JPS62149157U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62149157U JPS62149157U JP3735086U JP3735086U JPS62149157U JP S62149157 U JPS62149157 U JP S62149157U JP 3735086 U JP3735086 U JP 3735086U JP 3735086 U JP3735086 U JP 3735086U JP S62149157 U JPS62149157 U JP S62149157U
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- JP
- Japan
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- sample
- spectrometer
- dispersive
- aperture
- rays
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 4
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 2
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
図面は本考案の一実施例の構成図である。
１：電子銃、２：電子線、３：集束レンズ、５
：試料、６：ＥＤＳ分光器、７：Ｘ線、８：ＥＤ
Ｓ分光器の前方に配置された絞り、９：絞り可変
駆動部、１０：絞り駆動電源、１１：励磁増幅器
、１２：演算制御回路、１３：ＣＰＵ ＢＵＳ、
１４：ＷＤＳ分光器。
：試料、６：ＥＤＳ分光器、７：Ｘ線、８：ＥＤ
Ｓ分光器の前方に配置された絞り、９：絞り可変
駆動部、１０：絞り駆動電源、１１：励磁増幅器
、１２：演算制御回路、１３：ＣＰＵ ＢＵＳ、
１４：ＷＤＳ分光器。
Claims (1)
- 電子銃よりの電子線を集束して試料に照射する
電子線による照射電流を可変する電子レンズと、
該試料への電子線の照射によつて該試料より発生
するＸ線のうち特定波長のＸ線を検出する波長分
散型Ｘ線分光器と、該試料より発生するＸ線をエ
ネルギーに応じて分析するエネルギー分散型Ｘ線
分光器を備えた装置において、前記エネルギー分
散型Ｘ線分光器の前方に配置され試料より分光器
に入射するＸ線の検出立体角を可変する絞りと、
該電子レンズの励磁信号を変化させると共に、該
励磁信号に対応した前記絞りの最適絞り穴径を演
算する演算制御手段とを具備し、該演算制御手段
よりの信号に基づいて該絞りの穴径を変化させて
分光器に入射するＸ線の検出立体角を変化させる
ように構成したことを特徴とするＸ線分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3735086U JPS62149157U (ja) | 1986-03-14 | 1986-03-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3735086U JPS62149157U (ja) | 1986-03-14 | 1986-03-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62149157U true JPS62149157U (ja) | 1987-09-21 |
Family
ID=30848600
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3735086U Pending JPS62149157U (ja) | 1986-03-14 | 1986-03-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62149157U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5595263A (en) * | 1979-01-12 | 1980-07-19 | Hitachi Ltd | X-ray analyzer |
-
1986
- 1986-03-14 JP JP3735086U patent/JPS62149157U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5595263A (en) * | 1979-01-12 | 1980-07-19 | Hitachi Ltd | X-ray analyzer |
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