JPS62168270A

JPS62168270A - パタ−ン変更装置

Info

Publication number: JPS62168270A
Application number: JP61010675A
Authority: JP
Inventors: Makoto Takagi; 誠高木; Norio Fujii; 藤井　憲男
Original assignee: Nippon Kogaku KK
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1986-01-20
Filing date: 1986-01-20
Publication date: 1987-07-24

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明はパターン変更装置に関し、２値画像情報内の個
々のパターンの大きさを拡大又は縮小処理する場合に適
用して好適なものである。

〔従来の技術〕

例えば半導体製造装置においては、半導体ウェハ上に焼
き付けるべきパターンを予めレチクル上に形成しておく
。そしてこのレチクル上のパターンが所定の大きさをも
っているか否かや、パターンに傷や不必要な凹凸がある
か否かなどを検査する場合には、レチクル上のパターン
を撮像手段によって撮像して、平面的なパターンを構成
する各画素の信号レベルを２値（論理「１」レベル又は
論理「０」レベルで表される）の電気信号に変換し、こ
の変換信号（２値情報）を基準パターンを表す基準信号
（２値情報）と比較するようになされている。

ところがかかる手法でレチクルパターンの検査をする場
合、レチクルパターンの大きさと、設計上予め決められ
た基準パターンの大きさとが少し違う場合には、レチク
ルパターン上にある本来、欠陥とすべきものが基準信号
との比較によっては抽出できなくなる（そのパターンす
べてが欠陥となってしまう）場合が生じるおそれがある
。この問題を回避するには、基準パターンの大きさを拡
大する、又は縮小させることによってほぼ同じ程度の大
きさに合わせる必要がある。

また実際上レチクルパターンを設計する場合、共通の基
準パターンに基づいて、個々のパターンの大きさを製造
すべき半導体の製造工程に合わせて選定して、必要に応
じて適度な大きさのパターンでレチクルやマスク上にパ
ターンを形成する必要があり、このような場合には、基
準の設計パターンから実際に形成するパターンを得るた
めに、パターンの大きさを制御する必要がある。

従来このような目的に使用するパターン処理装置として
は、−ｉに、コンピュータによって位置画像情報を作成
して外部記憶装置に記憶させておき、レチクルパターン
を作成する際にこれを読み出してレチクルパターン作成
用の画像信号を得る方法が採用されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところがこの方法によってパターンを拡大、又は縮小し
ようとする場合には、外部記憶装置に記憶されている２
値画像情報を拡大量、又は縮小量ニ応シてコンピュータ
がすべてのパターンについて、数値演算により変更する
ために、長大な時間を必要とする問題があった。

本発明は以上の点を考慮してなされたもので、位置画像
情報によって表されているパターンの大きさを、必要に
応じて拡大、又は縮小するにつき、その処理時間を格段
に短縮し得るようにしたパターン変更装置を提案しよう
とするものである。

〔問題点を解決するための手段〕

かかる問題点を解決するため本発明においては、変更処
理すべきパターンを２値論理レベルで表してなる２値画
像入力情報ＰＴいを、所定の大きさの処理画像領域ＰＥ
ＲＩ〜ＰＥＲ４に切り出す画像データ切出し手段（３，
４）と、この画像データ切し山手段（３，４）によって
切り出された画像データＰＴ、に含まれる画像の論理レ
ベルの分布形状が、所定の分布形状をもっているとき、
所定の画素位置に所定の論理レベルの付加データを付加
するテンプレート手段６．７．８．９とを具え、パター
ンを表す画像データに付加データを合成することによっ
て当該パターンを変更処理するようにする。

〔作用〕

位置画像入力情報Ｐ　Ｔ　＋　Ｎは、画像データ切出し
手段（３，４）によって所定の大きさく例えば９×９画
素）の処理画像領域ＰＥＲ１〜ＰＥＲ４に切り出され、
かくして切り出された画像データＰＴ１がテンプレート
手段６．７．８．９に入力される。

このテンプレート手段６．７．８．９は、画像データＰ
　Ｔ　＋　に含まれる画素の論理レベルの分布形状が所
定の分布形状をもっているか否かを判別して、所定の分
布形状をもっているとき所定の画素位置に所定の論理レ
ベルの付加データを付加する。論理レベルの分布形状の
判別は、各画素ごとに基準の分布形状と比較され、画像
データＰ　Ｔ　ｌに含まれる各画素について当該基準の
分布形状の論理レベルと一致するものがあれば、所定の
画素位置に付加データを付加する。

かくして画像データＰＴ、について、論理レベルが一致
したと判別された画素について当該一致した画素の位置
と付加データを付加した画素の位置との間の間隔だけ離
れた位置に、個々のパターンの大きさを拡大、又は縮小
させるためのデータが付加されることになる。

このようにすれば、コンピュータによる長大な時間を必
要とせず、ハード的構成によって簡易に個々のパターン
の大きさを変更することができる。

〔実施例〕

以下図面について、本発明の一実施例を詳述する。

第１図において、１は全体としてパターン変更装置を示
し、拡大、又は縮小処理をすべきパターンを表す２値画
像入力情１１ｐ’ｒ、が拡大縮小切換回路２を通じてパ
ターン記憶部３に入力される。

ここで２値画像入力情報ＰＴＩＮは、第２図（Ａ）に示
すように、１水平走査ラインＳＣについて５１２画素分
の画素データをもつラスク画像情報によって構成され、
かくしてパターン画像ＰＴを構成する論理「１」又は「
０」レベルの画素データでなる２値画像入力情報ＰＴＩ
ＮＸが同期信号と同期してシリアルにパターン記憶部３
に順次入力される。

この実施例の場合パターン記憶部３は、８列の５１２ビ
ツト構成のシフトレジスタＳＲＩ、ＳＲ２・・・・・・
ＳＲ８を縦続接続した構成を有する。そして拡大縮小切
換回路２から入力される２値画像入力情１１ＰＴ＋Ｎｘ
をそのまま第１の出力情報ＰＴｏ＋とじて送出すると共
に、各レジスタＳＲＩ、ＳＲ２・・・・・・ＳＲ８の出
力端に得られる２値画像情報を第２、第３・・・・・・
第９の出力画像情報Ｐ　Ｔ　Ｏ２、ＰＴｏ３・・・・・
・ＰＴＯ９として送出する。

かくしてパターン記憶部３は９ライン分のパターン画像
情報ＰＴｏｒ、ＰＴｏｚ・・・・・・ＰＴｏｑを一斉に
切出し部４の対応するレジスタ５ＲＩＩ、５ＲＩ２・・
・・・・５Ｒ１９に送出する。

切出し部４のシフトレジスタ５ＲＩＩ、５ＲＩ２・・・
・・・５ＲＩ９は、それぞれ９ピツ（−のシフトレジス
タで構成され、各ビットの記憶内容（すなわち９　ｘ　
９　＝８１画素分のデータ）を並列的に局所画像データ
ＰＴ、として送出する。ここで切出し部４は第３図に示
すようにパターン記憶部３に記憶されている画素データ
を、水平方向にＨＩ＝９画素をもち、かつ垂直方向にＶ
Ｉ＝９画素をもつ局所矩形領域ＥＲを単位に順次切り出
すように動作する。

すなわち、パターン記憶部３は、２値画像入力情報ＰＴ
ＩＮ（第２図（Ａ））の各画素データが走査ラインＳＣ
に沿って走査されるような順序でパターン記憶部３に到
来したとき、この２値画像入力情報ＰＴＩＮが表すパタ
ーン画像ＰＴの画素データを、第２図（Ｂ）に示すよう
に、１８０°回転させるような配列に並べ換えて記４ｇ
する。そして切出し部４は、この回転されたパターン画
像画素を、９×９画素の局所矩形領域ＥＲを窓にして、
矢印ａ１に示す方向（水平方向）に順次切り出しながら
取り込んで行く。この切出し走査は、矢印ａ２の方向（
垂直方向）に１画素だけ移っては繰り返される。

このようにして切り出された局所画像データＰＴ１は、
１画素拡大縮小用テンプレート回路６．２画素拡大縮小
用テンプレート回路７．３画素拡大縮小用テンプレート
回路８．４画素拡大縮小用テンプレート回路９及び原画
像データ抽出回路１０に与えられる。

１画素拡大縮小用テンプレート回路６は、第４図に示す
ように、切り出された局所画像データＰＴ、に対応して
９×９画素分の処理画像領域ＰＥＲ１を処理し得る回路
構成を有し、処理画像領域ＰＥＲＩの中心画素位置に斜
線で示す付加データ画素ＤＯＣを有する。

この付加データ画素ＤＯＣの周囲には、当該付加データ
画素ＤＯＣを中心として３×３画素でなる判別有効領域
ＶＡＬ　１が形成されている。この判別有効領域ＶＡＬ
Ｉは、第５図に示すように、第１〜第９の画素のうち、
付加データ画素ＤＯＣを形成する第５の画素を中心とし
てその周囲の画素、すなわち第２、第４、第６、第８の
画素に対して論理「１」レベルのパターン判別データＬ
ＤＡＴＡが割り当てられ、局所画像データＰＴ、の論理
「１」レベルの画素データがパターン判別データＬＤＡ
ＴＡと一致する位置まで移動して来たとき、その一致し
たタイミングで付加データ画素ＤＯＣにパターン判別デ
ータと同じ論理レベルすなわち論理「１」レベルの付加
データを発生させるようになされている。尚、このテン
プレート回路６は、第５図に示した画素２．４．６．８
　（ＬＤＡＴＡ）のいずれかが論理「１」レベルになっ
たとき、「１」を出力するような４入力のオアゲートで
構成される。

か（して第４図において、パターンＰＴＲＮを構成する
例えば１画素でなる論理「１」レベルの画素が、矢印ａ
３の方向に１走査ラインごとに処理画像領域ＰＥＲＩを
通過して行く際に、判別有効領域ＶＡＬ　１の第２の画
素位置を通過すると、その１ライン下の第５の画素位置
に論理「１」レベルの付加データ（１画素分）を付加す
る。

このようなタイミングで付加データを付加することは、
パターンＰＴＲＮを画像として表示する際に、■走査ラ
イン分だけ上の画素に付加データが表示されることを意
味する。例えば第５図の判別有効領域ＶＡＬ　１の第５
の画素位置にＰＴＲＮが表示されたとすれば、付加デー
タは垂直方向に上方に隣合う第２の画素位置に表示され
ることを意味する。

同様にして、パターンＰＴＲＮが第４、第６、第８の画
素位置に来たとき、１画素拡大縮小用テンプレート回路
６は第５の画素位置にデータを付加する。このことはパ
ターンＰＴＲＮを第５の画素位置に表示したとき、当該
付加データがそれぞれ左隣りの第４の画素、右隣りの第
６の画素、下隣りの第８の画素に表示されることを意味
している。

このようにして１画素拡大縮小用テンプレート回路６は
、第６図に示すように、１画素分のパターンＰＴＲＮが
判別有効領域ＶＡＬを通過し終わったとき、第５図の第
５の画素位置にパターンＰＴＲＮを表示した場合に、上
下及び左右に隣合う４つの画素に付加データを表示し得
るようなタイミングで４つの付加データを発生し、これ
らの付加データをデータ付加出力ＤＡＤ＋　　（１ビッ
ト信号）として選択回路１１に送出する。

その結果第６図に示すような、パターンＰＴＲＮを１画
素分だけ拡げるのに必要な付加データが得られる。

２画素拡大縮小用テンプレート回路７は、第７図に示す
ように、局所画像データＰＴ、に対応して９×９画素で
なる処理画像領域ＰＥＲ２を処理し得る回路構成を有し
、処理画像領域ＰＥＲ２の中心画素を付加データ画素Ｄ
ＯＣとして、これを中心とする判別有効領域ＶＡＬ２を
有する。

この判別有効領域ＶＡＬ２は、第８図に示すように、中
心の第１３の画素を付加データ画素り。

Ｃとして５×５画素の大きさをもち、そのうちの１６個
の画素すなわち第２、第３、第４、第６、第７、第９、
第１０、第１１、第１５、第１６、第１７、第１９、第
２０、第２２、第２３、第２４の画素にパターン判別デ
ータＬＤＡＴＡが割り当てられている。尚、このテンプ
レート回路７は上記１６６画素ＬＤＡＴＡ、）のいずれ
か１つが論理「１」のとき「１」を出力する１６入力の
オアゲートで構成される。

かくして第４図について上述したと同様にして、２画素
拡大縮小テンプレート回路７は、１画素分のパターンＰ
ＴＲＮが矢印ａ３の方向に１走査ラインごとに判別有効
領域ＶＡＬ２を通過して行く際に、これらパターン判別
データＬＤＡＴＡが割り当てられた画素を通過するごと
に、そのタイミングで第１３の画素でなる付加データ画
素ＤＯＣに論理「１」レベルの付加データが付加される
。

その結果、パターンＰＴＲＮが有効判別領域ＶＡＬ２を
通過し終わるまでの間に２画素拡大縮小用テンプレート
回路７から、第９図に示すように、パターンＰＴＲＮを
２画素分だけ拡げるのに必要なな付加データＤａｏｚ　
　（１ビット信号）が選択回路１１に順次送出される。

３画素拡大縮小用テンプレート回路８は、第１０図に示
すように、局所画像データＰＴ、に対応して９×９画素
でなる処理画像領域ＰＥＲ３のデータを処理し得る回路
構成を有し、その中心画素を付加データ画素ＤＯＣとし
て、７×７画素の判別有効領域ＶＡＬ３を有する。

この判別有効領域ＶＡＬ３は、第１１図に示すように、
第２５の画素を中心として水平及び垂直方向に３画素分
の広がりをもつような画素位置に、パターン判別データ
ＬＤＡＴＡが割り当てられている。１６個の画素、すな
わち第３、第４、第５、第９、第１３、第１５、第２１
、第２２、第２８、第２９、第３５、第３７、第４１、
第４５、第４６、第４７の画素にパターン判別データＬ
ＤＡＴＡが割り当てられており１、第１０図に示すよう
に、１画素分のパターンデータＰＴＲＮが矢印ａ３の方
向に判別有効領域ＶＡＬ３を通り過ぎて行くとき、各走
査ラインごとに、パターン判別データＬＤＡＴＡが割り
当てられている画素のタイミングで、付加データ画素Ｄ
ＯＣに論理「１」レベルの付加データが付加される。

その結果、３画素拡大縮小用テンプレート回路８からは
、第１２図に示すように、パターンＰＴＲＮを３画素分
だけ拡げるのに必要な付加データＤＡＤ３　　（１ビッ
ト信号）が選択回路１１に送出される。

４画素拡大縮小用テンプレート回路９は、第１３図に示
すように、局所画像データＰ　Ｔ　＋　に対応して９×
９画素の処理画像領域ＰＥＲ４のデータを処理し得る回
路構成を有し、その中心画素を付加データ画素ＤＯＣと
して、９×９画素でなる判別を動領域ＶＡＬ４を有する
。

この判別有効領域ＶＡＬ４は、第１４図に示すように、
第４１の画素を中心として水平及び垂直方向に４画素分
の拡がりをもつような画素位置に、パターン判別データ
ＬＤＡＴＡを割り当ててなる。

この実施例の場合、第３〜第７、第１１、第１２、第１
６、第１７、第１９、第２０、第２６、第２７、第２８
、第３６、第３７、第４５、第４６、第５４、第５５、
第５６、第６２、第６３、第６５、第６６、第７０、第
７１、第７５〜第７９の画素にパターン判別データＬＤ
ＡＴＡが割り当てられており、かくして第１５図に示す
ように、パターンＰＴＲＮを表す画素から４画素分の広
がりをもつ画素位置に論理ｒｌＪレベルの付加データを
付加してなるデータ付加出力ＤＡＤ４　　（１ビット信
号）を選択回路１１に送出する。

さらに原画像データ抽出回路１０は、１画素拡大縮小用
テンプレート回路６〜４画素拡大縮小用テンプレート９
の付加データ画素位置ＤＯＣにある画素のデータを抽出
して原画像信号ＯＲ３として選択回路１１に送出する。

選択回路１１は、コントロール部１２に与えられる指令
信号ＣＯＭに対応して得られる選択制御信号Ｃ０ＮＴｌ
によってパターンの拡大縮小をしない場合には、原画像
データ抽出回路１０の原画像信号ＯＲ５（付加データ画
像ＤＯＣの位置に対応した１ビット信号）を選択して選
択出力データＤ　ＩＥＬとして送出する。

これに対して１画素分の拡大（又は縮小）処理をする場
合、選択回路１１は、原画像データ抽出回路１０の出力
ＯＲ３と１画素拡大縮小用テンプレート回路６から得ら
れるデータ付加出力ＤＡＤ１を選択してその論理和を、
選択出力データＤ　ＳＥＬとして送出する。

また２画素分の拡大（又は縮小）処理をする場合、選択
回路１１は、原画像データ抽出回路１０の出力０Ｒ３Ｉ
画素、２画素拡大縮小用テンプレート回路６．７のデー
タ付加出力ＤＡＤＩ、ＤＡＤ２を選択してその論理和を
選択出力データＤ　ＳｆＬとして送出する。

さらに３画素分の拡大（又は縮小）処理する場合、選択
回路１１は原画像データ抽出回路１０の出力０Ｒ３Ｌ画
素、２画素、３画素拡大縮小用テンプレート回路６．７
．８の出力ＤＡＤＩ　、Ｉ）Ａｏｚ、Ｄ　ＡＤ＋を選択
してその論理和でなる選択出力データＩ）ｓｉ＋、を送
出する。

さらに４画素分の拡大（又は縮小）処理をする場合、選
択回路１１は、原画像データ抽出回路１０の出力ＯＲ３
１画素、２画素、３画素、４画素拡大縮小用テンプレー
ト回路６．７．８．９のデータ付加出力ＤＡＤ＋　−、
Ｄａｏｚ　、ＤＡＤ３　、ＤＡＤ４を選択してその論理
和でなる選択出力データＤ　ＳＥＬを送出する。

拡大縮小処理を行わない場合、選択回路１１は原画像デ
ータ抽出回路ｌＯの出力ＯＲ３のみを選択し、これを選
択出力データＤ。Ｌとして送出する。

この選択出力データＤ　ＳＥＬは、拡大縮小切換回路１
５を通じて拡大縮小出力情報ＰＴｏｕｔとして送出する
。

第１図の場合、拡大縮小切換回路２及び１５として、例
えば第１６図に示す構成のものを適用し得る。すなわち
拡大縮小切換回路２．１５は、それぞれコントロール部
１２から送出される拡大縮小切換信号Ｃ０ＮＴ２によっ
て切換動作する切換回路３１を有し、拡大処理モードの
とき、切換回路３１を非反転出力端ａ側に切り換えるこ
とにより、入力信号ＩＮをそのまま出力信号ＯＵＴとし
で出力させる。これに対して縮小処理モードのとき、切
換回路３１を反転出力端す側に切り換えて入力信号ＩＮ
を反転回路３２において論理レベルを反転した後出力信
号ＯＵＴとして送出する。

以上の構成において、パターン変更装置１を拡大処理モ
ードで動作させる場合には、拡大縮小切換回路２及び１
５（第１６図）を非反転出力端ａ側に切換動作させ、こ
れにより２値画像入力情報ＰＴＩＮを論理レベルを反転
させずに拡大縮小切換回路２を通じてパターン記憶部３
に入力させると共に、選択回路１１の選択出力データＤ
、ＥＬを論理レベルを反転させずに拡大縮小切換回路１
５を通じて拡大縮小処理情ｆＩ　Ｐ　Ｔ　ｏｕアとして
送出させる。

この動作モードにおいて、第１７図に示すように、２×
２画素でなるパターンＰＴＲＮ１を所定位置に表示して
なる画像を表す２値画像入方情報ＰＴ１Ｎが繰り返し到
来すると、これが拡大縮小切換回路２をそのまま通過し
てパターン記憶部３に入力される。パターン記憶部３は
２値画像入カ情報ＰＴ、Ｈのうち９ライン分の画像デー
タを画素クロックのタイミングで１画素ずつ更新しなが
ら一時記憶して行く。

パターン記憶部３の垂直方向に並んでいる画素のデータ
は、−斉に出力画像情報Ｐ　Ｔ、、〜ＰＴ、９として切
出し部４に送出され、か（して９Ｘ９画素の広さをもち
、かつ画素クロックと同期して走査ラインに沿って移動
する窓として機能する局所矩形領域ＥＲ部分の画像デー
タが切り出されて切出し部４から局所画像データＰＴ、
として１画素〜４画素拡大縮小用テンプレート回路６〜
９と、原画像データ抽出回路１０とに送出される。

このとき１画素、２画素、３画素、４画素拡大縮小用テ
ンプレート回路６．７．８．９は、パターンＰ’１ＲＮ
１を構成する４つの画素についてそれぞれ第６図、第９
図、第１２図、第１５図についてそれぞれ上述したよう
にしてデータ付加出力を形成し、これら４つの画素につ
いてのデータ付加出力の論理和をそれぞれデータ付加出
力ＤＡＩ、１、ＤＡＤ２、ＤＡＤ３、ＤＡＤ４　として
送出する。

ここで各データ付加出力ＤＡＩ、１．．ＤＡＤ２、ＤＡ
Ｉｌ、ＤＡＤ４の内容は、到来したパターンＰＴＲＮ１
を構成する４つの画素位置について得られた付加デ−夕
を互いに位置をずらしながら重畳したパターンを形成す
る。

その結果１画素拡大縮小用テンプレート回路６から、第
１８図に示すように、４画素のパターンＰＴＲＮ１を１
画素分だけ外側に拡げてなるデータ付加出力ＤＡＤＩを
得ることができる。また２画素拡大縮小用テンプレート
回路７から第１９図に示すように、４画素のパターンＰ
ＴＲＮ１を２画素分だけ外側に拡げてなるデータ付加出
力ＤＡＤ２を得ることができる。さらに３画素拡大縮小
用テンプレート回路８から、第２０図に示すように、パ
ターンＰＴＲＮ１を３画素分だけ外側に拡げてなるデー
タ付加出力Ｄ　ＡＤＩを得ることができる。

さらに４画素拡大縮小用テンプレート回路９から、第２
１図に示すように、４画素のパターンＰＴＲＮ１を４画
素分だけ外側に拡げてなるデータ付加出力Ｄ　ＡＤ４を
得ることができる。

なお第１７図のパターンＰＴＲＮ１の場合、１画素拡大
縮小用テンプレート回路６から得られるデータ付加出力
ＤＡＤｌ　と２画素拡大縮小用テンプレート回路７から
得られるデータ付加出力ＤＡｆ１２は、４個の画素につ
いての付加データ（第９図）が互いに重畳されることに
より、論理「０」のデータをもつ画素を含まないような
画像出力を得る。

データ付加出力ＤＡＤｌ−ＤＡ！、４は、選択回路１１
において、コントロール部１２の選択制御信号Ｃ０ＮＴ
ｌに応じて選択されて、選択出力データＤ、Ｌとして送
出される。

その結果１画素拡大モードが選択された場合には、原画
像信号ＯＲ３及びデータ付加出力ＤＡＤ１（第１８図）
が直接選択出力データＤ　ＳｔＬとして送出され、かく
して拡大縮小出力情報ＰＴｏｕｒはパターンＰＴＲＮ１
の周縁を１画素だけ太らせてなるパターンを表す画像デ
ータとなる。

また２画素拡大モードでは、原画像信号ＯＲ３゜データ
付加出力ＤＡＩ１１　　（第１８図）及びＤＡｏｔ　　
（第１９図）の論理和として、実質上データ付加出力Ｄ
ＡＤ’ｔと同じ選択出力データＤ　ＳｔＬが送出され、
かくして拡大縮小出力情ｔｌＰＴｏｕｔとしてパターン
ＰＴＲＮ１の周縁を２画素だけ太らせたパターンを表す
画像データが送出される。

さらに３画素拡大モードにおいては、原画像信号ＯＲ５
、データ付加出力ＤＡＤ＋　　（第１８図）、ＤＡＤＺ
　　（第１９図）、ＤＡＤ、（第２０図）の論理和とし
て互いに重ね合わせた同様の画像データが得られ、その
結果実質上データ付加出力ＤＡＩｌ１３の外周縁部をも
ちかつ内部を画像データＤＡＤ＋及びＤ　Ａｏ２の論理
「１」レベルのデータで埋め込んだと同様の画像データ
が選択出力データＤＳＥＬとして送出され、か（して拡
大縮小出力情報ＰＴｏｕｔとしてパターンＰＴＲＮ１を
３画素分だけ外側に太らせてなる画像データを送出し得
る。

さらに４画素拡大モードにおいて、原画像信号ＯＲ５，
データ付加出力ＤＡｏ＋　、ＤＡＤＺ　、ＤＡｏｓ、［
）ａｏ４の論理和として、各データを重ね合わせたと同
様の画像データが得られ、かくして実質上データ付加出
力Ｉ）ｔｎａの外周形状をもちかつその内部をデータ付
加出力ＤＡＩＩＩ　、ＤＡｆｌ２　、ＤＡｆｌ：＋の論
理「１」データで埋め込んでなる画像データを選択出力
データＤ、！Ｌとして送出し、か（して拡大縮小出力情
報ＰＴ、ｕアとしてパターンＰＴＲＮ１を４画素分だけ
外側に太らせてなる画像データを送出し得る。

これに対して２値画像入力情幸［ｉＰＴ’＋＋ｉを細ら
せる縮小モードで動作させる場合には、コントロール部
１２の切換制御信号Ｃ０ＮＴ２を用いて、拡大縮小切換
回路２及び１５を縮小側切換端す側に切り換えると共に
、その結果選択回路１１から得られる選択出力データＤ
　［Ｌの論理レベルを拡大縮小切換回路１５において反
転して拡大縮小出力情報ＰＴｏｕｔとして送出する。

例えば第２２図（Ａ）に示すように、２個画像入力情報
ＰＴ１．とじて、６×６画素のパターンＰＴＲＮ２が入
力された場合を考えると、この２個画像入力情報ＰＴＩ
Ｎは拡大縮小切換回路２において論理レベルが反転され
ることによって、第２２図（Ｂ）に示すように、パター
ンＰＴＲＮ２の論理レベルが「０」レベルに変換される
。

このパターンについて、切出し部４（第１図）における
切出し処理をした後、得られる局所画像データＰ　Ｔ　
＋について１画素、２画素１．３画素、４画素拡大縮小
用テンプレート回路６．７．８．９において上述の場合
と全く同様の処理がなされる。この処理は、拡大処理に
ついて上述したように、論理「１」レベルの画素データ
について、その縁部を外側に拡げるような処理をするこ
とを原理としているが、現在処理しようとしているパタ
ーンＰＴＲＮ２は論理レベルが反転されているために、
その外周縁は論理「１」レベルの画素で囲まれている。

そこで、この周囲の論理「１」レベルの画素について、
これを外側に（すなわち論理「０」レベルの領域の方に
）太らせるような処理をすれば、結果的に、第２２図（
Ｃ）に示すように、パターンＰＴＲＮ２の外縁を内側に
縮小させたと同様の結果を得ることができる。

なお第２２図（Ｃ）の場合、原画像データ抽出回路１０
の出力ＯＲ３と、１画素拡大縮小用テンプレート回路６
のデータ付加出力ＤＡＤ＋を用いて１画素だけデータを
付加させる処理をしたものとする。

かかる処理を受けたデータ付加出力ＤＡＤＩ　は、選択
回路１１を介して選択出力データＤ　３ＥＬとして拡大
縮小切換回路１５に与えられるが、この縮小モードにお
いては、拡大縮小切換回路１５がデータの論理レベルを
反転させる動作をするので、結局第２２図（Ｄ）に示す
ように２値画像入力情報ＰＴＩＮに含まれていたパター
ンＰＴＲＮ２の縁部を内側に１画素分だけ細らせたパタ
ーンＰＴＲＮ３が拡大縮小出力情報ＰＴＯＵＴとして得
られることになる。

上述のように第１図のパターン変更装置１によれば、パ
ターンを必要に応じて太らせ、又は細らせた拡大縮小出
力情報Ｐ　Ｔ　ｏｕ丁を得ることができる。

かくするにつき２値画像入力情報ＰＴ、、を所定の大き
さの処理画像領域に切り出して、その中に判別有効領域
を有する１画素、２画素、３画素、４画素拡大縮小用テ
ンプレート回路を原画像を用いてパターンの縁部を外側
に拡げる処理をするようにしたことにより、ハード的な
手段によって、短時間の間に拡大縮小処理をなし得るパ
ターン変更装置を得ることができる。

なお上述においては、１画素〜４画素拡大縮小用テンプ
レート回路６〜９として、論理「１」レベルの画素デー
タについて、その外縁を外側に拡げるような処理をする
ようにした場合について述べたが、これに代え、論理「
０」レベルについて外側に拡げるような処理をするよう
にしても良い。

その場合、各テンプレート回路６．７．８．９は、パタ
ーン判別データＬＤＡＴＡの割り当てられた画素のいず
れか１つが論理「０」のとき「０」を出力するようなア
ンドゲートで構成される。

また上記テンプレート回路６．７．８．９はＰ−ＲＯＭ
やＰＡＬ等で同様のロジックを組むことが可能である。

また、上述の実施例では等方的な４画素までの拡大縮小
処理をなし得る場合とした例について述べたが、拡大縮
小量や拡大縮小処理後に得られるパターンの形状は、必
要に応じて変更することが容易である。この場合には、
パターン記憶部３、切り出し部４の画像処理領域を広げ
たり、テンプレート回路の形状を変更したり、テンプレ
ート回路を追加したりし、それに応じて選択回路１１を
変更すれば、個々のパターンに対する任意の拡大縮小処
理を行うことができる。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、拡大縮小すべきパターン
を表すデータを、所定の画素位置にパターン判別データ
ＬＤＡＴＡが割り当てられた判別有効領域をもつテンプ
レート回路によって、拡大又は縮小すべき画素を判定し
、当該判定結果に応じて拡大、又は縮小処理を実行する
ようにしたことにより、簡易な構成によって、短時間の
間にパターンの幅の処理をし得るパターン変更装置を容
易に得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるパターン変更装置の一実施例を示
すブロック図、第２図は切出し部の切出し動作の説明に
供する路線図、第３図は第２図の切出し動作によって得
られる局所画像データを表す路線図、第４図及び第５図
は１画素拡大縮小用テンプレート回路６の判別有効領域
の構成を示す路線図、第６図はその結果得られるデータ
付加出力ＤＡＤＩを示す路線図、第７図及び第８図は２
画素拡大縮小用テンプレート回路７０判別有効領域の構
成を示す路線図、第９図はその処理によって得られるデ
ータ付加出力ＤＡＤＺを示す路線図、第１０図及び第１
１図は３画素拡大縮小用テンプレート回路８の判別有効
領域の構成を示す路線図、第１２図はその処理によって
得られるデータ付加出力［）Ａｏｉを示す路線図、第１
３図及び第１４図は４画素拡大縮小用テンプレート回路
９の判別を動領域の構成を示す路線図、第１５図はその
処理によって得られるデータ付加出力ＤＡＤ４を示す路
線図、第１６図は第１図の拡大縮小切換回路２．１５の
詳細構成を示す接続図、第１７図は２値画像入力情報Ｐ
Ｔ、、４として入力されるパターンの一例を示す路線図
、第１８図〜第２１図は第１７図のパターンを１画素〜
４画素分だけ拡大処理した結果得られるパターンの説明
に供する路線図、第２２図は６×６画素のパターンを１
画素分だけ縮小処理した場合のパターンの説明に供する
路線図である。ｌ・・・・・・パターン変更装置、２．１５・・・・・
・拡大縮小切換回路、３・・・・・・パターン記憶部、
４・・・・・・切出し部、６〜９・・・・・・１画素〜
４画素拡大縮小用テンプレート回路、１０・・・原画像
データ抽出回路、１１・・・・・・選択回路、１２・−
・・・・コントロール部。

Claims

【特許請求の範囲】（１）変更処理すべきパターンを２値論理レベルで表し
てなる２値画像入力情報を、所定の大きさの処理画像領
域に切り出す面像データ切出し手段と、上記画像データ
切出し手段によつて切り出された画像データに含まれる
画素の論理レベルの分布形状が、所定の分布形状をもつ
ているとき、所定の画素位置に所定の論理レベルの付加
データを付加するテンプレート手段とを具え、上記パターンを表す画像データに上記付加デー
タを合成することによつて、当該パターンを変更するこ
とを特徴とするパターン変更装置（２）変更処理すべき
パターンを２値論理レベルで表してなる２値画像入力情
報を受け、当該２値画像入力情報の論理レベルを反転又
は非反転処理して第１の２値画像情報として送出する第
１の処理モード切換手段と、上記第１の処理モード切換手段の出力端に得られる上記
第１の２値画像情報を、所定の大きさの処理画像領域に
切り出す画像データ切出し手段と、上記画像データ切出
し手段によつて切り出された画像データに含まれる画素
の論理レベルの分布形状が、所定の分布形状をもつてい
るとき、所定の画素位置に所定の論理レベルの付加デー
タを付加して第２の２値画像情報として送出するテンプ
レート手段と、上記テンプレート手段の出力端に得られる上記第２の２
値画像情報を受け、上記第１の処理モード切換手段と連
動動作しながら当該第２の２値画像情報の論理レベルを
反転又は非反転処理して出力情報として送出する第２の
処理モード切換手段とを具え、上記第１及び第２の処理モード切換手段を切換
動作させることにより、上記２値画像入力情報によつて
表されたパターンについて拡大又は縮小処理を選択して
上記出力情報を得ることを特徴とするパターン変更装置
。（３）上記テンプレート手段はパターン変更量に対応し
て上記分布形状が互いに異なる複数のテンプレート回路
を有し、上記複数のテンプレート回路からそれぞれ得ら
れる上記第２の２値画像情報を選択して合成することに
よつてパターン変更量が異なる上記出力情報を得るよう
にしてなる特許請求の範囲第１項又は第２項のいずれか
に記載のパターン変更装置。