JPS62172209A - 被検査物のプロフイル検出方法 - Google Patents
被検査物のプロフイル検出方法Info
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- JPS62172209A JPS62172209A JP1437986A JP1437986A JPS62172209A JP S62172209 A JPS62172209 A JP S62172209A JP 1437986 A JP1437986 A JP 1437986A JP 1437986 A JP1437986 A JP 1437986A JP S62172209 A JPS62172209 A JP S62172209A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 20
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000003708 edge detection Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は被検査物を載承せるＸ−Ｙテーブルの駆動によ
って被検査物を移動させて該被検査物の表面をカメラに
映出し、この映像信号を２値化すると共に、測定枠の基
準点からの走査線でＸ方向又はＹ方向に走査し、その走
査長さデータで被検査物の各エツジ位置を演算処理する
プロフィル検出方法に関する。
って被検査物を移動させて該被検査物の表面をカメラに
映出し、この映像信号を２値化すると共に、測定枠の基
準点からの走査線でＸ方向又はＹ方向に走査し、その走
査長さデータで被検査物の各エツジ位置を演算処理する
プロフィル検出方法に関する。
従来、被検査物でるる例えば磁気ヘッド等のエツジを認
識する場合には、カーソル線或は測定枠を被対象物に接
触させる方法を採っている０そして、例えばそのエツジ
座標測定によって被検査物の寸法，形状等を算出する場
合にはエツジ座標位置を多数測定し、それ等測定データ
に基いて演算処理することによって値を得ることができ
るようになっている。
識する場合には、カーソル線或は測定枠を被対象物に接
触させる方法を採っている０そして、例えばそのエツジ
座標測定によって被検査物の寸法，形状等を算出する場
合にはエツジ座標位置を多数測定し、それ等測定データ
に基いて演算処理することによって値を得ることができ
るようになっている。
しかし乍ら、カーソル線は送り込みスピードが所定寸法
毎と遅く且つ被検査物の寸法，形状等を算出するとなる
とエツジ測定詮所が多数必要であること、等の理由によ
ってカーソル線の操作が頗る面倒であり演算処理が効率
的ではないＯ 〔発明の目的〕 本発明が解決しようとする目的は被検査物の寸法、形状
等の項目測定の迅速化を口Ｔ能にすることにある。
毎と遅く且つ被検査物の寸法，形状等を算出するとなる
とエツジ測定詮所が多数必要であること、等の理由によ
ってカーソル線の操作が頗る面倒であり演算処理が効率
的ではないＯ 〔発明の目的〕 本発明が解決しようとする目的は被検査物の寸法、形状
等の項目測定の迅速化を口Ｔ能にすることにある。
上記問題点を解決する為に講じた技術的手段はＸ−Ｙテ
ーブル上に被検査物を載せ、該テーブルをカメラに対向
状に移動させて被検査物の映像を、測定対象域を定めた
測定枠内におさめ、この測定枠内においてＸ、Ｙ走査方
向を２軸とする座標系で被検査物の映像信号を２値化し
、６１１１定粋の基準点から１画素ピッチの走査線でＸ
方向又はＹ方向に走査し、その走査長さデータに基いて
１４械的原点位置から被検査物の各エツジ位置を演算処
理して被検査物のエツジ形状を算出することである。
ーブル上に被検査物を載せ、該テーブルをカメラに対向
状に移動させて被検査物の映像を、測定対象域を定めた
測定枠内におさめ、この測定枠内においてＸ、Ｙ走査方
向を２軸とする座標系で被検査物の映像信号を２値化し
、６１１１定粋の基準点から１画素ピッチの走査線でＸ
方向又はＹ方向に走査し、その走査長さデータに基いて
１４械的原点位置から被検査物の各エツジ位置を演算処
理して被検査物のエツジ形状を算出することである。
次に本発明の実施例を図面に基いて説明する。
第１図はエツジ測定装置を示し％＜１Ｈ２）はＸ−Ｙテ
ーブル、（Ａ）！そのテーブル（１） （２）に載承支
持された被検査物（３）はその被検査物（４）を撮像す
るカメラ、（４）は映像信号をデジタル信号に変換する
Ａ／Ｄ変換器、（５）はＡ／Ｄ変換器（４）を経た映像
情報を２値化等の演算処理をする画像処理装置、（６）
は２値化メモＩＪ 、（７）は中央処理装置（σ山（８
）はタイミングコントロール、（９）は測定枠コントロ
ール、Ｑ（ＩはＲＡＭ、（ロ）はシステムプロクラムを
格納したＲＯＭ、（６）は前記ＲＡＭ（至）には所要の
設定データを書込むキーボード、０◆は合成回路、（ト
）はＤ／Ａ変換器、αＱはモニタである。尚、Ｘ−Ｙテ
ーブル（１３（２）は必要に応じて水平方向に回動可能
なものであっても良い。
ーブル、（Ａ）！そのテーブル（１） （２）に載承支
持された被検査物（３）はその被検査物（４）を撮像す
るカメラ、（４）は映像信号をデジタル信号に変換する
Ａ／Ｄ変換器、（５）はＡ／Ｄ変換器（４）を経た映像
情報を２値化等の演算処理をする画像処理装置、（６）
は２値化メモＩＪ 、（７）は中央処理装置（σ山（８
）はタイミングコントロール、（９）は測定枠コントロ
ール、Ｑ（ＩはＲＡＭ、（ロ）はシステムプロクラムを
格納したＲＯＭ、（６）は前記ＲＡＭ（至）には所要の
設定データを書込むキーボード、０◆は合成回路、（ト
）はＤ／Ａ変換器、αＱはモニタである。尚、Ｘ−Ｙテ
ーブル（１３（２）は必要に応じて水平方向に回動可能
なものであっても良い。
画像処理装置（５）はスレッシュレベルで映像信号を２
値化すると共にその映像画面中にその処理範囲（測定対
象域）を設定する測定枠＠を有し、この測定枠（２）内
にある披検査物囚の画像の２値化されるデータを２値化
メモリ（６）内に書込みする。
値化すると共にその映像画面中にその処理範囲（測定対
象域）を設定する測定枠＠を有し、この測定枠（２）内
にある披検査物囚の画像の２値化されるデータを２値化
メモリ（６）内に書込みする。
上記測定枠（至）はその各辺を移動させることによって
枠範囲を可変自在である。
枠範囲を可変自在である。
た−画一喧寸ト橙ｊλｐ側淀−−゛ →１←合城
２値化メモリ（６）はエツジ検出シーケンスの開始によ
ってＸ、Ｙ走査方向を２軸とする座標系で走査される。
２値化メモリ（６）はエツジ検出シーケンスの開始によ
ってＸ、Ｙ走査方向を２軸とする座標系で走査される。
その走査は、画像処理装ｆ（５）で２値化された処理範
囲（測定対象域）を設定する前記測定枠（至）の基準点
（ψ（φ）から走査線（Ｂ）・・・を走らせ、この走査
線のン一・・ボＯ−１又は１−０に白黒変換する座標［
１ａをエツジとして検出するようにするものでめる。
囲（測定対象域）を設定する前記測定枠（至）の基準点
（ψ（φ）から走査線（Ｂ）・・・を走らせ、この走査
線のン一・・ボＯ−１又は１−０に白黒変換する座標［
１ａをエツジとして検出するようにするものでめる。
而して、本発明の検出方法を説明すれば、Ｘ−Ｙテーブ
ル（１） （２）が所定の原点位置（拡張座標の原点）
からＸ及びＹ方向に移動して停止し、該位置でカメラ（
３）により撮像されたステージσ）が測定枠Ｑ内に納め
られたとする。
ル（１） （２）が所定の原点位置（拡張座標の原点）
からＸ及びＹ方向に移動して停止し、該位置でカメラ（
３）により撮像されたステージσ）が測定枠Ｑ内に納め
られたとする。
０ 、次に画像処理装置（５）により処理された２値化
データを２値化メモリ（６）内に書込む（第３図）Ｏ ０２値化メモリ（６）内に測定枠０の基準点（φ）（φ
）に相当する部分が決定され、走査を開始する、）その
走査は測定枠（ロ）の圧線（１３ａ）からＸ方向に１画
素宛のピッチで順次同様に走査し夫々の走査長さデータ
（８）をカウント数として検出する。
データを２値化メモリ（６）内に書込む（第３図）Ｏ ０２値化メモリ（６）内に測定枠０の基準点（φ）（φ
）に相当する部分が決定され、走査を開始する、）その
走査は測定枠（ロ）の圧線（１３ａ）からＸ方向に１画
素宛のピッチで順次同様に走査し夫々の走査長さデータ
（８）をカウント数として検出する。
Ｏ上記のように検出された走査長さデータ（８）を拡張
座標に演算処理する。即ち、第２図においてステージω
の座標を拡張座標（Ｘ 、 Ｙ）に変換処理するもので
、演算式（Ｘ−）＋χ（ｂｈＸＧ （μｍ／画素（ビク
セル）〕）） （〕Ｙ−１−ｙ ｂｕＸＱ （）ｔ
ｍ／画素（ビクセル）））） にＣＰＵ（７）ｊり算
出し、その算出１直をエツジ位置とし、被検査物■の寸
法、形状等の基とする。
座標に演算処理する。即ち、第２図においてステージω
の座標を拡張座標（Ｘ 、 Ｙ）に変換処理するもので
、演算式（Ｘ−）＋χ（ｂｈＸＧ （μｍ／画素（ビク
セル）〕）） （〕Ｙ−１−ｙ ｂｕＸＱ （）ｔ
ｍ／画素（ビクセル）））） にＣＰＵ（７）ｊり算
出し、その算出１直をエツジ位置とし、被検査物■の寸
法、形状等の基とする。
本発明は以上のように構成したので、カーソル線や測定
枠を操作して多数の座標位置を検出せずとも容易に被検
査物の全体形状の把握が可能である為、寸法、形状等の
各項目を測定するに際して演算処理の簡略化が可能とな
った。
枠を操作して多数の座標位置を検出せずとも容易に被検
査物の全体形状の把握が可能である為、寸法、形状等の
各項目を測定するに際して演算処理の簡略化が可能とな
った。
依って、所期の目的を達成できる。
図面は本発明エツジ検出方法の災施例を示し、第１図は
エツジ検出装置のブロック図、第２図は演算処理を説明
する為のステージと被検査物との関係図、第３図は２値
化メモリ内に２値化データを書込んだ状態を示すデータ
処理図でおる。 尚図中、 （ＡＩ＝被検査物、 （Ｂ）：走査長さデータ、（Ｃ
）：走査線、 （至）：測定枠、（ＩＸ２） ：
Ｘ −Ｙテーブル、（３）二カメラでろる０特許出願人
信越エンジニアリング株式会社第３図 工
エツジ検出装置のブロック図、第２図は演算処理を説明
する為のステージと被検査物との関係図、第３図は２値
化メモリ内に２値化データを書込んだ状態を示すデータ
処理図でおる。 尚図中、 （ＡＩ＝被検査物、 （Ｂ）：走査長さデータ、（Ｃ
）：走査線、 （至）：測定枠、（ＩＸ２） ：
Ｘ −Ｙテーブル、（３）二カメラでろる０特許出願人
信越エンジニアリング株式会社第３図 工
Claims (1)
- Ｘ−Ｙテーブル上に被検査物を載せ、該テーブルをカメ
ラに対向状に移動させて被検査物の映像を、測定対象域
を定めた測定枠内におさめ、この測定枠内においてＸ、
Ｙ走査方向を２軸とする座標系で被検査物の映像信号を
２値化し、測定枠の基準点から１画素ピッチの走査線で
Ｘ方向又はＹ方向に走査し、その走査長さデータに基い
て機械的原点位置から被検査物の各エッジ位置を演算処
理して被検査物のエッジ形状を算出するようにした被検
査物のプロフィル検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1437986A JPS62172209A (ja) | 1986-01-25 | 1986-01-25 | 被検査物のプロフイル検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1437986A JPS62172209A (ja) | 1986-01-25 | 1986-01-25 | 被検査物のプロフイル検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62172209A true JPS62172209A (ja) | 1987-07-29 |
Family
ID=11859408
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1437986A Pending JPS62172209A (ja) | 1986-01-25 | 1986-01-25 | 被検査物のプロフイル検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62172209A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60189951A (ja) * | 1984-03-12 | 1985-09-27 | Fujitsu Ltd | 方形体のエツジ検出方法 |
-
1986
- 1986-01-25 JP JP1437986A patent/JPS62172209A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60189951A (ja) * | 1984-03-12 | 1985-09-27 | Fujitsu Ltd | 方形体のエツジ検出方法 |
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