JPS6213473A - 導電性ペ−スト - Google Patents
導電性ペ−ストInfo
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- JPS6213473A JPS6213473A JP15228385A JP15228385A JPS6213473A JP S6213473 A JPS6213473 A JP S6213473A JP 15228385 A JP15228385 A JP 15228385A JP 15228385 A JP15228385 A JP 15228385A JP S6213473 A JPS6213473 A JP S6213473A
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- JP
- Japan
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- resin
- electrically conductive
- conductive paste
- parts
- manufactured
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L24/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Die Bonding (AREA)
- Conductive Materials (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Epoxy Resins (AREA)
- Paints Or Removers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の技術分野]
本発明は、接着性、特に大型ICチップの接着性に優れ
た導電性ペーストに関する。
た導電性ペーストに関する。
〔発明の技術的背景とその問題点コ
半導体装置の製造において、金属薄板(リードフレーム
)上の所定部分に、IC,LSI等の半導体チップを電
気的に接続する工程は、半導体装置の長期信頼性に影響
を与える重要な工程の1つである。 従来、この接続方
法としては、チップの5+表面をリードフレーム上のA
L+メッキ面に加熱圧接するというAu−8iの共晶法
が主流であった。 しかし、近年の肖金属、特にAIJ
の高騰を契機として、樹脂モールド型半導体装置では、
Au−3i共晶法から、ハンダを使用する方法、導電性
接着剤(導電性ペースト)を使用する方法などに急速に
移行しつつある。
)上の所定部分に、IC,LSI等の半導体チップを電
気的に接続する工程は、半導体装置の長期信頼性に影響
を与える重要な工程の1つである。 従来、この接続方
法としては、チップの5+表面をリードフレーム上のA
L+メッキ面に加熱圧接するというAu−8iの共晶法
が主流であった。 しかし、近年の肖金属、特にAIJ
の高騰を契機として、樹脂モールド型半導体装置では、
Au−3i共晶法から、ハンダを使用する方法、導電性
接着剤(導電性ペースト)を使用する方法などに急速に
移行しつつある。
しかし、ハンダを使用する方法は、一部実用化されてい
るが、半田やハンダボールが飛散して電極等に付着し、
腐食断線の原因となる可能性が指摘されている。 一方
導電性接着剤を使用する方法では、通常Ag粉末を配合
したエポキシ樹脂が用いられて、約10年桿菌から一部
実用化されてきたが、Au−3+の共晶合金を生成させ
る共晶法に比較して信頼性の面で満足すべきものがなか
った。 導電性接着剤を使用する方法は、ハンダ法に比
べて耐熱性に優れる等の長所を有しているが、その反面
、樹脂やその硬化剤が半導体素子接着用として作られた
ものでないために、AIIFi極の腐食を促進し断線不
良の原因となる場合が多く、やはり信頼性はAu−3+
共品法に比べて劣っていた。 さらに近年tCやしSt
等の半導体ベレットの大型化に伴、い、ベレットクラッ
クや接着力の低下が問題となっており、導電性ペースト
を低応力タイプとすることが強く要望されていた。
るが、半田やハンダボールが飛散して電極等に付着し、
腐食断線の原因となる可能性が指摘されている。 一方
導電性接着剤を使用する方法では、通常Ag粉末を配合
したエポキシ樹脂が用いられて、約10年桿菌から一部
実用化されてきたが、Au−3+の共晶合金を生成させ
る共晶法に比較して信頼性の面で満足すべきものがなか
った。 導電性接着剤を使用する方法は、ハンダ法に比
べて耐熱性に優れる等の長所を有しているが、その反面
、樹脂やその硬化剤が半導体素子接着用として作られた
ものでないために、AIIFi極の腐食を促進し断線不
良の原因となる場合が多く、やはり信頼性はAu−3+
共品法に比べて劣っていた。 さらに近年tCやしSt
等の半導体ベレットの大型化に伴、い、ベレットクラッ
クや接着力の低下が問題となっており、導電性ペースト
を低応力タイプとすることが強く要望されていた。
[発明の目的]
本発明の目的は、上記の欠点および実情に鑑みてなされ
たもので、大型チップへの接着性、耐加水分解性に優れ
、半導体装置の耐湿信頼性を大幅に向上させる導電性ペ
ーストを提供しようとするものである。
たもので、大型チップへの接着性、耐加水分解性に優れ
、半導体装置の耐湿信頼性を大幅に向上させる導電性ペ
ーストを提供しようとするものである。
[発明の概要]
本発明は、上記の目的を達成しようと鋭意研究を重ねた
結果、ノルボネン環を有する樹脂を含むことによって、
従来のものに比べて接着性、耐加水分解性に優れ、半導
体装置の耐湿信頼性が向上づる導電性ペーストの得られ
ることを見いだし、本発明を完成するに至ったものであ
る。 即ち、本発明は、(A)ポリバラヒドロキシスチ
レンとエポキシ樹脂からなる変性樹脂、(B)ノルボネ
ン環を有する樹脂および(C)導電性粉末を含むことを
特徴とする導電性ペーストである。
結果、ノルボネン環を有する樹脂を含むことによって、
従来のものに比べて接着性、耐加水分解性に優れ、半導
体装置の耐湿信頼性が向上づる導電性ペーストの得られ
ることを見いだし、本発明を完成するに至ったものであ
る。 即ち、本発明は、(A)ポリバラヒドロキシスチ
レンとエポキシ樹脂からなる変性樹脂、(B)ノルボネ
ン環を有する樹脂および(C)導電性粉末を含むことを
特徴とする導電性ペーストである。
本発明に用いる(A)変性樹脂の一成分であるポリバラ
ヒドロキシスチレンは、次式で表されるものである。
ヒドロキシスチレンは、次式で表されるものである。
このような樹脂としては、例えば丸首石油社製のマルぜ
ンレジンM(商品名)がある。 これは分子@ 300
0〜8000で、水酸基当量120のものである。
ンレジンM(商品名)がある。 これは分子@ 300
0〜8000で、水酸基当量120のものである。
また(A)変性樹脂の他の成分であるエポキシ樹脂で、
工業上生産されており、かつ本発明に効果的に使用し得
るものとしては、例えば次のようなビスフェノール類の
ジエボキシドがある。 シェル化学社製エピコート82
7,828,834゜1001.1002.1004.
1007゜1009、ダウケミカル社製DER330゜
331.332.334.335.336゜337.6
60.661.662.667゜668.669、チバ
ガイギー社製アラルダイトGY250.260,280
.6071゜6084.6097,6099、JONE
SDABNEY社製EPI−REZ510゜5101、
大日本インキ化学工業社製エビクロン810.1000
.1010.3010 (いずれも商品名)。 さらに
本発明においては、エポキシ樹脂として平均エポキシ基
数3以上の例えばノボラック・エポキシ樹脂を使用する
ことにより、熱ff8y(350℃)の接着強度を更に
向上させることが可能である。 使用するノボラック・
エポキシ樹脂としては分子量500以上のものが適して
いる。
工業上生産されており、かつ本発明に効果的に使用し得
るものとしては、例えば次のようなビスフェノール類の
ジエボキシドがある。 シェル化学社製エピコート82
7,828,834゜1001.1002.1004.
1007゜1009、ダウケミカル社製DER330゜
331.332.334.335.336゜337.6
60.661.662.667゜668.669、チバ
ガイギー社製アラルダイトGY250.260,280
.6071゜6084.6097,6099、JONE
SDABNEY社製EPI−REZ510゜5101、
大日本インキ化学工業社製エビクロン810.1000
.1010.3010 (いずれも商品名)。 さらに
本発明においては、エポキシ樹脂として平均エポキシ基
数3以上の例えばノボラック・エポキシ樹脂を使用する
ことにより、熱ff8y(350℃)の接着強度を更に
向上させることが可能である。 使用するノボラック・
エポキシ樹脂としては分子量500以上のものが適して
いる。
このようなノボラック・エポキシ樹脂で工業生産されて
いるものとしては、例えば次のようなものがある。 チ
バガイギー社製アラルダイトEPN1138.1139
、ECN1273.1280゜1299、ダウケミカル
社製DEN431゜438、シェル化学社製エピコート
152゜154、ユニオンカーバイド社製ERR−01
00、ERRB−0447,ERLB−0488、日本
化薬社VEOCNシリーズである。
いるものとしては、例えば次のようなものがある。 チ
バガイギー社製アラルダイトEPN1138.1139
、ECN1273.1280゜1299、ダウケミカル
社製DEN431゜438、シェル化学社製エピコート
152゜154、ユニオンカーバイド社製ERR−01
00、ERRB−0447,ERLB−0488、日本
化薬社VEOCNシリーズである。
ポリバラヒドロキシスチレンとエポキシ樹脂は当日付近
で配合される。 配合割合が当日付近を大きくはずれる
と、いずれかが硬化時に未反応となって熱時の接着強度
が低下しまた加熱域mが多くなり好ましくない。
で配合される。 配合割合が当日付近を大きくはずれる
と、いずれかが硬化時に未反応となって熱時の接着強度
が低下しまた加熱域mが多くなり好ましくない。
本発明に用いる([3)ノルボネン環を有する樹脂とし
ては一般的にC5〜C1留分から得られる汎用の石油樹
脂があり、例えば次のようなものが挙げられる。 タッ
キロール5000.1000(住友化学工業社製、商品
名)、フィントン1500.1000.1300 (日
本ゼオ2社製、商品名)等である。
ては一般的にC5〜C1留分から得られる汎用の石油樹
脂があり、例えば次のようなものが挙げられる。 タッ
キロール5000.1000(住友化学工業社製、商品
名)、フィントン1500.1000.1300 (日
本ゼオ2社製、商品名)等である。
ポリバラヒドロキシスチレンとエポキシ樹脂とからなる
(A)変性樹脂と、(B)ノルボネン環を有する樹脂と
の配合割合は、全樹脂分に対して(B)のノルボネン環
を有する樹脂を10〜30重量%配合することが望まし
い。 配合量が1olB%未満では接着強度の向上に効
果がなく、また30重量%を超えると反応性が劣り好ま
しくない。
(A)変性樹脂と、(B)ノルボネン環を有する樹脂と
の配合割合は、全樹脂分に対して(B)のノルボネン環
を有する樹脂を10〜30重量%配合することが望まし
い。 配合量が1olB%未満では接着強度の向上に効
果がなく、また30重量%を超えると反応性が劣り好ま
しくない。
本発明に使用する変性樹脂は、ポリパラヒドロキシスチ
レンとエポキシ樹脂を単に溶解混合してもよいし、必要
であれば加熱反応により相互に部分的な結合をさせたも
のでもよく、これらの成分樹脂の共通の溶剤に溶解する
ことにより作業粘度を改善することができる。 また反
応に必要であれば硬化触媒を使用してもよい。
レンとエポキシ樹脂を単に溶解混合してもよいし、必要
であれば加熱反応により相互に部分的な結合をさせたも
のでもよく、これらの成分樹脂の共通の溶剤に溶解する
ことにより作業粘度を改善することができる。 また反
応に必要であれば硬化触媒を使用してもよい。
ポリパラヒドロキシスチレンとエポキシ樹脂およびノル
ボネン環を有する樹脂を甲に溶剤に溶解混合する場合は
、同時に添加し溶解させるようにしてもよいが、最初に
ポリパラヒドロキシスチレンを溶剤に溶解させ、次にエ
ポキシ樹脂およびノルボネン環を有する樹脂を溶解混合
させることが望ましい。 ここで使用される溶剤類とし
ては、ジオキサン、ヘキサノン、ベンゼン、トルエン、
ソルベントナフサ、工業用ガソリン、酢酸セロソルブ、
エチルセロンルブ、ブチルセロソルブ、ブチルセロソル
ブアセテート テート セトアミド、N−メチルピロリドン等がある。
ボネン環を有する樹脂を甲に溶剤に溶解混合する場合は
、同時に添加し溶解させるようにしてもよいが、最初に
ポリパラヒドロキシスチレンを溶剤に溶解させ、次にエ
ポキシ樹脂およびノルボネン環を有する樹脂を溶解混合
させることが望ましい。 ここで使用される溶剤類とし
ては、ジオキサン、ヘキサノン、ベンゼン、トルエン、
ソルベントナフサ、工業用ガソリン、酢酸セロソルブ、
エチルセロンルブ、ブチルセロソルブ、ブチルセロソル
ブアセテート テート セトアミド、N−メチルピロリドン等がある。
これらの溶剤1.i東独又は2種以上の組合せで使用す
る。
る。
本発明に用いる(C)導電性粉末としては、例えばA(
l粉末等が使用される。 また本発明は、前述した(A
)〜(C)成分を含む導電性ペーストであるが、その他
必要に応じて消泡剤、カップリング剤等を添加すること
もできる。
l粉末等が使用される。 また本発明は、前述した(A
)〜(C)成分を含む導電性ペーストであるが、その他
必要に応じて消泡剤、カップリング剤等を添加すること
もできる。
本発明の導電性ペーストは、常法に従い上述した変性樹
脂、ノルボネン環を有する樹脂および導電性粉末を充分
混合した後、更に三本ロールなどによる十分な混線処理
を行い、その後減圧脱泡することによって製造すること
ができる。 得られた1m性ペーストは、半導体チップ
とリードフレームとの接着剤として使用される。 その
後、半導体ペレットはワイヤボンディングを行った俊封
止してICおよびLSIが製造される。 こうして得ら
れたICにおいては、導電性ペーストを200℃で加熱
硬化させてもリードフレーム面上に汚染がなく、大型I
Cの接着力も薄いフレーム(150μm)上で0.8k
ll1以上、ワイヤボンディング強度も同じく 4〜5
g以上の数値を得ることができる。
脂、ノルボネン環を有する樹脂および導電性粉末を充分
混合した後、更に三本ロールなどによる十分な混線処理
を行い、その後減圧脱泡することによって製造すること
ができる。 得られた1m性ペーストは、半導体チップ
とリードフレームとの接着剤として使用される。 その
後、半導体ペレットはワイヤボンディングを行った俊封
止してICおよびLSIが製造される。 こうして得ら
れたICにおいては、導電性ペーストを200℃で加熱
硬化させてもリードフレーム面上に汚染がなく、大型I
Cの接着力も薄いフレーム(150μm)上で0.8k
ll1以上、ワイヤボンディング強度も同じく 4〜5
g以上の数値を得ることができる。
[R明の実施例コ
次に、本発明を実施例によって具体的に説明する。 実
施例および比較例において「部」とは特に説明のない限
り「重量部」を意味する。
施例および比較例において「部」とは特に説明のない限
り「重量部」を意味する。
実施例 1
エピコート1001(シェル化学社製、商品名)37、
5部、マルゼンレジンM(丸首石油化学社製、商品名)
10部、およびフィントン1300(日本ゼオン社製、
商品名)10部を、ブチルカルピトールアセテート 1
03部中で100℃.1時間溶解反応を行い、粘稠な褐
色樹脂を得た。 この樹脂22部に、触媒として三フフ
化ホウ素のアミン錯体1.0部とA(+粉末57部とを
充分混合して導電性ペースト(A)を製造した。
5部、マルゼンレジンM(丸首石油化学社製、商品名)
10部、およびフィントン1300(日本ゼオン社製、
商品名)10部を、ブチルカルピトールアセテート 1
03部中で100℃.1時間溶解反応を行い、粘稠な褐
色樹脂を得た。 この樹脂22部に、触媒として三フフ
化ホウ素のアミン錯体1.0部とA(+粉末57部とを
充分混合して導電性ペースト(A)を製造した。
実施例 2
エピコート828(シェル化学社製、商品名)15、8
部、マルゼンレジンM(前出)10部、およびタッキロ
ール1000(住友化学工業社製、商品名)10部を、
ブチルセロソルブアセテート56部中で100℃, 1
時間溶解反応を行い、粘稠な褐色樹脂を得た。 この樹
脂22部とAQ粉末57部とを充分混合して導電性ペー
スト(B)を製造した。
部、マルゼンレジンM(前出)10部、およびタッキロ
ール1000(住友化学工業社製、商品名)10部を、
ブチルセロソルブアセテート56部中で100℃, 1
時間溶解反応を行い、粘稠な褐色樹脂を得た。 この樹
脂22部とAQ粉末57部とを充分混合して導電性ペー
スト(B)を製造した。
実施例 3
EOCN103S (日本化薬社製、商品名)66部を
ブチルカルピトールアセテート 111部の溶剤中に8
0℃で溶解後、マルゼンレジンM34部と触媒として三
フッ化ホウ素のアミン錯体0.6部とを添加し、80℃
でそのまま約3時間反応を進め、粘稠で透明な変性樹脂
を得た。 この変性樹脂22部と、フィントン1700
(日本ピオン社製、商品名)6部と、銀粉末57部とを
よく混合して導電性ペースト(C)を製造した。
ブチルカルピトールアセテート 111部の溶剤中に8
0℃で溶解後、マルゼンレジンM34部と触媒として三
フッ化ホウ素のアミン錯体0.6部とを添加し、80℃
でそのまま約3時間反応を進め、粘稠で透明な変性樹脂
を得た。 この変性樹脂22部と、フィントン1700
(日本ピオン社製、商品名)6部と、銀粉末57部とを
よく混合して導電性ペースト(C)を製造した。
実施例1〜3で得た導電性ベスト(A)、(13)、(
C)および市販のエポキシ樹脂ベースの半導体用ペース
ト(D)(比較例)を用い、リードフレームと半導体チ
ップを接合して、200℃, 60分間又は120℃,
3時間硬化させ、供試体を得た。
C)および市販のエポキシ樹脂ベースの半導体用ペース
ト(D)(比較例)を用い、リードフレームと半導体チ
ップを接合して、200℃, 60分間又は120℃,
3時間硬化させ、供試体を得た。
そしてこれら供試体の接着強度、引張り強度、加水分解
性C1イオン、および体積固有抵抗を試験した。 その
結果を第1表に示した。
性C1イオン、および体積固有抵抗を試験した。 その
結果を第1表に示した。
[発明の効果]
本発明の導電性ペストは、大型IC等との接着性、特に
熱的の接着性、耐加水分解性に優れ、金属の腐食による
ボンディングワイヤの断線などの不良や水分によるリー
ク電流の不良などを著しく低減させることができ、また
ICそのものの耐湿信頼性が従来のものに比べて大幅に
改善され、かつ安価な半導体装置を得ることができる。
熱的の接着性、耐加水分解性に優れ、金属の腐食による
ボンディングワイヤの断線などの不良や水分によるリー
ク電流の不良などを著しく低減させることができ、また
ICそのものの耐湿信頼性が従来のものに比べて大幅に
改善され、かつ安価な半導体装置を得ることができる。
Claims (1)
- 1(A)ポリパラヒドロキシスチレンとエポキシ樹脂か
らなる変性樹脂、(B)ノルボネン環を有する樹脂およ
び(C)導電性粉末を含むことを特徴とする導電性ペー
スト。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15228385A JPS6213473A (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 | 導電性ペ−スト |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15228385A JPS6213473A (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 | 導電性ペ−スト |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6213473A true JPS6213473A (ja) | 1987-01-22 |
JPH0212508B2 JPH0212508B2 (ja) | 1990-03-20 |
Family
ID=15537131
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15228385A Granted JPS6213473A (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 | 導電性ペ−スト |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6213473A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6232158A (ja) * | 1985-08-05 | 1987-02-12 | Toshiba Chem Corp | 導電性ペ−スト |
EP0400642A2 (en) * | 1989-05-31 | 1990-12-05 | Kao Corporation | Electrically conductive paste composition |
US5158708A (en) * | 1989-12-01 | 1992-10-27 | Kao Corporation | Conductive paste and conductive coating film |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5229800A (en) * | 1975-09-01 | 1977-03-05 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | Apparatus for detecting effluence of slag in molten metal |
JPS60260663A (ja) * | 1984-06-06 | 1985-12-23 | Toshiba Chem Corp | 導電性ペ−スト |
-
1985
- 1985-07-12 JP JP15228385A patent/JPS6213473A/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5229800A (en) * | 1975-09-01 | 1977-03-05 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | Apparatus for detecting effluence of slag in molten metal |
JPS60260663A (ja) * | 1984-06-06 | 1985-12-23 | Toshiba Chem Corp | 導電性ペ−スト |
Cited By (5)
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JPS6232158A (ja) * | 1985-08-05 | 1987-02-12 | Toshiba Chem Corp | 導電性ペ−スト |
JPH0212509B2 (ja) * | 1985-08-05 | 1990-03-20 | Toshiba Chem Prod | |
EP0400642A2 (en) * | 1989-05-31 | 1990-12-05 | Kao Corporation | Electrically conductive paste composition |
US5156771A (en) * | 1989-05-31 | 1992-10-20 | Kao Corporation | Electrically conductive paste composition |
US5158708A (en) * | 1989-12-01 | 1992-10-27 | Kao Corporation | Conductive paste and conductive coating film |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0212508B2 (ja) | 1990-03-20 |
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