JPS6214102A - カラーフイルタ製造用フオトマスク - Google Patents

カラーフイルタ製造用フオトマスク

Info

Publication number
JPS6214102A
JPS6214102A JP60153233A JP15323385A JPS6214102A JP S6214102 A JPS6214102 A JP S6214102A JP 60153233 A JP60153233 A JP 60153233A JP 15323385 A JP15323385 A JP 15323385A JP S6214102 A JPS6214102 A JP S6214102A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
color filter
substrate
photomask
marks
film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP60153233A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JPH0466346B2 (enExample
Inventor
Yoshihiro Kondo
近藤　宣裕
Masanori Fujita
政則 藤田
Tadashi Miyamoto
正 宮本
Kenji Muta
牟田　健二
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seikosha KK
Original Assignee
Seikosha KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seikosha KK filed Critical Seikosha KK
Priority to JP60153233A priority Critical patent/JPS6214102A/ja
Publication of JPS6214102A publication Critical patent/JPS6214102A/ja
Publication of JPH0466346B2 publication Critical patent/JPH0466346B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Optical Filters (AREA)
  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
  • Video Image Reproduction Devices For Color Tv Systems (AREA)
JP60153233A 1985-07-11 1985-07-11 カラーフイルタ製造用フオトマスク Granted JPS6214102A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60153233A JPS6214102A (ja) 1985-07-11 1985-07-11 カラーフイルタ製造用フオトマスク

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60153233A JPS6214102A (ja) 1985-07-11 1985-07-11 カラーフイルタ製造用フオトマスク

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6214102A true JPS6214102A (ja) 1987-01-22
JPH0466346B2 JPH0466346B2 (enExample) 1992-10-22

Family

ID=15557963

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60153233A Granted JPS6214102A (ja) 1985-07-11 1985-07-11 カラーフイルタ製造用フオトマスク

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6214102A (enExample)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01142701A (ja) * 1987-11-30 1989-06-05 Toppan Printing Co Ltd カラーフィルター用基板
JP2011170144A (ja) * 2010-02-19 2011-09-01 Hitachi High-Technologies Corp フォトマスク、プロキシミティ露光装置、及びプロキシミティ露光装置のアライメントマーク検出方法
JP2016515223A (ja) * 2013-03-12 2016-05-26 マイクロニック アーベーＭｙｃｒｏｎｉｃ Ａｂ 機械的に形成されるアライメント基準体の方法及び装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5640243A (en) * 1979-09-11 1981-04-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd Mask alignment
JPS6086504A (ja) * 1983-10-17 1985-05-16 Mitsubishi Electric Corp カラ−固体撮像装置の製造方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5640243A (en) * 1979-09-11 1981-04-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd Mask alignment
JPS6086504A (ja) * 1983-10-17 1985-05-16 Mitsubishi Electric Corp カラ−固体撮像装置の製造方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01142701A (ja) * 1987-11-30 1989-06-05 Toppan Printing Co Ltd カラーフィルター用基板
JP2011170144A (ja) * 2010-02-19 2011-09-01 Hitachi High-Technologies Corp フォトマスク、プロキシミティ露光装置、及びプロキシミティ露光装置のアライメントマーク検出方法
JP2016515223A (ja) * 2013-03-12 2016-05-26 マイクロニック アーベーＭｙｃｒｏｎｉｃ Ａｂ 機械的に形成されるアライメント基準体の方法及び装置
JP2019056924A (ja) * 2013-03-12 2019-04-11 マイクロニック アーベーＭｙｃｒｏｎｉｃ Ａｂ 機械的に形成されるアライメント基準体の方法及び装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0466346B2 (enExample) 1992-10-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0138459B1 (en) Liquid crystal display device having color filter
US4419425A (en) Method for manufacturing color filter
JPH05346562A (ja) 液晶表示パネルの製造方法
JPS6214102A (ja) カラーフイルタ製造用フオトマスク
JPH0443562B2 (enExample)
JPH10115702A (ja) 色ズレ量確認マーク付きカラーフィルター
JP2694267B2 (ja) カラーフィルタの製造方法
JPS59226305A (ja) 光学フイルタの製造方法
JPS61295505A (ja) カラ−フイルタの製造方法
JPS62121404A (ja) カラ−フイルタ−の製造方法
JP3987747B2 (ja) フォトマスク、基準基板および露光機ならびにカラーフィルターの製造方法
KR940007570A (ko) 액정표시장치(lcd)용 칼라필터 및 그 제조방법
JPS6385703A (ja) カラ−フイルタ−の製造方法
US6743555B2 (en) Exposure mask for liquid crystal display device and exposure method thereof
JPH09171106A (ja) カラーフィルターの作製方法
JPS63159807A (ja) カラ−フイルタの製造方法
JPH01142701A (ja) カラーフィルター用基板
JPH02176752A (ja) 露光用マスク及びその撓み防止治具
JPS6385704A (ja) カラ−フイルタ−の製造方法
JPS62257104A (ja) カラ−フイルタ
JPH0327015A (ja) カラー液晶用基板の製造方法
JPH0713682B2 (ja) カラーフィルタの製造方法
JPS63231315A (ja) 遮光膜の形成方法
JPS63282703A (ja) カラーフイルタ
JPH06281807A (ja) カラーフィルターの製造方法