

得られたコート膜の評価方法は実施例１に従って行った
◇ 〔実施例５〕 イングロビルアルコール板で洗浄されたアクリル板を、
以下に述べるコーテイング液で、ディッピング法によシ
、液温５℃、引き上げ速度２０ｍ／―の条件で塗布した
後、熱風乾燥炉中で７０℃で５時間加熱硬化し、さらに
、殺菌ランプ（■東芝製ＧＬ−１０）とアクリル板との
距離を１０譚にし、５０秒間光照射を行った。

コーテイング液は次の様にして作成した。

攪拌装置を備えた反応容器中にエタノール２００ｆ、エ
タノール分散コロイダルシリカ１８０ｔ（触媒化成工業
■製”オスカル１２３２’″）、γ−メタクリロオキシ
ブロビルトリメトキシシラノ４５？、γ−グリシドキシ
プロビルトリメトキシシラノ３０２．フローコントロー
ル剤１５９．フルミニウムアセチルアセト不−トｓｔ及
び［１０５Ｎ硝酸４０２を加え、室温で２時間攪拌をし
、コーテイング液とした。

上記の様にして得られたアクリル板に、実施例１と同様
に反射防止処理を行ない、その後、ジメトキシメチルー
５．５．５−トリフルオロプロピルシラン１５ｒ、３．
！＋、３−ｈリフルオログロビルトリメトキシシラン５
ｔ、メチルセロンルプ２４０１及び（１０５規定塩酸１
０１を混合した液温１０℃の溶液に、２分間浸漬し、そ
の後、湿度７ｎ％、＠要４０℃の雰囲気中に１０分間放
置した。その後、水洗及びアセトンによる洗浄を行つ之
。洗浄上シの外観に特に変化はみられなかった。

得られたコート膜の評価方法は実施例１に従って行った
。

〔実施例６〕 実施例５で得られたシラン化合物の処理前のレンズ（反
射防止膜有り〕を塩化メチレンで洗浄し、ジェトキシメ
チルとニルシラ７５０ｔ、エタノール５（１’、ｃＬ１
規定酢酸８ｆを混合した溶液を。

スプレーでアクリル板に吹き付け、その後、湿度７０％
０ｍ度６Ω１９℃の雰囲気中で２分間放置し。

水洗を行った。さらに、液温５０℃の５規定硫酸に２時
間浸漬し、その後、水洗し、アセトンで洗浄を行った。

洗浄上夛の外観に特に変化はみられなかった。得られた
コート膜の評価方法は、実施例１に従って行った。

〔比較例１〕 実施例１で得られたシラン化合物による処理をする前の
反射防止膜つきの合成樹脂製レンズを比較例１とした。

〔比較例２〕 実施例３で得られたシラン化合物による処理をする前の
酸化アルミニウム膜つきのガラスを比較例２とした。

〔比較例５〕 実施１１／Ｉ１５で得られたシラン化合物による処理を
する前の反射防止膜つきのアクリル板を比較例３とした
＠ 上記、実施例１〜６．比較例１〜３の評価結果は１とめ
て表１に示した。

〔発明の効果〕

無機コート膜に目的に応じた機能を有するシラン化合物
を灰石させたことにより、無機コート膜表面の物性か変
化し、コート膜の特性を著しく変化させることができる
。疎水性を表面に持たせれば、水やその中に含まれる不
純物とコート膜表面の結合性が弱まり、ヤケ現象の防止
につながる。

また、疎水性である為に、水に対し表面がフィルターの
役目をはたし、水分によるコート膜全体の耐久性劣化を
防ぐことかできる。さらに表面の摩擦係数が低下するこ
とにより、付着したゴミなどのすべりがよくな夛耐摩耗
性か白土する。さらに水滴か、容易に膜から落ちるため
、雨の日などに便利である。

また、親水性を表面に持たした場会、水の接触角が低下
することにより、細かい水（ｆｆ＋ｉｉ発生しにくくな
りう１の乱反射による曇シの現象か防げる。

さらに、表面のＴＩＬ気伝導伝導度ることにより、表面
の帯電防止となり、コート膜表面にホコリやゴミ等か付
着しにくくなる。

本発明は、このような効果を有するため１合成樹脂製及
びガラス製眼鏡レンズ、カメラレンズ。

表示用パネル、時計用ガラス、窓ガラス等、無機コート
膜を使用し友製造に適用することか可能である。

表１ ａ）、ｂ）は共に時間示し、単位は秒 以　　　上

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 無機コート膜に、Ｓｉ−Ｈ、Ｓｉ−ＯＨ、Ｓｉ−ＳＨ、
   Ｓｉ−ＯＲ、Ｓｉ−ＳＲ（Ｒは有機基）から選ばれる結
   合を少くとも１種以上有する構造のシラン化合物を反応
   させたことを特徴とする無機コート膜の表面改質法。