JPS62176904A - 水可溶性硼素化合物の少ない六方晶窒化硼素とその製造方法 - Google Patents
水可溶性硼素化合物の少ない六方晶窒化硼素とその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、水可溶性硼素化合物の少ない六方晶窒化1a
素およびその製造方法に関する。さらに詳しくは、電子
材料等、高純度を要する特殊な分野に用いられる樹脂等
の充填材、立方晶窒化硼素の原料に使用する極めて高純
度の六方晶窒化硼素を提供する。
素およびその製造方法に関する。さらに詳しくは、電子
材料等、高純度を要する特殊な分野に用いられる樹脂等
の充填材、立方晶窒化硼素の原料に使用する極めて高純
度の六方晶窒化硼素を提供する。
六方晶窒化硼素(以下窒化硼素をBNという)粉末は白
色で黒鉛と同様に層状構造であり種々の特性を有してい
る。特に熱伝導性、電気絶縁性、化学安定性、潤滑性、
#熱性などが優れており。
色で黒鉛と同様に層状構造であり種々の特性を有してい
る。特に熱伝導性、電気絶縁性、化学安定性、潤滑性、
#熱性などが優れており。
これらの性質を生かして多岐の用途に供されている。粉
末としての用途にはプラスチック添加剤、潤滑材などの
使用法が多い。
末としての用途にはプラスチック添加剤、潤滑材などの
使用法が多い。
最近では電子技術の進歩に従って、BNの耐熱性、電気
絶縁性を利用した充填材、添加剤の用途において高純度
のBNの要求が多くなってきている。例えば合成ゴムに
BN粉末を添加して電気絶縁性および熱伝導性の優れた
シートを製造する方法(特開昭54−163398)が
ある。このとき使用するBN粉末に要求される特性は、
(0表面を平滑にして合成ゴムとの密着性を良くする、
こと、 ■高純度結晶質BNを使用し熱伝導性、電気絶縁性にf
Uれた特性を付与すること、 である。
絶縁性を利用した充填材、添加剤の用途において高純度
のBNの要求が多くなってきている。例えば合成ゴムに
BN粉末を添加して電気絶縁性および熱伝導性の優れた
シートを製造する方法(特開昭54−163398)が
ある。このとき使用するBN粉末に要求される特性は、
(0表面を平滑にして合成ゴムとの密着性を良くする、
こと、 ■高純度結晶質BNを使用し熱伝導性、電気絶縁性にf
Uれた特性を付与すること、 である。
また、高圧相転移により立方晶窒化硼素(c−BN)を
製造する原料としてBNを使用しているが、酩素を含ん
だBNを原料とすると、c−BNの収率が悪いばかりで
なく、得られた製品の強度、光学的透明度も悪くなる。
製造する原料としてBNを使用しているが、酩素を含ん
だBNを原料とすると、c−BNの収率が悪いばかりで
なく、得られた製品の強度、光学的透明度も悪くなる。
このため通常は2000℃〜2200℃に加熱して不純
物を取り除いて高純度BNを得ている(特公昭58−1
81708)。
物を取り除いて高純度BNを得ている(特公昭58−1
81708)。
従来かかる用途に適する高純度のBNの製造法は、大別
すると次の3つの方法に分類される。
すると次の3つの方法に分類される。
1)高温に加熱して不純物を蒸発、あるいは分解除去す
る方法(特開昭58−60603)。
る方法(特開昭58−60603)。
2)アルカリ水溶液を用いて洗浄により不純物を除去す
る方法(特開昭59−107907)。
る方法(特開昭59−107907)。
3)三塩化硼素とアンモニアから次式により高純度なり
Nを得る方法。
Nを得る方法。
BCQ3 +NH3−BN+3HC1
・・・・・・(1)
〔発明が解決しようとする問題点〕
前記方法l)によれば、BNを高温加熱することによっ
て不純物のオギシナイトライド、醜化硼麦は分解揮発し
、除去することができる。しかし発生した硼素の酸化物
は、層厚が薄い少量処理の場合には筒riに試料充填層
外に熱対流、拡散により除去できるが、大部、の処理で
はガス状で充填層内に残留し冷却過程で凝固しBN表面
あるいは粒子間に不純物として析出する。このため前記
方法l)は大量処理が困難な方法であり、また高温処理
のためエネルギーコストも高価になる。また少量処理に
より高純度品を得た場合においても。
て不純物のオギシナイトライド、醜化硼麦は分解揮発し
、除去することができる。しかし発生した硼素の酸化物
は、層厚が薄い少量処理の場合には筒riに試料充填層
外に熱対流、拡散により除去できるが、大部、の処理で
はガス状で充填層内に残留し冷却過程で凝固しBN表面
あるいは粒子間に不純物として析出する。このため前記
方法l)は大量処理が困難な方法であり、また高温処理
のためエネルギーコストも高価になる。また少量処理に
より高純度品を得た場合においても。
BNの表面には可溶性硼素化合物が多植に存在している
。
。
前記2)のアルカリ水溶液を用いてBNを洗浄する方法
は、電子材料等に好ましくないアルカリを使用すること
から、アルカリイオンがBNの表面イオンと結合して残
留し、その後の水洗でも完全に除去できない欠点がある
。またアルカリ水溶液を使用し洗浄する目的は、アルカ
リによるBNの分解によって角をとり、BNを成形した
時の充填性を向上させるためで、本発明の水0■溶性硼
素を除去する方法としては効果が少ない。本発明者らが
この明細書に記述された方法により追試験を行ったとこ
ろ、100℃の沸騰水で浸出した抽水中の水可溶性硼素
化合物は200.g/g−BN以上あった。この理由と
しては洗浄時のBN粉末とアルカリ水溶液とのぬれが十
分でなく水可溶性硼素化合物の洗浄が完全に行われてい
ないことによる。
は、電子材料等に好ましくないアルカリを使用すること
から、アルカリイオンがBNの表面イオンと結合して残
留し、その後の水洗でも完全に除去できない欠点がある
。またアルカリ水溶液を使用し洗浄する目的は、アルカ
リによるBNの分解によって角をとり、BNを成形した
時の充填性を向上させるためで、本発明の水0■溶性硼
素を除去する方法としては効果が少ない。本発明者らが
この明細書に記述された方法により追試験を行ったとこ
ろ、100℃の沸騰水で浸出した抽水中の水可溶性硼素
化合物は200.g/g−BN以上あった。この理由と
しては洗浄時のBN粉末とアルカリ水溶液とのぬれが十
分でなく水可溶性硼素化合物の洗浄が完全に行われてい
ないことによる。
さらに、前記3)のB(113とNH3から高純度のB
Nを製造する方法では、高純度のものは得られるが高結
晶質のBNは得難く、絶縁性、熱伝導性において劣る欠
点があり、加水分解性も結晶質のBNに比べて大きい。
Nを製造する方法では、高純度のものは得られるが高結
晶質のBNは得難く、絶縁性、熱伝導性において劣る欠
点があり、加水分解性も結晶質のBNに比べて大きい。
以上のごとく市IIIされている高結晶質のBNは耐加
水分解性の向上、あるいは表面の安定化を目的に製造さ
れたものでなく、またこれらの特性は従来の通常の用途
では品質上何ら問題とならないために、製造上も水可溶
性硼素を低減化させる意図は皆無であった。
水分解性の向上、あるいは表面の安定化を目的に製造さ
れたものでなく、またこれらの特性は従来の通常の用途
では品質上何ら問題とならないために、製造上も水可溶
性硼素を低減化させる意図は皆無であった。
本発明は水r′Tf溶性硼素化合物の少ない六方晶BN
およびこのような高純度BNを工業的に得る方法を提供
しようとするもので、このようなりNおよびその製造方
法は、今までに開示されておらず、以下に詳述する本発
明の方法により初めて得られたものである。
およびこのような高純度BNを工業的に得る方法を提供
しようとするもので、このようなりNおよびその製造方
法は、今までに開示されておらず、以下に詳述する本発
明の方法により初めて得られたものである。
本発明者らは、上記の欠点を克服すべく検討した結果、
結晶質BNを洗浄し、表面の水i+7溶性硼素化合物を
除去した後脱水し、加水分解を生じない温度範囲で乾燥
するか、水蒸気分圧を下げて乾燥することによって水可
溶性硼素化合物の少ないBNを得ることに成功した。す
なわち本発明の要旨とするところは、高純度高結晶質B
Nであって水i′Tf溶性硼素の量がBNを煮佛浸出し
た水中に1100p/g−BN以下であろ水可溶性硼素
化合物の少ない六方晶窒化硼素である。またその工業的
な製造方法は、結晶質六方晶窒化硼素微粉末を界面活性
剤および/または水可溶性有機溶媒を分散剤として水に
分散させ、水可溶性硼素化合物を洗浄除去した後、水蒸
気分圧10mm)1g以下および/または温度100℃
以下で乾燥することを#+j徴とする水可溶性硼素化合
物の少ない六方晶窒化硼素の製造方法である。
結晶質BNを洗浄し、表面の水i+7溶性硼素化合物を
除去した後脱水し、加水分解を生じない温度範囲で乾燥
するか、水蒸気分圧を下げて乾燥することによって水可
溶性硼素化合物の少ないBNを得ることに成功した。す
なわち本発明の要旨とするところは、高純度高結晶質B
Nであって水i′Tf溶性硼素の量がBNを煮佛浸出し
た水中に1100p/g−BN以下であろ水可溶性硼素
化合物の少ない六方晶窒化硼素である。またその工業的
な製造方法は、結晶質六方晶窒化硼素微粉末を界面活性
剤および/または水可溶性有機溶媒を分散剤として水に
分散させ、水可溶性硼素化合物を洗浄除去した後、水蒸
気分圧10mm)1g以下および/または温度100℃
以下で乾燥することを#+j徴とする水可溶性硼素化合
物の少ない六方晶窒化硼素の製造方法である。
本発明のBNは、BNを煮沸溶出した抽出水中の全硼素
量が100gg/g−BN以下であることを特徴として
いる6水可溶性[1は、主としてBN中の不安定硼素と
酸化硼素である。水可溶性硼素がxoogg以下のBN
は、例えばシリコンゴムへの添加剤として使用する場合
に、ゴムとBN粉末の密着性が非常に良好になり、熱伝
導性、゛准気絶縁性も向上した。一方、c−BNの原料
として使用した場合においても、回収率と水可溶性硼素
量とは相関関係があり、水可溶性硼素量が1100tL
以下のクリーンな表面を有するBNを使用すれば高い回
収率が得られた。
量が100gg/g−BN以下であることを特徴として
いる6水可溶性[1は、主としてBN中の不安定硼素と
酸化硼素である。水可溶性硼素がxoogg以下のBN
は、例えばシリコンゴムへの添加剤として使用する場合
に、ゴムとBN粉末の密着性が非常に良好になり、熱伝
導性、゛准気絶縁性も向上した。一方、c−BNの原料
として使用した場合においても、回収率と水可溶性硼素
量とは相関関係があり、水可溶性硼素量が1100tL
以下のクリーンな表面を有するBNを使用すれば高い回
収率が得られた。
本発明において煮沸溶出した抽出水中の全硼累:逢が1
00終g / g −B N以下としたのは。
00終g / g −B N以下としたのは。
1100ALを越えると上記の効果が減殺されるからで
ある。
ある。
このような水0′f溶性硼素の測定は以下の方法によっ
て行う。
て行う。
BN2.5gをエチルアルコール1occに分散させた
後、純水40ccを加えてスラリーとして調整し、乾留
器をつけたフラスコを使用して100℃でlh水可溶物
を溶出し、濾過してエチルアルコールを蒸発除去し、再
び純水を加えて50ccとした抽出水を検体としてクル
クミン酸法(A、Tolk and W、A、Tap
Ta1anta、vol 16 。
後、純水40ccを加えてスラリーとして調整し、乾留
器をつけたフラスコを使用して100℃でlh水可溶物
を溶出し、濾過してエチルアルコールを蒸発除去し、再
び純水を加えて50ccとした抽出水を検体としてクル
クミン酸法(A、Tolk and W、A、Tap
Ta1anta、vol 16 。
No、111 (1969))で全硼素量を定量する。
この方法による測定値は、製品の品質特性を表示する値
として直接利用することができ、さらに品質評価として
は極めて厳しい評価法であるということができる。
として直接利用することができ、さらに品質評価として
は極めて厳しい評価法であるということができる。
水可溶性硼素が100gg以下のBNは従来全く知られ
ていないばかりでなく市販の製品も皆無である。以下に
説明するごとく結晶BNを洗浄し表面の水可溶性硼素化
合物を洗M、除去した後、加水分解させず脱水、乾燥処
理することによって初めて調整可能になった。
ていないばかりでなく市販の製品も皆無である。以下に
説明するごとく結晶BNを洗浄し表面の水可溶性硼素化
合物を洗M、除去した後、加水分解させず脱水、乾燥処
理することによって初めて調整可能になった。
次に本発明の製造方法を作用と共に詳細に説明する。
まず原料BNについて詳述する。本発明に用いる結晶質
とは完全に六方晶構造を有した状態のものをいう。BN
は合成条件により結晶構造が異なるのは良く知られたy
lt実である6例えば硼酸と尿素を原料としてN2雰囲
気中でBNを合成した場合を例にとると、a o o
’cからはBNは生成するが、このBNは完全に六方晶
構造にまでなりきっていないもので、結晶学上はパ乱層
構造パと呼ばれ、隣接する層が互いにランダムに位置し
た層状構造になっている。通常の結晶質のBNは黒鉛と
同様に六方晶の層状構造をとり各層は完全に平行になっ
ており、この点が乱層構造のBNと異なる占−7%飢ス
七戯し!泊向ル目fでいビ〉ゑ隅謡浩カ)ら六方晶構
造に徐々に変化していき、それと同稗に粒成長と不純物
のB203 、硼酸アンモニウム、結晶中の酸素、炭素
などが除去されて純度も向上していく。1600℃以上
になると一次粒子径も1gm以上になる。さらに加熱を
続け1800℃になると完全に六方晶構造で2gm〜6
ILmの一次粒子径を有する純度99%以上(Nの分析
値から計算した値)のBNになる。
とは完全に六方晶構造を有した状態のものをいう。BN
は合成条件により結晶構造が異なるのは良く知られたy
lt実である6例えば硼酸と尿素を原料としてN2雰囲
気中でBNを合成した場合を例にとると、a o o
’cからはBNは生成するが、このBNは完全に六方晶
構造にまでなりきっていないもので、結晶学上はパ乱層
構造パと呼ばれ、隣接する層が互いにランダムに位置し
た層状構造になっている。通常の結晶質のBNは黒鉛と
同様に六方晶の層状構造をとり各層は完全に平行になっ
ており、この点が乱層構造のBNと異なる占−7%飢ス
七戯し!泊向ル目fでいビ〉ゑ隅謡浩カ)ら六方晶構
造に徐々に変化していき、それと同稗に粒成長と不純物
のB203 、硼酸アンモニウム、結晶中の酸素、炭素
などが除去されて純度も向上していく。1600℃以上
になると一次粒子径も1gm以上になる。さらに加熱を
続け1800℃になると完全に六方晶構造で2gm〜6
ILmの一次粒子径を有する純度99%以上(Nの分析
値から計算した値)のBNになる。
結晶構造を定MS″化する方法として結晶子の大きさを
測定する方法(空振117委員会法)がある。結晶子の
大きさはC軸方向の平均厚さくLc)とC軸方向の平均
直径(L a)で表わされるが(OO2)のx&1回折
ピークが最も強度が強いのでLcが精度も良い。Lcで
結晶構造をJヤ価すると略100Å以下では乱層構造で
あり、略100人〜400人では準黒鉛構造をとり、略
400Å以上では完全に六方晶構造であった。特にBN
の重要な特性の1つである潤滑性はLcが400Å以上
でないと発現されなかった。また比表面積を窒素吸着法
で測定したところ完全に黒鉛構造のBNは4〜1Orn
’/gであったが、準黒鉛構造のBNは25〜100m
’/gであった。また大気中の湿分との反応性について
も差異がみられ、べ(黒鉛構造のBN粉末を1ケ月間ポ
リエチレン製の容器に保存しておくとBNの加水分解に
より発生したアンモニア臭が感ぜられたが、一方黒鉛構
造のBNからは検知されなかった。この点からも結晶質
のBNの方が耐加水分解性に優れ比表面積も小さいこと
から本方法の原料として適している。このように結晶質
BNが準黒鉛構造のBNに比べて耐加水分解性において
優れている原因としては、 (1)結晶質BNの方が比表面積が小さく湿分との反応
界面積が小さい。
測定する方法(空振117委員会法)がある。結晶子の
大きさはC軸方向の平均厚さくLc)とC軸方向の平均
直径(L a)で表わされるが(OO2)のx&1回折
ピークが最も強度が強いのでLcが精度も良い。Lcで
結晶構造をJヤ価すると略100Å以下では乱層構造で
あり、略100人〜400人では準黒鉛構造をとり、略
400Å以上では完全に六方晶構造であった。特にBN
の重要な特性の1つである潤滑性はLcが400Å以上
でないと発現されなかった。また比表面積を窒素吸着法
で測定したところ完全に黒鉛構造のBNは4〜1Orn
’/gであったが、準黒鉛構造のBNは25〜100m
’/gであった。また大気中の湿分との反応性について
も差異がみられ、べ(黒鉛構造のBN粉末を1ケ月間ポ
リエチレン製の容器に保存しておくとBNの加水分解に
より発生したアンモニア臭が感ぜられたが、一方黒鉛構
造のBNからは検知されなかった。この点からも結晶質
のBNの方が耐加水分解性に優れ比表面積も小さいこと
から本方法の原料として適している。このように結晶質
BNが準黒鉛構造のBNに比べて耐加水分解性において
優れている原因としては、 (1)結晶質BNの方が比表面積が小さく湿分との反応
界面積が小さい。
(2)結晶質BNは六方晶の完全結晶であるため表面の
Bは結晶内部と強固に結合しており結合エネルギーも大
きく容易に水蒸気に侵食されない。
Bは結晶内部と強固に結合しており結合エネルギーも大
きく容易に水蒸気に侵食されない。
(3)結晶質BNは高純度であり表面に不純物のC01
Hなどが少なく親木基が少ないので吸湿性が低く反応性
に乏しい。
Hなどが少なく親木基が少ないので吸湿性が低く反応性
に乏しい。
などが考えられる。
このときの原料の結晶質BNは後の洗浄工程で効果的に
洗浄するために、粉砕1分級により、マイクロトラック
法で測定した粒径が507zm以上のものは除去し、可
能な限り一次粒子径に近い状態にまで粒度調整しておく
必要がある。
洗浄するために、粉砕1分級により、マイクロトラック
法で測定した粒径が507zm以上のものは除去し、可
能な限り一次粒子径に近い状態にまで粒度調整しておく
必要がある。
水可溶性硼素化合物の洗浄除去を効果的に進めるには、
イ)結晶質BNが洗浄水とのなじみ(濡れ性)がよく、
分散性が良いこと、 口)洗浄水の可溶性硼素化合物の除去効果が大であるこ
と、 が屯要である。
分散性が良いこと、 口)洗浄水の可溶性硼素化合物の除去効果が大であるこ
と、 が屯要である。
これらの項目の中で濡れ性と分散性については結晶質B
Nが黒鉛と同様に単に水と混合するだけでは容易に分散
しないことによる。このため操作も容易に進行しなくな
る。そこで種々な界面活性剤と試薬を使用して分散効果
を調べたところ、分子中の親木基と親油基の両者の釣合
を示すHL B (Hydrophile−Lipop
hile Ba1ance)値で10〜16の範囲にあ
るアニオン系、ノニオン系、カチオン系いずれかの界面
活性剤、あるいは水「f溶性有機溶媒水溶液が適してい
ることが判明した。
Nが黒鉛と同様に単に水と混合するだけでは容易に分散
しないことによる。このため操作も容易に進行しなくな
る。そこで種々な界面活性剤と試薬を使用して分散効果
を調べたところ、分子中の親木基と親油基の両者の釣合
を示すHL B (Hydrophile−Lipop
hile Ba1ance)値で10〜16の範囲にあ
るアニオン系、ノニオン系、カチオン系いずれかの界面
活性剤、あるいは水「f溶性有機溶媒水溶液が適してい
ることが判明した。
界面活性剤としては、HLB値が1oN16の範囲を示
すものが洗浄効果が高く、例えば、ポリオキシエチレン
(5)ソルビタンモノステアレート、ポリオキシエチレ
ン(4)ソルビタントリオレエート、ポリオキシエチレ
ングリコール400モノオレエート、トリエタノールア
ミンオレエート、ポリオキシエチレン(9)ノニルフェ
ノール、ポリエチレングリコール400モノオレエート
、トリエタノールアミンオレエート、ポリオキシエチレ
ン(9)ノニルフェノール、ポリエチレングリ・コール
400モノラウレート、ポリオキシエチレン(4)ソル
ビタンモラウレート、などがある。
すものが洗浄効果が高く、例えば、ポリオキシエチレン
(5)ソルビタンモノステアレート、ポリオキシエチレ
ン(4)ソルビタントリオレエート、ポリオキシエチレ
ングリコール400モノオレエート、トリエタノールア
ミンオレエート、ポリオキシエチレン(9)ノニルフェ
ノール、ポリエチレングリコール400モノオレエート
、トリエタノールアミンオレエート、ポリオキシエチレ
ン(9)ノニルフェノール、ポリエチレングリ・コール
400モノラウレート、ポリオキシエチレン(4)ソル
ビタンモラウレート、などがある。
水可溶性有機溶媒としては、メチルアルコール、エチル
アルコール、グリコール、グリセリン、ナトのアルコー
ル類およびアセトン、アセチルアセトン、エチルアミン
、アセトアルデヒド、フェノールなどがある。
アルコール、グリコール、グリセリン、ナトのアルコー
ル類およびアセトン、アセチルアセトン、エチルアミン
、アセトアルデヒド、フェノールなどがある。
界面活性剤の濃度は0.001〜1重Fi1%の範囲が
好ましい、この理由は1重量%を越えるとそれ以上添加
しても分散効果に差がなく過剰に添加しても経済的に好
ましくないからである。また0、001重砥%未満では
その効果が十分発現されないからである。
好ましい、この理由は1重量%を越えるとそれ以上添加
しても分散効果に差がなく過剰に添加しても経済的に好
ましくないからである。また0、001重砥%未満では
その効果が十分発現されないからである。
水可溶性有機溶媒ではメチルアルコール、エチルアルコ
ールが価格、入手の容易さから最も適している。BN粉
末の洗浄液中への分散方法はまずBN粉末を水可溶性有
機溶媒、例えばメチルアルコール、エチルアルコールな
どに分散させて高濃度のスラリー状にした後、洗浄水に
添加すれば、アルコールの使用賃も少なくてよ〈分散性
も非常に良好であった。また水可溶性有機溶媒と界面活
性剤の併用はさらに効果的である。
ールが価格、入手の容易さから最も適している。BN粉
末の洗浄液中への分散方法はまずBN粉末を水可溶性有
機溶媒、例えばメチルアルコール、エチルアルコールな
どに分散させて高濃度のスラリー状にした後、洗浄水に
添加すれば、アルコールの使用賃も少なくてよ〈分散性
も非常に良好であった。また水可溶性有機溶媒と界面活
性剤の併用はさらに効果的である。
そのときの処理温度は10℃〜lOO℃でよいが、沸点
が100°Cよりも低い分散剤を使用する場合は、分散
剤の沸点以下の温度が好ましい。下限は溶出反応の効率
からいって10℃までである。ただ高温はど洗浄効果は
大きく処理時間は短時間でよい。
が100°Cよりも低い分散剤を使用する場合は、分散
剤の沸点以下の温度が好ましい。下限は溶出反応の効率
からいって10℃までである。ただ高温はど洗浄効果は
大きく処理時間は短時間でよい。
洗浄の際のスラリー濃度は薄いほど洗浄効果は大きいが
、経済性の面から最適な範囲がある。上限はBNが50
重量%のスラリーである。これ以上濃くなると攪拌が均
一に十分性われず、攪拌インペラや容器壁との摩擦も大
きくなり不純物の混入の原因になる。
、経済性の面から最適な範囲がある。上限はBNが50
重量%のスラリーである。これ以上濃くなると攪拌が均
一に十分性われず、攪拌インペラや容器壁との摩擦も大
きくなり不純物の混入の原因になる。
下限を特定する積極的な理由は乏しいが経済性と脱水機
能力の点から2.5重量%までが好ましい。
能力の点から2.5重量%までが好ましい。
スラリーの攪拌は、通常攪拌、高速攪拌あるいは剪断力
に基づく分散など洗浄装置の形状に従って最も効果的な
方法を採用することができる。このときの操作は連続式
、バッチ式いずれの方法によっても良いが、洗浄の終結
点は、実際のプロセスにおいて製造したBN中の水可溶
性硼素の分析値から決定する必要がある。洗浄後のスラ
リーの脱水は遠心脱水、真空脱水、加圧脱水あるいは自
然沈降による脱水のいずれの方法によってもよい。
に基づく分散など洗浄装置の形状に従って最も効果的な
方法を採用することができる。このときの操作は連続式
、バッチ式いずれの方法によっても良いが、洗浄の終結
点は、実際のプロセスにおいて製造したBN中の水可溶
性硼素の分析値から決定する必要がある。洗浄後のスラ
リーの脱水は遠心脱水、真空脱水、加圧脱水あるいは自
然沈降による脱水のいずれの方法によってもよい。
最終工程の乾燥は、洗浄により精製したBNを加水分解
させずに行う必要がある。BNの加水分解はH2Oとの
反応によりB2O3とNH3に変化する反応である。
させずに行う必要がある。BNの加水分解はH2Oとの
反応によりB2O3とNH3に変化する反応である。
28N+3H20→B203 +2NH3・・・・・・
■ このとき反応■を生ずる条件は1次の2点が不可欠であ
る。
■ このとき反応■を生ずる条件は1次の2点が不可欠であ
る。
a)水蒸気分圧がlommHgを越えていること。
b)乾燥温度が100℃を越えていること。
従って、反応■を生じさせない方法はa)、b)の条件
外で乾燥を行えばよいことになる。
外で乾燥を行えばよいことになる。
上記条件の中でa)の水蒸気分圧については10mm)
(g以下であればBN酸化反応28N+ (3/2)0
2→B2O3+N2・・・・・・■ の生ずる500℃より低い温度範囲において木による加
水分解反応と酸化反応を生ずることなく乾燥できるため
である。この条件を満足できる乾燥方法は真空乾燥であ
る。
(g以下であればBN酸化反応28N+ (3/2)0
2→B2O3+N2・・・・・・■ の生ずる500℃より低い温度範囲において木による加
水分解反応と酸化反応を生ずることなく乾燥できるため
である。この条件を満足できる乾燥方法は真空乾燥であ
る。
条件b)の乾燥温度を特定したのは、水蒸気分圧を限定
せず乾燥させた場合に加水分解反応を生ずるのは100
℃を越えた場合であるからである。加水分解反応は酸化
反応に比べて非常に低い温度から始まっている。このと
きのH2Oの形態は木と水蒸気であるがどちらが加水分
解反応に寄与しているかを確認するため、100℃での
乾燥時間24hと同時間BN粉末を100℃の熱水に浸
漬させた後濾過して抽出水中の硼素量を定にしたところ
、熱水で浸漬させた方法では硼素はBN粉末1gに対し
て10gg以下であり100℃で乾燥させたものの17
10以下であった。このことから加水分解反応は主とし
て水蒸気に起因しているといえる。100°C以下の低
温乾繰法として凍結乾燥、大気乾燥などがあり、いずれ
の方法によっても0丁能である。
せず乾燥させた場合に加水分解反応を生ずるのは100
℃を越えた場合であるからである。加水分解反応は酸化
反応に比べて非常に低い温度から始まっている。このと
きのH2Oの形態は木と水蒸気であるがどちらが加水分
解反応に寄与しているかを確認するため、100℃での
乾燥時間24hと同時間BN粉末を100℃の熱水に浸
漬させた後濾過して抽出水中の硼素量を定にしたところ
、熱水で浸漬させた方法では硼素はBN粉末1gに対し
て10gg以下であり100℃で乾燥させたものの17
10以下であった。このことから加水分解反応は主とし
て水蒸気に起因しているといえる。100°C以下の低
温乾繰法として凍結乾燥、大気乾燥などがあり、いずれ
の方法によっても0丁能である。
さらに、水蒸気分圧10mmHg以下かつ乾燥温度10
0℃以下であればより好ましいのは当然である。
0℃以下であればより好ましいのは当然である。
このようにして精製されたBNは表面が改質され、従来
法では得られない高純度であり、特に水可溶性硼素が著
しく少ないために、電子材料、c−BN原料として適し
ている。
法では得られない高純度であり、特に水可溶性硼素が著
しく少ないために、電子材料、c−BN原料として適し
ている。
また本発明は軟式法によらず湿式法で高純度のBNを製
造し得ることは工業的に極めて有利な方法である。得ら
れた水可溶性硼素の少ない高純度BNは今後開拓が進む
であろう新たな分野において十分適用できる。
造し得ることは工業的に極めて有利な方法である。得ら
れた水可溶性硼素の少ない高純度BNは今後開拓が進む
であろう新たな分野において十分適用できる。
実施例1〜6
ジェットミル、気流分級機を使用して25gm以下に粉
砕、分級したLcが820人で純度99%、比表面積が
4.5m2/gのBNを使用して洗浄による精製を行っ
た。
砕、分級したLcが820人で純度99%、比表面積が
4.5m2/gのBNを使用して洗浄による精製を行っ
た。
BNIKgを市販のHLB値が14のエチレンアルコー
ル系の7ニオン系界面活性剤をイオン交換水で0.5重
量%まで希釈した洗浄水10文に分散させて1時間攪拌
しながら煮沸洗浄した後、真空濾過を行った。癌過後ケ
ーキを再度洗浄水10Qに分散させて、前記洗浄症過操
作を5回繰り返した。最後の3回は界面活性剤をBN粉
末から除去するため、界面活性剤を添加せずイオン交換
水だけで洗浄した。この操作によって洗浄したケーキを
、ステンレス製バットに薄く広げて、真空乾燥機を用い
て第1表に示す種々な条件で乾燥した。
ル系の7ニオン系界面活性剤をイオン交換水で0.5重
量%まで希釈した洗浄水10文に分散させて1時間攪拌
しながら煮沸洗浄した後、真空濾過を行った。癌過後ケ
ーキを再度洗浄水10Qに分散させて、前記洗浄症過操
作を5回繰り返した。最後の3回は界面活性剤をBN粉
末から除去するため、界面活性剤を添加せずイオン交換
水だけで洗浄した。この操作によって洗浄したケーキを
、ステンレス製バットに薄く広げて、真空乾燥機を用い
て第1表に示す種々な条件で乾燥した。
このようにして精製したBN粉末の加水分解性を調べる
ために100℃での抽出水中の硼素量を定量したところ
1gのBNに対して第1表に示す分析結果になった。
ために100℃での抽出水中の硼素量を定量したところ
1gのBNに対して第1表に示す分析結果になった。
実施例7〜11
実施例1と同一の試料を使用して第2表に示す重合度の
異るポリオキシエチレン2・ヘプチルウンデルエーテル
系の界面活性剤A−EでBNをイオン交換水中に分散さ
せて洗浄した。
異るポリオキシエチレン2・ヘプチルウンデルエーテル
系の界面活性剤A−EでBNをイオン交換水中に分散さ
せて洗浄した。
界面活性剤による分散は実施例1と同一の方法によった
が、エチルアルコールを使用する場合はBNlkgをエ
チルアルコール?交に分散させて8fLのイオン交換水
に添加する方法によった。界面活性剤とエチルアルコー
ルを併用する場合はエチルアルコールにBNを分散させ
、その後界面活性剤含水液に添加した。このようにして
調整したスラリーを実施例1と同様な方法で洗浄、脱水
した。
が、エチルアルコールを使用する場合はBNlkgをエ
チルアルコール?交に分散させて8fLのイオン交換水
に添加する方法によった。界面活性剤とエチルアルコー
ルを併用する場合はエチルアルコールにBNを分散させ
、その後界面活性剤含水液に添加した。このようにして
調整したスラリーを実施例1と同様な方法で洗浄、脱水
した。
この操作によって製造したケーキをステンレス製バット
に広げて1O−2Torrに真空度をセットした真空乾
燥機中110″Cで12時間乾乾燥理を行った。精製し
たBN粉末のt o o ’cの抽出水中の硼素量を定
:森すると第2表に示す結果になった。
に広げて1O−2Torrに真空度をセットした真空乾
燥機中110″Cで12時間乾乾燥理を行った。精製し
たBN粉末のt o o ’cの抽出水中の硼素量を定
:森すると第2表に示す結果になった。
本発明の六万晶窒外硼素は水可溶性硼素化合物の含有i
、′Lが少なく、高度の耐熱性、熱伝導性、電気絶縁性
等を要求される電子材料等の高純度を要する樹脂笠の充
填材、高純度の立方晶室外硼素の原料等に用いられる。
、′Lが少なく、高度の耐熱性、熱伝導性、電気絶縁性
等を要求される電子材料等の高純度を要する樹脂笠の充
填材、高純度の立方晶室外硼素の原料等に用いられる。
本発明方法はこのような高純度BNを安価に安定的に製
造することを可能ならしめ、その工業的価値は極めて大
きい。
造することを可能ならしめ、その工業的価値は極めて大
きい。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 窒化硼素を純水で煮沸浸出した時の抽出水中の硼素
量が100μg/g−BN以下である水可溶性硼素化合
物の少ない六方晶窒化硼素。 2 結晶質六方晶窒化硼素微粉末を界面活性剤および/
または水可溶性有機溶媒を分散剤として水に分散させ、
水可溶性硼素化合物を洗浄除去した後、水蒸気分圧10
mmHg以下および/または温度100℃以下で乾燥す
ることを特徴とする水可溶性硼素化合物の少ない六方晶
窒化硼素の製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61018937A JPS62176904A (ja) | 1986-01-30 | 1986-01-30 | 水可溶性硼素化合物の少ない六方晶窒化硼素とその製造方法 |
CA000535875A CA1326945C (en) | 1986-01-30 | 1987-04-29 | Water-soluble boron containing impurity reduced hexagonally crystalline boron nitride and process for production thereof |
EP87400994A EP0288645B1 (en) | 1986-01-30 | 1987-04-29 | Hexagonal boron nitride having a reduced content of water soluble boron-containing impurities, and process for its production |
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US07/304,126 US4997633A (en) | 1986-01-30 | 1989-01-31 | Water-soluble boron containing impurity reduced hexagonally crystalline boron nitride |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61018937A JPS62176904A (ja) | 1986-01-30 | 1986-01-30 | 水可溶性硼素化合物の少ない六方晶窒化硼素とその製造方法 |
CA000535875A CA1326945C (en) | 1986-01-30 | 1987-04-29 | Water-soluble boron containing impurity reduced hexagonally crystalline boron nitride and process for production thereof |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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JPH0550442B2 JPH0550442B2 (ja) | 1993-07-29 |
Family
ID=25671324
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP61018937A Granted JPS62176904A (ja) | 1986-01-30 | 1986-01-30 | 水可溶性硼素化合物の少ない六方晶窒化硼素とその製造方法 |
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CA (1) | CA1326945C (ja) |
Cited By (3)
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-
1986
- 1986-01-30 JP JP61018937A patent/JPS62176904A/ja active Granted
-
1987
- 1987-04-29 EP EP87400994A patent/EP0288645B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-04-29 CA CA000535875A patent/CA1326945C/en not_active Expired - Fee Related
- 1987-04-30 US US07/044,445 patent/US4853196A/en not_active Expired - Lifetime
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---|---|
JPH0550442B2 (ja) | 1993-07-29 |
EP0288645B1 (en) | 1993-02-03 |
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CA1326945C (en) | 1994-02-15 |
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