JPS62137193A - 保存寿命を改良したはんだ付け用合金及びその製造方法及びはんだ付け法 - Google Patents

保存寿命を改良したはんだ付け用合金及びその製造方法及びはんだ付け法

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JPS62137193A
JPS62137193A JP61276389A JP27638986A JPS62137193A JP S62137193 A JPS62137193 A JP S62137193A JP 61276389 A JP61276389 A JP 61276389A JP 27638986 A JP27638986 A JP 27638986A JP S62137193 A JPS62137193 A JP S62137193A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電子部品のはんだ付け、特に半導体デバイスを
金属製またはセラミック製の部品にはんだ付けする際に
用いられる&お、だ付け用合金に関する。
はんだ付けは、しばしば異なる組成をもつ材料全互いに
冶金学的に結合させる方法である。一般に、互いに接合
すべき母材部品のものよりも低い融点をもつ溶加材を金
属部品間に介在させてアセンブリー全形成する。次いで
このアセンブリーを溶加材が溶融するのに十分な温度に
加熱する。冷却すると、堅固なリークタイト接合が形成
される。
はんだ付け法は通常、トランジスターまたは他の半導体
デバイス(ダイまたはチップと呼ばれる)全金属製また
はセラミック製の部品(リードフレームと呼ばれる)に
接合してそのデバイスに支持体金施すために用いられる
。この操作は一般にダイ接着と呼ばれる。デバイスは使
用中に熱を発生し、これがはんだ付け接合部を通ってリ
ードフレームへ伝達される。従って接合部は、熱を効果
的に散逸させるために堅固でありかつボイド不含でなけ
ればならない。さらにこれらのデバイスはきわめて高い
頻度でオン−オフ作動し、これによりはんだ付け接合部
に熱応力を生じる。この種の応力に耐えるためには、理
想的には接合部は化学的に均質でなければならない。接
合部における金属間化合物の偏析は、その後熱サイクル
がかけられると破損を生じ、その結果デバイスに永久的
な損傷を与える。
ダイ接着のために一般に用いられるはんだ合金の1つは
92.5 pb −5In −2,5Ag (重量%)
ノ組成をもつ。この合金を用いて作成された接合部は強
靭であり、熱疲労に対して適度の抵抗性7もつ。
一般、にこの合金は箔またはワイヤ状で用いられる。
この種の箔を用いることに関する問題はその保存寿命が
限られている点である。組成92.5 Pb −5工n
 −2,5Agの時効処理した箔試料についてのオージ
ェ電子分光法(AES)は酸化鉛膜の存在7示した。こ
れははんだ付けに際して解離せず、これによりぬれが妨
げられる可能性がある。これに対し新たに製造された同
一組成の箔には酸化インジウム膜が見出され、これはは
んだ付けに際して容易に破壊される。
当業者ではなお、基礎となる92.5 pb −51n
 −2,5Ag合金に匹敵する強度をもち、ただしこれ
よりも長い保存寿命をもつ改質92.5Pb−5In−
2,5Agはんだ組成物が求められている。
本発明は、ダイ接着に適しており、基礎となる92.5
 pb −5I n −2,5Agに匹敵する接合部強
度をもち、ただしこれよりも長い保存寿命をもつ合金を
提供する。鉛Z基体とし、スズを含まない合金にその急
速固化前に0.5〜4重量%のスズ乞添加することによ
り、合金における酸化鉛膜の形成が防止され、これによ
りその保存寿命が実質的に高められることが見出された
。好ましくは本発明の合金は本質的にAg約2〜3重量
%、In約4.5〜5.5重量%、Sn約0.4〜4.
0重量%を含有し、残部は本質的にPbおよび付随する
不純物である。
本発明の合金を用いて作成されるはんだ接合部の機械的
特注ハ基礎となる92.5Pb−5In−2,5Ag(
重量%)合金を用いて作成された接合部のものに匹敵す
る。さらに本発明合金の1種から製造され1こはんだ箔
の保存寿命は、促進時効試験により測定して約6倍増大
している。本発明の合金は実質量のAg(2〜3重量%
)、工n (4,5〜5.5重量%)およびSn (約
0.5〜4.0重量%)(これらはPb中における固溶
度が限られている)を含有するので、本発明の溶融合金
を一般的な冷却速度で固化させると著しい化学偏析が生
じる。生じた大型の偏析粒子(Ag9In+お工びAg
3Snと同定される)は一般の箔またはプレフォーム中
に存在すると予想される。この種の偏析組織をもつはん
だ箔はエリ高温を必要とし、これによりシリコンチ・ノ
ブに損傷を与え、および/またはミクロ組織的に均質な
はんだ箔よりもリフローするのに長時間を要する可能性
がある。たとえば一般のはんだ箔はより高いはんだ付け
温度を採用する必要があり、これによりシリコンチップ
に損傷を与える可能性があり、お工び/またはより長い
はんだ付け時間を必要とし、これにより生産速度が低下
する。従って現想的には、はんだ箔はミクロ組織的に均
質でなければならない。本発明の合金からミクロ組織的
に均質な箔を製造するための好ましい方法は、移動冷却
面上での急速固化法である。この方法で製造された箔は
微晶質であり、従って化学的に均質である。他ゐ方法、
たとえば(1)圧延、(2)鋳造、(3)粉末冶金学的
方法、−!には(4)延伸によりこれらの合金を箔状ま
たはワイヤ状に加工することができる。本発明の合金は
、溶融霧化法により、またはそれから構成される箔の機
械的微粉砕により、粉末状で得ることもできる。
さらに本発明は (13)(a)接合すべき部品の間に溶加材箔を介在さ
せてアセンブIJ−’Y形成し、該溶加材箔は接合すべ
きいずれの部品のものよりも低い融解温度をもち;(h
)アセンブリーを少なくとも溶加材の融解温度に加熱し
;そして (c)アセンブリーを冷却する 工程からなり、その際改良点が鉛を基体とし、スズ約0
.5〜4重量%’Y含有する高次合金からなる少なくと
も1種の急速固化箔欠浴加材として用いることよりなる
、2個以上の部品を互いに接合する方法を提供する。
あるいは接合操作は (a)接合すべき部品のうち1個に溶加材を乗せてアセ
ンプIJ−’Y形成し;該溶加材は接合すべき部品のい
ずれのものよりも低い融解温度ビもち;<b)アセンブ
リーヲ少なくとも溶加材の融解温度に加熱し; (c)接合すべき部品のうち第2のものを溶融した溶加
材に乗せ;そして (めアセンブリーを冷却する 工程からなり、該溶加材は前記の方法により製造された
少なくとも1種の急速固化した箔である方法によって実
施できる。
92.5Pb−5In−2,5Ag (重量%)の組成
tもつはんだ合金はダイ接着に一般に用いられている。
この合金から製造された箔は空気中に保存した場合一般
に約15〜30日の保存寿命をもつ。この組成をもつ新
たに製造された箔のAESは箔の表面に酸化インジウム
が存在することケ示した。酸化インジウムははんだ付け
温度で容易に解離し、シリコンダイと基板との良好な結
合が得られる。
しかし時効処理した箔のAESは箔の表面に酸化鉛の存
在を示し、これは酸素が酸化インジウムから移行し、鉛
と反応して酸化鉛乞形成する可能性があることを示す。
酸化鉛が形成されると、これらの箔はダイの基板をぬら
さなくなる。酸化鉛がはんだ付け温度で解離し難い か
らである。
本発明は92.5Pb−5In−2,5Agから構成さ
れる合金よりも実質的に改良された保存寿命をもつ急速
固化合金を提供し、その改良は鉛を基体とするスズ不含
の合金にSnを添加することにより達成される。
さらに本発明は(13)(a)鉛乞基体とし、スズを含
まない合金に、スズ約0.5〜4重量%を添加し;(6
)このスズ添加物を含有する組成物の溶融物乞調製し;
そして(c)溶融物を移動冷却面上において少な(とも
約り05℃/秒の急冷゛速度で急冷する工程からなり、
スズの添加は合金中に酸化鉛膜が形成されるのを防止し
、これによりその保存寿命を実質的に高める効果をもつ
、均質な延性の箔の製法が提供される。好ましくは本発
明の合金は本質的にAg約2〜3重量%、In約4.5
〜5.5重量%、Sn約0.5〜4.0重量%を含有し
、残部はpbおよび付随する不純物である。ぬれ挙動の
改良は本発明の合金箔の表面に酸化スズが形成されうろ
ことに起因する。酸化スズは洛中への酸素の移行を減少
させ、これにより有害な酸化鉛膜が箔の表面に形成され
るのが遅延されると考えられる。さらに酸化スズははん
だ付け温度で容易に解離し、その結果はんだのぬれ挙動
が改良される。
基礎となるPb (残部)  5In  2.5Ag 
(重量%)の組成物中におけるSnの固溶度は約1.5
重量%であることが認められた。従って本発明の合金の
好ましい組成は91Pb−5In−2,5Ag−1,5
Sn (重量%)である。本発明の好ましい組成物から
製造された箔を接着に用いると、得られる接合部はSH
に富む金属間化合物を含まないと予想される。このよう
なもろい金属間化合物の形成がないことにより、接合部
の機械的特性が改良されると期待される。
さらにいかなるはんだ付け処理においても、(特にグイ
接着に用いる場合)、はんだ付け箔は好ましくは化学的
に均質であり、かついかなる有機汚染物質をも含有すべ
きでない。ここで本発明のはんだ付け箔に関して用いら
れる”化学的に均質”という語は、箔内のマトリックス
と異なる組成をもつ各相がすべて約0.5μm以下の大
きさであることを意味する。より一般的には”化学的に
均質”という語は製造された箔がすべての方向に実質的
に均一な組成をもっことを意味する。はんだけに用いる
箔が化学的に均質である場合、化学的に均質なはんだ接
合が得られる。また、はんだ接合部は堅固でなければな
らない。すなわちボイドおよび細孔7含んではならない
。堅牢な化学的に均質なはんぜ接合部は、ボイド7含み
化学的に不均質な接合部に比べて侵れた機械的特性を示
す。
一般にはんだ付け用箔は通常の金属工作技術により製造
され、その際ビレットまたはインゴットを、目的とする
厚さの箔が得られるまで反復圧延および焼鈍する。従っ
てビレットまたはインゴット内で偏析した金属間相は最
終製品に移行する。さらに一般に金属工作に際して慣用
されるグリースまたは油が箔に閉じ込められる。従って
”一般の金属工作技術により製造された箔は通常は化学
的に不均質であり、有機汚染物質を含有する。
本発明のはんだ付け用箔は、米国特許第4,331゜7
39号明細書に述べられた合金急冷技術により、目的組
成の溶融物を約103℃/秒、好ましくは約り05℃/
秒の速度で冷却することにより製造される。すべての組
成物の純度は商業的に普通に見出されるものである。
例1 特定の組成の溶融物をアルゴンの過圧により急速回転急
冷ホイール(表面速度約1200〜6000フイート/
分、366〜1829m)  上へ噴出さることにより
、幅約3.175朋(0,125インチ)、厚さ約14
〜76m(約0.0005〜0.003インチ)のリボ
ンを製造した。表■に示す組成Zもっ均質なリボンが製
造された。
表  1 192.5 5.02.50 291.0 5.02.5 1.5 例2 表工に示したリボンの液相線および固相線温度を差動走
査熱量計(DSC)により測定した。各試料約20■を
約り0℃/分の速度で加熱した。加熱曲線から液相線お
よび固相線温度を測定し、下記の表■に示す。
表  ■ 液相線 固相線 1 92.5Pb 5.O工n 2.5Ag 313(
595) 304(579)2 91.0Pb5.O工
n2.5Ag307(585)296(565)1.5
Sn 表■は本発明の試料&2の合金箔の溶融特性が試料A1
の合金箔のものにきわめて類似することを示す。
例3 試料1および2から得たリボンの保存寿命を鋳造直後に
下記の方法で測定した。
まず小型のプレフォームを試料扁1および試料&2から
切り取った。次いで各プレフォームを無電解ニッケルめ
っきした。To−3ヘツダー基板に乗せた。次いでシリ
コングイをプレフォームに乗せた。
ヘッダーに熱電対を接続して温度を監視した。次いでこ
のアセンブリー乞、手動グイボンディング装置によりA
r−41H2雰囲気下で約400℃に加熱した。室温か
ら400℃までの加熱時間は約75秒であった。はんだ
箔は400’Cで完全に溶融し、固化に1祭しシリコン
ダイとTo−3へラダ〜との間に接着層乞形成した。こ
の接合部の結合性はヘッダーを180°折り曲げること
により測定された。
折り曲げに際してシリコンダイがへノダーに接着された
まま亀裂を生じた場合、結合が良好であると定める。は
んだ箔がヘッダーおよびシリコンダイをぬらさなくなっ
た場合、得られる結合は一般に不良である。
新たに鋳造した試料A1および試料&2のリボン7用い
てはんだ接合部を形成し、上記のようにヘッダーを折り
曲げることにより結合性を試験した。次いでプレフォー
ム’Y100℃の炉内に、6日間まで保存した(24時
間毎)。これらの24時間毎の時効処理リボンを用いて
接合し、再び結合性乞試験した。結果を下記の表■に示
す。
表  ■ 時効処理時間 0      良好     良好 24       不良     良好48     
 不良     良好 72      不良     良好 106       不良     良好130   
    不良     良好154      不良 
    不良表■に示されるように、本発明の試料&2
0合金箔を用いて作成した接合部の結合性は、100℃
の炉内で箔を合計130時間時効処理したのちですら良
好であった。これは、本発明の試料屋2合金のぬれ性が
合計130時間の促進時効試験に際して劣化しないこと
を示す。これに対し試料扁10合金箔で作成した接合部
は、箔が100℃で24時間時効処理された際にも良好
な結合ン形成することができず、これによりそのぬれ挙
動がより速やかに劣化したことが示さ社る。
例4 本発明の試料A2合金箔を用いて作成したはんだ接合部
の剪断強さを試料16.1合金箔を用いて作成した接合
部のものと、下記の方法で比較した。
接合部は例3に記載したと同じ方法で作成された。
これらの接合部の剪断強さはMIL−8TD−883C
法2019.2により測定された。各試料につき行われ
た10回の試験の平均値乞下記の表■に報告する0 表  ■ 剪断強さ MPa(PSi) 試料 AI        49.1 (7,126)
試料 A2       45.5 (6,603)表
■は、本発明の試料通2合金箔を用いて作成した接合部
の剪断強さが試料71L1合金箔を用いて作成した接合
部のものに匹敵することを示す。
以上、本発明ビ詳細に記述したが、この詳述に固執する
2・要はな(、各種の変更および修正が当業者には自明
であり、これらはすべて特許請求の範囲に定められた本
発明の範囲に含まれることは理解されるであろう。

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)鉛を基体とし、スズを含まない急速固化合金にス
    ズ0.5〜4重量%を添加して合金中における酸化鉛の
    形成を防止し、これによりその保存寿命が実質的に高め
    られた点において改良された合金。
  2. (2)本質的に銀約2〜3重量%、インジウム約4.5
    〜5.5重量%およびスズ約0.5〜4重量%からなり
    、残部が鉛および固有の不純物である、特許請求の範囲
    第1項に記載の合金。
  3. (3)箔の形状をもつ、特許請求の範囲第1項に記載の
    合金。
  4. (4)箔が延性である、特許請求の範囲第3項に記載の
    合金。
  5. (5)箔が微晶質組織をもつ、特許請求の範囲第3項に
    記載の合金。
  6. (6)組織が均質である、特許請求の範囲第5項に記載
    の合金。
  7. (7)粉末の形状をもつ、特許請求の範囲第1項に記載
    の合金。
  8. (8)ワイヤの形状をもつ、特許請求の範囲第1項に記
    載の合金。
  9. (9)本質的に銀約2.5重量%、インジウム約5重量
    %、およびスズ約1.5重量%よりなる組成をもつ、特
    許請求の範囲第2項に記載の合金。
  10. (10)(a)鉛を基体とし、スズを含まない合金にス
    ズ約0.5〜4重量%を添加し; (b)このスズ添加物を含有する組成物の溶融物を調製
    し;そして (c)溶融物を移動冷却面において少なくとも約10^
    3℃/秒の急冷速度で急冷する 工程からなりスズの添加は合金中に酸化鉛膜が形成され
    るのを防止し、これによりその保存寿命を実質的に高め
    る効果をもつ、 均質な延性の箔の製法。
  11. (11)箔が本質的に銀約2〜3重量%、インジウム約
    4.5〜5.5重量%、およびスズ約0.5〜4重量%
    からなり、残部が鉛および付随する不純物である、特許
    請求の範囲第10項に記載の方法。
  12. (12)箔が本質的に銀約2.5重量%、インジウム約
    5重量%、スズ約1.5重量%および鉛約91重量%よ
    りなる組成をもつ、特許請求の範囲第11項に記載の方
    法。
  13. (13)(a)金属部品間に溶加材を介在させてアセン
    ブリーを形成し、該溶加剤はこれらの部品のいずれのも
    のよりも低い融点をもち; (b)アセンブリーを少なくとも溶加材の融解温度に加
    熱し;そして (c)アセンブリーを冷却する 工程からなり、その際改良点が鉛を基体とし、スズ約0
    .5〜4重量%を含有する高次合金からなる急速固化箔
    を溶加材として用いることよりなる、2個以上の金属部
    品を互いに接合させる方法。
  14. (14)(a)部品のうち1個に溶加材を乗せてアセン
    ブリーを形成し、該溶加材はこれらの部品のいずれのも
    のよりも低い融点をもち; (b)アセンブリーを少なくとも溶加材の融点に加熱し
    ; (c)部品のうち第2のものを溶融した溶加材に乗せ;
    そして (d)アセンブリーを冷却する 工程からなり、該溶加材は特許請求の範囲第10項に記
    載の方法により製造された少なくとも1種の均質な延性
    はんだ付け用箔である、 2個以上の部品を互いに接合させる方法。
JP61276389A 1985-11-27 1986-11-19 保存寿命を改良したはんだ付け用合金及びその製造方法及びはんだ付け法 Expired - Lifetime JPH07110430B2 (ja)

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US06/802,139 US4654275A (en) 1985-11-27 1985-11-27 Storage life of Pb-In-Ag solder foil by Sn addition
US802139 1985-11-27

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JPS62137193A true JPS62137193A (ja) 1987-06-20
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