JPS62133656A - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS62133656A JPS62133656A JP27468785A JP27468785A JPS62133656A JP S62133656 A JPS62133656 A JP S62133656A JP 27468785 A JP27468785 A JP 27468785A JP 27468785 A JP27468785 A JP 27468785A JP S62133656 A JPS62133656 A JP S62133656A
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- deflecting
- magnetic pole
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- deflection
- electron beam
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はアライメント等に使用する２段の偏向器を備え
た電子線装置に関する。
た電子線装置に関する。
［従来の技術］
電子顕微鏡等の電子線装置においては、２段の偏向コイ
ルより成るアライメントコイルを備え、これら２段の偏
向コイルに予め調整された比率で偏向電流を供給するこ
とにより、試料に対する電子線の照射位置を固定したま
ま、試料に入射する電子線の傾斜角を変える所謂ティル
ト（Ｔｉｌｔ）調整を行なえるようになっている。
ルより成るアライメントコイルを備え、これら２段の偏
向コイルに予め調整された比率で偏向電流を供給するこ
とにより、試料に対する電子線の照射位置を固定したま
ま、試料に入射する電子線の傾斜角を変える所謂ティル
ト（Ｔｉｌｔ）調整を行なえるようになっている。
ところで、最近の電子顕微鏡においては、対物レンズの
磁極片ユニットは通常ｉ＊＊用のものの他に高分解能観
察用のものや生物試料観察用のもの等が用意されており
、観察目的に応じて自由に交換できるようになっている
。
磁極片ユニットは通常ｉ＊＊用のものの他に高分解能観
察用のものや生物試料観察用のもの等が用意されており
、観察目的に応じて自由に交換できるようになっている
。
［発明が解決しようとする問題点］
さて、前記磁極片ユニットとして通常観察用のものを対
物レンズにセットして観察している状態から、高分解能
用の磁極片ユニットに換えて試料を観察すると、対物レ
ンズの前方磁界レンズの強度が変化する。そのため、最
初にティルト調節が行なえるように前記２段の偏向コイ
ルへ送られる偏向電流の比率を調整しておいても、その
ままではティルト調整を行なえる状態を維持できなくな
る。そのため、従来においては、磁極片ユニットを交換
する都度、２段の偏向コイルへ供給する偏向電流の比率
を再調整しいるが、このような調整は時間がかかり面倒
であった。
物レンズにセットして観察している状態から、高分解能
用の磁極片ユニットに換えて試料を観察すると、対物レ
ンズの前方磁界レンズの強度が変化する。そのため、最
初にティルト調節が行なえるように前記２段の偏向コイ
ルへ送られる偏向電流の比率を調整しておいても、その
ままではティルト調整を行なえる状態を維持できなくな
る。そのため、従来においては、磁極片ユニットを交換
する都度、２段の偏向コイルへ供給する偏向電流の比率
を再調整しいるが、このような調整は時間がかかり面倒
であった。
本発明はこのような従来の問題点を解決し、対物レンズ
の磁極片ユニットを交換しても、簡単に２段偏向コイル
によるティルトの調整状態に復帰することのできる電子
線装置を提供することを目的としている。
の磁極片ユニットを交換しても、簡単に２段偏向コイル
によるティルトの調整状態に復帰することのできる電子
線装置を提供することを目的としている。
［問題点を解決するための手段］
このような目的を達成するため、本発明は電子線を偏向
するための２段の偏向器と、偏向信号発生手段と、該偏
向信号発生手段よりの偏向信号を該２段の偏向器に所定
の比率で供給する手段と、該２段の偏向器の後段に配置
された電磁レンズとを備え、観察目的に応じて該電磁レ
ンズの上下磁極片ユニットを交換して試料を観察するよ
うにした装置において、前記交換される上下磁極片の各
ユニットに対応したデータであって、前記偏向信号発生
手段よりの出力信号を変えることにより前記試料に対す
る電子線の照射位置を固定したまま試料入射電子線の傾
斜角が変えられるように前記２段の偏向器に供給される
偏向信号の比率を制御するためのデータを記憶する記憶
手段と、該記憶手段よりの出力信号に基づいて前記２段
の偏向器に供給される前記偏向信号の比率を制御するた
めの手段を備えたことを特徴としている。
するための２段の偏向器と、偏向信号発生手段と、該偏
向信号発生手段よりの偏向信号を該２段の偏向器に所定
の比率で供給する手段と、該２段の偏向器の後段に配置
された電磁レンズとを備え、観察目的に応じて該電磁レ
ンズの上下磁極片ユニットを交換して試料を観察するよ
うにした装置において、前記交換される上下磁極片の各
ユニットに対応したデータであって、前記偏向信号発生
手段よりの出力信号を変えることにより前記試料に対す
る電子線の照射位置を固定したまま試料入射電子線の傾
斜角が変えられるように前記２段の偏向器に供給される
偏向信号の比率を制御するためのデータを記憶する記憶
手段と、該記憶手段よりの出力信号に基づいて前記２段
の偏向器に供給される前記偏向信号の比率を制御するた
めの手段を備えたことを特徴としている。
［実施例］
以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述する。
第１図は、本発明の一実施例を示すためのもので、図中
１．２．３は図示外の電子銃よりの電子線ＥＢを集束す
るための第１．第２．第３段の集束レンズであり、これ
ら集束レンズ１．２．３によって集束された電子線ＥＢ
は、対物レンズ４の前方及び後方磁界レンズ４ａ、４ｂ
によって集束されて試料５に照射される。上記第３の集
束レンズは所謂コンデンサミニレンズと称されるもので
、その励磁電流を変えることにより試料に入射する電子
線ＥＢの開き角αを変えるために備えられている。対物
レンズ４の上下磁極片ユニットは前記のように観察目的
に応じて交換できるようになっている。６ｘ、７ｘは第
１．第２のＸ方向アライメント用の偏向コイルであり、
図示していないが、これらコイル６ｘ、７ｘの各々に対
を成してＹ方向アライメント用の偏向コイルも備えられ
ている。
１．２．３は図示外の電子銃よりの電子線ＥＢを集束す
るための第１．第２．第３段の集束レンズであり、これ
ら集束レンズ１．２．３によって集束された電子線ＥＢ
は、対物レンズ４の前方及び後方磁界レンズ４ａ、４ｂ
によって集束されて試料５に照射される。上記第３の集
束レンズは所謂コンデンサミニレンズと称されるもので
、その励磁電流を変えることにより試料に入射する電子
線ＥＢの開き角αを変えるために備えられている。対物
レンズ４の上下磁極片ユニットは前記のように観察目的
に応じて交換できるようになっている。６ｘ、７ｘは第
１．第２のＸ方向アライメント用の偏向コイルであり、
図示していないが、これらコイル６ｘ、７ｘの各々に対
を成してＹ方向アライメント用の偏向コイルも備えられ
ている。
８はティルト調整を行なうための嫡子８ｔと、第３段の
集束レンズ３の励磁強度を調整するための嫡子８Ｃとキ
ーボード８ｋを有する入力装置であり、この入力装置８
は中央演算制御装置９に接続されている。中央演算制御
装置９よりの信号は第１のＲＡＭ （ランダムアクセス
メモリ）１０に送られている。第１のＲＡＭ１０には前
記入力装置８により指定された試料入射電子線Ｅ７Ｂの
傾斜角θを実現するために必要な第２の偏向コイル７Ｘ
の偏向電流値を指定するためのデータが記憶されている
。第１のＲＡＭ１０から読み出された信号は第１のＤＡ
変換器１１に送られている。第１のＤＡ変換器１１の出
力信号は前記第２のＸ方向アライメント用偏向コイル７
Ｘへ偏向電流を供給するための偏向電源１２に送られて
いる。尚、この第１の変換器１１には前記電子線ＥＢの
加速電圧を表わす信号が参照信号として送られている。
集束レンズ３の励磁強度を調整するための嫡子８Ｃとキ
ーボード８ｋを有する入力装置であり、この入力装置８
は中央演算制御装置９に接続されている。中央演算制御
装置９よりの信号は第１のＲＡＭ （ランダムアクセス
メモリ）１０に送られている。第１のＲＡＭ１０には前
記入力装置８により指定された試料入射電子線Ｅ７Ｂの
傾斜角θを実現するために必要な第２の偏向コイル７Ｘ
の偏向電流値を指定するためのデータが記憶されている
。第１のＲＡＭ１０から読み出された信号は第１のＤＡ
変換器１１に送られている。第１のＤＡ変換器１１の出
力信号は前記第２のＸ方向アライメント用偏向コイル７
Ｘへ偏向電流を供給するための偏向電源１２に送られて
いる。尚、この第１の変換器１１には前記電子線ＥＢの
加速電圧を表わす信号が参照信号として送られている。
又、中央演算制御装置９よりの信号は第２のＲＡＭ１３
に送られている。第２のＲＡＭ１３には前記傾斜角θを
実現するために必要なデータであって、第１の偏向コイ
ル６Ｘの偏向電流が第２の偏向コイル７Ｘの電流に対し
てどのような比率にあるかを表わすデータが記憶されて
いる。この比率は対物レンズ４の上下磁極片ユニットを
換えると変えなければならないが、前記試料入射電子線
ＥＢの開き角αを変化させるため第３の集束レンズ３の
励磁電流を変えた場合にも変えなければならない。
に送られている。第２のＲＡＭ１３には前記傾斜角θを
実現するために必要なデータであって、第１の偏向コイ
ル６Ｘの偏向電流が第２の偏向コイル７Ｘの電流に対し
てどのような比率にあるかを表わすデータが記憶されて
いる。この比率は対物レンズ４の上下磁極片ユニットを
換えると変えなければならないが、前記試料入射電子線
ＥＢの開き角αを変化させるため第３の集束レンズ３の
励磁電流を変えた場合にも変えなければならない。
そのため、磁極片ユニットの型をＰｉ 、 Ｐ２ 、
Ｐ３、・・・、開き角αの異なった離散値をα１．α２
゜α３．・・・とすると、第２のＲＡＭ１３には第２図
に示すように磁極片ユニットの型と開き角の各組み合わ
せに対応して比率データＲ（Ｐｉ 、αｊ）が記憶され
ている。１６は第３のＲＡＭであり、第３のＲＡＭ１６
には、試料に入射する電子線の開き角αを嫡子８Ｃで指
定した値αｉにするために必要な第３の集束レンズ３の
励磁電流値を指定するデータが記憶されている。第３の
ＲＡＭ１６より読み出された信号は第３のＤＡ変換器１
７を介して第３の集束レンズ３の励磁電８１８に送られ
ている。尚、前記各ＲＡＭに記憶されるデータは予め調
整により求められて記憶されている。
Ｐ３、・・・、開き角αの異なった離散値をα１．α２
゜α３．・・・とすると、第２のＲＡＭ１３には第２図
に示すように磁極片ユニットの型と開き角の各組み合わ
せに対応して比率データＲ（Ｐｉ 、αｊ）が記憶され
ている。１６は第３のＲＡＭであり、第３のＲＡＭ１６
には、試料に入射する電子線の開き角αを嫡子８Ｃで指
定した値αｉにするために必要な第３の集束レンズ３の
励磁電流値を指定するデータが記憶されている。第３の
ＲＡＭ１６より読み出された信号は第３のＤＡ変換器１
７を介して第３の集束レンズ３の励磁電８１８に送られ
ている。尚、前記各ＲＡＭに記憶されるデータは予め調
整により求められて記憶されている。
このような構成において、例えば磁極片ユニット４とし
てＰ２を選択したとすると、入力装置８のキーボード８
ｋを用いて磁極片ユニット４としてＰ２を選択したこと
を中央演算制御装置９に知らせる。又、その際開き角α
１で観察しようとする場合には、入力装置８の嫡子８Ｃ
を操作して開き角としてα１を指示する。その結果、中
央演算制御装置９は第２のＲＡＭ１３より第２図に示す
比率データＲ（Ｐ２ 、α１）を読み出してＤＡ変換器
１４に送る。そこで、入力装置８の嫡子８ｔを回転させ
て試料５に入射する電子線ＥＢの傾斜角を０３に指定す
れば、中央演算制御装置９は第１のＲＡＭ１０よりθ３
に対応するデータＩｂ３を読み出してＤＡ変換器１１に
送る。そのため、第２の偏向コイル７ｘには前記データ
Ｉｂ３に対応した電流が供給される。又、このとき第２
のＤＡ変換器１４には参照信号としてＩｂ３に対応した
信号が送られるため、第２のＤＡ変換器１４よりＩａ３
＝ １ｂ３ｘＲ（Ｐ２ 、α１）に対応する信号が電源
１５に送られる。更に又、このとき、中央演算制御装置
９により第３のＲＡＭ１６に記憶されているデータのう
ち開き角α１に対応したデータが読み出され、このデー
タに基づいて第３の集束レンズ３が励磁される。その結
果、試料４には開き角α１の電子線が傾斜角θ３で入射
する。次゛に、入力装置８の嫡子８Ｃを回転させて傾斜
角θとしてθ２を指定すれば、第１のＲＡＭ１０より０
２に対応するデータが読み出されてＤＡ変換器１１に送
られるため、電子ＩＥＢは試料５への入射点を固定した
まま傾斜角θ２で試料５に入射し、ティルト調節を行な
うことがで゛きる。
てＰ２を選択したとすると、入力装置８のキーボード８
ｋを用いて磁極片ユニット４としてＰ２を選択したこと
を中央演算制御装置９に知らせる。又、その際開き角α
１で観察しようとする場合には、入力装置８の嫡子８Ｃ
を操作して開き角としてα１を指示する。その結果、中
央演算制御装置９は第２のＲＡＭ１３より第２図に示す
比率データＲ（Ｐ２ 、α１）を読み出してＤＡ変換器
１４に送る。そこで、入力装置８の嫡子８ｔを回転させ
て試料５に入射する電子線ＥＢの傾斜角を０３に指定す
れば、中央演算制御装置９は第１のＲＡＭ１０よりθ３
に対応するデータＩｂ３を読み出してＤＡ変換器１１に
送る。そのため、第２の偏向コイル７ｘには前記データ
Ｉｂ３に対応した電流が供給される。又、このとき第２
のＤＡ変換器１４には参照信号としてＩｂ３に対応した
信号が送られるため、第２のＤＡ変換器１４よりＩａ３
＝ １ｂ３ｘＲ（Ｐ２ 、α１）に対応する信号が電源
１５に送られる。更に又、このとき、中央演算制御装置
９により第３のＲＡＭ１６に記憶されているデータのう
ち開き角α１に対応したデータが読み出され、このデー
タに基づいて第３の集束レンズ３が励磁される。その結
果、試料４には開き角α１の電子線が傾斜角θ３で入射
する。次゛に、入力装置８の嫡子８Ｃを回転させて傾斜
角θとしてθ２を指定すれば、第１のＲＡＭ１０より０
２に対応するデータが読み出されてＤＡ変換器１１に送
られるため、電子ＩＥＢは試料５への入射点を固定した
まま傾斜角θ２で試料５に入射し、ティルト調節を行な
うことがで゛きる。
そこで、磁極片ユニット４を例えばＰ３に交換する場合
には、入力装置８のキーボード８ｋにより磁極片がＰ３
に換えられたことを入力すれば、中央演算制御装置９の
制御により第２のＲＡＭ１３よりデータＲ（Ｐ２ 、α
１）が読み出されてＤＡ変換器１４に送られるため、第
１のアライメント用偏向コイル６ｘへ供給される偏向電
流が変えられ、ティルトの調整状態を、引き続き維持す
ることができる。
には、入力装置８のキーボード８ｋにより磁極片がＰ３
に換えられたことを入力すれば、中央演算制御装置９の
制御により第２のＲＡＭ１３よりデータＲ（Ｐ２ 、α
１）が読み出されてＤＡ変換器１４に送られるため、第
１のアライメント用偏向コイル６ｘへ供給される偏向電
流が変えられ、ティルトの調整状態を、引き続き維持す
ることができる。
尚、上述した実施例においては、簡単のため電子線をＸ
方向にアライメントする場合について説明したが、Ｙ方
向にアライメントする場合にも本発明は同様に適用でき
る。
方向にアライメントする場合について説明したが、Ｙ方
向にアライメントする場合にも本発明は同様に適用でき
る。
ところで、アライメント用コイルを用いての調節には、
試料に照射される電子線の傾斜角を固定したまま電子線
の試料入射位置を移動させる所謂シフト調節がある。上
記のように、所謂ティルト調節状態が磁極片の交換にか
かわらず簡単に復帰できる場合には、同時にこのシフト
調節状態にも復帰できる。
試料に照射される電子線の傾斜角を固定したまま電子線
の試料入射位置を移動させる所謂シフト調節がある。上
記のように、所謂ティルト調節状態が磁極片の交換にか
かわらず簡単に復帰できる場合には、同時にこのシフト
調節状態にも復帰できる。
［発明の効果］
上述した説明から明らかなように、本発明に基づく装置
によれば磁極片ユニットを交換した際にも、磁極片の型
を指示するだけの簡単な操作によりティルト調節可能な
状態に復帰することができる。
によれば磁極片ユニットを交換した際にも、磁極片の型
を指示するだけの簡単な操作によりティルト調節可能な
状態に復帰することができる。
第１図は本発明の一実施例を示すための図、第２図は第
１図における第２のＲＡＭに記憶されている第１．第２
の偏向コイルへの電流の供給比率を表わすデータを説明
するための図である。 １：電子銃 ２，３：集束レンズ４：対物レン
ズ ５：試料 ６ｘ、７ｘ：偏向コイル ８：入力装＠ ８ｃ、８ｔ：嫡子８に＝キーボ
ード ９：演算制御装置１０．１３，１６：ＲＡＭ １１．１４．１７：ＤＡ変換器 １２．１５：偏向電源 １８：励磁電源
１図における第２のＲＡＭに記憶されている第１．第２
の偏向コイルへの電流の供給比率を表わすデータを説明
するための図である。 １：電子銃 ２，３：集束レンズ４：対物レン
ズ ５：試料 ６ｘ、７ｘ：偏向コイル ８：入力装＠ ８ｃ、８ｔ：嫡子８に＝キーボ
ード ９：演算制御装置１０．１３，１６：ＲＡＭ １１．１４．１７：ＤＡ変換器 １２．１５：偏向電源 １８：励磁電源
Claims (1)
- 電子線を偏向するための２段の偏向器と、偏向信号発生
手段と、該偏向信号発生手段よりの偏向信号を該２段の
偏向器に所定の比率で供給する手段と、該２段の偏向器
の後段に配置された電磁レンズとを備え、観察目的に応
じて該電磁レンズの上下磁極片ユニットを交換して試料
を観察するようにした装置において、前記交換される上
下磁極片の各ユニットに対応したデータであって、前記
偏向信号発生手段よりの出力信号を変えることにより前
記試料に対する電子線の照射位置を固定したまま試料入
射電子線の傾斜角が変えられるように前記２段の偏向器
に供給される偏向信号の比率を制御するためのデータを
記憶する記憶手段と、該記憶手段よりの出力信号に基づ
いて前記２段の偏向器に供給される前記偏向信号の比率
を制御するための手段を備えたことを特徴とする電子線
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60274687A JPH0636347B2 (ja) | 1985-12-06 | 1985-12-06 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60274687A JPH0636347B2 (ja) | 1985-12-06 | 1985-12-06 | 電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62133656A true JPS62133656A (ja) | 1987-06-16 |
| JPH0636347B2 JPH0636347B2 (ja) | 1994-05-11 |
Family
ID=17545160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60274687A Expired - Lifetime JPH0636347B2 (ja) | 1985-12-06 | 1985-12-06 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0636347B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0378950A (ja) * | 1989-08-22 | 1991-04-04 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡用偏向装置 |
| JPH03226951A (ja) * | 1990-01-31 | 1991-10-07 | Jeol Ltd | 電子線装置の自動ティルト調整装置 |
| JP2022086607A (ja) * | 2020-11-30 | 2022-06-09 | 日本電子株式会社 | 透過電子顕微鏡および光学系の調整方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59181449A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-15 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡等用の２段偏向装置 |
-
1985
- 1985-12-06 JP JP60274687A patent/JPH0636347B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59181449A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-15 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡等用の２段偏向装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0378950A (ja) * | 1989-08-22 | 1991-04-04 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡用偏向装置 |
| JPH03226951A (ja) * | 1990-01-31 | 1991-10-07 | Jeol Ltd | 電子線装置の自動ティルト調整装置 |
| JP2022086607A (ja) * | 2020-11-30 | 2022-06-09 | 日本電子株式会社 | 透過電子顕微鏡および光学系の調整方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0636347B2 (ja) | 1994-05-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |