JPS62177352A - 摩擦送り装置 - Google Patents

摩擦送り装置

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JPS62177352A
JPS62177352A JP1591686A JP1591686A JPS62177352A JP S62177352 A JPS62177352 A JP S62177352A JP 1591686 A JP1591686 A JP 1591686A JP 1591686 A JP1591686 A JP 1591686A JP S62177352 A JPS62177352 A JP S62177352A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressing
friction
transmission shaft
friction wheel
wheel
Prior art date
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Pending
Application number
JP1591686A
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English (en)
Inventor
Kiyoshi Kamiya
神谷 聖志
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は高精度な摩擦送りー9cgtに関する。
〔発明の技術的背景およびその問題点〕従来、軸方向に
移動自在に支持された送り伝達軸と摩擦車とを押圧接触
てせて回転運動から直線送りを得る摩擦送り装置は一般
に知られている。
最近この送り装置は半導体製造装置などのようにf#密
送りが必要とされる機器に応用されている。
しかるに従来の摩擦送り装置は回転する摩擦車と送り伝
達軸との間に相対的変位が外乱として与えられたとき、
JI!擦車と送り伝達軸との間の距離が変化し、送υ伝
達軸Vctel密な送りが与えられにくいとか、また、
上述の変位に追従できても、押圧力が変動し、立上り速
度が大きい場合には滑りなどの問題が生じるとか、さら
にまた押圧力の微調整ができにくいなどの不都合があっ
た。
〔発明の目的〕
本発明は上述の不都合を除去するためになされたもので
、送り方向の摩擦力を常に一定に保ち、高精度な位置決
めができる摩擦送り装置を提供することを目的とする。
〔発明の概要〕
本発明は被駆動体に連結された送り伝達軸に当接する摩
擦車をもった駆動機構と、摩擦車に対向して伝達軸を押
圧する押圧車を有するとともに駆動機構と一体的に移動
する押圧機構と、駆動機構を送り伝達方向に対しほぼ直
角な方向に移動可能に支持案内する支持案内機構を設け
て構成し、かつ押圧車を変位可能な変位部をもった押圧
ばね体の変位部で支持して駆動機構に対し変位可能とし
たもので、送り伝達軸が傾いても押圧車が適宜変゛位し
て常に摩擦車と送り伝達軸との相対変位および押圧力の
変化を防止し、また送り伝達軸が直角方向に変位しても
駆動機構と押圧保持機構がともに一体的に支持案内機構
によシ追従できるので被駆動体によシ送り伝達軸が何如
なる変位を受けても高精度な送りを維持できる摩擦送り
装置である。
〔発明の実施例〕
以下、本発明の詳細を第1図〜第4図に示す一実施例に
より説明する。先ず本実施例の使用態様は第4図に示す
ように、矢印fl)方向に移動自在に支持されたテーブ
ル(被駆動体)(2)に送り伝達軸(3)が取付けられ
ていて、この送り伝達軸(3)にモータ(4)Kより回
転駆動される摩擦車(5)が押圧接触しており、この回
転によシテーブル(2)は送り伝達軸(3)を介して直
線駆動され、所望の位置決めがなされるように使用され
る。本実施例は送り伝達手段αυと、駆動機構α2と、
押圧保持機構Q3)と、支持案内機構α4とから構成さ
れている。
送り伝達手段σDは送り伝達軸(3)からなっている。
駆動機構0は、モータ(4)およびその周辺部材からな
っていて、その出力回転軸は先端部が摩擦車(5)にな
っておシ、図示しない制御装置の指令により正転、回転
駆動される0そして摩擦車(5)は送)伝達軸(3)の
外周面に当接するようになっている。
押圧保持機構−はモータ(4)の上面に、送り伝達軸(
3)に関して摩擦車(5)と反対側に取付は板−を介し
て固定されている。この取付は板α梯にはスペーサQl
 、 11’Jを介して上下に離間した2個の押圧ばね
体の、(至)が固定されている。この押圧ばね体■は両
端部近傍に切込みにより狭幅に形成された弾性部(21
) 、 21)が設けられていて、これよシ両外側は固
”  定部(至)、(社)となって取付は板α&に固定
されており中間は変位部(至)になっている。この変位
部(ハ)には□  上下の押圧ばね体■、rAに両端が
回転自在に支持された2個の押圧車(2)、(2Sが取
付けられていて、これらの外周面は送り伝達軸(3)の
外周面に押圧されて接触している。これら2個の押圧車
(ハ)、(□□□の接触位置は、それらの真中を摩擦車
(5)の押圧力の板(4)が固定されており、一方取付
は板α8には受圧板(ハ)に対向して直立壁(2)が設
けられていて、これに押圧ねじ弼がねじ込まれておシ、
これの進退により受圧板弼を介して変位部(ハ)が進退
する。しかじ両押圧車(ハ)、(ハ)は送1秒伝達軸(
3)に押圧されているが、変位部(21)を介して支持
されているので、他の部位に対して独立に若干変位可能
である。
次に支持案内機構αaにつき述べると、Gυは支持台で
、板状の合板部国の一端部にL字状に取付はブロック部
(至)を立設し、これに支持段部(財)を設けて形成さ
れている。また台板部(381の上面には送り伝達軸(
3)の軸線とは直角な方向に延在する直線案内体(至)
、(至)が取付けられていて、この上に可動板(至)が
取付けられておシ、可動板(至)は矢印37)の方向に
移動自在に設けられている。この可動板(ト)の上に上
述の駆動機構αりのモータ(4)が固定されている。
さらにまた、支持段部(ロ)上には上述した押圧ばね体
■と同様な形状の1個の連結ばね体(支)が両端を支持
段部(ロ)に固定されて取付けられている。この連結ば
ね体(至)は中央の変位部14t)が連結部材(41)
を介して可動板CJaの一端て連結されているうそして
可動板(至)は矢印canの方向に連結ばね体1慢の弾
性方に抗して変位するが、連結ばね体■により復帰位置
は規制される。なお、取付はブロック部■には調節ねじ
体L43がねじ込まれているが、これは連結ばね体(至
)に予圧を与える場合に使用するものである。
次に本実施例の作用につき説明する。最初に送υ伝達軸
(3)に摩擦車(5)であるモータ(4)の回転軸を当
接させ、連結ばね体(至)がほぼ撓まない状態で支持台
G9を適宜取付は部位に固定する。次に押圧保持機構(
13の調節ねじ体(至)を操作して受圧板(至)を押圧
して2個の押圧車(ハ)、125)を送り伝達軸(3)
に押圧し、摩擦車(5)とともに所望の摩擦力が得られ
るよう調節する。上述の状態でモータ(4)を始動制御
すると、摩擦車(5)の回転により送り伝達軸(3)は
直線状に進退し、高精度に回転運動が直線運動に変換さ
れ、テーブル(2)は矢印(1)のように移動して1位
置決めされる。そうして、送り伝達軸(3)が、例えば
テーブル(2)の移動によシ傾いたとすると、押圧車(
ハ)、 C25)は押圧ばね体囚の変位部(ハ)K取付
けられているので、送り伝達軸(3)の傾きに対して適
宜独立して変位追従し、送り伝達軸(3)と押圧車C9
,(ハ)と摩擦車(5)との相対的立1関係、押圧力な
ど;−1:変化することなく維持される。また送り伝達
@(3)が直角方向(矢印□□□方向)に変位した場合
は、卓幼機構0渇は連結ばね体μsの弾性変位により送
り伝達軸(3)の動きに追従する。
なお、本実施例においては、押圧車は2個使用したが、
1個でもよく、またテーブルの位置決めに本実施例を適
用したが、これに限定されない。
また、本実施例のように押圧車を2個使用した場合は、
押圧車と摩擦車との位置関係は、送り伝達軸の変位に対
しても高精度に維持される。
〔発明の効果〕
以上詳述したように、本発明の摩擦送り装置は摩擦車に
対向した押圧車を摩擦車と一体的な部分に固定されたば
ね体の変位部に取付けたので、押圧車は他の部位に対し
て独立に変位可能なため、送り伝達軸の傾きに対しても
容易に追従して、送り伝達軸と摩擦車との相対的位置関
係や摩擦力が変化することはない。また摩擦車や押圧車
を送り伝達軸の軸直角方向にも変位可能に4成したので
送り伝達軸の軸直角方向の変位に対しても追従できる。
従って本発明の摩擦送り装置は送り伝達軸が如何に変位
しても全く影響を受けることなく、常に高精度な送りが
できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の正面図、第2図は同じく平
面図、第3図は同じく右側面図、第4図は同じく使用態
様説明図である。 (3)・・・送り伝達軸、 (4)・・・駆動体。 (5)・・・摩擦車、    (Iz・・・駆動機溝、
(I3)・・・保持機構、   ■・・・案内支持機構
、■・・・押圧ばね体、シ漕・・・変位部、(ハ)・・
・押圧車、    (至)・・・押圧体、3υ・・・支
持台、    (ト)・・・案内体、田・・・連結ばね
体。 代理人 弁理士  則 近 憲 右 同     竹 花 喜久男 第1図 @2図

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)軸方向に移動自在に支持された送り伝達軸と、上
    記送り伝達軸の外周面に当接した摩擦車をもった駆動体
    を有し上記摩擦車の回転により上記送り伝達軸を送る駆
    動機構と、上記駆動機構に取付けられかつ弾性的に変位
    自在な変位部をもった押圧ばね体および上記変位部に回
    転自在に取付けられた押圧車および上記駆動機構に設け
    られて上記変位部を押圧し上記押圧車と上記摩擦車とで
    上記送り伝達軸を挟圧させる押圧体を有する押圧保持機
    構と、上記駆動機構を上記送り方向に対してほぼ直角な
    方向に移動可能に支持する案内支持機構とを具備したこ
    とを特徴とする摩擦送り装置。
  2. (2)押圧車は2個設けられておりこれらと摩擦車とは
    この摩擦車の送り伝達軸に対する押圧作用線が上記2個
    の摩擦車の間を通る位置関係に配設されていることを特
    徴とする特許請求の範囲第1項記載の摩擦送り装置。
  3. (3)案内機構は支持台と、この支持台に設けられて駆
    動機構を移動自在に案内する案内体と、上記支持台およ
    び上記駆動機構を弾性的に連結する連結ばね体とを具備
    していることを特徴とする特許請求の範囲第1項または
    第2項記載の摩擦送り装置。
JP1591686A 1986-01-29 1986-01-29 摩擦送り装置 Pending JPS62177352A (ja)

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JP1591686A JPS62177352A (ja) 1986-01-29 1986-01-29 摩擦送り装置

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JP1591686A JPS62177352A (ja) 1986-01-29 1986-01-29 摩擦送り装置

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JPS62177352A true JPS62177352A (ja) 1987-08-04

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ID=11902099

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JP1591686A Pending JPS62177352A (ja) 1986-01-29 1986-01-29 摩擦送り装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH022556U (ja) * 1988-06-20 1990-01-09

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH022556U (ja) * 1988-06-20 1990-01-09
JPH0529572Y2 (ja) * 1988-06-20 1993-07-28

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