JPS62148174A - ロボツト用微小角傾転装置 - Google Patents
ロボツト用微小角傾転装置Info
- Publication number
- JPS62148174A JPS62148174A JP28439285A JP28439285A JPS62148174A JP S62148174 A JPS62148174 A JP S62148174A JP 28439285 A JP28439285 A JP 28439285A JP 28439285 A JP28439285 A JP 28439285A JP S62148174 A JPS62148174 A JP S62148174A
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- Japan
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- swing arm
- electromagnet
- gap sensor
- shaft
- gap
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、産業用ロボットのハンドに設けた微小角傾転
装置に関するものである。
装置に関するものである。
従来の技術
薄板状のワークをロボットのハンドで把持して、ホルダ
ーの■溝に装着する工程において、ハンド先端の傾きを
微小に制御できる装置が必要となるが、従来は機械的な
方式が用いられており、アクチュエータと大きな減速比
を持つ機構とセンサが必要であった。
ーの■溝に装着する工程において、ハンド先端の傾きを
微小に制御できる装置が必要となるが、従来は機械的な
方式が用いられており、アクチュエータと大きな減速比
を持つ機構とセンサが必要であった。
発明が解決しようとする問題点
ロボットハンドの僅かな傾きがワーク先端の大ぎな位置
ずれどなるので、高精度が要求される場合、従来の方式
では、精度確保が困難であると共に、大きなスペースと
ｍ最を必要とするという問題点があった。
ずれどなるので、高精度が要求される場合、従来の方式
では、精度確保が困難であると共に、大きなスペースと
ｍ最を必要とするという問題点があった。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するために本発明は、スイングアーム
に水平に嵌入するシせフ１〜を筒体のフレームの両側で
軸支し、前記スイングアームの一端右側を挾んで、対向
する一対の電磁石とストッパを筒体のフレームの両側に
固着し、前記スイングアームに近接してギ１ｒツブセン
サ設け、かつ前記スイングアーム、電磁石、ストッパ、
ギャップセンサは同一平面内に配没し、スイングアーム
とギャップセンサとのギャップ値を予め設定１ノ、ギャ
ップセンサの出力と設定値により電磁石の磁気吸引力を
制御するロボット用微小角傾転装置である。
に水平に嵌入するシせフ１〜を筒体のフレームの両側で
軸支し、前記スイングアームの一端右側を挾んで、対向
する一対の電磁石とストッパを筒体のフレームの両側に
固着し、前記スイングアームに近接してギ１ｒツブセン
サ設け、かつ前記スイングアーム、電磁石、ストッパ、
ギャップセンサは同一平面内に配没し、スイングアーム
とギャップセンサとのギャップ値を予め設定１ノ、ギャ
ップセンサの出力と設定値により電磁石の磁気吸引力を
制御するロボット用微小角傾転装置である。
また、スイングアームに水平に嵌入したシャフトと直交
するシャフトを前記スイングアームに垂直に１■大して
筒体のフレームの両側で軸支し、さらに前記スイングア
ームと同一水平面内に、Ｎ磁石、ス１〜ツバ、ギャップ
センサを配設し、２軸構成とすることもできる。
するシャフトを前記スイングアームに垂直に１■大して
筒体のフレームの両側で軸支し、さらに前記スイングア
ームと同一水平面内に、Ｎ磁石、ス１〜ツバ、ギャップ
センサを配設し、２軸構成とすることもできる。
作 用
電磁石とギャップセンサを使用して、電磁石の磁気吸引
力を制御することにより、スイングアームを１軸で支え
た場合は１方向に、２軸で支えた場合は２方向にスイン
グアームを微小角傾転させることができる。
力を制御することにより、スイングアームを１軸で支え
た場合は１方向に、２軸で支えた場合は２方向にスイン
グアームを微小角傾転させることができる。
実施例
以下、本発明の実施例を図面に塁づいて説明する。
第１図は本発明のロボット用微小角傾転装置の要部断面
図である。
図である。
第１図において、筒体のフレーム１の内部に対向して１
対の鉄心にそれぞれコイル３を巻付けた電磁石２を設け
る。また対向して１対のストッパ４をそれぞれ取付けた
支持部材５をフレーム１内に設け、スイングアーム９と
のギャップａを測るギャップセンサ６を支持部材７を介
してフレーム１内に取付ける。フレーム１の両側に２個
の軸受を設け、シャフト８を微小角度回転自在に軸支し
、スイングアーム９に前記シャフトｑを水平に嵌入させ
、かつ前記スイングアーム９の右側を前記対向する電磁
石２およびストッパ４の間に位置させる。なお、前記ス
イングアーム９の鉄心に対向する部分には磁性体よりな
る吸引ピース１０が取付けである。吸引力が外部に漏洩
しないように、前記スイングアーム９は非磁性体、例え
ばアルミニューム等で構成し、またフレーム１も非磁性
体、例えばアルミニューム等で構成する。スイングアー
ム９の左側先端部の端面をロボットハンドに取付け、フ
レーム１の右側端面をロボットアームに固定゛づる。
対の鉄心にそれぞれコイル３を巻付けた電磁石２を設け
る。また対向して１対のストッパ４をそれぞれ取付けた
支持部材５をフレーム１内に設け、スイングアーム９と
のギャップａを測るギャップセンサ６を支持部材７を介
してフレーム１内に取付ける。フレーム１の両側に２個
の軸受を設け、シャフト８を微小角度回転自在に軸支し
、スイングアーム９に前記シャフトｑを水平に嵌入させ
、かつ前記スイングアーム９の右側を前記対向する電磁
石２およびストッパ４の間に位置させる。なお、前記ス
イングアーム９の鉄心に対向する部分には磁性体よりな
る吸引ピース１０が取付けである。吸引力が外部に漏洩
しないように、前記スイングアーム９は非磁性体、例え
ばアルミニューム等で構成し、またフレーム１も非磁性
体、例えばアルミニューム等で構成する。スイングアー
ム９の左側先端部の端面をロボットハンドに取付け、フ
レーム１の右側端面をロボットアームに固定゛づる。
第２図は動作状態を示ず図であり、スイングアーム９は
シャフト８の軸受を支点として、仮線で示づように±１
°１５′スイング可能である。第３図は第１図のＡ−Ａ
断面矢視図であり、また第４図の断面図はフレーム１に
設けた対向する一対の電磁石をそれぞれ２個づつにした
場合を示すものである。
シャフト８の軸受を支点として、仮線で示づように±１
°１５′スイング可能である。第３図は第１図のＡ−Ａ
断面矢視図であり、また第４図の断面図はフレーム１に
設けた対向する一対の電磁石をそれぞれ２個づつにした
場合を示すものである。
電磁石で磁器吸引力を制御する制御ブロック図は第５図
に示す通りである。
に示す通りである。
電磁石に流す電流値を変えて磁気吸引力を制御する。即
ら、第５図において、制御回路１４から流すべき電流値
を指令し、一対の電力増１ｊ回路１１は指令電流値に比
例した電流値ｔ１．ｉ２を流す。一対の電流検出回路１
２はそれぞれ電流値ｔ１．ｔ２を検出し、その信号を制
御回路１４に流ず。電流値ｔ１を電流値ｔ２よりも大き
くすれば、スイングアーム９に鋤＜重力１（ｌと電磁石
２の吸引力ｆＩ１２の和よりも吸引力ｆｍ１の方が大き
くなり、スイングアーム９に取付けられた吸引ピース１
０によりスイングアーム９は支点８ａを中心に反時計方
向に微小角度回転する。
ら、第５図において、制御回路１４から流すべき電流値
を指令し、一対の電力増１ｊ回路１１は指令電流値に比
例した電流値ｔ１．ｉ２を流す。一対の電流検出回路１
２はそれぞれ電流値ｔ１．ｔ２を検出し、その信号を制
御回路１４に流ず。電流値ｔ１を電流値ｔ２よりも大き
くすれば、スイングアーム９に鋤＜重力１（ｌと電磁石
２の吸引力ｆＩ１２の和よりも吸引力ｆｍ１の方が大き
くなり、スイングアーム９に取付けられた吸引ピース１
０によりスイングアーム９は支点８ａを中心に反時計方
向に微小角度回転する。
一方ギヤップセンサ６とスイングアーム９とのギャップ
ａの値を予め設定し、その設定値をマイクロコンピュー
タに入れ、Ｄ−Ａ変換回路１３を経て、制御回路１４に
入れる。ギャップセンサ６にてギャップａを測定し、そ
の測定値（出〕Ｊ）をセンサアンプ１５を経て制御回路
１４に入れる。
ａの値を予め設定し、その設定値をマイクロコンピュー
タに入れ、Ｄ−Ａ変換回路１３を経て、制御回路１４に
入れる。ギャップセンサ６にてギャップａを測定し、そ
の測定値（出〕Ｊ）をセンサアンプ１５を経て制御回路
１４に入れる。
また、電源値ｔ１．ｔ２は制御回路１４にフィードバッ
クされる。
クされる。
電流値ｔ＋、ｔ２．ギｐツブａの情報により制御回路１
４で電磁石２の吸引力ｆｍ１．ｆｍ２を制御し、スイン
グアーム９を支点８ａを中心とし、微小角度回転させ、
スイングアーム９を設定ギャップ位置で保持する。
４で電磁石２の吸引力ｆｍ１．ｆｍ２を制御し、スイン
グアーム９を支点８ａを中心とし、微小角度回転させ、
スイングアーム９を設定ギャップ位置で保持する。
また、本装置は微小角の割出しの他、対向する電磁石の
電流値を相互に同様に制御することにより、手首の剛性
を変えることができ、衝撃力などに対応できる柔軟性を
持たせることら可能である。
電流値を相互に同様に制御することにより、手首の剛性
を変えることができ、衝撃力などに対応できる柔軟性を
持たせることら可能である。
なお、リニアガイドと組合せれば、微小変位にら対応で
き、さらに、永久磁石と電磁石を組合わ「ることにより
、消費電力の少ない構造も可能となる。
き、さらに、永久磁石と電磁石を組合わ「ることにより
、消費電力の少ない構造も可能となる。
また、この構造は可動部（転勤・摺動部）が支点部のみ
となり、クリーン対応などにも適した使用が容易となる
。
となり、クリーン対応などにも適した使用が容易となる
。
」一連の微小角１４転装置では電磁石２を垂直Ｙ方向に
対向して設けたが、第６図およびそのＡ−Ａ断面矢視図
の第７図に示すようにさらに水平Ｘ方向にも水平用磁石
２′を対向して設ける。シャフト８はスイングアーム９
に水平に１■大しているが、さらに前記スイングアーム
９に垂直に嵌入し、シセ７１〜８と直交するシャフト８
′ （ジンバルサポート）を設け、フレーム１の両側の
軸受１６で微小角度回転自在に軸支する。このようにし
て２軸構成にした場合、ギャップセンサ６およびス１ヘ
ツパ４に対応してギャップセンサ６′ （図示せず）お
よびストッパ４′ （図示せず）を設ける。従って、２
軸にすれば、ＸＹ２方向傾転が可能となる。
対向して設けたが、第６図およびそのＡ−Ａ断面矢視図
の第７図に示すようにさらに水平Ｘ方向にも水平用磁石
２′を対向して設ける。シャフト８はスイングアーム９
に水平に１■大しているが、さらに前記スイングアーム
９に垂直に嵌入し、シセ７１〜８と直交するシャフト８
′ （ジンバルサポート）を設け、フレーム１の両側の
軸受１６で微小角度回転自在に軸支する。このようにし
て２軸構成にした場合、ギャップセンサ６およびス１ヘ
ツパ４に対応してギャップセンサ６′ （図示せず）お
よびストッパ４′ （図示せず）を設ける。従って、２
軸にすれば、ＸＹ２方向傾転が可能となる。
発明の効果
以上述べたように、本発明のロボット用微小角傾転装置
は、電磁石とギャップセンサを使用して、電磁石の磁器
吸引力を制御することにＪ−り高ｒｉ’［ｔが確保でき
、かつ装置全体が小型軽量化され、スペースも小さくて
済み、ロボットのハンド用として最適であるという効果
を有する。
は、電磁石とギャップセンサを使用して、電磁石の磁器
吸引力を制御することにＪ−り高ｒｉ’［ｔが確保でき
、かつ装置全体が小型軽量化され、スペースも小さくて
済み、ロボットのハンド用として最適であるという効果
を有する。
第１図は本発明のロボット用微小角傾転装置の要部縦断
面図、第２図は動作状態を示づ図、第３図は第１図のＡ
−Ａ断面矢視図、第４図は角形フレームに設けた対向す
る一対の電磁石をそれぞれ２個ずつにした場合のＡ−Ａ
断面矢視図、第５図は本発明の制御ブロック図、第６図
は２軸構成にした場合の要部縦断面図、第７図は第６図
のＡ−Ａ断面矢視図である。 １・・・フレーム、２，２′・・・電磁石、４．４′・
・・ス１〜ツバ、６，６′・・・ギｔ・ツブセンサ、８
．８′・・・シャフト、９・・・スイングアーム。
面図、第２図は動作状態を示づ図、第３図は第１図のＡ
−Ａ断面矢視図、第４図は角形フレームに設けた対向す
る一対の電磁石をそれぞれ２個ずつにした場合のＡ−Ａ
断面矢視図、第５図は本発明の制御ブロック図、第６図
は２軸構成にした場合の要部縦断面図、第７図は第６図
のＡ−Ａ断面矢視図である。 １・・・フレーム、２，２′・・・電磁石、４．４′・
・・ス１〜ツバ、６，６′・・・ギｔ・ツブセンサ、８
．８′・・・シャフト、９・・・スイングアーム。
Claims (2)
- （１）スイングアームに水平に嵌入するシャフトを筒体
のフレームの両側で軸支し、前記スイングアームの一端
右側を挾んで、対向する一対の電磁石とストッパを筒体
のフレームの両側に固着し、前記スイングアームに近接
してギャップセンサを設け、かつ前記スイングアーム、
電磁石、ストッパ、ギャップセンサは同一平面内に配設
し、スイングアームとギャップセンサとのギャップ値を
予め設定し、ギャップセンサの出力と設定値により電磁
石の磁気吸引力を制御することを特徴とするロボット用
微小角傾転装置。 - （２）スイングアームに水平に嵌入したシャフトと直交
するシャフトを前記スイングアームに垂直に嵌入して筒
体のフレームの両側に軸支し、さらに前記スイングアー
ムと同一水平面内に、電磁石、ストッパ、ギャップセン
サを配設した特許請求の範囲第１項記載のロボット用微
小角傾転装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28439285A JPS62148174A (ja) | 1985-12-19 | 1985-12-19 | ロボツト用微小角傾転装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28439285A JPS62148174A (ja) | 1985-12-19 | 1985-12-19 | ロボツト用微小角傾転装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62148174A true JPS62148174A (ja) | 1987-07-02 |
Family
ID=17677980
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28439285A Pending JPS62148174A (ja) | 1985-12-19 | 1985-12-19 | ロボツト用微小角傾転装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62148174A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007073133A (ja) * | 2005-09-07 | 2007-03-22 | Alps Electric Co Ltd | ２軸型アクチュエータ及びこれを用いたホログラフィー装置 |
| JP2021129076A (ja) * | 2020-02-17 | 2021-09-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送装置、処理システム及び搬送方法 |
-
1985
- 1985-12-19 JP JP28439285A patent/JPS62148174A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007073133A (ja) * | 2005-09-07 | 2007-03-22 | Alps Electric Co Ltd | ２軸型アクチュエータ及びこれを用いたホログラフィー装置 |
| JP2021129076A (ja) * | 2020-02-17 | 2021-09-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送装置、処理システム及び搬送方法 |
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