JPS62139327A - 半導体焼付装置 - Google Patents
半導体焼付装置Info
- Publication number
- JPS62139327A JPS62139327A JP60279326A JP27932685A JPS62139327A JP S62139327 A JPS62139327 A JP S62139327A JP 60279326 A JP60279326 A JP 60279326A JP 27932685 A JP27932685 A JP 27932685A JP S62139327 A JPS62139327 A JP S62139327A
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- Japan
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- Pending
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- Indicating Measured Values (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Numerical Control (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の属する分野］
本発明は、半導体焼付装置に関し、特に装置本体の運転
状態に関係しないモニタ機能を有し、このモニタ値が異
常値に接近してきたことをオペレータに知らせることが
できる半導体焼付装置に関する。
状態に関係しないモニタ機能を有し、このモニタ値が異
常値に接近してきたことをオペレータに知らせることが
できる半導体焼付装置に関する。
［従来の技術］
従来、半導体焼付装置における各種のモニタ、（シ１え
ばレーザパワーのモニタであるとか、バキューム圧等の
エア圧のモニタは、正常値と異常値との間に一定の閾値
を与え、各モニタ値が該［１ａ［を越えた時に異常発生
として検知する方法が用いられていた。しかし、この様
な方法であると異常発生時にはすでに装置は安定動作が
できない状態になっており、回復までの期間装置を即停
止しなければならず、この様な突発的な装置の停止は製
造ラインの大きな問題点であった。
ばレーザパワーのモニタであるとか、バキューム圧等の
エア圧のモニタは、正常値と異常値との間に一定の閾値
を与え、各モニタ値が該［１ａ［を越えた時に異常発生
として検知する方法が用いられていた。しかし、この様
な方法であると異常発生時にはすでに装置は安定動作が
できない状態になっており、回復までの期間装置を即停
止しなければならず、この様な突発的な装置の停止は製
造ラインの大きな問題点であった。
また、気温や気圧等のモニタについては前述のモニタの
ような閾値を与えるという方法ではなく、気圧または気
温そのものの直をデジタル化しＣＰＵで読込み、ステー
ジの駆動時等に該読込み値に応じた補正を行なうという
方法がとられているものもある。しかし、これらのモニ
タは最終的には装δ自身が該モニタ項目に関係するユニ
ットの制御を行なＪ３うとする時にその判断が行なわれ
、該モニタ１直が装置の許容する補正範囲を越えた場合
やはり装置が突発的に動作不能となる問題点があった。
ような閾値を与えるという方法ではなく、気圧または気
温そのものの直をデジタル化しＣＰＵで読込み、ステー
ジの駆動時等に該読込み値に応じた補正を行なうという
方法がとられているものもある。しかし、これらのモニ
タは最終的には装δ自身が該モニタ項目に関係するユニ
ットの制御を行なＪ３うとする時にその判断が行なわれ
、該モニタ１直が装置の許容する補正範囲を越えた場合
やはり装置が突発的に動作不能となる問題点があった。
この様な問題を少しでも緩和するために装置の電源投入
時に、あるいは装置の自動運転の停止時にコンソール等
からコマンドを入力し、診断プログラムを起動して各モ
ニタ項目が正常であるか否かを判断するという手段が考
案されている。しかし、この様な方法でも工場のライン
の中で装置がすでに自動運転に入っている時あるいは何
らかのトラブルにより装置が停止し、その回復のための
メインテナンス作業をしている時笠に発生した装置の周
辺環境や内部状態の変化等に対してはモニタ芸能はやは
り充分に働かず、自動運転中の突発的停止あるいはメイ
ンテナンス作業中に発生した環境の変化による新たなト
ラブルの発見または対処に時間がかかるといった問題点
は避けられなかった。
時に、あるいは装置の自動運転の停止時にコンソール等
からコマンドを入力し、診断プログラムを起動して各モ
ニタ項目が正常であるか否かを判断するという手段が考
案されている。しかし、この様な方法でも工場のライン
の中で装置がすでに自動運転に入っている時あるいは何
らかのトラブルにより装置が停止し、その回復のための
メインテナンス作業をしている時笠に発生した装置の周
辺環境や内部状態の変化等に対してはモニタ芸能はやは
り充分に働かず、自動運転中の突発的停止あるいはメイ
ンテナンス作業中に発生した環境の変化による新たなト
ラブルの発見または対処に時間がかかるといった問題点
は避けられなかった。
［発明の目的］
本発明の目的は、上述の様な問題点を総合的に解決する
ことにある。すなわち、半導体焼付装置の運転状態に関
係しないモニタ機能を提供し、さらに該モニタ値が異常
値に接近してきたことをオペレータに事前に知らせるこ
とによって装置の突発的な停止を防止することにある。
ことにある。すなわち、半導体焼付装置の運転状態に関
係しないモニタ機能を提供し、さらに該モニタ値が異常
値に接近してきたことをオペレータに事前に知らせるこ
とによって装置の突発的な停止を防止することにある。
また、本発明のさらなる目的は、半導体焼付装置のおか
れた外部環境および内部状態を一目で把握できるように
し、装置のメインテナンスを容易にすると共に自動運転
中のラインのチェック等を容易にすることにある。
れた外部環境および内部状態を一目で把握できるように
し、装置のメインテナンスを容易にすると共に自動運転
中のラインのチェック等を容易にすることにある。
［実施例］
第１図は、本発明の一実施例に係る半導体焼付装置の構
成３示す。同図において、１は半導体焼付装置本体、２
は装置本体１を制御するＣＰＵ、３はオペレータ用のコ
ンソールである。Ｍ１１〜Ｍ＋４は内部状態の検出器で
、Ａはバキューム、Ｂはプレッシャー、Ｃは自ｅＪＩｆ
ｌ置合せ用のレーザ光、Ｄは焼付用照明ランプのモニタ
入力である。
成３示す。同図において、１は半導体焼付装置本体、２
は装置本体１を制御するＣＰＵ、３はオペレータ用のコ
ンソールである。Ｍ１１〜Ｍ＋４は内部状態の検出器で
、Ａはバキューム、Ｂはプレッシャー、Ｃは自ｅＪＩｆ
ｌ置合せ用のレーザ光、Ｄは焼付用照明ランプのモニタ
入力である。
ま１ζ、ＭＥ１〜ＭＥ３は外部環境の検出器で、ＭＥｌ
は温度計、ＭＥ２は湿度計、ＭＥ３は気圧計であり、各
入力Ｅ〜ＧはＣＰＩＪ２によって各シーケンスに応じて
チェックされている。
は温度計、ＭＥ２は湿度計、ＭＥ３は気圧計であり、各
入力Ｅ〜ＧはＣＰＩＪ２によって各シーケンスに応じて
チェックされている。
４は本発明によって追加された環境および装置の内部状
態のモニタ用のユニットであり、該ユニットは焼付装置
本体１とは独立した電源５によって駆動されでいる。該
電源５にはバッテリー回路〈不図示）も付加されており
、ユニット４は停電時もその機能を停止することなく動
作し続ける。
態のモニタ用のユニットであり、該ユニットは焼付装置
本体１とは独立した電源５によって駆動されでいる。該
電源５にはバッテリー回路〈不図示）も付加されており
、ユニット４は停電時もその機能を停止することなく動
作し続ける。
６は該ユニット４の制御用ＣＰＵであり、モニタ入力Ａ
−Ｇを本体のＣＰＵ ２とは独立してモニタする。ＭＤ
Ｃは焼付装置本体周辺の空気中のゴミの吊をチェックす
るためのダストカウンタであり、この艙す歩留りに影響
する項目であるのでＣＰＵ６によって同様にモニタされ
る。入力Ａ〜Ｄは異常賄の閾値をセットしたコンパレー
タＣＰ１ａ〜Ｃ））’４ａおよび該異常値よりも少し正
常値側の値を危険領域の閾値としてセラ・トされている
コンパレータＣＰ１ｂ〜ＣＰ４ｂによってモニタしてい
る。また、湿度計ＭＥＩ 、湿度計ＭＥ２ 、気圧計Ｍ
Ｅ３の出力はデジタル値であり、これらはそのままＣＰ
Ｕ６に読込まれているが、ＣＰＵ６は各々に対して異常
値としての閾値と危険領域としての閾値を該ＣＰＵ６内
のメモリ中（不図示）にもっており、各読込み値は前記
メモリと比較され入力Ａ〜Ｄについてと同様に正常、危
険領域、異常との３通りの判断が下される。ＣＰＵ６は
常にこれらの入力端子をヂエツクしその状態を対応した
発光ダイオード（ＬＥＤ）ＬＤｌａ、ＬＤｌｂ 〜ＬＤ
８ａ。
−Ｇを本体のＣＰＵ ２とは独立してモニタする。ＭＤ
Ｃは焼付装置本体周辺の空気中のゴミの吊をチェックす
るためのダストカウンタであり、この艙す歩留りに影響
する項目であるのでＣＰＵ６によって同様にモニタされ
る。入力Ａ〜Ｄは異常賄の閾値をセットしたコンパレー
タＣＰ１ａ〜Ｃ））’４ａおよび該異常値よりも少し正
常値側の値を危険領域の閾値としてセラ・トされている
コンパレータＣＰ１ｂ〜ＣＰ４ｂによってモニタしてい
る。また、湿度計ＭＥＩ 、湿度計ＭＥ２ 、気圧計Ｍ
Ｅ３の出力はデジタル値であり、これらはそのままＣＰ
Ｕ６に読込まれているが、ＣＰＵ６は各々に対して異常
値としての閾値と危険領域としての閾値を該ＣＰＵ６内
のメモリ中（不図示）にもっており、各読込み値は前記
メモリと比較され入力Ａ〜Ｄについてと同様に正常、危
険領域、異常との３通りの判断が下される。ＣＰＵ６は
常にこれらの入力端子をヂエツクしその状態を対応した
発光ダイオード（ＬＥＤ）ＬＤｌａ、ＬＤｌｂ 〜ＬＤ
８ａ。
ＬＤ８ｂに表示する。
例えば、ＬＤ３ａ、 ＬＤ３ｂハＬｚ−＋ｆｔ＜”１−
（７）ｔ−二り（入力Ｃ）に対応する表示であり、レー
ザパワーが正常の時はＬＤ３ａ、ＬＤ３ｂとも消灯して
いるが、レーザパワーがダウンしてぎてレーザパワーが
所定の危険領域に入るとし［）１ａ（例えば黄色）を点
灯する。そしてさらにレーザパワーが落ち、異常領域ま
で下るとＬ Ｄ Ｉｂ （例えば赤色）を点灯する。異
常領域に入った時モニタ用のＣＰＩＪ６は通信線７ （
ＣＰＵ２に対して割込みとして働く）によってＣＰＵ２
に界雷項目の発生を知らせる。
（７）ｔ−二り（入力Ｃ）に対応する表示であり、レー
ザパワーが正常の時はＬＤ３ａ、ＬＤ３ｂとも消灯して
いるが、レーザパワーがダウンしてぎてレーザパワーが
所定の危険領域に入るとし［）１ａ（例えば黄色）を点
灯する。そしてさらにレーザパワーが落ち、異常領域ま
で下るとＬ Ｄ Ｉｂ （例えば赤色）を点灯する。異
常領域に入った時モニタ用のＣＰＩＪ６は通信線７ （
ＣＰＵ２に対して割込みとして働く）によってＣＰＵ２
に界雷項目の発生を知らせる。
また、ＣＰＵ６は上記モニタ値が危険領域に入った時刻
、異常値になった時刻または回復した時刻を変化の発生
したモニタ項目と共に記録計８に記録する。
、異常値になった時刻または回復した時刻を変化の発生
したモニタ項目と共に記録計８に記録する。
この様な手段をとることによって、例えばレーザ等の場
合、黄色のＬＬＥＤが点灯した時は装置はまだ正常動作
が可能であり、赤色のＬＥＤが点灯するまで（異常値ま
でパワーがおちるま′Ｃ′）の間にオペレータは新しい
レーデを用意するか、または他の装置とのやりくり（切
りかえ）の調整を行なう等の時間的余裕をもつことがで
きる。
合、黄色のＬＬＥＤが点灯した時は装置はまだ正常動作
が可能であり、赤色のＬＥＤが点灯するまで（異常値ま
でパワーがおちるま′Ｃ′）の間にオペレータは新しい
レーデを用意するか、または他の装置とのやりくり（切
りかえ）の調整を行なう等の時間的余裕をもつことがで
きる。
また、バッテリーバックアップ電源５により装置本体１
の電源を落して、メインテナンス作業を行なっている途
中も装置１の外部環境、内部状態をモニタし続けるため
にメインテナンス作業者は前記モニタユニット４のＬＥ
Ｄ （ＬＤｌａ、 １ｂ 〜１ （：）８ａ、 ８ｂ）
を−目見るだけで周辺または装置の状態を把握すること
が可能である。
の電源を落して、メインテナンス作業を行なっている途
中も装置１の外部環境、内部状態をモニタし続けるため
にメインテナンス作業者は前記モニタユニット４のＬＥ
Ｄ （ＬＤｌａ、 １ｂ 〜１ （：）８ａ、 ８ｂ）
を−目見るだけで周辺または装置の状態を把握すること
が可能である。
ざらにまた、記録計８の記録を調べることにより焼付装
置本体１の電源オン／オフ、さらには工場のラインの電
源オン／オフの期間も含めた装置周辺および内部の各状
態（気温、湿度、エア圧、レーザパワー・・・等）の変
化を一目で知ることができ、装置１のトラブル時の解析
、安定運転のための立ち上げ時間の設定等に有効なデー
タを容易に得ることができる。
置本体１の電源オン／オフ、さらには工場のラインの電
源オン／オフの期間も含めた装置周辺および内部の各状
態（気温、湿度、エア圧、レーザパワー・・・等）の変
化を一目で知ることができ、装置１のトラブル時の解析
、安定運転のための立ち上げ時間の設定等に有効なデー
タを容易に得ることができる。
また、装＠１はコンソール３によって予め各モニタ項目
毎の危険領域、異常直各々に対しどの様なり３作を行な
うかＣＰＵ２中のメモリ（不図示）にプログラムするこ
とができる。各モニタ項目が正常値から危険領域または
危険領域から異常領域へ移った時、例えばレーザパワー
が危険領域に入った時はそのまま通常動作を行ない、異
常値となった時、例えばレーザを使ったアライメントを
行なわない第１マスクのモードでは正常動作を行なわせ
、オートアライメントモードでは停止するといったよう
なプログラムをオペレータが使用モード、プロセス、メ
インテナンス等の目的に応じて選択的に設定することが
可能となっている。
毎の危険領域、異常直各々に対しどの様なり３作を行な
うかＣＰＵ２中のメモリ（不図示）にプログラムするこ
とができる。各モニタ項目が正常値から危険領域または
危険領域から異常領域へ移った時、例えばレーザパワー
が危険領域に入った時はそのまま通常動作を行ない、異
常値となった時、例えばレーザを使ったアライメントを
行なわない第１マスクのモードでは正常動作を行なわせ
、オートアライメントモードでは停止するといったよう
なプログラムをオペレータが使用モード、プロセス、メ
インテナンス等の目的に応じて選択的に設定することが
可能となっている。
［変形例］
上記実施例中表示はＬＥＤ、赤および黄の２色で行なっ
たが表示はこれに限ったことではなく、液晶、ＣＲＴ等
でも無論構わない。
たが表示はこれに限ったことではなく、液晶、ＣＲＴ等
でも無論構わない。
また、前記実施例では焼付装置本体１のＣＰＵ２も各モ
ニタ入力をモニタしているが、これは必ずしも必要では
なくＣＰＵ２がモニタ用のＣＰＵ６と通信線７を介して
モニタ結果を必要な時に常に受けとっていればＭｌｌ〜
ＭＩ４の検出器は不要となる。
ニタ入力をモニタしているが、これは必ずしも必要では
なくＣＰＵ２がモニタ用のＣＰＵ６と通信線７を介して
モニタ結果を必要な時に常に受けとっていればＭｌｌ〜
ＭＩ４の検出器は不要となる。
［発明の効果１
以上説明したように本発明によれば、半導体焼付装置の
内部状態、外部環境に対し少なくとも２つの閾値を設け
てモニタし、正常値、危険領域、異常値として判断する
手段と、該判断結果を表示する手段とを有することによ
って装置が停止に至る萌に危険状態を知り、事前に対策
をとることが可能となった。
内部状態、外部環境に対し少なくとも２つの閾値を設け
てモニタし、正常値、危険領域、異常値として判断する
手段と、該判断結果を表示する手段とを有することによ
って装置が停止に至る萌に危険状態を知り、事前に対策
をとることが可能となった。
また、各モニタ項目毎の危険領域、異常（置台々に対し
て装置本体の動きを設定するという手段を付カロすれば
メインテナンス作業中あるいは工場での調整時に不要な
モニタ項目を選択的に無視して装置本体を運転すること
が容易となる。
て装置本体の動きを設定するという手段を付カロすれば
メインテナンス作業中あるいは工場での調整時に不要な
モニタ項目を選択的に無視して装置本体を運転すること
が容易となる。
さらに、上記モニタ機能を焼付装置本体または工場のラ
インの電源オン／オフと無関係に維持し続けるための電
源補助手段を設け、装置本体を制御するＣＰＵとは別の
独立したＣＰＵにより上記モニタ機能をＨｉｌ制御すれ
ば、常にリアルタイムで装置本体の外部環境または内部
状態を容易にモニタすることが可能となり、また上記判
断結果を装置本体の動作を表示するためのものとは異な
る同一パネルまたは画面上に表示し、上記判断結果を記
録する手段を設ければ、装置のおかれた外部環境、内部
状態は一目で把握できるなど装置のメインテナンスを容
易にすると共に自動運転中のラインのチェック等も容易
になる。
インの電源オン／オフと無関係に維持し続けるための電
源補助手段を設け、装置本体を制御するＣＰＵとは別の
独立したＣＰＵにより上記モニタ機能をＨｉｌ制御すれ
ば、常にリアルタイムで装置本体の外部環境または内部
状態を容易にモニタすることが可能となり、また上記判
断結果を装置本体の動作を表示するためのものとは異な
る同一パネルまたは画面上に表示し、上記判断結果を記
録する手段を設ければ、装置のおかれた外部環境、内部
状態は一目で把握できるなど装置のメインテナンスを容
易にすると共に自動運転中のラインのチェック等も容易
になる。
第１図は、本発明の一実施例に係る半導体焼付装置の構
成を示す図である。 １：半導体焼付装置本体、 ２．６：ＣＰＵ、３：コン
ソール、Ｍ１１〜Ｍ＋４：＠出面、ＭＥｌ ：温度＾ｔ
、ＭＥ２：湿度計、ＭＥ３ ：気圧計、ＭＤＣ：ダスト
カウンタ、４：モニタユニット、５：バッテリーバック
アップ付電源、８：記録計。
成を示す図である。 １：半導体焼付装置本体、 ２．６：ＣＰＵ、３：コン
ソール、Ｍ１１〜Ｍ＋４：＠出面、ＭＥｌ ：温度＾ｔ
、ＭＥ２：湿度計、ＭＥ３ ：気圧計、ＭＤＣ：ダスト
カウンタ、４：モニタユニット、５：バッテリーバック
アップ付電源、８：記録計。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、装置本体の外部環境または内部状態を検出する手段
と、 該検出手段の検出出力を複数の閾値と比較する手段と、 該比較手段の出力に基づき上記検出出力の上記閾値に対
する位置付けを表示する表示手段とを有することを特徴
とする半導体焼付装置。 ２、前記装置本体が前記位置付けによりその動作を指定
される特許請求の範囲第１項記載の半導体焼付装置。 ３、前記検出手段と前記比較手段と前記表示手段はバッ
テリーバックアップ電源によって駆動され、装置本体を
駆動する電源とは独立している特許請求の範囲第１また
は２項記載の半導体焼付装置。 ４、前記表示手段が前記位置付けを同一パネルまたは画
面上に表示し、かつ該パネルまたは画面は装置本体の動
作を表示するための画面とは異なるものである範囲第１
〜３項のいずれか１つに記載の半導体焼付装置。 ５、前記検出手段と前記比較手段と前記表示手段が装置
本体を制御するＣＰＵとは別の独立したＣＰＵによつて
制御され前記比較手段の出力値の変化に応じてリアルタ
イムで動作する特許請求の範囲第１〜４項のいずれか１
つに記載の半導体焼付装置。 ６、前記表示手段が、前記比較手段のいずれかの出力値
が変化した時該比較手段の項目と変化時刻とその時の前
記検出手段の出力値または前記閾値を記録または記憶す
る手段を有する特許請求の範囲第１〜５項のいずれか１
つに記載の半導体焼付装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60279326A JPS62139327A (ja) | 1985-12-13 | 1985-12-13 | 半導体焼付装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60279326A JPS62139327A (ja) | 1985-12-13 | 1985-12-13 | 半導体焼付装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62139327A true JPS62139327A (ja) | 1987-06-23 |
Family
ID=17609614
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60279326A Pending JPS62139327A (ja) | 1985-12-13 | 1985-12-13 | 半導体焼付装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62139327A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02230711A (ja) * | 1989-03-03 | 1990-09-13 | Canon Inc | 露光装置の監視方法 |
| JP2004319747A (ja) * | 2003-04-16 | 2004-11-11 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
| JP2006179761A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-06 | Nikon Corp | 露光装置及びデバイス製造方法 |
| JP2008256863A (ja) * | 2007-04-03 | 2008-10-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光記録ヘッド及びこの光記録ヘッドを用いた画像記録装置 |
-
1985
- 1985-12-13 JP JP60279326A patent/JPS62139327A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02230711A (ja) * | 1989-03-03 | 1990-09-13 | Canon Inc | 露光装置の監視方法 |
| JP2004319747A (ja) * | 2003-04-16 | 2004-11-11 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
| JP2006179761A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-06 | Nikon Corp | 露光装置及びデバイス製造方法 |
| JP4569291B2 (ja) * | 2004-12-24 | 2010-10-27 | 株式会社ニコン | 露光装置及びデバイス製造方法 |
| JP2008256863A (ja) * | 2007-04-03 | 2008-10-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光記録ヘッド及びこの光記録ヘッドを用いた画像記録装置 |
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