JPS62174653A - 超音波検査方法および装置 - Google Patents
超音波検査方法および装置Info
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は被検体の欠陥の有無を検出する超音波検査方法
および装置に係わり、特に物体間の接着部における剥離
の有無や物体中のボイドの有無を検査するのに好適な超
音波検査方法および装置に関する。
および装置に係わり、特に物体間の接着部における剥離
の有無や物体中のボイドの有無を検査するのに好適な超
音波検査方法および装置に関する。
物体間の接着部における剥離の有無や物体中のボイドの
有無を正確かつ容易に検査したいという要請は多くの技
術分野から出されており、特に最近は、ＩＣパッケージ
等の電子部品及びそれを組込んだ製品が多数生産されて
おり、接着部における剥離や物体中のボイドはこれらの
性能及び機能を左右する原因となることがら、前記要請
は一段と強くなってきている。
有無を正確かつ容易に検査したいという要請は多くの技
術分野から出されており、特に最近は、ＩＣパッケージ
等の電子部品及びそれを組込んだ製品が多数生産されて
おり、接着部における剥離や物体中のボイドはこれらの
性能及び機能を左右する原因となることがら、前記要請
は一段と強くなってきている。
従来このような部品の欠陥を検出する方法の一つとして
超音波検査方法が知られており、この方法は、液槽（主
として水槽）内に被検体を沈め、同じく液槽内に入れら
れた探触子からその被検体に向けて超音波を発射し、被
検体の例えば接着部からの反射波を受信してＲＦ倍信号
し、このＲＦ倍信号表示装置に表示して欠陥の有無を調
べるものである。
超音波検査方法が知られており、この方法は、液槽（主
として水槽）内に被検体を沈め、同じく液槽内に入れら
れた探触子からその被検体に向けて超音波を発射し、被
検体の例えば接着部からの反射波を受信してＲＦ倍信号
し、このＲＦ倍信号表示装置に表示して欠陥の有無を調
べるものである。
ＲＦ倍信号表示装置に表示する方法としては、オシロス
コープの横軸に時間をとり縦軸にＲＦ倍信号波形の振幅
をとって表示するＡスコープ表示と、探触子を被検体に
対して縦横にスキャンし、モニターＴＶの横軸に探触子
の移動の横方向（Ｘ方向）距離をとり縦軸に縦方向（Ｙ
方向）距離をとり、ＲＦ倍信号波形の正のピークの最大
値又は負のピークの絶対値の最大値を階調表示するＣス
コープ表示とがある。
コープの横軸に時間をとり縦軸にＲＦ倍信号波形の振幅
をとって表示するＡスコープ表示と、探触子を被検体に
対して縦横にスキャンし、モニターＴＶの横軸に探触子
の移動の横方向（Ｘ方向）距離をとり縦軸に縦方向（Ｙ
方向）距離をとり、ＲＦ倍信号波形の正のピークの最大
値又は負のピークの絶対値の最大値を階調表示するＣス
コープ表示とがある。
被検体に接着部の剥離又はボイド等の欠陥があると、そ
のような界面における超音波の反射はほぼ１００％とと
なり、欠陥のない部位からの反射に比べてレベルが大き
くなる。又超音波は音響インバーダンス（物質の密度と
音速のｖｃ）の大きい物質からｔＪｚさい物質に入射す
る場合には、反射波の位相が反転する性質を持っている
ので、接着部の剥離又はボイド等の欠陥があると、欠陥
がない部位からの反射波の位相に対してそこからの反射
波の位相は反転しており、前者の位相を正とすれば後者
の位相は負を示すことになる。
のような界面における超音波の反射はほぼ１００％とと
なり、欠陥のない部位からの反射に比べてレベルが大き
くなる。又超音波は音響インバーダンス（物質の密度と
音速のｖｃ）の大きい物質からｔＪｚさい物質に入射す
る場合には、反射波の位相が反転する性質を持っている
ので、接着部の剥離又はボイド等の欠陥があると、欠陥
がない部位からの反射波の位相に対してそこからの反射
波の位相は反転しており、前者の位相を正とすれば後者
の位相は負を示すことになる。
上記従来のＡスコープ表示による方法は、このような超
音波の二つの性質を評価指標として検査員が経験的に判
断するものであった。またＣスコープ表示による方法は
、超音波の前者の性質を利用し、階調表示した結果の濃
淡を検査員が見て。
音波の二つの性質を評価指標として検査員が経験的に判
断するものであった。またＣスコープ表示による方法は
、超音波の前者の性質を利用し、階調表示した結果の濃
淡を検査員が見て。
やはり経験的に判断するものであった。
しかしながら超音波の上記二つの性質はいかなる剥離又
はボイドに対しても常に明確に現われるというものでな
く、例えば剥離であっても波形レベルがわずかしか大き
くならない場合や、位相の反転がはっきりしない場合も
ある。従って、このような場合、検査員の経験的判断に
たよる上記従来の検査方法では、波形レベルの大小や位
相の反転の有無を正確に判断することが出来ず、又それ
を判断するには相当の時間がかかり、又波形レベルがい
ずれの被検体の接着部からのものも同一になる場合にも
、そのレベルが接着を示すのか剥離を示すのかを判断す
るのが困難である等の問題点を有していた。
はボイドに対しても常に明確に現われるというものでな
く、例えば剥離であっても波形レベルがわずかしか大き
くならない場合や、位相の反転がはっきりしない場合も
ある。従って、このような場合、検査員の経験的判断に
たよる上記従来の検査方法では、波形レベルの大小や位
相の反転の有無を正確に判断することが出来ず、又それ
を判断するには相当の時間がかかり、又波形レベルがい
ずれの被検体の接着部からのものも同一になる場合にも
、そのレベルが接着を示すのか剥離を示すのかを判断す
るのが困難である等の問題点を有していた。
本発明は、前記従来技術の問題点を解消するものであっ
て、被検体の欠陥の有無、特に接着部における剥離の有
無や物体内のボイドの有無を、常に正確かつ迅速に検出
することの出来る超音波検査方法および装置を提供する
ことを目的とする。
て、被検体の欠陥の有無、特に接着部における剥離の有
無や物体内のボイドの有無を、常に正確かつ迅速に検出
することの出来る超音波検査方法および装置を提供する
ことを目的とする。
本発明は、被検体に向けて超音波を発射する探触子と、
前記探触子に超音波を発生するためのパルス信号を送信
するパルサーと、前記被検体からの前記超音波の反射波
を受信しそれに応じたＲＦ倍信号発生するレシーバと、
前記ＲＦ倍信号データを表示する表示手段と、を備え、
前記表示手段の表示内容から前記被検体の欠陥の有無を
判断するようにした超音波検査装置において。
前記探触子に超音波を発生するためのパルス信号を送信
するパルサーと、前記被検体からの前記超音波の反射波
を受信しそれに応じたＲＦ倍信号発生するレシーバと、
前記ＲＦ倍信号データを表示する表示手段と、を備え、
前記表示手段の表示内容から前記被検体の欠陥の有無を
判断するようにした超音波検査装置において。
（ａ）前記レシーバに接続され、前記ＲＦ倍信号正のピ
ークの最大値と負のピークの絶対値の最大値とを検出す
るピークディテクタと。
ークの最大値と負のピークの絶対値の最大値とを検出す
るピークディテクタと。
（ｂ）前記ピークディテクタに接続され、前記圧のピー
クの最大値と前記負のピークの絶対値の最大値との大小
関係を比較するための演算を行い、その演算値を示す信
号を前記表示手段に送信しその演算値を表示させる制御
手段とを有する超音波探傷装置とし。
クの最大値と前記負のピークの絶対値の最大値との大小
関係を比較するための演算を行い、その演算値を示す信
号を前記表示手段に送信しその演算値を表示させる制御
手段とを有する超音波探傷装置とし。
前記表示手段に表示させた演算値により前記ＲＦ倍信号
位相の反転の有無を判定し、これにより被検体の欠陥の
有無を検出する検査方法とすることにより、被検体の欠
陥の有無、特に接着部における剥離の有無や物体内のボ
イドの有無を１．常に正確かつ迅速に検出することがで
きるようにしたものである。
位相の反転の有無を判定し、これにより被検体の欠陥の
有無を検出する検査方法とすることにより、被検体の欠
陥の有無、特に接着部における剥離の有無や物体内のボ
イドの有無を１．常に正確かつ迅速に検出することがで
きるようにしたものである。
本発明者等は、超音波の反射波について種々実験した結
果、接着部における剥離のような欠陥が無い被検体に対
する、位相の反転していない反射波の典型的なものにお
いては４波形の正のピークの最大値と負のピークの絶対
値の最大値とを比較すると、正のピークの最大値の方が
大きく、一方、接着部における剥離のような欠陥のある
被検体に対する、位相の反転している反射波の典型的な
ものにおいては、同様に比較すると負のピークの絶対値
の最大値の方が大きいという事実から１反射波の正のピ
ークの最大値と負のピークの絶対値の最大値との大小関
係を比較することにより１位相の反転の有無を判定し、
欠陥の有無を検出することを可能にしたものである。ま
た本発明者等は、実験の結果、被検体の種類によって、
正のピークの最大値の方が大きい場合でもそれがわずか
な時には、位相が反転している場合があることから。
果、接着部における剥離のような欠陥が無い被検体に対
する、位相の反転していない反射波の典型的なものにお
いては４波形の正のピークの最大値と負のピークの絶対
値の最大値とを比較すると、正のピークの最大値の方が
大きく、一方、接着部における剥離のような欠陥のある
被検体に対する、位相の反転している反射波の典型的な
ものにおいては、同様に比較すると負のピークの絶対値
の最大値の方が大きいという事実から１反射波の正のピ
ークの最大値と負のピークの絶対値の最大値との大小関
係を比較することにより１位相の反転の有無を判定し、
欠陥の有無を検出することを可能にしたものである。ま
た本発明者等は、実験の結果、被検体の種類によって、
正のピークの最大値の方が大きい場合でもそれがわずか
な時には、位相が反転している場合があることから。
被検体毎に実験的に定まるしきい値を導入して上記大小
関係を比較することにより、より正確に位相の反転の有
無を判定出来ることを可能にしたものである。
関係を比較することにより、より正確に位相の反転の有
無を判定出来ることを可能にしたものである。
第１図において、本発明の好適実施例である超音波検査
装置が符号１で示されており、装置１は。
装置が符号１で示されており、装置１は。
水を入れられた容器Ｃの底に置かれた被検体りに向けて
超音波を発射する探触子２を有し、探触子２はスキャニ
ング装置３に支持され、被検体りに対して直交する二方
法、即ちＸ方向及びＹ方向に移動し得るようになってい
る。
超音波を発射する探触子２を有し、探触子２はスキャニ
ング装置３に支持され、被検体りに対して直交する二方
法、即ちＸ方向及びＹ方向に移動し得るようになってい
る。
探触子２は、それに超音波を発生するためのパルス信号
を送信するパルサー４と、被検体りからの反射波を受信
しそれに応じたＲＦ倍信号発生するレシーバ５とに接続
されており、レシーバ５にはそのＲＦ倍信号Ａスコープ
表示するオシロスコープ６が接続されている。
を送信するパルサー４と、被検体りからの反射波を受信
しそれに応じたＲＦ倍信号発生するレシーバ５とに接続
されており、レシーバ５にはそのＲＦ倍信号Ａスコープ
表示するオシロスコープ６が接続されている。
レシーバ５には又、ＲＦ倍信号正のピークの最大値Ｐと
負のピークの絶対値の最大値Ｎとを検出するピークディ
テクタ７が接続され、ピークディテクタ７は後述する如
く、その正のピークの最大値Ｐ及び負のピークの絶対値
の最大値Ｎに比例したＤＣ＠圧を出力するようになって
いる。このＤＣ電圧はそれぞれのＡＤ変換器８，９によ
りデジタル信号に変換された後、ＣＰＵｌ０に入力され
る。
負のピークの絶対値の最大値Ｎとを検出するピークディ
テクタ７が接続され、ピークディテクタ７は後述する如
く、その正のピークの最大値Ｐ及び負のピークの絶対値
の最大値Ｎに比例したＤＣ＠圧を出力するようになって
いる。このＤＣ電圧はそれぞれのＡＤ変換器８，９によ
りデジタル信号に変換された後、ＣＰＵｌ０に入力され
る。
ＣＰＵ１０においては、第２図に示すようなプログラム
が組まれている。即ち上記正のピークの最大値Ｐと負の
ピークの絶対値の最大値Ｎとをそれぞれ示す信号を入力
した後、それら値の大小関係を比較するための演算を行
うようになっており、図示実施例では、前者から後者の
差をとる演算を行うようになっている。ＣＰＵｌ０にお
いて、この演算値Ｖはさらにその正負が判別され、その
正負のレベルに応じた若しくは正負に応じて２値化した
信号を画像信号として発生するようになっている。図示
実施例では、演算値■が正の時は、モニターＴＶ１３に
黒色を表示する画像信号が作られ、負の時は白色を表示
する画像信号が作られる。
が組まれている。即ち上記正のピークの最大値Ｐと負の
ピークの絶対値の最大値Ｎとをそれぞれ示す信号を入力
した後、それら値の大小関係を比較するための演算を行
うようになっており、図示実施例では、前者から後者の
差をとる演算を行うようになっている。ＣＰＵｌ０にお
いて、この演算値Ｖはさらにその正負が判別され、その
正負のレベルに応じた若しくは正負に応じて２値化した
信号を画像信号として発生するようになっている。図示
実施例では、演算値■が正の時は、モニターＴＶ１３に
黒色を表示する画像信号が作られ、負の時は白色を表示
する画像信号が作られる。
その画像信号は、ＣＰＵｌ０に接続された画像入出力装
置１１に出力される。画像入出力装置１１は、画像メモ
リ１２及びモニターＴＶ１３に接続され、ＣＰＵ１０か
ら送られてきた画像信号を画像メモリ１２に一旦記憶さ
せ、ここからＴＶの水平及び垂直走査信号に同期してモ
ニターＴＶ１３に出力するようになっている。
置１１に出力される。画像入出力装置１１は、画像メモ
リ１２及びモニターＴＶ１３に接続され、ＣＰＵ１０か
ら送られてきた画像信号を画像メモリ１２に一旦記憶さ
せ、ここからＴＶの水平及び垂直走査信号に同期してモ
ニターＴＶ１３に出力するようになっている。
ＣＰＵｌ０は又、スキャニング装置３を上述の如く動作
させるためのスキャナコントローラ１４に接続され、こ
れにより被検体りの所定のスキャン範囲にわたって上記
画像信号を得ることが出来、従ってその画像信号に基づ
いたＣスコープ表示をモニターＴＶ１３の表示画面上に
得ることが出来る。
させるためのスキャナコントローラ１４に接続され、こ
れにより被検体りの所定のスキャン範囲にわたって上記
画像信号を得ることが出来、従ってその画像信号に基づ
いたＣスコープ表示をモニターＴＶ１３の表示画面上に
得ることが出来る。
なおこのスキャナコントローラ１４及びそれに関するＣ
ＰＵＬＯの制御内容は、一般のＣスコープ表示による超
音波検査方法おいて公知であるので、詳細な説明は省略
する。
ＰＵＬＯの制御内容は、一般のＣスコープ表示による超
音波検査方法おいて公知であるので、詳細な説明は省略
する。
上記ピークディテクタ７は、第３図に示すように、レシ
ーバ５から出力されたＲＦ倍信号入力する入力回路１５
、入力されたＲＦ倍信号被検体の検査部位からの反射波
のみを取出すため、そのＲＦ倍信号所定の遅延時間後に
所定の時間だけゲー１〜を開き通過させるゲート回路１
６、このゲート回路を通過してきたＲＦ倍信号正側の波
形のみを通過させる第１の極性回路１７ｐ及びその負側
の波形のみを通過させる第２の極性回路１７ｎ、第１及
び第２の極性回路を通過した正側及び負側の波形をそれ
ぞれ検波する第１及び第２の検波回路１８ρ、１８ｎ、
第１及び第２の検波回路で検波された波形の最大値をそ
れぞれホールドする第１及び第２のホールド回路１９ｐ
、 １９ｎ、及びホールドされた波形の最大値に比例し
たＤＣ電圧を出力する出力回路２０ｐ。
ーバ５から出力されたＲＦ倍信号入力する入力回路１５
、入力されたＲＦ倍信号被検体の検査部位からの反射波
のみを取出すため、そのＲＦ倍信号所定の遅延時間後に
所定の時間だけゲー１〜を開き通過させるゲート回路１
６、このゲート回路を通過してきたＲＦ倍信号正側の波
形のみを通過させる第１の極性回路１７ｐ及びその負側
の波形のみを通過させる第２の極性回路１７ｎ、第１及
び第２の極性回路を通過した正側及び負側の波形をそれ
ぞれ検波する第１及び第２の検波回路１８ρ、１８ｎ、
第１及び第２の検波回路で検波された波形の最大値をそ
れぞれホールドする第１及び第２のホールド回路１９ｐ
、 １９ｎ、及びホールドされた波形の最大値に比例し
たＤＣ電圧を出力する出力回路２０ｐ。
２０ｎを備え、これにより前記ＲＦ倍信号正のピークの
最大値と負のピークの絶対値の最大値とを検出するよう
になっている。
最大値と負のピークの絶対値の最大値とを検出するよう
になっている。
このような構成の超音波検査装置において、今。
レシーバ５から送られピークディチクタフのゲート回路
１６を通過したＲＦ倍信号波形が第４図（’ａ）に示す
ような形をしているとすると、第１の回路１７ｐ、 １
８ｐ、 １９ｐにより正のピークの最大値Ｐ１が検出さ
れ、第２の回路１．７ｎ、 １８ｎ、 １９ｎにより負
のピークの絶対値の最大値Ｎ１が検出され、出力回路２
０Ｐｙ ２０ｎから第４図（ｂ）に示すようなりＣ電圧
ＶＰＩ、ＶＮＩが出力される。このＤＣ電圧はＡＤ変換
器８，９によりデジタル化された後ＣＰＵ１０ニ入力さ
れ１．＝ノｃｐｔＪｔｏニおイテ、ＶＰ、ｔ−Ｖ Ｎ
］、が演算され、第４図（ｃ）に示すような演算値ｖＯ
を得る。
１６を通過したＲＦ倍信号波形が第４図（’ａ）に示す
ような形をしているとすると、第１の回路１７ｐ、 １
８ｐ、 １９ｐにより正のピークの最大値Ｐ１が検出さ
れ、第２の回路１．７ｎ、 １８ｎ、 １９ｎにより負
のピークの絶対値の最大値Ｎ１が検出され、出力回路２
０Ｐｙ ２０ｎから第４図（ｂ）に示すようなりＣ電圧
ＶＰＩ、ＶＮＩが出力される。このＤＣ電圧はＡＤ変換
器８，９によりデジタル化された後ＣＰＵ１０ニ入力さ
れ１．＝ノｃｐｔＪｔｏニおイテ、ＶＰ、ｔ−Ｖ Ｎ
］、が演算され、第４図（ｃ）に示すような演算値ｖＯ
を得る。
ＣＰＵｌ０においては、さらに、演算値ｖＯの正負を判
断し、この場合は演算値ｖＯは正であるので、それに応
じた画像信号例えばモニターＴＶ１３の表示画面に黒色
を写し出す画像信号を発生し。
断し、この場合は演算値ｖＯは正であるので、それに応
じた画像信号例えばモニターＴＶ１３の表示画面に黒色
を写し出す画像信号を発生し。
それを画像メモリ１２を介してモニターＴＶ１３に出力
する。
する。
なお演算値Ｖｏが正であることは、ＲＦ倍信号正のピー
クの最大値Ｐ１が負のピークの絶対値の最大値Ｎ１より
も大きく、従って、ＲＦ倍信号位相は正であるので位相
は反転しておらず、前述した超音波の性質より被検体の
検査部位、例えば接着部には剥離が生じていないことを
示す。
クの最大値Ｐ１が負のピークの絶対値の最大値Ｎ１より
も大きく、従って、ＲＦ倍信号位相は正であるので位相
は反転しておらず、前述した超音波の性質より被検体の
検査部位、例えば接着部には剥離が生じていないことを
示す。
次にレシーバ５から送られピークディチクタフのゲート
回路１Ｇを通過したＲＦ倍信号波形が第５図（ａ）に示
すような形をしているとすると、同様にピークディチク
タフによりＲＦ倍信号波形の正のピークの最大値Ｐ２及
び負のピークの絶対値の最大値Ｎ２が検出され、第５図
（ｂ）に示すような、それに比例したＤＣ電圧ＶＰ２．
ＶＮ２が出力される。このＤＣ電圧は、同様にＡＤ変換
器８，９でデジタル化された後、ＣＰＵｌ０においてＶ
Ｐ２−ＶＮ２が演算され、その演算値Ｖｄの正負が判断
され、この場合第５図（ｃ）に示すように、演算値Ｖｄ
は負であるので、それに応じた画像信号例えばモニター
ＴＶ１３の表示画面に白色を写し出す画像信号を発生し
、それを画像メモリ１２及びモニターＴＶ１３に出力す
る。
回路１Ｇを通過したＲＦ倍信号波形が第５図（ａ）に示
すような形をしているとすると、同様にピークディチク
タフによりＲＦ倍信号波形の正のピークの最大値Ｐ２及
び負のピークの絶対値の最大値Ｎ２が検出され、第５図
（ｂ）に示すような、それに比例したＤＣ電圧ＶＰ２．
ＶＮ２が出力される。このＤＣ電圧は、同様にＡＤ変換
器８，９でデジタル化された後、ＣＰＵｌ０においてＶ
Ｐ２−ＶＮ２が演算され、その演算値Ｖｄの正負が判断
され、この場合第５図（ｃ）に示すように、演算値Ｖｄ
は負であるので、それに応じた画像信号例えばモニター
ＴＶ１３の表示画面に白色を写し出す画像信号を発生し
、それを画像メモリ１２及びモニターＴＶ１３に出力す
る。
なお演算値Ｖｄが負であることは、ＲＦ倍信号負のピー
クの絶対値の最大値Ｎ２が正のピークの最大値Ｐ２より
も大きく、従ってＲＦ倍信号位相は負であるので位相は
反転しており、前述した超音波の性質より被検体の検査
部位例えば接着部に剥離が生じていることを示す。
クの絶対値の最大値Ｎ２が正のピークの最大値Ｐ２より
も大きく、従ってＲＦ倍信号位相は負であるので位相は
反転しており、前述した超音波の性質より被検体の検査
部位例えば接着部に剥離が生じていることを示す。
このようにして被検体りの所定のスキャン範囲にわたっ
て画像信号を作り出し、モニターＴＶ１３に出力するこ
とにより、接着部の剥離等の欠陥の無い部分が黒色で写
し出され、剥離等の欠陥のある部分が白色で写し出され
た、被検体の検査部位のＣスコープ表示が得られる。こ
れによりいかなる検査員でも容易かつ迅速に欠陥の有無
を検出することが出来る。
て画像信号を作り出し、モニターＴＶ１３に出力するこ
とにより、接着部の剥離等の欠陥の無い部分が黒色で写
し出され、剥離等の欠陥のある部分が白色で写し出され
た、被検体の検査部位のＣスコープ表示が得られる。こ
れによりいかなる検査員でも容易かつ迅速に欠陥の有無
を検出することが出来る。
なお上述したように、被検体の種類によっては。
ＲＦ倍信号正のピークの最大値が負のピークの絶対値の
最大値より大きい場合でも、それがわずかの場合には位
相が反転しており、接着部の剥離等の欠陥からの反射波
であることがある。そこで正のピークの最大値と負のピ
ークの絶対値の最大値との大小関係をみるのに、被検体
毎に実験的に定められるしきい値αを導入すると便利で
ある。
最大値より大きい場合でも、それがわずかの場合には位
相が反転しており、接着部の剥離等の欠陥からの反射波
であることがある。そこで正のピークの最大値と負のピ
ークの絶対値の最大値との大小関係をみるのに、被検体
毎に実験的に定められるしきい値αを導入すると便利で
ある。
具体的には、ＲＦ倍信号正のピークの最大値をＰ、負の
ピークの絶対値の最大値をＮとすると、Ｖ＝Ｐ−（Ｎ＋
α）を演算し、■が正の時には剥離等の欠陥が無く、■
が負の時は欠陥があるものと判定するものである。この
ことを上述した超音波検査装置１で行うには、ＣＰＵｌ
０において、■＝Ｐ−（Ｎ＋α）の演算を行ない、■の
正負に応じて２値化した画像信号もしくはＶの正負のレ
ベルに応じて階調表示する画像信号を発生するようにプ
ログラムを修正すればよい。
ピークの絶対値の最大値をＮとすると、Ｖ＝Ｐ−（Ｎ＋
α）を演算し、■が正の時には剥離等の欠陥が無く、■
が負の時は欠陥があるものと判定するものである。この
ことを上述した超音波検査装置１で行うには、ＣＰＵｌ
０において、■＝Ｐ−（Ｎ＋α）の演算を行ない、■の
正負に応じて２値化した画像信号もしくはＶの正負のレ
ベルに応じて階調表示する画像信号を発生するようにプ
ログラムを修正すればよい。
以上の実施例においては、ＲＦ倍信号正のピークの最大
値と負のピークの絶対値の最大値との大小関係を比較す
るのに、前者から後者の差をとる演算を行ったが、これ
のみに限られず、前者に対する後者の比をとる演算を行
ってもよい。この場合、その演算値が１より大きい場合
には正のピークの最大値の方が大きく、位相は反転して
おらず。
値と負のピークの絶対値の最大値との大小関係を比較す
るのに、前者から後者の差をとる演算を行ったが、これ
のみに限られず、前者に対する後者の比をとる演算を行
ってもよい。この場合、その演算値が１より大きい場合
には正のピークの最大値の方が大きく、位相は反転して
おらず。
接着部等の検査部位は健全であり、１より小さい場合に
は負のピークの絶対値の最大値の方が大きく、接着部等
の検査部位に剥離等の欠陥があることが分かる。
は負のピークの絶対値の最大値の方が大きく、接着部等
の検査部位に剥離等の欠陥があることが分かる。
このことを上述した超音波検査装置１で実現するには、
第６図に示すように、ＣＰＵｌ０において。
第６図に示すように、ＣＰＵｌ０において。
ＲＦ倍信号正のピークの最大値Ｐを示す信号及び負のピ
ークの絶対値の最大値Ｎを示す信号を入力した後、Ｒ＝
Ｐ／Ｎを演算し、Ｒが１より大きいか小さいかを判断し
、その大小に応じて２値化した画像信号もしくは階調表
示する画像信号を出力するようにプログラムを修正すれ
ばよい。即ち、このように修正された超音波検査装置に
おいては。
ークの絶対値の最大値Ｎを示す信号を入力した後、Ｒ＝
Ｐ／Ｎを演算し、Ｒが１より大きいか小さいかを判断し
、その大小に応じて２値化した画像信号もしくは階調表
示する画像信号を出力するようにプログラムを修正すれ
ばよい。即ち、このように修正された超音波検査装置に
おいては。
第７図（ａ）に示すような波形のＲＦ倍信号入力された
場合には、ピークディチクタフによりその正のピークの
最大値Ｐ３と負のピークの絶対値の最大値Ｎ３とが検出
され、第７図（ｂ）に示すようなそれに比例したＤＣ電
圧ＶＰ３．ＶＨ２が出力され、ＣＰＵ１０においてＲ１
＝ＶＰ３／ＶＮ３が演算され、第７図（ｃ）に示すよう
な演算値Ｒ１が得られる。ＣＰＵｌ０においてはさらに
、Ｒ１が１より大きいか否かが判断され、この場合は１
より大きいのでそれに応じた画像信号を出力する。次い
で第８図（ａ）に示すような波形のＲＦ倍信号入力され
た場合には、同様にピークディテクタ７において二つの
最大値Ｐ４．Ｎ４が検出され、それに比例した第８図（
ｂ）に示すようなりＣｔｌｔ圧が出力され、ＣＰＵ１Ｏ
においてＲ２＝ＶＰ４／ＶＮ４が演算され、Ｒ２が１よ
り大きいか否かが判断され。
場合には、ピークディチクタフによりその正のピークの
最大値Ｐ３と負のピークの絶対値の最大値Ｎ３とが検出
され、第７図（ｂ）に示すようなそれに比例したＤＣ電
圧ＶＰ３．ＶＨ２が出力され、ＣＰＵ１０においてＲ１
＝ＶＰ３／ＶＮ３が演算され、第７図（ｃ）に示すよう
な演算値Ｒ１が得られる。ＣＰＵｌ０においてはさらに
、Ｒ１が１より大きいか否かが判断され、この場合は１
より大きいのでそれに応じた画像信号を出力する。次い
で第８図（ａ）に示すような波形のＲＦ倍信号入力され
た場合には、同様にピークディテクタ７において二つの
最大値Ｐ４．Ｎ４が検出され、それに比例した第８図（
ｂ）に示すようなりＣｔｌｔ圧が出力され、ＣＰＵ１Ｏ
においてＲ２＝ＶＰ４／ＶＮ４が演算され、Ｒ２が１よ
り大きいか否かが判断され。
この場合は第８図（ｃ）に示すように１より小さいので
それに応じた上記画像信号とは異なる画像信号が出力さ
れる。このようにして最初の実施例と同様に例えば白黒
表示されたＣスコープ表示がモニターＴＶに写し出され
、検査員は容易かつ迅速に欠陥の有無を検出することが
出来る。
それに応じた上記画像信号とは異なる画像信号が出力さ
れる。このようにして最初の実施例と同様に例えば白黒
表示されたＣスコープ表示がモニターＴＶに写し出され
、検査員は容易かつ迅速に欠陥の有無を検出することが
出来る。
この実施例においても最初の実施例と同様に。
被検体毎に実験的に定められたしきい値αを導入するこ
とにより、より正確に欠陥の有無を判定することが出来
る。即ち、ＣＰＵ１０において、Ｒ＝（Ｐ／Ｎ）−αを
演算するようにプログラムが修正される。
とにより、より正確に欠陥の有無を判定することが出来
る。即ち、ＣＰＵ１０において、Ｒ＝（Ｐ／Ｎ）−αを
演算するようにプログラムが修正される。
上述した二つの最大値Ｐ、Ｈの差をとる演算にしきい値
αを導入する場合には、最大値Ｐ、Ｎのレベルは剥離等
の欠陥の有無だけでなく、被検体の材質に対する超音波
の減衰率、透過率や探触子の特性等その他の要因によっ
ても変化する。従ってそのようなその他の要因の変化に
応じてしきい値αを変化させなければならない場合もあ
る。
αを導入する場合には、最大値Ｐ、Ｎのレベルは剥離等
の欠陥の有無だけでなく、被検体の材質に対する超音波
の減衰率、透過率や探触子の特性等その他の要因によっ
ても変化する。従ってそのようなその他の要因の変化に
応じてしきい値αを変化させなければならない場合もあ
る。
−右後者の実施例の二つの最大値Ｐ、Ｎの比をとる演算
では、欠陥の有無以外のその他の要因によるレベルの変
化は消去されてしまうので、常に同じ被検体に対しては
同じしきい値αを用いることが出来る効果がある。なお
前記しきい値αは必ずしも正とは限らない。
では、欠陥の有無以外のその他の要因によるレベルの変
化は消去されてしまうので、常に同じ被検体に対しては
同じしきい値αを用いることが出来る効果がある。なお
前記しきい値αは必ずしも正とは限らない。
以上の実施例においては、ＲＦ倍信号正のピークの最大
値から負のピークの絶対値の最大値の差を演算した値、
又は前者に対する後者の比を演算した値を画像信号化し
てモニターＴＶに写し出したが、このような表示の仕方
に限らず、例えばそれを再びアナログ信号化してそのレ
ベルをオシロスコープに写し出すようにすることもでき
、この場合も、同様に検査員はオシロスコープを見るこ
とにより欠陥の有無を容易かつ迅速に検出することが出
来る。
値から負のピークの絶対値の最大値の差を演算した値、
又は前者に対する後者の比を演算した値を画像信号化し
てモニターＴＶに写し出したが、このような表示の仕方
に限らず、例えばそれを再びアナログ信号化してそのレ
ベルをオシロスコープに写し出すようにすることもでき
、この場合も、同様に検査員はオシロスコープを見るこ
とにより欠陥の有無を容易かつ迅速に検出することが出
来る。
以上明らかなように、本発明の超音波検査方法および装
置によれば、被検体からの反射波により作られるＲＦ倍
信号正のピークの最大値と負のピークの絶対値の最大値
との大小関係を比較するための演算を行い、その演算値
を表示単段に表示してＲＦ倍信号位相の反転の有無を判
定するようにしたので、表示内容が単純化され、検査頁
の熟練の度合いに係わらず容易かつ迅速に欠陥の有無を
検出することが出来るものである。
置によれば、被検体からの反射波により作られるＲＦ倍
信号正のピークの最大値と負のピークの絶対値の最大値
との大小関係を比較するための演算を行い、その演算値
を表示単段に表示してＲＦ倍信号位相の反転の有無を判
定するようにしたので、表示内容が単純化され、検査頁
の熟練の度合いに係わらず容易かつ迅速に欠陥の有無を
検出することが出来るものである。
図面はいずれも本発明に係わる説明図で、第１図は本発
明の一好適実施例による超音波検査装置を示す概略図、
第２図は第１図に示す超音波検査装置におけるＣＰＵの
制御内容の主要なものを示すフローチャート、第３図は
第１図に示す超音波検査装置におけるピークディテクタ
の詳細を示すブロック図、第４図（ａ）、 （ｂ）、
（ｃ）は被検体の剥離の無い接着部におけるＲＦ倍信号
ピークディテクタの出力ＤＣｆｆｉ圧、及びＣＰＵにお
いて差を演算した値をそれぞれ示す説明図、第５図（ａ
）、 （ｂ）。 （ｃ）は被検体の接着部に剥離があった場合の、第４図
（ａ）、 （ｂ）、 （ｃ）と同様な説明図、第６図は
本発明の他の好適実施例による超音波検査装置における
ＣＰＵの制御内容の主要なものを示す第２図と同様なフ
ローチャート、第７図（ａ）、 （ｂ）、 （ｃ）は被
検体の剥離の無い接着部におけるＲＦ倍信号ピークディ
テクタの出力Ｄ Ｃｍ圧、及びＣＰＵにおいて比を演算
した値をそれぞれ示す説明図、第８図（ａ）、 （ｂ）
、 （ｃ）は被検体の接着部に剥離があった場合の、第
７図（ａ） 、 （ｂ） 、 （ｃ）と同様な説明図で
ある。 特許出願人 日立建機株式会社 代理人弁理士 秋 本 正 実 第１図 第２図 第３図 第４図 ｆｆ５図 （ｂ）
（ｂ）第６図 第７図 １！Ｉ８図
明の一好適実施例による超音波検査装置を示す概略図、
第２図は第１図に示す超音波検査装置におけるＣＰＵの
制御内容の主要なものを示すフローチャート、第３図は
第１図に示す超音波検査装置におけるピークディテクタ
の詳細を示すブロック図、第４図（ａ）、 （ｂ）、
（ｃ）は被検体の剥離の無い接着部におけるＲＦ倍信号
ピークディテクタの出力ＤＣｆｆｉ圧、及びＣＰＵにお
いて差を演算した値をそれぞれ示す説明図、第５図（ａ
）、 （ｂ）。 （ｃ）は被検体の接着部に剥離があった場合の、第４図
（ａ）、 （ｂ）、 （ｃ）と同様な説明図、第６図は
本発明の他の好適実施例による超音波検査装置における
ＣＰＵの制御内容の主要なものを示す第２図と同様なフ
ローチャート、第７図（ａ）、 （ｂ）、 （ｃ）は被
検体の剥離の無い接着部におけるＲＦ倍信号ピークディ
テクタの出力Ｄ Ｃｍ圧、及びＣＰＵにおいて比を演算
した値をそれぞれ示す説明図、第８図（ａ）、 （ｂ）
、 （ｃ）は被検体の接着部に剥離があった場合の、第
７図（ａ） 、 （ｂ） 、 （ｃ）と同様な説明図で
ある。 特許出願人 日立建機株式会社 代理人弁理士 秋 本 正 実 第１図 第２図 第３図 第４図 ｆｆ５図 （ｂ）
（ｂ）第６図 第７図 １！Ｉ８図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、探触子から被検体に向けて発射された超音波の反射
波を受信してＲＦ信号とし、このＲＦ信号のデータを表
示手段に表示して被検体の欠陥の有無を検査する超音波
検査方法において、（ａ）前記ＲＦ信号の正のピークの
最大値を検出し、 （ｂ）前記ＲＦ信号の負のピークの絶対値の最大値を検
出し、 （ｃ）前記正のピークの最大値と前記負のピークの絶対
値の最大値との大小関係を比較するための演算を行い、 （ｄ）その演算値を前記表示手段に表示して前記ＲＦ信
号の位相の反転の有無を判定し、 これにより被検体の欠陥の有無を検出する ことを特徴とする超音波検査方法。 ２、前記正のピークの最大値と負のピークの絶対値との
大小関係を比較するための演算を行うに際して、被検体
毎に実験的に定められたしきい値を導入して演算を行う
特許請求の範囲第１項記載の超音波検査方法。 ３、前記正のピークの最大値と負のピークの絶対値の最
大値との大小関係を比較するための演算は、前者から後
者の差をとる演算である特許請求の範囲第１項記載の超
音波検査方法。 ４、前記正のピークの最大値と負のピークの絶対値の最
大値との大小関係を比較するための演算は、前者から後
者の差をとり、さらにその値から被検体毎に実験的に定
められたしきい値の差をとる演算であり、その演算値が
正の時は前記ＲＦ信号の位相が反転していないと判定し
、負の時はその位相が反転していると判定する特許請求
の範囲第１項記載の超音波検査方法。 ５、前記正のピークの最大値と負のピークの絶対値の最
大値との大小関係を比較するための演算は、前者から後
者の比をとる演算である特許請求の範囲第１項記載の超
音波検査方法。 ６、前記正のピークの最大値と負のピークの絶対値の最
大値との大小関係を比較するための演算は、前者に対す
る後者の比をとり、その値から、被検体毎に実験的に定
められたしきい値の差をとる演算であり、その演算値が
１より大きい時は前記ＲＦ信号の位相は反転していない
と判定し、１より小さいときはその位相が反転している
と判定する特許請求の範囲第１項記載の超音波検査方法
。 ７、前記演算値の表示は、前記演算値のレベルに応じた
階調でモニターＴＶでなされるＣスコープ表示である特
許請求の範囲第１項記載の超音波検査方法。 ８、被検体に向けて超音波を発射する探触子と、前記探
触子に超音波を発生するためのパルス信号を送信するパ
ルサーと、前記被検体からの前記超音波の反射波を受信
しそれに応じたＲＦ信号を発生するレシーバと、前記Ｒ
Ｆ信号のデータを表示する表示手段と、を備え、前記表
示手段の表示内容から前記被検体の欠陥の有無を判断す
るようにした超音波検査装置において、（ａ）前記レシ
ーバに接続され、前記ＲＦ信号の正のピークの最大値と
負のピークの絶対値の最大値とを検出するピークディテ
クタと、 （ｂ）前記ピークディテクタに接続され、前記正のピー
クの最大値と前記負のピークの絶対値の最大値との大小
関係を比較するための演算を行い、その演算値を示す信
号を前記表示手段に送信しその演算値を表示させる制御
手段とを有することを特徴とする超音波検査装置。 ９、前記ピークディテクタは、前記ＲＦ信号の正側の波
形のみを通過させる第１の極性回路及びその負側の波形
のみを通過させる第２の極性回路、前記第１及び第２の
極性回路を通過した正側及び負側の波形をそれぞれ検波
する第１及び第２の検波回路、前記第１及び第２の検波
回路で検波された波形の最大値をそれぞれホールドする
第１及び第２のホールド回路を備え、これにより前記Ｒ
Ｆ信号の正のピークの最大値と負のピークの絶対値の最
大値とを検出するようになっている特許請求の範囲第８
項記載の超音波検査装置。 １０、前記表示手段は前記制御手段に接続されたモニタ
ーＴＶであり、前記制御手段は前記演算値を示す信号の
演算値のレベルに応じた階調で前記モニターＴＶにＣス
コープ表示するようになっている特許請求の範囲第８項
記載の超音波検査装置。 １１、前記制御手段は、前記正のピークの最大値と前記
負のピークの絶対値の最大値との大小関係を比較するた
めの演算として、前者から後者の差をとる演算を行うよ
うになっている特許請求の範囲第８項記載の超音波検査
装置。 １２、前記制御手段は、前記正のピークの最大値と前記
負のピークの絶対値の最大値との大小関係を比較するた
めの演算として、前者に対する後者の比をとる演算を行
うようになっている特許請求の範囲第８項記載の超音波
検査装置。 １３、前記制御手段は、前記演算値の正負に応じた信号
を発生し、この信号に基づいて前記モニターＴＶにＣス
コープ表示をするようになっている特許請求の範囲第８
項記載の超音波検査装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60-228778 | 1985-10-16 | ||
| JP22877885 | 1985-10-16 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62174653A true JPS62174653A (ja) | 1987-07-31 |
| JPH0718842B2 JPH0718842B2 (ja) | 1995-03-06 |
Family
ID=16881697
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61242090A Expired - Lifetime JPH0718842B2 (ja) | 1985-10-16 | 1986-10-14 | 超音波検査装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4862383A (ja) |
| EP (1) | EP0219128B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0718842B2 (ja) |
| DE (1) | DE3688963T2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01248053A (ja) * | 1988-03-29 | 1989-10-03 | Canon Inc | 超音波測定方法及び超音波測定装置 |
| JP2002131296A (ja) * | 2000-10-20 | 2002-05-09 | Ebara Corp | 非破壊検査システム |
| US7325754B2 (en) | 2002-09-20 | 2008-02-05 | Toto Ltd. | Shower nozzle |
| JP2015507187A (ja) * | 2011-12-30 | 2015-03-05 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 複数特性の並行的超音波検査 |
| JP2020091194A (ja) * | 2018-12-05 | 2020-06-11 | 株式会社日立パワーソリューションズ | 超音波検査方法、超音波検査装置及び超音波検査プログラム |
| US11307177B2 (en) | 2016-12-07 | 2022-04-19 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Ultrasonic flaw detector and ultrasonic flaw detecting method for composite material |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5696326A (en) * | 1993-12-20 | 1997-12-09 | Axis Usa, Inc. | Method and apparatus for acoustic testing of armatures |
| US5492013A (en) * | 1993-12-20 | 1996-02-20 | Axis Usa, Inc. | Method and apparatus for acoustic testing of armatures |
| GB9504751D0 (en) * | 1995-03-09 | 1995-04-26 | Quality Medical Imaging Ltd | Apparatus for ultrasonic tissue investigation |
| JP2883290B2 (ja) * | 1995-04-10 | 1999-04-19 | アロカ株式会社 | 超音波骨評価装置 |
| JP2002323481A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-08 | Kawasaki Steel Corp | 超音波探傷方法および装置 |
| US7337672B2 (en) * | 2003-10-27 | 2008-03-04 | Alcoa Inc. | Method for inspecting grinding wheels |
| US20050087017A1 (en) * | 2003-10-27 | 2005-04-28 | Blake Robert A. | Apparatus and method for inspecting grinding wheels |
| US20060076321A1 (en) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Maev Roman G | Ultrasonic in-process monitoring and feedback of resistance spot weld quality |
| US20110016975A1 (en) * | 2009-07-24 | 2011-01-27 | Gregory Scott Glaesemann | Method and Apparatus For Measuring In-Situ Characteristics Of Material Exfoliation |
| US20170276618A1 (en) * | 2016-03-23 | 2017-09-28 | Apple Inc. | Glass breakage detection |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58213248A (ja) * | 1982-06-07 | 1983-12-12 | Hitachi Ltd | 超音波による欠陥識別方法とその装置 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4213183A (en) * | 1979-03-22 | 1980-07-15 | Adaptronics, Inc. | System for nondestructive evaluation of material flaw characteristics |
| US4327588A (en) * | 1980-08-28 | 1982-05-04 | The Secretary Of State For Defence In Her Britannic Majesty's Government Of The United Kingdom Of Great Britain And Northern Ireland | Auto-ranging ultrasonic attenuation meters |
| US4462082A (en) * | 1981-09-17 | 1984-07-24 | Rockwell International Corporation | Automatic calibration system for ultrasonic inspection |
| US4475398A (en) * | 1982-10-08 | 1984-10-09 | Armco Inc. | Successive approximation envelope detection for estimating the amplitude of a plurality of successively occurring electrical pulses |
| JPS59141061A (ja) * | 1983-02-01 | 1984-08-13 | Keizaburo Harumi | 波形観察に基づく超音波探傷法 |
-
1986
- 1986-10-14 JP JP61242090A patent/JPH0718842B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1986-10-16 EP EP86114349A patent/EP0219128B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-10-16 DE DE86114349T patent/DE3688963T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1986-10-16 US US06/919,766 patent/US4862383A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58213248A (ja) * | 1982-06-07 | 1983-12-12 | Hitachi Ltd | 超音波による欠陥識別方法とその装置 |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01248053A (ja) * | 1988-03-29 | 1989-10-03 | Canon Inc | 超音波測定方法及び超音波測定装置 |
| JP2002131296A (ja) * | 2000-10-20 | 2002-05-09 | Ebara Corp | 非破壊検査システム |
| JP4484351B2 (ja) * | 2000-10-20 | 2010-06-16 | 株式会社荏原製作所 | 非破壊検査方法および装置 |
| US7325754B2 (en) | 2002-09-20 | 2008-02-05 | Toto Ltd. | Shower nozzle |
| JP2015507187A (ja) * | 2011-12-30 | 2015-03-05 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 複数特性の並行的超音波検査 |
| US11307177B2 (en) | 2016-12-07 | 2022-04-19 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Ultrasonic flaw detector and ultrasonic flaw detecting method for composite material |
| JP2020091194A (ja) * | 2018-12-05 | 2020-06-11 | 株式会社日立パワーソリューションズ | 超音波検査方法、超音波検査装置及び超音波検査プログラム |
| WO2020116289A1 (ja) * | 2018-12-05 | 2020-06-11 | 株式会社日立パワーソリューションズ | 超音波検査方法及び超音波検査装置 |
| TWI708940B (zh) * | 2018-12-05 | 2020-11-01 | 日商日立電力解決方案股份有限公司 | 超音波檢查方法及超音波檢查裝置 |
| CN113167766A (zh) * | 2018-12-05 | 2021-07-23 | 株式会社日立电力解决方案 | 超声波检查方法以及超声波检查装置 |
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| Publication number | Publication date |
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| US4862383A (en) | 1989-08-29 |
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| DE3688963T2 (de) | 1994-03-31 |
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