JPS62153120A - 三塩化ガリウムの製造方法 - Google Patents

三塩化ガリウムの製造方法

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JPS62153120A
JPS62153120A JP61162727A JP16272786A JPS62153120A JP S62153120 A JPS62153120 A JP S62153120A JP 61162727 A JP61162727 A JP 61162727A JP 16272786 A JP16272786 A JP 16272786A JP S62153120 A JPS62153120 A JP S62153120A
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久保 茂喜
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は三塩化ガリウム水溶液3′電解して高純度のガ
リウムを得るための、三塩化ガリウムの製造方法に関す
る。
〔従来の技術〕
ガリウム砒素単結晶生成後の不純物を含んだ引上残や、
ガリウム砒素単結晶の切削屑など不純物が付着したスク
ラップから高純度ガリウムひ回収する方法としては、該
スクラップを酸化分解し、得られた酸化分解液分キレー
ト附脂と接触させて液中のガリウムをキレート甜脂に吸
着させ、次(コアルカリ水溶液とキレート樹脂を接融さ
せてガリウムPアルカリ水溶液中に溶出させ、ガリウム
を含むアルカリ水溶液3型解する方法(特開昭59−2
13622号公報)や、該スクラップ分真空熱分解と加
熱冷却処理及び溶融体の濾過、水相化処理を経て再結晶
精製する方法(特開昭57−101625号公報)等が
提案されている。最終工程で電解号行なってガリウムを
精製する場合、電解に供して高純度ガリウムが得られる
不純物の少ない三塩化ガリウムを得ることが必要である
〔発明が解決しようとする問題点〕
本発明は砒素や他の不純物を含有するガリウムから、電
解によって高純度ガリウムを得ることのできる不純物の
少ない三塩化ガリウムの製造方法を提供せんとするもの
である。
〔問題点?解決するための手段〕
本発明は、この目的を達するためガリウムと砒素を含有
するスクラップを塩素ガスで処理して三塩化ガリウムと
三塩化砒素の混合物分生成し、該混合物を蒸留して三塩
化ガリウムを分離することにある。
又・砒素を含まないガリウムを主体とするスクラップに
砒素又は三塩化砒素を添加して塩素ガスで処理し三塩化
ガリウムと三塩化砒素の混合物分生成し、該混合物ご蒸
留して三塩化ガリウム分分離することにある。
ガリウム−砒素単結晶引上式や、切削屑、ガリウム単体
のスクラップと砒素や、三塩化砒素と共にフラスコに入
れ、常温で塩素ガス分吹込むと、これらの塩素化による
反応熱で150〜200 tlTとなって反応が進行し
約3〜5時間で、三塩化ガリウムと三塩化砒素の混合物
が得られる。純粋なG’aC73の融点は78 C、A
sCl  の融点は一13Cであるが、Ga/Asのモ
ル比が1または1以下のとき、GaC13は、液状のA
BCt  中に完全に固溶しており、該混合物は全体が
液状である。しかしGa/Asモル比カ1を超えるに従
って液中にGaC1が析出するようになる。そしてこの
析出物が多くなるに従って流動性のあるシャーベット状
から流動性のないものに変化する。又、GaがGaO7
となる過程で生成するGaCl2は融点が170.5 
Cであるが塩素化温度F 171 C以上に保つとか、
Ga/Asモル比を1以下となるように充分砒素を多め
にして塩素化し、生成するガリウムの塩化物2三塩化砒
素中に固溶させることにより、反応を順調に進めること
がでさる。
Ash!/  の沸点は130 t:’ 5Oacl 
 の沸点は201.3Cであるから、混合物を加熱して
行くと、低沸点不純物から蒸発し、気相温度110〜1
20 t:’でkscl 3の蒸発が始まり135Cで
殆んどのkscl  を蒸発分離することができる。k
scl  の蒸発が終わると、気相温度が180C位か
らGaol  の蒸発が始まるので、ksct  を充
分に分離するにはGa0Z  の蒸発が殆んど無くなっ
た後も、しばらくその温度に保つのが良い。GaCt 
 の蒸発が殆んどなくなると、再び濡實の上昇が始まる
が、GaCl  中に混入する高沸点不純物をできるだ
け少なくするためには、21゜C付近でGaCll  
の採取を停止し、蒸留を止めるのがよい。更に高純度の
Gac17il−得るためには、装大原料の10〜20
重量%を残して蒸留を停止することが望ましい。
〔f牛用 〕
本発明ではガリウムを砒素又は三塩化砒素との共存下で
塩素化するので、効率良く塩素化でき、且つ常温で取扱
いの容易な液状として得ることがでさ、これを蒸留で分
離するので、酸化剤等からの不純物の混入がなく、砒素
以外の不純物の極めて少ない三塩化ガリウムとすること
ができる。
従ってこれ2水に溶解しガリウム濃度40〜60g1l
の水溶液とし、チタニウム板を陰極、歯金糸陽極?用い
、陰極電流密度2.5〜10A/dm1液温20 C位
で1解すれば、すべての各不純物が0.lppm以下の
高純度ガリウム?得ることができる。
〔実施例〕
Ga41.7重量%、As 58.OTL ’::に%
(Ga/Asモル比0.77)と、不純物をppmで Cr  Ca  Cu  AlFe  Si  Mg 
 cB庁むGa−As単結晶生成後の引上げ残600 
gを、容q I Zの百皿付セパラブルフラスコに入れ
、常温で塩素ガスを1 l/minの割合で5時間吹き
込んだ。反応中綴高温度は反応熱で約2000に達した
この処理りこよって液状のGhOl  とAsC7の混
合物1568にを得た。この混合物全部ご8全1tの枝
材フラスコに入れ、700ワツトのマントルヒーターで
温度調整しながら蒸留3行なった。気相温度110〜1
35CでAsCt  を留出させ、As0t795.1
!gt得た。次いで気相温度が180Cに達した時点で
受容器を取替え、約205CでGaCl  の蒸留を行
ない気相温度が210Cに達した時点でマントルヒータ
ーのスイッチP切り、蒸留の操作を終了した得られたG
aC1は508.3 gで、蒸留式264.3 gであ
った。得られたGaC1は2重量%のAsを含有する以
外は、Cl0.lppm、 Ca、 At、 Si、 
Fe、 E各O,Cppm以下であった。
実施例2 Cr  Ca  (!u  AI  F’e  Si 
 Mg  OB352・i20 3 18 1 85 
40各ppm含有するガリウム300 gと、三塩化砒
素780 g (Ga/Asモル比1.0)を、実施例
1と同様に処理してAeCl  の留分741 g 、
 GaC4の留分719g、釜残75 gを得た。
GaC1中には2重量%のAs f含有する以外は、C
l0.1 ppm、 Oa、 AI、 Si、 Fe、
 Bは各0.04 ppm以下であった。
〔発明の効果〕
本発明によれば、酸化剤等を使用するとこれから不純物
が増加するような、比較的不純物の少ないガリウムと砒
素からなるスクラップや、ガリウムスクラップから更に
不純物の少ない三塩化ガリ0 ラムが得られるので、電
解により高純度ガリウムを容易に得ることができる。
又、ゲルマニウムが誤って混入したようなガリ4 ラム
スクラップも本発明方法により容易にイエの良い四塩化
ゲルマニウムと、三塩化ガリウムとして分離できる。
三塩化ガリウム中の砒素は電解したガリウム中ではo、
oi ppm以下となる。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)ガリウムと砒素を含有するスクラップを塩素ガス
    で処理して三塩化ガリウムと三塩化砒素の混合物を生成
    し、該混合物を蒸留して三塩化ガリウムを分離すること
    を特徴とする三塩化ガリウムの製造方法。
  2. (2)ガリウムと砒素のGa/Asモル比が1以上のガ
    リウムと砒素を含有するスクラップに、Ga/Asモル
    比が1未満となるように砒素又は三塩化砒素を添加して
    塩素ガスで処理する特許請求の範囲(1)項に記載の三
    塩化ガリウムの製造方法。
  3. (3)砒素を含まないガリウムを主体とするスクラップ
    に砒素又は三塩化砒素を添加して塩素ガスで処理し三塩
    化ガリウムと三塩化砒素の混合物を生成し、該混合物を
    蒸留して三塩化ガリウムを分離することを特徴とする三
    塩化ガリウムの製造方法。
  4. (4)砒素を含まないガリウムを主体とするスクラップ
    に、ガリウムと砒素のGa/Asモル比が1未満となる
    ように砒素又は三塩化砒素を添加して塩素ガスで処理す
    る特許請求の範囲(3)項に記載の三塩化ガリウムの製
    造方法。
JP61162727A 1985-09-13 1986-07-09 三塩化ガリウムの製造方法 Granted JPS62153120A (ja)

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CA1272464A (en) 1990-08-07

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