JPS62170465A - 銅基合金母材への耐熱溶射皮膜形成方法 - Google Patents
銅基合金母材への耐熱溶射皮膜形成方法Info
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- JPS62170465A JPS62170465A JP61013372A JP1337286A JPS62170465A JP S62170465 A JPS62170465 A JP S62170465A JP 61013372 A JP61013372 A JP 61013372A JP 1337286 A JP1337286 A JP 1337286A JP S62170465 A JPS62170465 A JP S62170465A
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Landscapes
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えば連続鋳造鋳型、吹錬ランス、高炉羽目
等の直接溶鋼に接する銅基合金母材に耐熱5耐食性に優
れたMCrAlY合金皮膜を溶射によって形成する方法
に関する。
等の直接溶鋼に接する銅基合金母材に耐熱5耐食性に優
れたMCrAlY合金皮膜を溶射によって形成する方法
に関する。
特開昭55−18523号公報に、Co、 Ni、 F
eをMとして表して、同M基にCr−AI−Y、或いは
Cr−AI−Y−Taを添加してなる所謂MCrA7Y
合金をNi−基、Co−基、Fe−基の超合金からなる
部材上にプラズマスプレーすることが記載されている。
eをMとして表して、同M基にCr−AI−Y、或いは
Cr−AI−Y−Taを添加してなる所謂MCrA7Y
合金をNi−基、Co−基、Fe−基の超合金からなる
部材上にプラズマスプレーすることが記載されている。
同皮膜材は、極めて高い耐食性と耐熱性を有するため、
従来上記の高温に曝される銅基合金母材の保護皮膜の形
成のための溶射材として用いられて来たモリブデン基、
ニッケル基、クロム基合金に代わるものと期待され、実
際の適用が試みられるようになった。
従来上記の高温に曝される銅基合金母材の保護皮膜の形
成のための溶射材として用いられて来たモリブデン基、
ニッケル基、クロム基合金に代わるものと期待され、実
際の適用が試みられるようになった。
ところが、このMCr#Y合金の熱膨張係数は銅とは掻
端に異なり、溶射皮膜の形成に際して母材との接着性が
悪<、600℃以上に加熱されると溶射皮膜は殆どが剥
離されるばかりではなく、溶射施工中に形成した皮膜自
体が剥離することもある。
端に異なり、溶射皮膜の形成に際して母材との接着性が
悪<、600℃以上に加熱されると溶射皮膜は殆どが剥
離されるばかりではなく、溶射施工中に形成した皮膜自
体が剥離することもある。
このため、溶射距離、溶射材料の供給量、形成皮膜の冷
却時間の調整等の溶射条件を調整したが得られた溶射皮
膜の基材への密着力は精々100kg/−程度であるに
過ぎず、実用に供することはできない。
却時間の調整等の溶射条件を調整したが得られた溶射皮
膜の基材への密着力は精々100kg/−程度であるに
過ぎず、実用に供することはできない。
かかる溶射皮膜の密着力を改善するために、溶射前の下
地処理によって溶射皮膜の密着力を改善する方法が、特
公昭55−70452号、特公昭55−70453号、
特公昭57−22852号、特公昭56−3608号、
特公昭53−40567号、特公昭55−141566
号の各公報に提案されている。
地処理によって溶射皮膜の密着力を改善する方法が、特
公昭55−70452号、特公昭55−70453号、
特公昭57−22852号、特公昭56−3608号、
特公昭53−40567号、特公昭55−141566
号の各公報に提案されている。
しかしながら、かかる下地処理において最も効果的であ
ると言われているニッケルメッキ後、無酸化雰囲気下で
溶射する方法やメタライジングによってニッケル基、コ
バルト基等の自溶合金を下地層として溶射し、1000
〜1150℃で加熱するヒユージングの適用も試みたが
、ヒユージングによる熱歪変形の抑制及び皮膜割れ、気
泡の発生防止等の処置が必要となり、非能率であってコ
ストが著しく高いものとなり、とくに長大な対象物の場
合には実用上問題がある。
ると言われているニッケルメッキ後、無酸化雰囲気下で
溶射する方法やメタライジングによってニッケル基、コ
バルト基等の自溶合金を下地層として溶射し、1000
〜1150℃で加熱するヒユージングの適用も試みたが
、ヒユージングによる熱歪変形の抑制及び皮膜割れ、気
泡の発生防止等の処置が必要となり、非能率であってコ
ストが著しく高いものとなり、とくに長大な対象物の場
合には実用上問題がある。
本発明において解決すべき課題は、200kg/cd以
上の密着力を有するMCr/IjY合金の溶射皮膜の銅
基合金母材上への形成を可能にし、さらには、そのMC
rUY合金の溶射皮膜上にセラミックス溶射皮膜の形成
を可能にして銅基台金からなる耐熱、耐食部材の耐用性
を増大せしめる経済的な溶射皮膜形成施工法を確立する
ことにある。
上の密着力を有するMCr/IjY合金の溶射皮膜の銅
基合金母材上への形成を可能にし、さらには、そのMC
rUY合金の溶射皮膜上にセラミックス溶射皮膜の形成
を可能にして銅基台金からなる耐熱、耐食部材の耐用性
を増大せしめる経済的な溶射皮膜形成施工法を確立する
ことにある。
本発明は、銅基合金母材表面の溶射を行なう前に下地処
理として、アルミナによるブラストを行った抜工フケ、
ルメソキを施し、さらにブラストの後、M−Cr−AI
−Y合金の溶射を行なうもので、これによって簡単に2
00kg/ant以上の接着力を有するM−Cr−AI
−Y合金溶射皮膜を得ることができると共に、実際的に
従来不可能であった銅基合金母材上へのセラミックスの
溶射皮膜の形成を可能にしたものである。
理として、アルミナによるブラストを行った抜工フケ、
ルメソキを施し、さらにブラストの後、M−Cr−AI
−Y合金の溶射を行なうもので、これによって簡単に2
00kg/ant以上の接着力を有するM−Cr−AI
−Y合金溶射皮膜を得ることができると共に、実際的に
従来不可能であった銅基合金母材上へのセラミックスの
溶射皮膜の形成を可能にしたものである。
ニッケルメッキする前の基材表面へのブラスト処理は、
形成皮膜の母材との密着力の向上に寄与する。ブラスト
材としては、通常、鋼、銑鉄、アルミナ、カーボランダ
ム等があるが、銅基合金母材が比較的柔らかく、鋼や銑
鉄からなるブラスト材を用いた場合には、ブラスト材が
母材に食い込み腐食の発生源となるのに対して、アルミ
ナ又はカーボランダムの場合には母材に食い込むことが
なく、しかも充分なブラスト効果を奏することができる
適度な硬さを有する。このため本発明においては、ブラ
スト材として粒径が0.5〜2.0鶴程度のアルミナ又
はカーボランダムの破砕粒を用いる。
形成皮膜の母材との密着力の向上に寄与する。ブラスト
材としては、通常、鋼、銑鉄、アルミナ、カーボランダ
ム等があるが、銅基合金母材が比較的柔らかく、鋼や銑
鉄からなるブラスト材を用いた場合には、ブラスト材が
母材に食い込み腐食の発生源となるのに対して、アルミ
ナ又はカーボランダムの場合には母材に食い込むことが
なく、しかも充分なブラスト効果を奏することができる
適度な硬さを有する。このため本発明においては、ブラ
スト材として粒径が0.5〜2.0鶴程度のアルミナ又
はカーボランダムの破砕粒を用いる。
母材に対するブラスト後のニッケルメッキは電解法或い
は無電解法のいずれも適用できるが、メッキ厚は10〜
50μmで、30μm厚前後が最も好ましい。ニッケル
メッキ層は、他のクロムメッキ層のように酸化されるこ
とがなく、後の溶射に際しての火炎により直接銅基台金
母材が酸化することを防止するとともに、ニッケル自体
がその上に溶射するM−Cr−AI Y合金中のYの浸
透性が良く溶射皮膜との密着性を向上する機能を有する
。
は無電解法のいずれも適用できるが、メッキ厚は10〜
50μmで、30μm厚前後が最も好ましい。ニッケル
メッキ層は、他のクロムメッキ層のように酸化されるこ
とがなく、後の溶射に際しての火炎により直接銅基台金
母材が酸化することを防止するとともに、ニッケル自体
がその上に溶射するM−Cr−AI Y合金中のYの浸
透性が良く溶射皮膜との密着性を向上する機能を有する
。
また、ブラスト処理はニッケルメッキした後でM−Cr
−AI−Y合金の溶射施工する前に必ず行なう必要があ
り、ニッケルメッキ面を破損しない程度に粗面化する。
−AI−Y合金の溶射施工する前に必ず行なう必要があ
り、ニッケルメッキ面を破損しない程度に粗面化する。
上述の下地処理を行った後、MCr/UY合金の溶射を
行なう、適用合金の具体例としては、第1表に示すもの
があり、これらは複合して用いることもできる。
行なう、適用合金の具体例としては、第1表に示すもの
があり、これらは複合して用いることもできる。
第 1 表
例えば、高密着力を保持し、かつ溶融メタルによる滲蝕
防止を目的として、溶射皮膜をポンディング層(B層)
−中間層(M層)−トップ層(T層)の3層溶射を行な
う場合には、以下の組み合わせが好適である。
防止を目的として、溶射皮膜をポンディング層(B層)
−中間層(M層)−トップ層(T層)の3層溶射を行な
う場合には、以下の組み合わせが好適である。
例1;
B NNiCoCrAl Y
M層 NiCoCr/If Y +CoCr# Y(
重量比1:1混合) T層 CoCrAIY 例2: B層 N 1CoCr Al’ Y + CoCr
AI Y(重量比1:1混合) M層 なし T Ji CoCr# Y この場合、B、M、Tの各層の膜厚は100〜200μ
m厚で、溶射方式はガスプラズマガンで施工する。
重量比1:1混合) T層 CoCrAIY 例2: B層 N 1CoCr Al’ Y + CoCr
AI Y(重量比1:1混合) M層 なし T Ji CoCr# Y この場合、B、M、Tの各層の膜厚は100〜200μ
m厚で、溶射方式はガスプラズマガンで施工する。
上記MCrUY合金中のイツトリウム(Y)は、セラミ
ック材への浸透性があり、上記銅基台金母材上に形成さ
れたMCrAlY合金溶射皮膜中のYが、セラミック材
との付着性を促進し、さらにその上には密着性の良いク
ロミャ1アルミナ、安定化ジルコニア等のセラミック材
をプラズマ溶射して溶射層を形成し、銅基合金母材の耐
久性を更に増大させることが可能になる。
ック材への浸透性があり、上記銅基台金母材上に形成さ
れたMCrAlY合金溶射皮膜中のYが、セラミック材
との付着性を促進し、さらにその上には密着性の良いク
ロミャ1アルミナ、安定化ジルコニア等のセラミック材
をプラズマ溶射して溶射層を形成し、銅基合金母材の耐
久性を更に増大させることが可能になる。
以下、実施例に基づいて本発明を具体的に説明する。
実施例
以下の条件によって、試料を作成しASTM−C639
69に基づいて、密着力試験をおこなった。
69に基づいて、密着力試験をおこなった。
■試験片形状寸法:純銅 断面25.4■1φ×40鶴
長さ■皮膜施工面 :25.4mmφ断面部■ポンデ
ィング皮膜施工工程: Niメッキ 20μm厚 ■A120aブラスト材による研掃:30μm粗度■
Ni 47.5%、 Co 22.5%、 Cr 17
%、 A12.5%。
長さ■皮膜施工面 :25.4mmφ断面部■ポンデ
ィング皮膜施工工程: Niメッキ 20μm厚 ■A120aブラスト材による研掃:30μm粗度■
Ni 47.5%、 Co 22.5%、 Cr 17
%、 A12.5%。
Yo、5%、 CO,02%のM −Cr AI
Y 系合金プラズマ溶射:膜厚160μm これを接着剤(セメダインSG −EPO)にて接合し
た丸棒試験片で引張試験を行った結果、皮膜密着力は2
10kg/catの引張力で剥離した。剥離破断部位は
接着剤部分で、溶射皮膜は健全であった。
Y 系合金プラズマ溶射:膜厚160μm これを接着剤(セメダインSG −EPO)にて接合し
た丸棒試験片で引張試験を行った結果、皮膜密着力は2
10kg/catの引張力で剥離した。剥離破断部位は
接着剤部分で、溶射皮膜は健全であった。
さらに、その上に安定化Z「02セラミツクプラズマ溶
射(膜厚150μm)を施して、同様の試験を行ったが
、破断剥離部位はセラミック層間であって、溶射皮膜は
健全であった。
射(膜厚150μm)を施して、同様の試験を行ったが
、破断剥離部位はセラミック層間であって、溶射皮膜は
健全であった。
さらに、銅基合金母材とMCrAlY合金の溶射皮膜の
加熱、冷却による膨張、収縮の差異による皮膜の剥離の
有無を検討のため750℃に加熱後に空冷した25龍φ
丸捧試験材によるASTM密着力試験値も全く異常なく
皮膜の健全性を確認した。
加熱、冷却による膨張、収縮の差異による皮膜の剥離の
有無を検討のため750℃に加熱後に空冷した25龍φ
丸捧試験材によるASTM密着力試験値も全く異常なく
皮膜の健全性を確認した。
この試験結果、皮膜の密着力テストでは、母材との剥離
は発生せず、皮膜は強靭でいずれも接着剤部分で破断剥
離しており、MCr/ljY合金の密着力は210に+
!/cut以上と推定できる。
は発生せず、皮膜は強靭でいずれも接着剤部分で破断剥
離しており、MCr/ljY合金の密着力は210に+
!/cut以上と推定できる。
本発明によって、比較釣部11′Lに銅基母材上に、強
固な密着力を有するMCrAlY溶射皮膜を形成できる
ようになり、連続鋳造鋳型、吹錬ランス、高炉羽目等の
寿命を格段に向上できると共に、MCrAlY溶射皮膜
を下地として、耐熱セラミック皮膜を形成することがで
き、銅基合金からなる部材の高温利用の道を拓くもので
ある。
固な密着力を有するMCrAlY溶射皮膜を形成できる
ようになり、連続鋳造鋳型、吹錬ランス、高炉羽目等の
寿命を格段に向上できると共に、MCrAlY溶射皮膜
を下地として、耐熱セラミック皮膜を形成することがで
き、銅基合金からなる部材の高温利用の道を拓くもので
ある。
Claims (1)
- 1、銅基合金母材の表面に、MCrAlY合金(MはN
i、Co、Feよりなる群から選択した金属元素を表わ
す)の溶射皮膜を形成するに当たって、同銅基合金母材
表面をアルミナ又はカーボランダムのブラスト材により
粗面化してニッケルメッキを施した後、再度ブラストで
粗面化することを特徴とする銅基合金母材への耐熱溶射
皮膜形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61013372A JPS62170465A (ja) | 1986-01-23 | 1986-01-23 | 銅基合金母材への耐熱溶射皮膜形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61013372A JPS62170465A (ja) | 1986-01-23 | 1986-01-23 | 銅基合金母材への耐熱溶射皮膜形成方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62170465A true JPS62170465A (ja) | 1987-07-27 |
Family
ID=11831256
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61013372A Pending JPS62170465A (ja) | 1986-01-23 | 1986-01-23 | 銅基合金母材への耐熱溶射皮膜形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62170465A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03247779A (ja) * | 1990-02-26 | 1991-11-05 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 耐食耐摩耗性複合皮膜の製造方法 |
JPH07145489A (ja) * | 1991-07-24 | 1995-06-06 | Yuumic:Kk | めっき層と溶射層からなる積層皮膜の形成方法 |
FR2721240A1 (fr) * | 1994-06-21 | 1995-12-22 | Renault | Procédé d'application d'un revêtement sur la surface intérieure d'un moule métallique. |
EP0808913A1 (en) * | 1996-05-24 | 1997-11-26 | General Electric Company | Method for repairing a thermal barrier coating |
WO1998007806A1 (en) * | 1996-08-23 | 1998-02-26 | Alon, Inc. | Diffusion coated furnace tubes for the production of ethylene |
WO2001000901A1 (en) * | 1999-06-30 | 2001-01-04 | Lam Research Corporation | Corrosion resistant component of semiconductor processing equipment and method of manufacturing thereof |
-
1986
- 1986-01-23 JP JP61013372A patent/JPS62170465A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03247779A (ja) * | 1990-02-26 | 1991-11-05 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 耐食耐摩耗性複合皮膜の製造方法 |
JPH07145489A (ja) * | 1991-07-24 | 1995-06-06 | Yuumic:Kk | めっき層と溶射層からなる積層皮膜の形成方法 |
FR2721240A1 (fr) * | 1994-06-21 | 1995-12-22 | Renault | Procédé d'application d'un revêtement sur la surface intérieure d'un moule métallique. |
EP0808913A1 (en) * | 1996-05-24 | 1997-11-26 | General Electric Company | Method for repairing a thermal barrier coating |
WO1998007806A1 (en) * | 1996-08-23 | 1998-02-26 | Alon, Inc. | Diffusion coated furnace tubes for the production of ethylene |
WO2001000901A1 (en) * | 1999-06-30 | 2001-01-04 | Lam Research Corporation | Corrosion resistant component of semiconductor processing equipment and method of manufacturing thereof |
US6444083B1 (en) | 1999-06-30 | 2002-09-03 | Lam Research Corporation | Corrosion resistant component of semiconductor processing equipment and method of manufacturing thereof |
CN100357493C (zh) * | 1999-06-30 | 2007-12-26 | 兰姆研究公司 | 半导体加工设备的防腐组件及其制造方法 |
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