JPS62151859A - 光導電体 - Google Patents

光導電体

Info

Publication number
JPS62151859A
JPS62151859A JP60293704A JP29370485A JPS62151859A JP S62151859 A JPS62151859 A JP S62151859A JP 60293704 A JP60293704 A JP 60293704A JP 29370485 A JP29370485 A JP 29370485A JP S62151859 A JPS62151859 A JP S62151859A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
photoconductive
photoconductive layer
atoms
base
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP60293704A
Other languages
English (en)
Inventor
Kyoko Onomichi
尾道 京子
Eiichiro Tanaka
栄一郎 田中
Masanori Watanabe
正則 渡辺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP60293704A priority Critical patent/JPS62151859A/ja
Publication of JPS62151859A publication Critical patent/JPS62151859A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03GELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G5/00Recording members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat, to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
    • G03G5/02Charge-receiving layers
    • G03G5/04Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor
    • G03G5/08Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic
    • G03G5/082Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic and not being incorporated in a bonding material, e.g. vacuum deposited
    • G03G5/08214Silicon-based
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03GELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G5/00Recording members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat, to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
    • G03G5/14Inert intermediate or cover layers for charge-receiving layers
    • G03G5/142Inert intermediate layers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
  • Light Receiving Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は非晶質水素化シリコンから成る光導電層と、該
光導電層を支持する支持体との間に特定の中間層を介在
させる層を設けた光導電体に関するものである。
従来の技術 撮像デバイス、電子写真感光体等を構成する光導電体と
しては、高感度で、SN比〔光電流(I、)/暗電流(
Id) )が高く、照射する電磁波のスペクトル特性を
有すること、光応答性が良好で、所望の□暗抵抗値を有
すること、使用時に於いて人体に対して無公害である事
等が要求される。殊に、事務機としてオフィスで使用さ
れる電子写真装置内に組込まれる電子写真感光体の場合
には、無公害性は重要な点である0 この様な点に立脚して、近年光導電体材料として非晶質
水素化シリコン(以下a−8i:Hと略す)の研究開発
が盛んになっている。a−8i:Hはその特性上多くの
利点を有するが、高感度、高帯電能を実現する為には、
電磁波照射により光導電層中に発生したキャリアの移動
を妨げず、かつ暗時に支持体側からの電荷注入を阻止す
る層を光導電層界面に形成したブロッキング構成が有効
である。
例えば、従来では特開昭56−5660号に示されてい
る有機化合物、57−56847号の&−(Si O)
 ’H57−58161号の!  +−3m  7’ 
 +−71 a−(SixN、 、)y:X、 、 (X : /%
 Oケン原子) +57−63545号の&−3ixO
,、、56−24356号のム120.やSi Oxな
どの酸化物やポリカーボネートのような有機高分子等が
ブロッキング作用を示す中間層として提案されている。
発明が解決しようとする問題点 光導電層&−3i:Hの高感度、高帯電能の実現のため
に従来使われている中間層材料では、支持体側からの電
荷注入阻止層の働きが弱い、並びに電磁波照射により光
導電層中に発生したキャリアの移動を妨げる等の問題点
を生じていた。
そこで本願発明は、高感度、高帯電の光導電体を提供す
ることを目的とするものである。
問題点を解決するための手段 この目的を達成するため本願発明は、アルミニウム元素
及び窒素原子を主成分とする非光導電性の膜を中間層と
して構成するものである。
作用 光導電層と支持体との間に中間層を介入させるブロッキ
ング構造は、電子写真感光体の特性向上において、有力
な手段の1つである。アルミニウム元素及び窒素原子を
含む非光導電性材料で上記中間層を構成することによシ
、従来の材料を用いるよりはるかに特性の良い光導電体
を得ることが出来る。即ち、支持体側からの電子の注入
を阻止し、電磁波照射によシ発生するキャリアの光導電
層側から支持体側への移動の妨げにならないという働き
をする。
実施例 以下、本発明の一実施例について図面を用いて説明する
第1図は、本発明の光導電体の基本的な構成例を説明す
る為に模式的に示した模式的構成図であるO 第1図に示す光導電体は、支持体1の上に中間層2、該
中間層2に直接接触した状態に設けられている光導電層
3とで構成される層構造を有し、本発明の最も基本的な
例である。
支持体1としては、ムl 、ステンレス、Or。
Mo、ムu、Ir、Nb、Ta、V、Ti、Pt、Pa
等の金属又はこれ等の合金が挙げられる。また電気絶縁
性基板上に導電処理を施し、支持体として使用してもよ
い。中間層2は、アルミニウム元素及び窒素原子を主成
分とする非光導電性材料(以下ム7!Nxと略記する)
で構成され、支持体1の側から光導電層3中への電荷の
流入を効果的に阻止し且つ電磁波の照射によって光導電
層3中に生じ、支持体1の側に向って移動するキャリア
の光導電層3の側から支持体1の側への通過を容易に許
す機能を有するものである。
ムlNxの作成には、AJ、−He e−NH、あるい
は、ムIC1!3−NH,、あるいはムJBr3−NH
,等を用いたプラズマCvD法や、ムIfターゲットと
しN2あるいはN2−ムrあるいはN2−N2あるいは
NH3を用いた反応性スパッタリング法、ムlNをター
ゲットとし、N2あるいは)12−Arあるいはムr1
あるいはN2あるいはムr−H2、あるいは’2 ”2
あるいはNH3を用いた反応性スパッタリング法、トリ
メチルアルミニウムとNH,i用いたMOCVD法等が
用いられる。また、光導電層3の非晶質シリコン(以下
膜中に含有する原子の種類に応じて、a−3i:H,a
−3i:H:X、a−5i:X、  X :/%Oゲ7
原子と略記する)は、SiH4,Si2H6,Si3H
8,SiF4゜5iHF  SiHF  SiHF、5
iCj? 、5iH(e3,5iH20e2゜5”  
    22’      3        4Si
H3Cl等のS1原子の原料ガスあるいはこれらのガス
をムr、He、H2等で希釈したガスを用いたプラズマ
cvn法や、Siをターゲットとし、ムrとN2の混合
ガス中、またはムrとSiF4の混合ガスを用いた反応
性スパッタリング法や蒸着法で形成できる。
第2図には、本発明の光導電体の別の実施態様例の構成
を説明する為の模式的構成図が示される。
第2図に示す光導電体は、光導電層3の上に中間層2と
同様の機能を有する表面層4を設けた以外は、第1図に
示す光導電体と同様の層構造を有するものである。
即ち、支持体1の上にアルミニウム元素と窒素原子を含
む非光導電材料ムCNxを中間層2とし、その上に光導
電層3の非晶質シリコン層(IL−8i:H。
a−3i:H:X、a−8i:X )を形成し、更にそ
の上に表面層4を積層する。表面層4ば、光導電体に帯
電処理を施して電荷像を形成する場合の様な使い方をす
る際、表面電荷が光導電層3に流入するのを阻止し且つ
、電磁波の照射を受けた際には、光導電層3中に発生し
たキャリアと、電磁波の照射を受けた部分の帯電電荷と
が再結合を起す様に、キャリ゛アの通過又は帯電電荷の
通過を容易に許す機能を有する。
表面層4は、S工Cx、SiOx、SiNx、Ge1x
、Geex。
BCx、 BNx 等が挙ケラレル。
本発明に於ける中間層2の膜厚としては、前述した機能
が充分発揮される様に、層形成条件等によって所望に従
って適宜決定される。本発明に於ける中間層2の膜厚と
しては、通常の場合、0.02〜2.0μmとされるの
が望ましいものである。0.02μm以下の場合、ピン
ホール、白点キズ等の発生が生じ、2.0μm以上にな
ると残留電位の増加が著しくなる。
実施例1 表面が清浄にされたモリブデン基板をマグネトロンスパ
ッタ装置内に配置し、反応容器内を5×1o  Tor
r以下に基板を250’Cに加熱するムlターケットヲ
使用し、ムr  : 1〜s mTorr、 N2:1
〜3 mTorr 、 13.56 MHz高周波電力
3oo〜soow、ターゲット・基板間距離46〜86
JffでuHz層’io、02〜2.0μm 、好まL
 < tri 1.0μm前後形成する。次に、基板及
び基板設置部を多結晶S1ターゲツト上に移動させ、基
板温度250’C、ムf  : 1〜1 omTorr
、 a2: 1〜6mTorr 、 13.56 MH
z高周波電力300〜8o。
W、ターゲット・基板間距離46〜85ugで光導電層
a−8i二H層を6〜16μm形成する。
第1図はこの様にして作成された光導電体の構成図であ
る。この光導電体に+6.OKVのコロナチャージをか
けて帯電電位を測定したところ、飽和表面電位6oov
、残留電位6v以下であった。
また、帯電20秒後においてもaoovの帯電電位を示
した。本発明の実施例は、暗時の帯電能が犬きぐ、残留
電位の小さい電子写真感光体を提供する。
実施例2 本実施例は第2図に示す構成の光導電体である。
鏡面研磨したムe ドラムを支持体1とし、これをドラ
ムスパッタ装置内に設置し、反応容器内を6×10  
Torr以下に排気後ムl ドラムを250°Cに加熱
する。ム召ターゲッi使用し、ムr:1〜6 mTor
r、 N2: 1〜3m’rorr、 13.56MH
z高周波電力0.6〜3.6 KWでムロNx層を0.
02〜2.0μm1好ましくは1.0μm前後形成する
。次に、ドラムを多結晶Si ターゲット上に移動させ
、人r  : 1〜1 om’rorr、 N2:1〜
5m’rorr 、高周波電力0.6〜3.6KWで光
導電層a−si:1(層を6〜16μm形成する。さら
に、ムr : 1〜5 mTorr、 N2: 1〜1
omTorr、高周波電力0.6〜3.0 KWで表面
層SiNx全0.1〜02μm形成する。このようにし
て作成した電子写真感光ドラムを市販の複写機に実装し
たところ、正帯電で80万枚以上の耐刷性と良好な画像
が得られることが確認できた。
発明の効果 以上述べてきたように本発明による光導電体は、非晶5
iシIJ ニア 7 (IL−3i:H,a−8i:H
:X、a−3i:XJ f光導電層とし、光導電層と支
持体との間に五INxを中間層として設けることにより
、帯電特性および光感度の優れた電子写真感光体を提供
する。
【図面の簡単な説明】
第1図、第2図は本発明の電子写真感光体の断面図であ
る。 1・・・・・・支持体、2・・・・・・中間層ム7iN
x13・・・・・・光導を層(a−8i:H,a−8i
:H:X、a−8i:XJ : ハl:lゲン原子〕、
4・・・・・・表面層。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名/−
、t*t4 3°−1特禾

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)支持体と、シリコン原子を母体とし、少なくとも
    水素原子またはハロゲン原子を含有するアモルファス材
    料で構成されている光導電層と、これ等の間に設けられ
    支持体側から前記光導電層中へのキャリアの流入を阻止
    し且つ電磁波照射によって前記光導電層中に生じ支持体
    側に向かって移動するキャリアの光導電層側から支持体
    側への通過を許す機能を有する中間層とを備えた光導電
    部材に於いて前記中間層が、アルミニウム元素及び窒素
    原子を含む、非光導電性材料で構成されている事を特徴
    とする光導電体。
  2. (2)光導電層の表面に、シリコン原子を母体として含
    む非光導電性のアモルファス材料で構成された表面層を
    有する特許請求の範囲第1項記載の光導電体。
  3. (3)光導電層の表面に、無機絶縁材料又は有機絶縁材
    料から成る表面層を有する特許請求の範囲第1項記載の
    光導電体。
  4. (4)中間層の層厚が0.02〜2.0μmである特許
    請求の範囲第1項記載の光導電体。
  5. (5)表面層中に水素原子又はハロゲン原子の少なくと
    も一方が含有されている特許請求の範囲第2項記載の光
    導電体。
  6. (6)表面層中に炭素原子が含有されている特許請求の
    範囲第2項記載の光導電体。
  7. (7)表面層中に窒素原子が含有されている特許請求の
    範囲第2項記載の光導電体。
  8. (8)表面層中に炭素原子、窒素原子及び酸素原子の中
    に少なくとも2つが含有されている特許請求の範囲第2
    項記載の光導電体。
JP60293704A 1985-12-26 1985-12-26 光導電体 Pending JPS62151859A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60293704A JPS62151859A (ja) 1985-12-26 1985-12-26 光導電体

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60293704A JPS62151859A (ja) 1985-12-26 1985-12-26 光導電体

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS62151859A true JPS62151859A (ja) 1987-07-06

Family

ID=17798152

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60293704A Pending JPS62151859A (ja) 1985-12-26 1985-12-26 光導電体

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS62151859A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5041350A (en) * 1988-08-17 1991-08-20 Fuji Xerox Co., Ltd. Electrophotographic photoreceptor with inorganic compound in charge transport layer

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5767936A (en) * 1980-10-14 1982-04-24 Canon Inc Photoconductive member
JPS5767937A (en) * 1980-10-14 1982-04-24 Canon Inc Photoconductive member
JPS5928162A (ja) * 1982-08-10 1984-02-14 Toshiba Corp 電子写真感光体
JPS5974562A (ja) * 1982-10-20 1984-04-27 Ricoh Co Ltd 電子写真用感光体
JPS60118848A (ja) * 1983-12-01 1985-06-26 Ricoh Co Ltd 電子写真感光体

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5767936A (en) * 1980-10-14 1982-04-24 Canon Inc Photoconductive member
JPS5767937A (en) * 1980-10-14 1982-04-24 Canon Inc Photoconductive member
JPS5928162A (ja) * 1982-08-10 1984-02-14 Toshiba Corp 電子写真感光体
JPS5974562A (ja) * 1982-10-20 1984-04-27 Ricoh Co Ltd 電子写真用感光体
JPS60118848A (ja) * 1983-12-01 1985-06-26 Ricoh Co Ltd 電子写真感光体

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5041350A (en) * 1988-08-17 1991-08-20 Fuji Xerox Co., Ltd. Electrophotographic photoreceptor with inorganic compound in charge transport layer

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0138331B1 (en) Photoconductive element
US4489149A (en) Electrophotographic amorphous silicon member
JPS62151859A (ja) 光導電体
JP4562163B2 (ja) 電子写真感光体の製造方法及び電子写真感光体
JPS6363051A (ja) 電子写真感光体
US4965164A (en) Method for producing electrophotographic photoreceptor
US4960662A (en) Positively and negatively chargeable electrophotographic photoreceptor
JP2508654B2 (ja) 電子写真用感光体
JPH0789232B2 (ja) 電子写真感光体
JPH0616178B2 (ja) 光導電部材
JPS6331552B2 (ja)
JPS6391664A (ja) 光受容部材
JP2657491B2 (ja) 電子写真感光体
JPH11305471A (ja) 電子写真感光体
JPH01271759A (ja) 電子写真感光体
JPS61275844A (ja) 光導電部材
KR910003982B1 (ko) 전자 사진 광수용체
JPS6261056A (ja) 光導電体
JP2948937B2 (ja) 画像形成装置
JPS5880646A (ja) 電子写真感光体
JPS5828751A (ja) 光導電部材の製造法
JPH0823706B2 (ja) 電子写真感光体の製造方法
JPS63143559A (ja) 電子写真感光体
JPS61272757A (ja) 電子写真感光体
JPS61264351A (ja) 電子写真感光体