JPH0587784A - 欠陥定量化の推定方法及び装置 - Google Patents
欠陥定量化の推定方法及び装置Info
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- JPH0587784A JPH0587784A JP3271889A JP27188991A JPH0587784A JP H0587784 A JPH0587784 A JP H0587784A JP 3271889 A JP3271889 A JP 3271889A JP 27188991 A JP27188991 A JP 27188991A JP H0587784 A JPH0587784 A JP H0587784A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】容易に被検体の表面直下の欠陥の大きさと深さ
等を定量化する。 【構成】表面波を用いて被検体の表面直下の欠陥を定量
化し推定する欠陥定量化の推定方法において、被検体の
表面を伝播する表面波が該表面の直下の欠陥で反射して
得られる反射信号のレベルを、深さ方向の振動振幅が異
なる探傷周波数の高周波用表面波センサ及び低周波用表
面波センサでそれぞれ検出し、それら検出値を予め人工
欠陥を用いて求めた欠陥定量化曲線上にプロットして得
られる交点座標により上記欠陥の深さと大きさとを定量
化して推定する。
等を定量化する。 【構成】表面波を用いて被検体の表面直下の欠陥を定量
化し推定する欠陥定量化の推定方法において、被検体の
表面を伝播する表面波が該表面の直下の欠陥で反射して
得られる反射信号のレベルを、深さ方向の振動振幅が異
なる探傷周波数の高周波用表面波センサ及び低周波用表
面波センサでそれぞれ検出し、それら検出値を予め人工
欠陥を用いて求めた欠陥定量化曲線上にプロットして得
られる交点座標により上記欠陥の深さと大きさとを定量
化して推定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、表面波を用いて被検体
の表面直下の欠陥を定量化し推定する欠陥定量化の推定
方法及び装置に関する。
の表面直下の欠陥を定量化し推定する欠陥定量化の推定
方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】表面波を用いて被検体の表面直下の欠陥
を定量化し推定する従来の探傷装置は図５に示すような
構成となっていた。同図で 1は短い振幅のパルス信号を
発生するパルス発生回路、 2はパルス発生回路1 で発生
したパルス信号を表面波として被検体3 に伝播させる一
方、被検体3の表面直下にある欠陥4 によって反射され
た表面波の反射信号を検知する表面波センサ、 5は表面
波センサ2 で検知された信号全体を増幅する増幅回路、
6は増幅回路5 で増幅された信号中から反射信号のみを
取出すゲート回路、 7はゲート回路6 で取出した反射信
号を周波数分析する周波数分析回路、 8は周波数分析回
路7 での周波数分析の結果を例えばグラフ表示する表示
装置8 である。
を定量化し推定する従来の探傷装置は図５に示すような
構成となっていた。同図で 1は短い振幅のパルス信号を
発生するパルス発生回路、 2はパルス発生回路1 で発生
したパルス信号を表面波として被検体3 に伝播させる一
方、被検体3の表面直下にある欠陥4 によって反射され
た表面波の反射信号を検知する表面波センサ、 5は表面
波センサ2 で検知された信号全体を増幅する増幅回路、
6は増幅回路5 で増幅された信号中から反射信号のみを
取出すゲート回路、 7はゲート回路6 で取出した反射信
号を周波数分析する周波数分析回路、 8は周波数分析回
路7 での周波数分析の結果を例えばグラフ表示する表示
装置8 である。
【０００３】図６は上記表面波センサ2 に要求される周
波数帯域と振幅の関係を示すもので、図示する如くきわ
めて広帯域の特性を有する表面波センサ2 が必要とな
る。このような特性を有する表面波センサ2 を用いて探
傷を行なうこと表示装置8 に表示出力される画面を図７
に例示する。図中に破線で示すＡはパルス発生回路1 に
より発生され、表面波センサ2 により被検体3 の表面を
伝播する表面波であり、実際には表示装置8で表示され
ることはない。そして、この表面波が欠陥4 で反射され
て再び表面波センサ2 で得られる反射波が実線で示すＢ
である。
波数帯域と振幅の関係を示すもので、図示する如くきわ
めて広帯域の特性を有する表面波センサ2 が必要とな
る。このような特性を有する表面波センサ2 を用いて探
傷を行なうこと表示装置8 に表示出力される画面を図７
に例示する。図中に破線で示すＡはパルス発生回路1 に
より発生され、表面波センサ2 により被検体3 の表面を
伝播する表面波であり、実際には表示装置8で表示され
ることはない。そして、この表面波が欠陥4 で反射され
て再び表面波センサ2 で得られる反射波が実線で示すＢ
である。
【０００４】探傷を行なう場合には、表示装置8 で表示
される反射波の周波数分析結果のみを見て解析、評価を
行ない、被検体3 中の欠陥4 の位置と深さ及び大きさを
推定するもので、探傷を行なう者に経験と熟達とが必要
とされる。
される反射波の周波数分析結果のみを見て解析、評価を
行ない、被検体3 中の欠陥4 の位置と深さ及び大きさを
推定するもので、探傷を行なう者に経験と熟達とが必要
とされる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記したように従来の
探傷装置にあっては、非常に広帯域の特性をもった表面
波センサ2 や周波数分析回路7 などの専門的な機器が必
要とされると共に、周波数分析の方法と解析、評価にお
いて探傷を行なう技術者の高度の経験を要求されるの
で、該技術者の熟達の度合いによって欠陥定量化の推定
値に大きな誤差を生じる可能性があった。
探傷装置にあっては、非常に広帯域の特性をもった表面
波センサ2 や周波数分析回路7 などの専門的な機器が必
要とされると共に、周波数分析の方法と解析、評価にお
いて探傷を行なう技術者の高度の経験を要求されるの
で、該技術者の熟達の度合いによって欠陥定量化の推定
値に大きな誤差を生じる可能性があった。
【０００６】本発明は上記のような実情に鑑みてなされ
たもので、その目的とするところは、特殊で専門的な機
器を使用せず、かつ、技術者の熟達の度合いに関係な
く、容易に欠陥の大きさと深さ等を定量化して推定可能
な欠陥定量化の推定方法及び装置を提供することにあ
る。
たもので、その目的とするところは、特殊で専門的な機
器を使用せず、かつ、技術者の熟達の度合いに関係な
く、容易に欠陥の大きさと深さ等を定量化して推定可能
な欠陥定量化の推定方法及び装置を提供することにあ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段及び作用】すなわち本発明
は、 （１） 表面波を用いて被検体の表面直下の欠陥を定量
化し推定する欠陥定量化の推定方法において、被検体の
表面を伝播する表面波が該表面の直下の欠陥で反射して
得られる反射信号のレベルを、深さ方向の振動振幅が異
なる探傷周波数の高周波用表面波センサ及び低周波用表
面波センサでそれぞれ検出し、それら検出値を予め人工
欠陥を用いて求めた欠陥定量化曲線上にプロットして得
られる交点座標により上記欠陥の深さと大きさとを定量
化して推定するようにしたもので、容易に被検体の表面
直下の欠陥の大きさと深さ等を定量化することができ
る。
は、 （１） 表面波を用いて被検体の表面直下の欠陥を定量
化し推定する欠陥定量化の推定方法において、被検体の
表面を伝播する表面波が該表面の直下の欠陥で反射して
得られる反射信号のレベルを、深さ方向の振動振幅が異
なる探傷周波数の高周波用表面波センサ及び低周波用表
面波センサでそれぞれ検出し、それら検出値を予め人工
欠陥を用いて求めた欠陥定量化曲線上にプロットして得
られる交点座標により上記欠陥の深さと大きさとを定量
化して推定するようにしたもので、容易に被検体の表面
直下の欠陥の大きさと深さ等を定量化することができ
る。
【０００８】（２） 表面波を用いて被検体の表面直下
の欠陥を定量化し推定する欠陥定量化の推定装置におい
て、被検体の表面を伝播させる高周波用及び低周波用の
パルスを発生するパルス発生回路と、このパルス発生回
路からの高周波用及び低周波用のパルスを表面波として
上記被検体に印加する一方、被検体の表面直下の欠陥に
より反射される表面波の反射信号を検知する高周波用及
び低周波用の表面波センサと、この表面波センサで検知
された表面波の反射信号のみを取出すゲート回路と、こ
のゲート回路で得られた該反射信号の最大電圧を保持す
るピークホールド回路と、このピークホールド回路の保
持する該反射信号の最大電圧を表示出力する表示装置と
備え、この表示装置で表示される上記高周波用及び低周
波用の表面波センサでの検出値を用い、予め人工欠陥を
用いて求めた欠陥定量化曲線上にプロットすることでそ
の交点座標により上記欠陥の深さと大きさとを定量化し
て推定することができるようになるもので、特殊で専門
的な機器ではなく一般の超音波探傷等に用いられる機器
を用いて被検体の表面直下の欠陥の大きさと深さ等を定
量化することができる。
の欠陥を定量化し推定する欠陥定量化の推定装置におい
て、被検体の表面を伝播させる高周波用及び低周波用の
パルスを発生するパルス発生回路と、このパルス発生回
路からの高周波用及び低周波用のパルスを表面波として
上記被検体に印加する一方、被検体の表面直下の欠陥に
より反射される表面波の反射信号を検知する高周波用及
び低周波用の表面波センサと、この表面波センサで検知
された表面波の反射信号のみを取出すゲート回路と、こ
のゲート回路で得られた該反射信号の最大電圧を保持す
るピークホールド回路と、このピークホールド回路の保
持する該反射信号の最大電圧を表示出力する表示装置と
備え、この表示装置で表示される上記高周波用及び低周
波用の表面波センサでの検出値を用い、予め人工欠陥を
用いて求めた欠陥定量化曲線上にプロットすることでそ
の交点座標により上記欠陥の深さと大きさとを定量化し
て推定することができるようになるもので、特殊で専門
的な機器ではなく一般の超音波探傷等に用いられる機器
を用いて被検体の表面直下の欠陥の大きさと深さ等を定
量化することができる。
【０００９】
【実施例】以下図面を参照して本発明の一実施例を説明
する。
する。
【００１０】図１は本発明の一実施例に係る欠陥定量化
の推定装置の回路構成を示すものである。同図中、10
ａ，10ｂは省略して１個のみしか示さないがそれぞれ高
周波センサ、低周波用センサであり、これらセンサ10
ａ，10ｂは共にパルス発生回路11からの高周波、低周波
のパルスを被検体16に表面波18として伝播させる一方、
この被検体16の表面直下、深さｄ［mm］の位置にある欠
陥17により反射される表面波18の反射信号をそれぞれ検
知する。これらセンサ10ａ，10ｂで検知された信号はす
べて増幅回路12で増幅された後にゲート回路13に送られ
る。ゲート回路13は、増幅回路12からの上記センサ10
ａ，10ｂで検知された表面波信号中の反射信号のみを取
出し、ピークホールド回路14へ送出する。ピークホール
ド回路14は、ゲート回路13で得られた低周波、高周波そ
れぞれの該反射信号の信号レベル、あるいはエコー高さ
を保持し、その保持内容を表示装置15に出力する。そし
て、表示装置15では、低周波の表面波と高周波の表面波
に応じたピークホールド回路14からの信号値を共に表示
出力する。
の推定装置の回路構成を示すものである。同図中、10
ａ，10ｂは省略して１個のみしか示さないがそれぞれ高
周波センサ、低周波用センサであり、これらセンサ10
ａ，10ｂは共にパルス発生回路11からの高周波、低周波
のパルスを被検体16に表面波18として伝播させる一方、
この被検体16の表面直下、深さｄ［mm］の位置にある欠
陥17により反射される表面波18の反射信号をそれぞれ検
知する。これらセンサ10ａ，10ｂで検知された信号はす
べて増幅回路12で増幅された後にゲート回路13に送られ
る。ゲート回路13は、増幅回路12からの上記センサ10
ａ，10ｂで検知された表面波信号中の反射信号のみを取
出し、ピークホールド回路14へ送出する。ピークホール
ド回路14は、ゲート回路13で得られた低周波、高周波そ
れぞれの該反射信号の信号レベル、あるいはエコー高さ
を保持し、その保持内容を表示装置15に出力する。そし
て、表示装置15では、低周波の表面波と高周波の表面波
に応じたピークホールド回路14からの信号値を共に表示
出力する。
【００１１】上記のような構成にあって、表面波は被検
体16の表面近傍のみを超音波が伝播する振動モードであ
り、比較的被検体16の表面から浅い位置にある欠陥17を
検査する目的に用いられるものである。表面波は、図４
に示すように深さ方向に振幅が減少する波であり、表面
波の深さ方向の振動振幅は「深さ／波長」の値により決
定される。すなわち図４によれば、低い周波数の表面波
を用いると被検体16表面から比較的深い範囲にまで超音
波が伝播する。一方、逆に高い周波数の表面波を用いる
と、超音波のエネルギー分布は被検体16表面で大きく、
表面近傍の欠陥17を高い反射信号レベルで検出可能とな
る半面、該表面から離れるに従って欠陥17からの反射信
号レベルが著しく低下することが理解できる。
体16の表面近傍のみを超音波が伝播する振動モードであ
り、比較的被検体16の表面から浅い位置にある欠陥17を
検査する目的に用いられるものである。表面波は、図４
に示すように深さ方向に振幅が減少する波であり、表面
波の深さ方向の振動振幅は「深さ／波長」の値により決
定される。すなわち図４によれば、低い周波数の表面波
を用いると被検体16表面から比較的深い範囲にまで超音
波が伝播する。一方、逆に高い周波数の表面波を用いる
と、超音波のエネルギー分布は被検体16表面で大きく、
表面近傍の欠陥17を高い反射信号レベルで検出可能とな
る半面、該表面から離れるに従って欠陥17からの反射信
号レベルが著しく低下することが理解できる。
【００１２】そこで、上記構成の如く高周波用及び低周
波用の２種類の表面波センサ10ａ，10ｂを用いて被検体
16表面下の欠陥17を探傷することにより、欠陥17の断面
積（大きさ）及び深さに比例した反射信号レベルが得ら
れることに着目し、予め種々の実行欠陥を形成した試験
片を用いて上記表面波センサ10ａ，10ｂにより欠陥の大
きさ、深さに対応した反射信号レベルを検出、測定し、
図２に示すような欠陥定量化曲線の特性図を求めてお
く。すなわち、同図は被検体16と同じ材質の試験片に欠
陥の大きさと深さが異なる各種人口欠陥を形成した人口
欠陥試験片を用いて、高周波用表面波センサ10ａと低周
波用表面波センサ10ｂで各人口欠陥の検出レベル（ここ
では電圧レベル）を測定し、その測定電圧をグラフの縦
軸、横軸をそれぞれ欠陥の大きさ、深さとして対応させ
てプロットしたものである。図中、実線で示す電圧Ｖ1
，Ｖ2 ，Ｖ3 ，…が高周波用表面波センサ10ａによる
欠陥検出電圧を示し、破線で示す電圧ｖ1 ，ｖ2 ，ｖ3
，…が低周波用表面波センサ10ｂによる欠陥検出電圧
を示している。
波用の２種類の表面波センサ10ａ，10ｂを用いて被検体
16表面下の欠陥17を探傷することにより、欠陥17の断面
積（大きさ）及び深さに比例した反射信号レベルが得ら
れることに着目し、予め種々の実行欠陥を形成した試験
片を用いて上記表面波センサ10ａ，10ｂにより欠陥の大
きさ、深さに対応した反射信号レベルを検出、測定し、
図２に示すような欠陥定量化曲線の特性図を求めてお
く。すなわち、同図は被検体16と同じ材質の試験片に欠
陥の大きさと深さが異なる各種人口欠陥を形成した人口
欠陥試験片を用いて、高周波用表面波センサ10ａと低周
波用表面波センサ10ｂで各人口欠陥の検出レベル（ここ
では電圧レベル）を測定し、その測定電圧をグラフの縦
軸、横軸をそれぞれ欠陥の大きさ、深さとして対応させ
てプロットしたものである。図中、実線で示す電圧Ｖ1
，Ｖ2 ，Ｖ3 ，…が高周波用表面波センサ10ａによる
欠陥検出電圧を示し、破線で示す電圧ｖ1 ，ｖ2 ，ｖ3
，…が低周波用表面波センサ10ｂによる欠陥検出電圧
を示している。
【００１３】図３は上記図２の欠陥定量化曲線の特性図
を求めるために高周波用表面波センサ10ａと低周波用表
面波センサ10ｂそれぞれで各種人口欠陥を形成した人口
欠陥試験片を測定した結果を示す。図３（Ａ）は高周波
用表面波センサ10ａによる測定結果であり、人口欠陥試
験片の表面からの欠陥の深さを横軸、測定電圧を縦軸と
して欠陥の大きさｓ毎にプロットして各欠陥の大きさＳ
における欠陥の深さと検出電圧との関係を求めたもので
ある。また、図３（Ｂ）は低周波用表面波センサ10ｂを
用いた測定結果であり、同様の関係を示す。こうして、
各欠陥の大きさ（ｓ）における欠陥深さ（ｄ）と検出電
圧（Ｖ）の関係を示した図３（Ａ），（Ｂ）を用いて、
検出電圧（Ｖ）を基準に第１の検出電圧Ｖｘ1 が得られ
る各交点の欠陥の大きさ（ｓ）と深さ（ｄ）とを求め、
以後順次第２の検出電圧Ｖｘ2 から第ｎの検出電圧Ｖｘ
ｎに至るまで同様に各交点の欠陥の大きさ（ｓ）と深さ
（ｄ）とを求めることで、上記図２に示すような欠陥定
量化曲線の特性図を得ることができる。
を求めるために高周波用表面波センサ10ａと低周波用表
面波センサ10ｂそれぞれで各種人口欠陥を形成した人口
欠陥試験片を測定した結果を示す。図３（Ａ）は高周波
用表面波センサ10ａによる測定結果であり、人口欠陥試
験片の表面からの欠陥の深さを横軸、測定電圧を縦軸と
して欠陥の大きさｓ毎にプロットして各欠陥の大きさＳ
における欠陥の深さと検出電圧との関係を求めたもので
ある。また、図３（Ｂ）は低周波用表面波センサ10ｂを
用いた測定結果であり、同様の関係を示す。こうして、
各欠陥の大きさ（ｓ）における欠陥深さ（ｄ）と検出電
圧（Ｖ）の関係を示した図３（Ａ），（Ｂ）を用いて、
検出電圧（Ｖ）を基準に第１の検出電圧Ｖｘ1 が得られ
る各交点の欠陥の大きさ（ｓ）と深さ（ｄ）とを求め、
以後順次第２の検出電圧Ｖｘ2 から第ｎの検出電圧Ｖｘ
ｎに至るまで同様に各交点の欠陥の大きさ（ｓ）と深さ
（ｄ）とを求めることで、上記図２に示すような欠陥定
量化曲線の特性図を得ることができる。
【００１４】しかして、図２の特性図中に高周波用表面
波センサ10ａと低周波用表面波センサ10ｂそれぞれで得
た測定電圧値をプロットすることにより、欠陥17の深さ
ｄと大きさとを定量化して推定することができるもので
ある。
波センサ10ａと低周波用表面波センサ10ｂそれぞれで得
た測定電圧値をプロットすることにより、欠陥17の深さ
ｄと大きさとを定量化して推定することができるもので
ある。
【００１５】なお、上記図２及び図３の特性図の作成に
おいては、実際には破線及び実線を多数のサンプリング
点のプロットとその補間により曲線を得るようになるも
のである。
おいては、実際には破線及び実線を多数のサンプリング
点のプロットとその補間により曲線を得るようになるも
のである。
【００１６】
【発明の効果】以上詳記した如く本発明によれば、表面
波を用いて被検体の表面直下の欠陥を定量化し推定する
欠陥定量化の推定方法において、被検体の表面を伝播す
る表面波が該表面の直下の欠陥で反射して得られる反射
信号のレベルを、深さ方向の振動振幅が異なる探傷周波
数の高周波用表面波センサ及び低周波用表面波センサで
それぞれ検出し、それら検出値を予め人工欠陥を用いて
求めた欠陥定量化曲線上にプロットして得られる交点座
標により上記欠陥の深さと大きさとを定量化して推定す
るようにしたので、容易に被検体の表面直下の欠陥の大
きさと深さ等を定量化することができる。
波を用いて被検体の表面直下の欠陥を定量化し推定する
欠陥定量化の推定方法において、被検体の表面を伝播す
る表面波が該表面の直下の欠陥で反射して得られる反射
信号のレベルを、深さ方向の振動振幅が異なる探傷周波
数の高周波用表面波センサ及び低周波用表面波センサで
それぞれ検出し、それら検出値を予め人工欠陥を用いて
求めた欠陥定量化曲線上にプロットして得られる交点座
標により上記欠陥の深さと大きさとを定量化して推定す
るようにしたので、容易に被検体の表面直下の欠陥の大
きさと深さ等を定量化することができる。
【００１７】また、本発明によれば、表面波を用いて被
検体の表面直下の欠陥を定量化し推定する欠陥定量化の
推定装置において、被検体の表面を伝播させる高周波用
及び低周波用のパルスを発生するパルス発生回路と、こ
のパルス発生回路からの高周波用及び低周波用のパルス
を表面波として上記被検体に印加する一方、被検体の表
面直下の欠陥により反射される表面波の反射信号を検知
する高周波用及び低周波用の表面波センサと、この表面
波センサで検知された表面波の反射信号のみを取出すゲ
ート回路と、このゲート回路で得られた該反射信号の最
大電圧を保持するピークホールド回路と、このピークホ
ールド回路の保持する該反射信号の最大電圧を表示出力
する表示装置と備え、この表示装置で表示される上記高
周波用及び低周波用の表面波センサでの検出値を用い、
予め人工欠陥を用いて求めた欠陥定量化曲線上にプロッ
トすることでその交点座標により上記欠陥の深さと大き
さとを定量化して推定するようにしたので、特殊で専門
的な機器ではなく一般の超音波探傷等に用いられる機器
を用いて被検体の表面直下の欠陥の大きさと深さ等を定
量化することができる。
検体の表面直下の欠陥を定量化し推定する欠陥定量化の
推定装置において、被検体の表面を伝播させる高周波用
及び低周波用のパルスを発生するパルス発生回路と、こ
のパルス発生回路からの高周波用及び低周波用のパルス
を表面波として上記被検体に印加する一方、被検体の表
面直下の欠陥により反射される表面波の反射信号を検知
する高周波用及び低周波用の表面波センサと、この表面
波センサで検知された表面波の反射信号のみを取出すゲ
ート回路と、このゲート回路で得られた該反射信号の最
大電圧を保持するピークホールド回路と、このピークホ
ールド回路の保持する該反射信号の最大電圧を表示出力
する表示装置と備え、この表示装置で表示される上記高
周波用及び低周波用の表面波センサでの検出値を用い、
予め人工欠陥を用いて求めた欠陥定量化曲線上にプロッ
トすることでその交点座標により上記欠陥の深さと大き
さとを定量化して推定するようにしたので、特殊で専門
的な機器ではなく一般の超音波探傷等に用いられる機器
を用いて被検体の表面直下の欠陥の大きさと深さ等を定
量化することができる。
【図１】本発明の一実施例に係る欠陥定量化の推定装置
の回路構成を示す図。
の回路構成を示す図。
【図２】図１の表示装置で得られる測定値をプロットす
るために作成される欠陥定量化曲線の特性図。
るために作成される欠陥定量化曲線の特性図。
【図３】図２の特性図を作成するために人工欠陥試験片
で得られる欠陥深さと検出電圧の関係を示す図。
で得られる欠陥深さと検出電圧の関係を示す図。
【図４】表面波の伝播特性を示す図。
【図５】従来の探傷装置の回路構成を示す図。
【図６】図５の表面波センサ（表面波探触子）に要求さ
れる周波数特性を示す図。
れる周波数特性を示す図。
【図７】図５の表示装置で表示出力される周波数分析結
果を示す図。
果を示す図。
1，11…パルス発生回路、 2…表面波センサ、 3，16…
被検体、 4，17…欠陥、 5…増幅回路、 6…ゲート回
路、 7…周波数分析回路、 8，15…表示装置、10ａ…高
周波用表面波センサ、10ｂ…低周波用表面波センサ、12
…増幅回路、13…ゲート回路、14…ピークホールド回
路、18…表面波。
被検体、 4，17…欠陥、 5…増幅回路、 6…ゲート回
路、 7…周波数分析回路、 8，15…表示装置、10ａ…高
周波用表面波センサ、10ｂ…低周波用表面波センサ、12
…増幅回路、13…ゲート回路、14…ピークホールド回
路、18…表面波。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 有岡 登 兵庫県高砂市荒井町新浜二丁目１番１号 三菱重工業株式会社高砂研究所内 (72)発明者 小室 隆信 兵庫県高砂市荒井町新浜二丁目１番１号 三菱重工業株式会社高砂製作所内
Claims (2)
- 【請求項１】 表面波を用いて被検体の表面直下の欠陥
を定量化し推定する欠陥定量化の推定方法において、 被検体の表面を伝播する表面波が該表面の直下の欠陥で
反射して得られる反射信号のレベルを、深さ方向の振動
振幅が異なる探傷周波数の高周波用表面波センサ及び低
周波用表面波センサでそれぞれ検出し、それら検出値を
予め人工欠陥を用いて求めた欠陥定量化曲線上にプロッ
トして得られる交点座標により上記欠陥の深さと大きさ
とを定量化して推定することを特徴とした欠陥定量化の
推定方法。 - 【請求項２】 表面波を用いて被検体の表面直下の欠陥
を定量化し推定する欠陥定量化の推定装置において、 被検体の表面を伝播させる高周波用及び低周波用のパル
スを発生するパルス発生手段と、 このパルス発生手段からの高周波用及び低周波用のパル
スを表面波として上記被検体に印加する一方、被検体の
表面直下の欠陥により反射される表面波の反射信号を検
知する高周波用及び低周波用の表面波センサと、 この表面波センサで検知された表面波の反射信号のみを
取出すゲート手段と、 このゲート手段で得られた該反射信号の最大電圧を保持
するピークホールド手段と、 このピークホールド手段の保持する該反射信号の最大電
圧を表示出力する表示手段とを具備したことを特徴とす
る欠陥定量化の推定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3271889A JPH0587784A (ja) | 1991-09-25 | 1991-09-25 | 欠陥定量化の推定方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3271889A JPH0587784A (ja) | 1991-09-25 | 1991-09-25 | 欠陥定量化の推定方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0587784A true JPH0587784A (ja) | 1993-04-06 |
Family
ID=17506312
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3271889A Pending JPH0587784A (ja) | 1991-09-25 | 1991-09-25 | 欠陥定量化の推定方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0587784A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002055088A (ja) * | 2000-08-10 | 2002-02-20 | Mitsubishi Electric Corp | トンネル診断装置及び方法 |
| JP2009293981A (ja) * | 2008-06-03 | 2009-12-17 | Hitachi Engineering & Services Co Ltd | ガイド波を用いた検査方法 |
| JP2015114127A (ja) * | 2013-12-09 | 2015-06-22 | 株式会社神戸製鋼所 | 被検査体の表面欠陥深さの弁別方法及びその装置 |
-
1991
- 1991-09-25 JP JP3271889A patent/JPH0587784A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002055088A (ja) * | 2000-08-10 | 2002-02-20 | Mitsubishi Electric Corp | トンネル診断装置及び方法 |
| JP4577957B2 (ja) * | 2000-08-10 | 2010-11-10 | 三菱電機株式会社 | トンネル診断装置 |
| JP2009293981A (ja) * | 2008-06-03 | 2009-12-17 | Hitachi Engineering & Services Co Ltd | ガイド波を用いた検査方法 |
| JP2015114127A (ja) * | 2013-12-09 | 2015-06-22 | 株式会社神戸製鋼所 | 被検査体の表面欠陥深さの弁別方法及びその装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19990629 |