JPH0212707B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0212707B2
JPH0212707B2 JP56036392A JP3639281A JPH0212707B2 JP H0212707 B2 JPH0212707 B2 JP H0212707B2 JP 56036392 A JP56036392 A JP 56036392A JP 3639281 A JP3639281 A JP 3639281A JP H0212707 B2 JPH0212707 B2 JP H0212707B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
axis
linear motor
coil
permanent magnet
moving
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP56036392A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS57149179A (en
Inventor
Isao Kimoto
Shigeru Katayama
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
Nippon Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Electric Co Ltd filed Critical Nippon Electric Co Ltd
Priority to JP3639281A priority Critical patent/JPS57149179A/ja
Publication of JPS57149179A publication Critical patent/JPS57149179A/ja
Publication of JPH0212707B2 publication Critical patent/JPH0212707B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、複数のロボツトアームを有し、高度
な組立作業、ハンドリング等に汎用的に応用され
る直交座標型のロボツトに関するものである。
従来、この種の直交座標型ロボツトのアーム駆
動用送り機構はパルスモータあるいは回転形のサ
ーボモータ等で構成されていた。このような送り
機構でロボツトアームを駆動する場合は、モータ
の回転運動をラツクとピニオン又はボールねじ等
の伝達機構を介して直線運動に変換する必要があ
つたため次のような問題点があつた。まずラツク
とピニオン機構は、バツクラツシユを含むため、
本質的に高精度な位置決めが困難であつた。
又、ボールねじ送り機構は、ロボツトアームが
単数の場合には比較的構造が簡単であるが、独立
に動作する複数のロボツトアームを有する直交座
標型ロボツトを構成しようとした場合には、ロボ
ツトアームの本数と同数の完全に独立した送りね
じ機構を各駆動軸に具備する必要があるため、ロ
ボツトアーム送り機構が非常に複雑になる欠点が
あつた。そこで長いストロークを高速で駆動し、
サーボコントロールして高精度に位置決めするこ
とが可能で、モータの移動体がそれ自体直線的な
動作をするリニアモータによる新たな駆動機構を
用いようと考えるに至つた。
従来、広い意味ではこうした発想がなかつたわ
けではないが、かかる目的に使用し得るリニアモ
ータとして現実に知られていたのは第1図に示す
方式のものであつた。第1図において、厚み方向
に着磁された永久磁石片1はボビン4の長さとほ
ぼ同等の幅を有し、磁極を交互に逆向して2つの
外側ヨーク2の各々片面に配置されていた。永久
磁石片1は同極種が対向して中心ヨーク3をはさ
む如く配置されていた。
ボビン4は、中心ヨーク3に挿入され、コイル
5、コイル6がボビン4の外周に巻かれていた。
コイル5、コイル6の巻幅は永久磁石片1の幅の
ほぼ半分で、永久磁石片1の磁極切換線を避ける
如く電流印加するコイルを選択して所要出力を得
ていた。
しかしこのような構造においては、高出力を得
ようとした場合、永久磁石片1の分割幅が長くな
り、磁束7が中心ヨーク3、外側ヨーク2で過密
となるために、磁気飽和を防ぐためには外側ヨー
ク2、中心ヨーク3の肉厚を厚くする必要があつ
た。従つて磁気回路の外形寸法が大きくなり、重
量も重いものとなつていた。特にリニアモータを
X−Y軸の動作をする機構に組入みX軸がY軸を
含んで駆動しようとする場合には、X軸にとつて
Y軸の磁気回路の重量が非常に負荷となり、また
装置も大形化するために、実用的なX−Y駆動機
構が達成しにくかつた。さらにまた、従来のリニ
アモータに於いてはコイル5とコイル6の境界部
の幅と磁極の切換わり部に生ずる磁束の変化領域
9の幅との関係に特別の考慮がなされていなかつ
たため、電流印加しているコイル5又はコイル6
の一部磁束の変化領域に入ることがあつた。
従つて、リニアモータの力定数が不均一にな
り、特性のばらつきを生ずることとなり、サーボ
コントロールする際のサーボゲインの調整設定が
煩雑になる等々の欠点を生じていた。
一方、直交座標型ロボツトの制御システムとし
ては、従来、一つの中央処理用コンピユータによ
つて集中制御する方式が一般的であつた。この方
式はマルチタスク制御方式のオペレーテイングシ
ステムと称されているもので、複数の駆動軸を独
立に動作させ、各駆動軸を単純な台形速度プロフ
アイルで駆動し、ロボツトアームの始点と終点の
位置のみを必要とする場合には比較的多数の駆動
軸を集中制御することが可能な利点があつた。し
かし各駆動軸を滑らかに加減速するために近似サ
イン波形の速度プロフアイルで駆動したり、ある
いは軌跡制御をしてロボツトアームの動作経路を
規定しようとする場合には、1つの中央処理用コ
ンピユータで処理しきれなくなり、高度な組立作
業を対象とする直交座標型ロボツトの制御システ
ムとしては不向きであつた。
本発明はこれらの欠点を除去するため、直交座
標型ロボツトのX−Y軸にリニアモータによる駆
動方式を用いるにあたり、リニアモータの磁気回
路の永久磁石片の分割幅を短くし、かつ1相あた
りのムービングコイルを分割して巻き、巻き方向
を巻き区間毎に逆向きにすることによつて磁気回
路を軽量、小型化して実用的なものにするととも
に、制御システムにおいては直交座標型ロボツト
にマスタスレーブ方式の制御システムを用い、滑
らかに軸を駆動し得るようにし、ロボツトアーム
の軌跡制御を可能にしたものである。
本発明によれば、X−Y軸駆動用リニアモー
タ、X軸移動アーム、Y軸移動アーム、位置検出
装置、ロボツトハンド、制御システムとから成る
直交座標型ロボツトにおいて、 (1) X−Y軸駆動用リニアモータは、細かく分割
され厚み方向に着磁された永久磁石片の磁極を
交互に逆向きにして外側ヨークの片面に配置し
永久磁石片の同極種が対向して中心ヨークをは
さむ如く配置しかつサイドヨークで2つの外側
ヨークの端部を連結した磁気回路と、中空で非
磁性体のボビン外周に前記磁気回路の磁極切換
わり部で生ずる磁束の変化領域の幅にほぼ等し
い幅の分離板を前記永久磁石片の幅を二分割し
た間隔で配置しかつ分離板の間のコイル巻区間
に2相のコイルを1区間毎交互に巻きかつ各相
のコイルは区間毎に巻方向を逆にして巻かれて
いるムービングコイルとから構成されており、 (2) Y軸移動アールは、前記リニアモータをY軸
方向に平行に配置したY軸用リニアモータのム
ービングコイルと結合されムービングコイルを
案内してY軸方向に駆動される如くガイドされ
て構成されており、 (3) X軸移動アームは、前記リニアモータ2つを
X軸方向に平行にしてY軸の両側に各々1つ配
置しX軸用リニアモータの2つのムービングコ
イルと前記Y軸用リニアモータの磁気回路の両
端を結合した構造で複数のX軸移動アームのム
ービングコイルが1対のX軸用リニアモータの
磁気回路を共通に使用して構成されており、 (4) 位置検出装置は、非接触光学式スケールを用
い、Y軸方向にはY軸に平行に配置されたスケ
ールと前記Y軸移動アームに固定されかつスケ
ールと非接触で対向するセンサが各々合1対配
置され、X軸方向にはX軸移動アームに固定さ
れた複数のセンサがX軸に平行に配置されたX
軸用スケールに対向して配置され、前記X軸用
リニアモータ磁気回路と同様、1つのX軸用ス
ケールを複数のセンサが共通に使用する如く構
成されており、 (5) 制御システムは、各軸制御用のスレーブコン
ピユータ及びロボツトハンドを含んでアプリケ
ーシヨン機器制御用のスレーブコンピユータが
総括制御用のマスタコンピユータに結合され、
各々のハンド単位に構成されたマスタスレーブ
システムは複数のハンドが独立作業や共同作業
をするべくマスタコンピユータ間で情報を交換
する方式で構成されている、 ことを特徴とする直交座標型ロボツトが得られ
る。
以下、本発明による直交座標型ロボツトを図面
に従つて説明する。まず第3図、第4図、第5
図、第6図で本発明による直交座標型ロボツトの
X−Y軸駆動に用いたリニアモータについて説明
する。
第3図において厚み方向に着磁された永久磁石
片10は磁極の方向が1片毎に変化するように配
置して外側ヨーク11に接着等で固定されてい
る。永久磁石片10が固定された2ケの外側ヨー
ク11は永久磁石片10の同極種が対向する如く
中心ヨーク12の両側に配置されている。
磁束17は永久磁石片10の分割幅に比例して
中心ヨーク12、及び外側ヨーク11で過密とな
るため永久磁石片10の分割幅を細かくして中心
ヨーク12及び外側ヨーク11の板厚を薄くして
いる。中心ヨーク12には中空のボビン13が挿
入され永久磁石片10あるいは中心ヨーク12に
接触することなく長手方向に移動可能である。ボ
ビン13には分割板14が永久磁石の分割幅の半
分のピツチで固定されている。分割板14の幅は
第4図に示す磁束の変化領域19の幅と等しいか
あるいはやや広くしてある。分割板14にはさま
れたコイル巻区間にはコイル15、コイル16が
巻かれている。
本考案によるムービングコイルのコイルの巻き
方は、コイルの巻区間を1区間だけ使用するので
はなく、各相のコイルについて、コイル巻区間の
数区間を有列にして使用する方式である。コイル
の巻方の詳細を第5図に示す。コイル15は、ボ
ビン13の端部から見て奇数番のコイル巻区間で
巻区間毎に巻方向を逆にして直列に巻かれてい
る。一方、コイル16は、同様に見て偶数番のコ
イル巻区間で巻区間毎に巻方向を逆にして直列に
巻かれている。
第6図にコイル15、コイル16を記号で表わ
し構成を簡略化して示した。
このリニアモータを動作させるには、従来の駆
動方式同様、永久磁石片10の磁極切換わり点を
検出するセンサでコイル15あるいはコイル16
と磁極との位相関係を検出し、一定磁束中に位置
するコイルを選択してコイル15とコイル16を
順次切換えながら駆動する。
以上のような構成になつているため、リニアモ
ータの要求出力に応じて磁気回路の断面寸法を変
えることなく各種出力のリニアモータが可能であ
る。例えば高出力のリニアモータを得る場合に
も、細かく分割して多数のコイル巻区間を直列に
接続することにより磁気回路10の一定磁束中に
位置するコイル15又はコイル16の面積を広く
することが可能であり、しかも永久磁石片10の
分割幅は変えることなく短いままで良い。従つて
磁気回路の中心ヨーク12、外側ヨーク11の断
面形状を大きくする必要がなく、高出力のリニア
モータを小型、軽量に得ることが可能である。
又、永久磁石片10の磁極切換部の磁束変化領
域19とボビンの分離板14の幅を等しくするこ
とによつて選択したコイルが磁束の変化領域19
に入ることはなく、力定数が一定となり、サーボ
コントロールして位置決め制御、速度制御する場
合に調整のしやすい安定したリニアモータが得ら
れる。
第7図は本発明の直交座標型ロボツトの一実施
例についてその主要構造を抜き出して示した斜視
図である。
第7図において、Y軸移動アーム20は前記リ
ニアモータの磁気回路21をY軸方向に平行に配
置したY軸用リニアモータのボビン25と結合さ
れ、ボビン25を案内してY軸方向にY軸ガイド
シヤフト22でガイドされている。Y軸移動アー
ム20の位置はY軸に平行に配置されたY軸用ス
ケール24に対向し、かつY軸移動アーム20に
固定されたセンサ23で検出している。検出装置
は非接触の光学式で、Y軸の原点はスケール24
に刻まれており、センサ23で位置の信号と共に
原点の検出が可能である。Y軸リニアモータの磁
気回路21の両側にはX軸用のリニアモータがY
軸と直交して配置され、X軸用リニアモータのボ
ビン26と結合されている。又、X軸のボビン2
6はX軸移動アーム27に固定され、X軸のガイ
ドシヤフト28でガイドされている。X軸の位置
はX軸リニアモータの磁気回路30と平行に配置
されたX軸のスケール31に対向し、かつX軸移
動アーム27に固定されたセンサ29で検出して
いる。X軸の位置検出装置は非接触の光学式で、
X軸の原点はスケール31に刻まれており、セン
サ29で位置の信号と共に原点の検出が可能であ
る。Y軸の移動アーム20にはZ軸、O軸のアー
ムを設けてあり、さらに付加してロボツトハンド
32を取付けたりあるいは移動アーム20に直接
ロボツトハンド32を取付ける等、応用装置に応
じてビツドロツクに各種の構成をすることが可能
である。
本発明による直交座標型ロボツトは、以上に示
した如く構成されているので、複数のロボツトハ
ンドを構成する場合にもX軸用リニアモータの磁
気回路30とスケール31及びX軸のガイドシヤ
フト28を共用することができ、構造が単純な利
点る有する。
次に制御部のシステムを第8図、第9図で説明
する。
本発明による直交座標型ロボツトは、各ハンド
単位にマスタスレーブ形式のシステムを形成し、
制御システムもユニツト化することができる。
第8図において、第1のロボツトハンドを総合
的に制御するためのマスタコンピユータ33に、
X軸制御用コンピユータとして、スレーブコンピ
ユータ34が結合し、X軸ドライブ回路35を介
してX軸リニアモータ36を制御している。Y軸
についても同様にでき、Y軸制御用のスレーブコ
ンピユータ37がマスタコンピユータ33に結合
されY軸ドライブ回路38を介してY軸リニアモ
ータ39を制御している。又、ロボツトハンドを
含めてアプリケーシヨン機器の制御は、アプリケ
ーシヨン制御用のスレーブコンピユータ40がマ
スタコンピユータ33に結合され、アプリケーシ
ヨンドライブ回路41を介して各種アプリケーシ
ヨン機器42を制御している。さらにZ軸、O軸
を追加した場合も同様なマスタスレーブ形式の制
御ユニツトを付加することができる。この様にス
レーブ制御部43とマスタコンピユータ33が各
ハンド単位にユニツト化できるため、複数のハン
ドでロボツトを構成した場合は同様なマスタコン
ピユータ44,46及びスレーブ制御部45,4
7を各々のハンド単位に付加し、マスタコンピユ
ータ33,44,46を相互に結合する構成にで
きる。マスタコンピユータ33,44,46及び
スレーブコンピユータ34,37,40は各々小
型のマイクロコンピユータ程度の機能で足り、マ
スタコンピユータ33,44,46からは各々ス
レーブ制御部43,45,47に対し位置指令デ
ータと動作モードが指令される。動作モードとし
ては軌跡動作あるいは2点間の位置制御動作等の
各種のモード指令が用意され、スレーブ制御部4
3,45,47はこの指令を受けて各軸を演算制
御し、各々の軸の状態をマスタコンピユータ3
3,44,46にデータ転送する。又、マスタコ
ンピユータ33,44,46の間では互いに独立
動作、共動動作等の動作モードの指令を送受して
いる。
第9図は、第8図に示す制御方式の複数のマス
タコンピユータ33,44,46を1つのマスタ
コンピユータ48で集中的に総括する方式の制御
システムを示した例であり、比較的ハンドの数が
少い場合は第9図に示すような制御システムを用
いることが可能である。
以上の説明からも明らかな如く、本発明による
直交座標型ロボツトは、軽量、小型、で長いスト
ロークを得られるリニアモータを採用し得るよう
にしたことによつて従来実現されていなかつた優
れたX−Y駆動機構を達成し、高速、高精度にロ
ボツトハンドをX−Y平面の任意の位置に位置決
めすることが可能となり、かつその構造は複数の
ロボツトハンドの構成においても単純で、しかも
ビルドブロツク式に機能追加することが容易な柔
軟性を備えている。
又、制御システムに於ても直交座標型ロボツト
にマスタスレーブ方式の制御システムを採用する
ことにより、滑らかな駆動や軌跡制御を可能とし
た。さらに制御システムを各ハンド単位でユニツ
ト化することが容易なため、機構部と同様、ビル
ドブロツク式に制御システムを構成できるので複
数のロボツトハンドを多様に制御することが容易
である。
このように本発明による直交座標型ロボツト
は、複数のロボツトハンドを独立動作や共同動作
させることが可能で、高度な組立作業、検査作業
に応用して優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のリニアモータの方式を示す断面
図、第2図は従来の方式のリニアモータの磁束波
形を示す図、第3図は本発明によるリニアモータ
の方式を示す断面図、第4図は本発明によるリニ
アモータの磁束波形を示す図、第5図は本発明に
よるリニアモータのコイルの巻き方を示す断面
図、第6図は本発明によるコイルの構成を簡単に
示した図、第7図は本発明による直交座標型ロボ
ツトの一実施例を示す斜視図、第8図、第9図は
本発明による制御システムの一実施例を示すブロ
ツク図である。 図において、1,10は永久磁石片、2,11
は外側ヨーク、3,12は中心ヨーク、4,13
はボビン、5,6,15,16はコイル、14は
分離板、7,17は磁束の流れ、8,18はサイ
ドヨーク、9,19は磁束の変化領域、20はY
軸移動アーム、21,30は磁気回路、22はY
軸ガイドシヤフト、23,29はセンサ、24,
31はスケール、25,26はボビン、27はX
軸移動アーム、28はX軸ガイドシヤフト、32
はロボツトハンド、33,44,46,48はマ
スタコンピユータ、34,37,40はスレーブ
コンピユータ、35はX軸ドライブ回路、36は
X軸リニアモータ、38はY軸ドライブ回路、3
9はY軸リニアモータ、41はアプリケーシヨン
ドライブ回路、42はアプリケーシヨン機器、4
3,45,47はスレーブ制御部、を各々示す。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 X−Y軸駆動用リニアモータ、X軸移動アー
    ム、Y軸移動アーム、位置検出装置、ロボツトハ
    ンド、制御システム、とを備えて構成された直交
    座標型ロボツトにおいて、 (1) X−Y軸駆動用リニアモータは、細かく分割
    され厚み方向に着磁された永久磁石片の磁極を
    交互に逆向きにして外側ヨークの片面に配置し
    永久磁石片の同極種が対向して中心ヨークをは
    さむ如く配置しかつサイドヨークで2つの外側
    コークの端部を連結した磁気回路と、中空で非
    磁性体のボビン外周に前記磁気回路の磁極切換
    わり部で生ずる磁束の変化領域の幅にほぼ等し
    い幅の分離板を前記永久磁石片の幅を二分割し
    た間隔で配置しかつ分離板の間のコイル巻区間
    に2相のコイルを1区間毎交互に巻きかつ各相
    のコイルは区間毎に巻方向を逆にして巻かれて
    いるムービングコイルとから構成されており、 (2) Y軸移動アームは、前記リニアモータをY軸
    方向に平行に配置したY軸用リニアモータのム
    ービングコイルと結合されムービングコイルを
    案内してY軸方向に駆動される如くガイドされ
    て構成されており、 (3) X軸移動アームは、前記リニアモータ2つを
    X軸方向に平行にしてY軸の両側に各々1つ配
    置しX軸用リニアモータの2つのムービングコ
    イルと前記Y軸用リニアモータの磁気回路の両
    端を結合した構造で複数のX軸移動アームのム
    ービングコイルが1対のX軸用リニアモータの
    磁気回路を共通に使用して構成されており、 (4) 位置検出装置は、非接触光学式スケールを用
    い、Y軸方向にはY軸に平行に配置されたスケ
    ールと前記Y軸移動アームに固定されかつスケ
    ールと非接触で対向するセンサが各々1対配置
    され、X軸方向にはX軸移動アームに固定され
    た複数のセンサがX軸に平行に配置されたX軸
    用スケールに対向して配置され、前記X軸用リ
    ニアモータ磁気回路と同様、1つのX軸用スケ
    ールを複数のセンサが共通に使用する如く構成
    されており、 (5) 制御システムは、各軸制御用のスレーブコン
    ピユータ及びロボツトハンドを含んでアプリケ
    ーシヨン機器制御用のスレーブコンピユータが
    総括制御用のマスタコンピユータに結合され、
    各々のハンド単位に構成されたマスタスレーブ
    システムは複数のハンドが独立作業や共同作業
    をするべくマスタコンピユータ間で情報を交換
    する方式で構成されている、 ことを特徴とする直交座標型ロボツト。
JP3639281A 1981-03-13 1981-03-13 Rectangular coordinate type robot Granted JPS57149179A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3639281A JPS57149179A (en) 1981-03-13 1981-03-13 Rectangular coordinate type robot

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3639281A JPS57149179A (en) 1981-03-13 1981-03-13 Rectangular coordinate type robot

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS57149179A JPS57149179A (en) 1982-09-14
JPH0212707B2 true JPH0212707B2 (ja) 1990-03-26

Family

ID=12468576

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3639281A Granted JPS57149179A (en) 1981-03-13 1981-03-13 Rectangular coordinate type robot

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS57149179A (ja)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60131180A (ja) * 1983-12-16 1985-07-12 松下電器産業株式会社 産業用ロボツト
JPS60131178A (ja) * 1983-12-20 1985-07-12 松下電器産業株式会社 産業用ロボツト
JPS6171983A (ja) * 1984-09-11 1986-04-12 パイオニア株式会社 直交座標系位置決め装置
JPS61109637A (ja) * 1984-10-31 1986-05-28 Hitachi Ltd テ−ブル装置
JPH0675834B2 (ja) * 1985-04-12 1994-09-28 株式会社日立製作所 直交形位置決め装置
JPH06102308B2 (ja) * 1985-12-26 1994-12-14 梅谷 陽二 マイクロマニピユレ−タの微動装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52140154A (en) * 1976-05-15 1977-11-22 Shin Meiwa Ind Co Ltd Weight balancing device

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5130998U (ja) * 1974-08-30 1976-03-05

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52140154A (en) * 1976-05-15 1977-11-22 Shin Meiwa Ind Co Ltd Weight balancing device

Also Published As

Publication number Publication date
JPS57149179A (en) 1982-09-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4535278A (en) Two-dimensional precise positioning device for use in a semiconductor manufacturing apparatus
US4507598A (en) Two-axis positioning system
US4788477A (en) Linear motor-driven X-Y table
US4555650A (en) Two dimensional driving device for use in a positioning device in a semiconductor manufacturing apparatus
US5955798A (en) Linear motor
US4642539A (en) Torque motor with unlimited angular excursion
JP2002064968A (ja) 可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置
WO2006106697A1 (ja) リニアモータアクチュエータ
JPH0463625B2 (ja)
JPH0212707B2 (ja)
EP0207353B1 (en) Surface pulse motor
US4390827A (en) Linear motor
US3381193A (en) Incremental stepping motor apparatus and methods for driving
EP0353074B1 (en) Step linear actuator
KR100331232B1 (ko) 브러쉬없는 리니어모터가 구비된 선형구동장치
US4690486A (en) Four position interlacing apparatus
KR0183284B1 (ko) 무 브러시 직류 선형 구동 제어 시스템
JPS61239307A (ja) 位置決め装置
JPS63191533A (ja) 2次元位置決め駆動装置
JPH0452074Y2 (ja)
JP4522674B2 (ja) 小型スライド装置
JPH0283137A (ja) 放電加工装置
KR20040012527A (ko) 구동 장치 및 이를 이용한 xy 테이블
JPH072036B2 (ja) コイル可動形リニア直流モ−タ
JPH02307356A (ja) リニアパルスモータ