JPS62172648A - Ｘ線発生装置 - Google Patents

Ｘ線発生装置

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JPS62172648A
JPS62172648A JP61012105A JP1210586A JPS62172648A JP S62172648 A JPS62172648 A JP S62172648A JP 61012105 A JP61012105 A JP 61012105A JP 1210586 A JP1210586 A JP 1210586A JP S62172648 A JPS62172648 A JP S62172648A
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JP
Japan
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ray
electrode
plasma
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extraction window
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JP61012105A
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English (en)
Japanese (ja)
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Yasunao Saito
斉藤　保直
Ikuo Okada
岡田　育夫
Hideo Yoshihara
秀雄 吉原
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NTT Inc
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Priority to US06/857,112 priority patent/US4771447A/en
Priority to DE86105914T priority patent/DE3688946T2/de
Priority to EP86105914A priority patent/EP0201034B1/en
Publication of JPS62172648A publication Critical patent/JPS62172648A/ja
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JP61012105A 1985-04-30 1986-01-24 Ｘ線発生装置 Granted JPS62172648A (ja)

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JP61012105A JPS62172648A (ja) 1986-01-24 1986-01-24 Ｘ線発生装置
US06/857,112 US4771447A (en) 1985-04-30 1986-04-29 X-ray source
DE86105914T DE3688946T2 (de) 1985-04-30 1986-04-29 Röntgenstrahlungsquelle.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003503814A (ja) * 1999-06-29 2003-01-28 フラウンホッファー−ゲゼルシャフト ツァ フェルダールング デァ アンゲヴァンテン フォアシュンク エー．ファオ． ガス放電から超紫外線および軟ｘ線を生成する装置
JP2006216394A (ja) * 2005-02-04 2006-08-17 Komatsu Ltd 極端紫外光源装置用ノズル
JP2008522355A (ja) * 2004-11-29 2008-06-26 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 約１ｎｍから約３０ｎｍの波長範囲の放射線を発生させる方法および機器、ならびにリソグラフィー装置または測定装置での使用
JP2008522379A (ja) * 2004-12-04 2008-06-26 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 電気放電装置を動作させる方法及び機器

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JPS61200695A (ja) * 1985-02-27 1986-09-05 マツクスウエル・ラボラトリ−ズ・インコ−ポレ−テツド 軟ｘ線を発生する装置

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