JPS62137711A - 磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は軟磁性合金膜と軟磁性フェライトと■利用して
なる複合型磁気ヘッドの製造方法に関するものである。

〈従来の技術〉 近年、磁気記録技術の分野において、情報の多様化に伴
ない、記録密度の増大を求める要求が強まっている。磁
気記録の高密度化のひとつの方法として、磁気テープと
しては、磁気エネルギーの大きいメタルテープあるいは
自己減磁の小さい蒸着テープが使用されようとしており
、他方磁気ヘッド側ではコア材料として高飽和磁束密度
、高透磁率を有する材料の開発が進められている。

このようなコア材料として用いる場合、フェライトでは
飽和磁束密度に限界があるため、合金系材料あるいはア
モルファヌ合金材料が適している。

甘たヘッド構造としてはコア効率の面から号近ではフェ
ライトと前記コア材料とを合体した複合型ヘッドの開発
が進めらｎている。

〈発明が解決しようとする問題点〉 従来、軟磁性金属からなるバルク部材を切９出してトラ
ック幅に形成し、軟磁性フェライトで挾み込む形態のコ
アを作製する方法が提案されてきたが、バルク部材を３
０μｍ以下のトラック１隔に加工する必要があるにも拘
わらず、このような制御は困難であシ、また加工工程が
繁雑であるという欠点があった。

また磁気回路の大部分が軟磁性フェライトで構成され記
録媒体と摺接する面がトラック幅に相当する軟磁性合金
膜とその両側が非磁性体で挾持された構造を持つ複合型
ヘッドも提案されてきた。

しかしこの種の複合型ヘッドは軟磁性合金膜の両側の非
磁性体の材質が異なっているため、偏摩耗を生じるとい
う問題があったり、加工工程上軟磁性合金嘆を形成した
後に非磁性体でモールドする際に行なう高温熱処理時に
アモルファス状の軟磁性合金膜が結晶化してしまい、磁
気特性が劣化するという問題があった。また加工工程が
繁雑であり、複雑な形状をした面への軟磁性合金材料の
形成が必要であるという問題もあった。

一方、従来のフェライトヘッドのギャップ対向面に軟磁
性合金膜を形成した後磁気ギャップを形成するメタル・
イン・ギャップヘッドも提案されてきたが、軟磁性合金
材料とフェライトとの透磁率の差、あるいは軟磁性合金
材料とフェライトとの界面での変質層の影響によって疑
似ギャップが形成され、記録再生出力の周波数特性にう
ねシを生ずるという問題があった。

〈問題点を解決するための手段〉 本発明は前述の問題点を解消し、媒体摺接面での偏摩耗
の発生をなくし、かつ耐摩耗性にすぐれ軟磁性合金材料
の磁気特性を劣化させることなくコア効率を改善した軟
磁性合金膜とフェライトとを用いた複合型磁気ヘッドの
製造方法を提供するもので、感光性１階晶化ガラス等の
非磁性体とフェライトとを確実に積層した複合基板を予
め作製し、これを基板として軟磁性合金膜を被着してこ
のような複合基板を積層接合して磁気ヘッドを作製する
ための複合コアブロックを形成する。

〈作　用〉 軟磁性合金膜を被着するための基板は、非磁性体とフェ
ライトとを積層して加圧下での熱処理等を施こして予め
確実な複合基板として作製されるため、以後の軟磁性合
金膜の被着等の工程においても変形や歪をほとんど伴う
ことなく加工を進めることができる。

〈実施例〉 熱膨張係数が多結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライト基板と合致す
るように、露光量を調節して紫外線を照射した未結晶状
態の感光性結晶化ガラス基板１と、多結晶Ｍｎ−Ｚｎフ
ェライト基板２とを第１図に示すように交互に積層し、
加圧保持した状態で熱処理する。この加圧熱処理工程で
未結晶状態の感光性結晶化ガラス基板１を軟化させてフ
ェライト基板２と接合させると共に未結晶化状態の感光
性結晶化ガラス基板１を結晶化させ、フェライト２と感
光性結晶化ガラス１とが交互に接合された積層ブロック
を形成する。前記積層プロ・、・りは、上述のように未
結晶状態の感光性結晶化ガラスを加圧の下で熱処理して
結晶化と共にフェライトとの接合を行っているため、以
後の磁気ヘッド製造のための熱処理等に対しても極めて
安定した基板を得ることができる。

前記感光性結晶化ガラスとフェライトとの積層に際して
、フェライ基板２と感光性結晶化ガラス基板１との熱膨
張係数を合致させることにより両者材質の異なる材料の
整合を良くすることができる。またこのプロセスで感光
性をもたない結晶化ガラスを素材としても良く、あるい
はフェライト基板とセラミックスを高温熱処理すること
により相互拡散を起こさせる方法でも良い。

次に第１図中破線で示したように上記接合面に垂直に同
一ピッチで積層ブロック分断し、第２図に示したように
フェライト２と感光性結晶化ガラス１との複合基板を形
成する。そして得られた複合基板の両面を研磨し、第３
図に示すように研磨された基板の両面にトラック幅に相
当する膜厚を有するＦｅ−３ｉ−Ａｆｆ系軟磁性合金ｉ
漢３を成膜する。この際ｌ軟磁性合金膜３と非磁性嘆と
を交互に端層した＠層型の軟磁性嘆でもよい。

次に第４図に示すように軟磁性合金膜３を成膜した基板
と、成、嘆していない研磨処理されたままの基板を交互
に積・苦して接着し、ブロックを形成する。このとき基
板の両面に同膜厚の軟磁性合金膜を形成することにより
、軟磁性合金膜３と基板の熱膨張係数の１に起因する内
部応力による基板の反シか相殺され、成膜済み基板全体
の反υを減少させる効果があり、基板を交互に積層して
ブロックを形成する工程での接着面に生じる剥離を抑制
する。

上記積層して形成された３次元ブロックを、第４図中破
線で示した面、つまりフェライトと感光性結晶化ガラス
との接合面で切断し、これを同一ピッチで繰り返し、第
５図に示す如く２次元ブロックを形成する。そして第５
図中破線で示すように軟磁性合金膜３に垂直な面での分
断を同一ピッチで行い、フェライト２、感光性結晶化ガ
ラス１及びＦｅ−５ｉ−Ａ６系合金膜３から成る複合ブ
ロックを形成する。以降の工程は公知のヘッド加工工程
と同様第６図に示すようにコイル巻線溝加工、ギャップ
対向面の平面研磨、ギャップスペーサの形成を行い、ガ
ラス溶着を行って複合型磁気ヘッドを多数含む磁気ヘッ
ドコアブロックを形成する。

次に前工程で得られた磁気ヘッドコアブロックを、トラ
ック幅に相当する前記Ｆ　ｅ　−５ｉ　−Ａ　１系合金
膜３が中央に位置するようにＦｅ−５ｉ−Ａｌ系合金膜
３面に平行に磁気ヘッド厚に分断し、第７図に示す磁気
ヘッドを形成し、これをベース板に接着し、コイル巻線
、モールド、テープ研磨を施して磁気ヘッドを完成する
。

〈効　果〉 本発明によれば、この種の磁気ヘッドがもつ特長、即ち
、ギャップ近傍が高飽和磁束密度を有する軟磁性合金膜
で構成されているためメタルテープ、蒸着テープに対応
でき、磁気回路の大部分がフェライトで構成されている
ためヘッド効率が改善され、媒体摺接面の軟磁性合金、
＠両側が同一材質の耐摩耗性に優れた非磁性体で構成さ
れているため、偏摩耗が生じない等の利点が得られるだ
けでなく、フェライトと非磁性体との複合基板を形成す
る際、熱＠着プロセスを採ることにより、他に接合材を
用いる必要が々い、テープに摺接する非磁性体が、熱処
理により結晶化したガラスになるため従来の接合用ガラ
ス材に比べて高い耐摩耗性を有するヘッドが実現する、
このプロセスで結晶化したガラスは以降の熱処理に対し
て安定であるために、腹合基板上に形成した軟磁性合金
膜の熱処理、あるいは後工程の磁気ギャップ形成工程に
おいても熱処理温度に制約をうけることがない等の特長
が得られ、磁気ヘッドの製造工程の管理が容易になり、
精度の高い磁気ヘッドを作製することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第６図は本実施例による複合型磁気ヘッドの
製造工程を説明するための複合基板或いは複合ブロック
の斜視図、箸７図は完成した複合型磁気ヘッドの斜視図
である。 １．１怪光性結晶化ガラス ２、フェライト ３、軟磁性合金嘆 ４、補強ガラス 代理人　弁理士　　福　士　愛　彦（他２名）ＲＪ’７
’。、７７　　　　　　〜）釦竿Ｉ　図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、軟磁性フェライト基板と非磁性体とが平行に交互に
   接合された複合基板を形成する第１の工程と、 該複合基板を前記フェライト基板と非磁性体との接合面
   に直角方向に切断し、軟磁性フェライトと非磁性材料と
   の複合基板を形成する第２の工程と、 該複合基板上にほぼトラック幅に相当する軟磁性合金膜
   を形成する第３の工程と、 前記軟磁性合金膜形成済み基板を積層接着してブロック
   を形成する第４の工程と、 該ブロックを前記軟磁性合金膜の面に直角方向で軟磁性
   フェライトと非磁性体との接合面で分断してブロックを
   形成する第５の工程と、第５の工程で形成されたブロッ
   クを前記軟磁性合金膜面と直角方向に切断して複合コア
   ブロックを形成する第６の工程と、 前記複合コアブロックに磁気ヘッド組合せ加工を施こし
   て形成される磁気ヘッドコアブロックを、前記軟磁性合
   金材料面に平行に分断して磁気ヘッドを得る第７の工程
   とを具備して成る磁気ヘッドの製造方法。 ２、前記第１の工程において、非磁性体は未結晶状態の
   結晶化ガラスあるいは感光性結晶化ガラスを熱処理によ
   り結晶化と共にフェライト基板との接合を同時に行って
   なることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁気
   ヘッドの製造方法。 ３、前記第１の工程において非磁性体はセラミックスか
   らなり、フェライト基板との接合を熱処理での相互拡散
   によることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁
   気ヘッドの製造方法。 ４、前記第３の工程において、軟磁性合金膜が電子ビー
   ム蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法
   等の薄膜作成技術を用いて形成された、結晶質、非晶質
   、あるいは軟磁性合金膜と非磁性膜が交互に積層され、
   所定トラック幅になるように形成されたコア材料である
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁気ヘッ
   ドの製造方法。