JPH03265908A - 姿勢制御装置 - Google Patents

姿勢制御装置

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JPH03265908A
JPH03265908A JP2065013A JP6501390A JPH03265908A JP H03265908 A JPH03265908 A JP H03265908A JP 2065013 A JP2065013 A JP 2065013A JP 6501390 A JP6501390 A JP 6501390A JP H03265908 A JPH03265908 A JP H03265908A
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driving means
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Shigeki Fujiwara
茂喜 藤原
Ryosuke Maruyama
丸山 亮介
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  • Manipulator (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、電子部品や異形部品などの方向性のある部品
の挿着や、部品同士の位置合わせや組み立てを行う自動
組み立て工程に用いられたり、精密位置決めテーブルと
して用いられ、複数の自由度をもち、コンプライアンス
制御可能な姿勢制御装置に関するものである。
[従来の技術] 従来、自動組み立て工程に用いられるこの種の姿勢制御
装置として、例えば、特開昭63−318283号公報
があり、第13図に示すように、6角筒状の可動体21
の各面にそれぞれ永久磁石20a、20bと口字状コイ
ル16とで形成される直流アクチュエータDAを配置し
、可動体21の位置を検出する位置検出センサ出力に基
づいて各コイル16に流す電流をフィードバック制御す
ることにより可動体21の各コイル16にローレンツ力
を発生させ、可動体21を6自由度制御自在にしたもの
があった。
[発明が解決しようとする課題] しかしながら、上述の従来例にあっては、6角筒状の可
動体21に取着された口字状のコイル16を12個の永
久磁石20a、20bで形成される磁気回路中に配置し
てローレンツ力を得るようにしており、多くの永久磁石
20a、20bを必要とするので、構成が複電になり、
また、6角筒状の可動体21を用い、その周りに永久磁
石20a  20bを配置しているので、全体形状が大
型化するという問題があった。
本発明は上記の点に鑑みて為されたものであり、その目
的とするところは、構成が簡単で、全体形状を小型化で
きる姿勢制御装置を提供することにある。
[課題を解決するための手段] 本発明の請求項1記載の姿勢制御装置は、可動体に対し
てZ軸方向に作用する吸引力あるいは反発力を発生する
第1の駆動手段と、上記可動体に対してZ軸周り(θx
、θy)に揺動するとともに、第1の方向に交差するX
Y面で並進する方向(X、Y、θ2)に作用するローレ
ンツ力を発生するリニア直流アクチュエータよりなる第
2の駆動手段と、上記可動体の位置を検出する位置セン
サと、上記位置センサ出力に基づいて再駆動手段を制御
する制御手段とを備えたものである。
また、請求項2のものは、4角形の平板状磁性体の片面
の4隅に板厚方向くZ軸方向)に着磁された永久磁石を
磁極が交互に形成されるように配置した2個の磁石ブロ
ックを、異なる磁極が対向するように適当な間隙をもっ
て配置するとともに、各間隙中に磁石あるいは磁性体を
配置することにより8個の磁気ギャップを形成した磁気
回路ブロックと、上記磁気回路ブロックのZ軸方向の片
側の4個の磁気ギャップ中に配置され非磁性体の軸に固
定された4個の口字状コイルよりなり、各口字状コイル
が2カ所の磁気ギャップを通過するようにした一対の可
動コイルブロックとで第2の駆動手段を形成したもので
ある。
さらにまた、可動体に対してZ軸方向に作用するリニア
直流アクチュエータにより第1の駆動手段を形成したも
のである。
さらにまた、請求項4のものは、可動体に対してZ軸方
向に作用する弾性ばねにより第1の駆動手段を形成した
ものである。
[作 用] 本発明は上述のように構成されており、可動体に対して
Z軸方向に作用する吸引力あるいは反発力を発生する第
1の駆動手段と、上記可動体に対してZ軸周り(θx、
θy)に揺動するとともに、第1の方向に交差するXY
面で並進する方向(X。
Y、θ2)に作用するローレンツ力を発生するリニア直
流アクチュエータよりなる第2の駆動手段とを設け、制
御手段にて、上記可動体の位置を検出する位置センサ出
力に基づいて再駆動手段を制御するようにしたものであ
り、構成の簡略化ができるとともに、全体形状の小型化
を図ることができるようになっている。
また、4角形の平板状磁性体の片面の4隅に板厚方向く
Z軸方向)に着磁された永久磁石を磁極が交互に形成さ
れるように配置した2個の磁石ブロックを、異なる磁極
が対向するように適当な間隙をもって配置するとともに
、各間隙中に磁石あるいは磁性体を配置することにより
8個の磁気ギャップを形成した磁気回路ブロックと、上
記磁気回路ブロックのZ軸方向の片側の4個の磁気ギャ
ップ中に配置され非磁性体の軸に固定された4個の口字
状コイルよりなり、各口字状コイルが2カ所の磁気ギャ
ップを通過するようにした一対の可動コイルブロックと
で第2の駆動手段を形成すれば、より構成の簡略化およ
び小型化を図ることができる。
さらにまた、請求項3のものは、可動体に対してZ軸方
向に作用するリニア直流アクチュエータにより第1の駆
動手段を形成したものであり、Z軸方向の制御がやり易
くなる。
さらにまた、請求項4のものは、可動体に対してZ軸方
向に作用する弾性ばねにより第1の駆動手段を形成した
ものであり、Z軸方向の動作が安定化されるようになっ
ている。
[実施例] 第1図乃至第4図は、自動組み立て装置(例えば、部品
Aの孔aに部品Bを挿入する装置)として利用した本発
明一実施例の概略構成を示すもので、姿勢制御される可
動体1は、可動体1に対してZ軸方向に作用する吸引力
あるいは反発力を発生する電磁石2a、2bよりなる第
1の駆動手段と、上記可動体1に対してZ軸周り(θx
、θy)に揺動するとともに、第1の方向に交差するX
Y面で並進する方向(X、Y、θ2)に作用するローレ
ンツ力を発生するリニア直流アクチュエータ3よりなる
第2の駆動手段と、上記可動体1の位置を検出する位置
センサ4a〜4fと、上記位置センサ4a〜4f出力に
基づいて再駆動手段を制御する制御手段5とを備えたも
のである。実施例では、4角形の平板状磁性体10の片
面の4隅に板厚方向くZ軸方向)に着磁された永久磁石
11を磁極が交互に形成されるように配置した2個の磁
石ブロックL2a、12bを、異なる磁極が対向するよ
うに適当な間隙をもって配置するとともに、各間隙中に
磁石く但し、磁石に代えて磁性体でも良い)13を配置
することにより8個の磁気ギャップGを形成した磁気回
路ブロック14と、上記磁気回路ブロック14のZ軸方
向の片側の4個の磁気ギヤツブG中に配置され非磁性体
の軸15に固定された4個の口字状コイル16a〜16
hよりなり、各口字状コイル16a〜16hが2力所の
磁気ギャップGを通過するようにした一対の可動コイル
ブロック17とよりなるリニア直流アクチュエータ3に
て第2の駆動手段を形成している。また、可動体1は、
可動コイルブロック17の非磁性体の軸15上端に磁性
体円板18を取り付けるとともに、下端に部品保持用の
グリッパ19を取り付けて形成されている。また、磁性
体円板18を吸引保持(あるいは反発保持)する電磁石
2a、2bおよび磁気回路ブロック14は、組み立てロ
ボットのアームC先端取り付けられている。なお、本発
明は、上述のような自動組み立て装置の姿勢制御に限定
されるものではなく、各種姿勢制御に適用できることは
言うまでもない。
図中、7は位置センサ4a〜4fから構成される装置情
報をマイクロコンピュータ6に取り込むためのインター
フェース、8は電磁石2a、2bおよびリニア直流アク
チュエータ3の可動コイルブロックに流す所定電流をマ
イクロコンピュータ6からの指令によって供給するアン
プ、9は駆動用電源である。
第5図乃至第9図は具体構成例を示すもので、本発明に
係る姿勢制御装置Xは、自動組み立てロボットYのアー
ムCの先端に収着され、パレットP上の部品Bを部品A
の孔aに挿着するようにしたものである。ここに、位置
センサ4a〜4fは、軸15に取着されている磁性体よ
りなる検出板4a°〜4e’あるいは磁性体円板18の
固定ねじ4f’ との間のギャップを検出する磁気セン
ナにて形成されている。また、口字状コイル16a〜1
6hは、第9図に示すように、四角平板状に巻回される
とともに、取付側を上方に折曲されており、@15に設
けられたスリットに取着されている。
以下、実施例の動作について説明する。いま、リニア直
流アクチュエータ3は、可動コイルブロック17の口字
状コイル16a〜16hに電流を流すことにより発生す
るローレンツ力Fにて可動体を駆動するようになってい
る。このとき、リニア直流アクチュエータ3により可動
体1に作用するローレンツ力Fは、コイル16a〜16
hの巻数をn、コイル16a〜16hに流す電流を■、
磁石回路ブロック14の磁気ギャップGの磁束密度をB
、磁界中のコイル長をLとすれば、F = n −I 
−B −L−−−−−−・−−−−−(1)となる。
ここに、可動体1に作用する力は、各コイル16a〜1
6hに発生するローレンツ力Fa〜Fhの合力となり、
各コイル16a〜16hに流れる電流値を適当に設定す
ることにより、可動体1を駆動して5軸(X、Y、θx
、θy、θZ)の位置制御を行うとともに、電気−磁気
相互作用によるコンプライアンス制御も行えるようにな
っている。
ここに、X、Y方向、θx、θy、θ2回転の制御は以
下のようにして行われる。
X方向 コイル16b、16d、16f、16hに発生するロー
レンツ力の合力。
Y方向 コイル16a、16c、16e、16gに発生スるロー
レンツ力の合力。
θX回転 コイル16a、16cとコイル16e、16gに発生す
るローレンツ力の差による回転モーメント。
θy回転 コイル16b、16dとコイル16f、16hに発生す
るローレンツ力の差による回転モーメント。
02回転 全コイル16a〜16hに発生するローレンツ力の差に
よる回転モーメント。
上述のようにリニア直流アクチュエータ3による駆動力
(ローレンツ力)は、各コイル16a〜16hに流れる
電流に比例しているので、所定範囲(Ws気回路の磁束
内に各コイル16a〜16hが存在する範囲)内では、
駆動量を考直することなくコイル電流の制御(位置セン
サ4a〜4f出力に基づいたフィードバック帽1を行う
ことができ、Z軸方向を除く5軸姿勢制御(X、Y、θ
x、θy、θ2〉をやり易くできる。
さらに、本実施例では、電磁石2a、2bの磁性体円板
18に対する磁気吸引力を利用してZ軸方向の位置制御
を行っているので、Z軸方向を部品挿入方向として大き
な挿入力を得ることができるとともに、XY方向の可動
範囲を広く取ることができる。また、吸引面積を広くす
ることができるので、Z軸方向の小型化が可能になる。
第10図および第11図は他の実施例であり、可動体に
対してZ鞠方向に作用するリニア直流アクチュエータ3
0にて第1の駆動手段を形成したものであり、リニア直
流アクチュエータ33は、永久磁石31aおよびヨーク
31bよりなり、アームCに固定される固定磁石31と
、ボビン32に巻装された可動コイル32とで構成され
、可動コイル32のボビン32aが軸15の上端に取り
付けられている。ここに、可動コイル32に流す電流を
制御手段5にて制御することにより、可動体1のZ軸方
向に作用するローレンツ力が変化し、可動体1のZ軸方
向の位置およびコンプライアンス制御が行えるようにな
っている。また、駆動力が可動コイル32に流す電流に
比例するリニア直流アクチュエータ30を用いているの
で、Z軸方向の制御性も良好に行えることになる。なお
、他の構成および動作は前記実施例と同様である。
第12図はさらに他の実施例を示すものであり、第1の
駆動手段に代えて、可動体1に対してZ軸方向に作用す
るコイルばね35よりなる保持手段を設けたものである
。この場合、Z軸方向に対して機械的な保持手段を用い
ているため、他の実施例に比べてZ軸方向が最も安定し
ており、高剛性のコイルばね35を用いれば、高い弾性
を持たせることができる。
し発明の効果] 本発明は上述のように構成されており、可動体に対して
Z軸方向に作用する吸引力あるいは反発力を発生する第
1の駆動手段と、上記可動体に対してZ軸周り(θx、
θy)に揺動するとともに、第1の方向に交差するXY
面で並進する方向(X。
Y、θ2)に作用するローレンツ力を発生するりニア直
流アクチュエータよりなる第2の駆動手段とを設け、制
御手段にて、上記可動体の位置を検出する位置センサ出
力に基づいて再駆動手段を制御するようにしたので、構
成の簡略化ができるとともに、全体形状の小型化を図る
ことができるという効果がある。
また、4角形の平板状磁性体の片面の4隅に板厚方向く
Z軸方向)に着磁された永久磁石を磁極が交互に形成さ
れるように配置した2個の磁石ブロックを、異なる磁極
が対向するように適当な間隙をもって配置するとともに
、各間隙中に磁石あるいは磁性体を配置することにより
8個の磁気ギャップを形成した磁気回路ブロックと、上
記磁気回路ブロックのZ軸方向の片側の4個の磁気ギャ
ップ中に配置され非磁性体の軸に固定された4個の口字
状コイルよりなり、各口字状コイルが2カ所の磁気ギャ
ップを通過するようにした一対の可動コイルブロックと
で第2の駆動手段を形成すれば、より構成の簡略化およ
び小型化を図ることができる。
さらにまた、可動体に対してZ軸方向に作用するリニア
直流アクチュエータにより第1の駆動手段を形成すれば
、Z軸方向の制御がやり易くなる。
さらにまた、可動体に対してZ軸方向に作用する弾性ば
ねにより第1の駆動手段を形成すれば、Z軸方向の動作
が安定化される。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明一実施例の概略構成図、第2図は同上の
要部斜視図、第3図は同上の要部断面図、第4図は同上
の要部斜視図、第5図は自動組み立てロボットの外観斜
視図、第6図は同上の要部斜視図、第7図は同上の要部
切欠斜視図、第8図は同上の要部分解斜視図、第9図(
a)〜(d)は同上の可動コイルブロックの作製手順を
示す説明図、第10図は他の実施例の要部断面図、第1
1図(a) (b)は同上の要部断面図、第12図はさ
らに他の実施例の要部断面図、第13図は従来例の概略
構成図である。 1は可動体、2a、2bは電磁石、3はリニア直流アク
チュエータ、4a〜4fは位置センサ、5は制御手段、
1oは磁性体、11は永久磁石、12a、12bはブロ
ック、13は磁性体く永久磁石〉、14は磁気回路ブロ
ック、15は軸、16a〜16hはコイル、17は可動
コイルブロック、18は磁性体円板、19はグリッパ、
3oはリニア直流アクチュエータ、35はコイルばねで
ある。 第2区

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)可動体に対してZ軸方向に作用する吸引力あるい
    は反発力を発生する第1の駆動手段と、上記可動体に対
    してZ軸周り(θx、θy)に揺動するとともに、第1
    の方向に交差するXY面で並進する方向(X、Y、θz
    )に作用するローレンツ力を発生するリニア直流アクチ
    ュエータよりなる第2の駆動手段と、上記可動体の位置
    を検出する位置センサと、上記位置センサ出力に基づい
    て両駆動手段を制御する制御手段とを備えた姿勢制御装
    置。
  2. (2)4角形の平板状磁性体の片面の4隅に板厚方向(
    Z軸方向)に着磁された永久磁石を磁極が交互に形成さ
    れるように配置した2個の磁石ブロックを、異なる磁極
    が対向するように適当な間隙をもって配置するとともに
    、各間隙中に磁石あるいは磁性体を配置することにより
    8個の磁気ギャップを形成した磁気回路ブロックと、上
    記磁気回路ブロックのZ軸方向の片側の4個の磁気ギャ
    ップ中に配置され非磁性体の軸に固定された4個のロ字
    状コイルよりなり、各ロ字状コイルが2カ所の磁気ギャ
    ップを通過するようにした一対の可動コイルブロックと
    で第2の駆動手段を形成したことを特徴とする請求項1
    記載の姿勢制御装置。
  3. (3)可動体に対してZ軸方向に作用するリニア直流ア
    クチュエータにより第1の駆動手段を形成したことを特
    徴とする請求項2記載の姿勢制御装置。
  4. (4)可動体に対してZ軸方向に作用する弾性ばねによ
    り第1の駆動手段を形成したことを特徴とする請求項2
    記載の姿勢制御装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110834308A (zh) * 2019-10-17 2020-02-25 成都飞机工业(集团)有限责任公司 一种弧线滚翻调姿机构
CN112318495A (zh) * 2020-11-16 2021-02-05 王琳 一种具有抗干扰功能的电动执行器

Families Citing this family (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2949726B2 (ja) * 1989-08-24 1999-09-20 株式会社安川電機 磁気浮上搬送装置の移動子制御方法
US5216590A (en) * 1990-07-13 1993-06-01 Seiko Seiki Kabushiki Kaisha Contactless guided positioning table
US5397212A (en) * 1992-02-21 1995-03-14 Ebara Corporation Robot with dust-free and maintenance-free actuators
US5424703A (en) * 1992-05-08 1995-06-13 The Electrodyne Company, Inc. Magnetization of permanent magnet strip materials
US5420489A (en) * 1993-11-12 1995-05-30 Rockwell International Corporation Robotic end-effector with active system compliance and micro-positioning capability
JP3695542B2 (ja) * 1994-02-23 2005-09-14 日本トムソン株式会社 リニア電磁アクチュエータを具備したxy駆動装置
WO1996002972A1 (en) * 1994-07-14 1996-02-01 Philips Electronics N.V. Electromagnetic actuator having a cylindrical translation coil and a toroidal rotation coil, actuator unit comprising the actuator and a measurement system, and machine comprising the actuator or the actuator unit
US5548195A (en) * 1994-12-22 1996-08-20 International Business Machines Corporation Compensated servo control stage positioning apparatus
US5959382A (en) * 1995-10-13 1999-09-28 Milli Sensor Systems And Actuators, Inc. Magnetic actuator and position control system
JPH09139961A (ja) * 1995-11-14 1997-05-27 Fujitsu Ltd 自動回線分配装置
KR100197156B1 (ko) * 1996-03-22 1999-06-15 박원훈 자석의 반발력을 이용한 원격조종 로봇용 촉각 궤환장치
DE19620195C1 (de) * 1996-05-20 1997-11-20 Fraunhofer Ges Forschung Füge- oder Trennmodul für Industrieroboter
JPH09312682A (ja) * 1996-05-22 1997-12-02 Fujitsu Ltd 接続ピン挿抜装置及び挿抜方法
US5672924A (en) * 1996-10-15 1997-09-30 New York University Robots using modular direct drive motors
DE19715083A1 (de) * 1997-04-11 1997-08-28 Univ Ilmenau Tech Mechanischer Greifer, insbesondere zum Greifen kleiner Objekte
US5925957A (en) * 1997-05-30 1999-07-20 Electric Boat Corporation Fault-tolerant magnetic bearing control system architecture
US6195083B1 (en) * 1997-11-14 2001-02-27 Septimiu E. Salcudean Active joystick with optical positions sensor
US6131459A (en) * 1999-04-26 2000-10-17 P. D. Coop, Inc. Linearized ultrasound beam alignment servo
JP2001078389A (ja) * 1999-09-01 2001-03-23 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd 磁気浮上型電動機
DE19962247A1 (de) 1999-12-22 2001-09-20 Agie Sa Bewegungsübertragungsvorrichtung
US6398280B1 (en) * 2000-05-11 2002-06-04 Zyvex Corporation Gripper and complementary handle for use with microcomponents
AU2002225701A1 (en) * 2000-11-14 2002-05-27 Airex Corporation Integrated magnetic bearing
US6888289B2 (en) * 2002-07-16 2005-05-03 Baldor Electric Company Multi-axes, sub-micron positioner
US7096568B1 (en) 2003-07-10 2006-08-29 Zyvex Corporation Method of manufacturing a microcomponent assembly
US7025619B2 (en) * 2004-02-13 2006-04-11 Zyvex Corporation Sockets for microassembly
US6956219B2 (en) * 2004-03-12 2005-10-18 Zyvex Corporation MEMS based charged particle deflector design
US7081630B2 (en) * 2004-03-12 2006-07-25 Zyvex Corporation Compact microcolumn for automated assembly
US7305757B2 (en) * 2004-03-15 2007-12-11 Asm Technology Singapore Pte Ltd. Die ejector system using linear motor
US7009321B1 (en) * 2004-10-04 2006-03-07 L-3 Communications Sonoma Eo, Inc. Compact two-axis wide gap torquer motor
US7557470B2 (en) * 2005-01-18 2009-07-07 Massachusetts Institute Of Technology 6-axis electromagnetically-actuated meso-scale nanopositioner
US7314382B2 (en) 2005-05-18 2008-01-01 Zyvex Labs, Llc Apparatus and methods of manufacturing and assembling microscale and nanoscale components and assemblies
US9015075B2 (en) 2006-09-29 2015-04-21 Oracle America, Inc. Method and apparatus for secure information distribution
US7605377B2 (en) * 2006-10-17 2009-10-20 Zyvex Corporation On-chip reflectron and ion optics
US8657352B2 (en) 2011-04-11 2014-02-25 International Business Machines Corporation Robotic device for substrate transfer applications
AT512064B1 (de) 2011-10-31 2015-11-15 Fronius Int Gmbh Hochstromtransformator, transformatorelement, kontaktplatte und sekundärwicklung sowie verfahren zur herstellung eines solchen hochstromtransformators
US8936293B2 (en) 2011-12-21 2015-01-20 International Business Machines Corporation Robotic device for substrate transfer applications
KR101563320B1 (ko) * 2013-10-10 2015-10-26 현대중공업 주식회사 고속 솔레노이드
KR102564733B1 (ko) * 2015-10-23 2023-08-09 삼성전자주식회사 카메라 렌즈 모듈
CN109552875A (zh) * 2018-11-23 2019-04-02 东莞御膳坊信息技术有限公司 一种自动炒菜机的取配料盒机械手
CN109502543B (zh) * 2018-12-29 2019-11-22 哈尔滨工业大学 一种纳米操作装置
CN112959298B (zh) * 2021-02-03 2022-04-26 宁波大学 一种大行程五自由度纳米操作器
CN113371355B (zh) * 2021-02-04 2022-08-23 成都国翼电子技术有限公司 一种六自由度的随动抱轴装置
WO2022204869A1 (zh) * 2021-03-29 2022-10-06 深圳高性能医疗器械国家研究院有限公司 一种力反馈装置及其应用

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT1165233B (it) * 1979-09-25 1987-04-22 Fiat Ricerche Trasduttore a sei gradi di liberta particolarmente per robot
DE3234288C2 (de) * 1982-09-16 1984-07-26 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg Optische Vorrichtung zur Lenkung bzw. Ausrichtung eines Strahlenbündels
NO159980C (no) * 1982-09-21 1989-03-01 Fujitsu Ltd Baereanordning.
EP0264147B1 (en) * 1986-09-09 1994-01-12 Hitachi Construction Machinery Co., Ltd. Fine positioning device and displacement controller therefor
US4884329A (en) * 1987-02-20 1989-12-05 Research Development Corporation Precision automatic assembly apparatus, with electromagnetically supported member and assembly method using same
JPS63237892A (ja) * 1987-03-23 1988-10-04 株式会社小松製作所 可撓腕
US4874998A (en) * 1987-06-11 1989-10-17 International Business Machines Corporation Magnetically levitated fine motion robot wrist with programmable compliance
GB2227126B (en) * 1988-12-27 1993-10-06 Honda Motor Co Ltd Transformer apparatus with rectifiers
JPH0790483B2 (ja) * 1989-02-10 1995-10-04 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション コンプライアンス制御方法及びシステム
JPH0782952B2 (ja) * 1989-05-15 1995-09-06 本田技研工業株式会社 整流器付トランス装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110834308A (zh) * 2019-10-17 2020-02-25 成都飞机工业(集团)有限责任公司 一种弧线滚翻调姿机构
CN112318495A (zh) * 2020-11-16 2021-02-05 王琳 一种具有抗干扰功能的电动执行器
CN112318495B (zh) * 2020-11-16 2022-06-07 王琳 一种具有抗干扰功能的电动执行器

Also Published As

Publication number Publication date
US5160877A (en) 1992-11-03
DE4108317A1 (de) 1991-10-17
JP2834832B2 (ja) 1998-12-14
DE4108317C2 (de) 1994-11-10

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