JPH0636347B2 - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH0636347B2 JPH0636347B2 JP60274687A JP27468785A JPH0636347B2 JP H0636347 B2 JPH0636347 B2 JP H0636347B2 JP 60274687 A JP60274687 A JP 60274687A JP 27468785 A JP27468785 A JP 27468785A JP H0636347 B2 JPH0636347 B2 JP H0636347B2
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- JP
- Japan
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- electron beam
- sample
- objective lens
- signal
- deflection
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はアライメント等に使用する２段の偏向器を備え
た電子顕微鏡に関する。
た電子顕微鏡に関する。
［従来の技術］ 電子顕微鏡においては、２段の偏向コイルより成るアラ
イメントコイルを備え、これら２段の偏向コイルに予め
調整された比率で偏向電流を供給することにより、試料
に対する電子線の照射位置を固定したまま、試料に入射
する電子線の傾斜角を変える所謂ティルト（Tilt）調整
を行なえるようになっている。
イメントコイルを備え、これら２段の偏向コイルに予め
調整された比率で偏向電流を供給することにより、試料
に対する電子線の照射位置を固定したまま、試料に入射
する電子線の傾斜角を変える所謂ティルト（Tilt）調整
を行なえるようになっている。
ところで、最近の電子顕微鏡においては、対物レンズの
磁極片ユニットは通常観察用のものの他に高分解能観察
用のものや生物試料観察用のもの等が用意されており、
観察目的に応じて自由に交換できるようになっている。
磁極片ユニットは通常観察用のものの他に高分解能観察
用のものや生物試料観察用のもの等が用意されており、
観察目的に応じて自由に交換できるようになっている。
［発明が解決しようとする問題点］ さて、前記磁極片ユニットとして通常観察用のものを対
物レンズにセットして観察している状態から、高分解能
用の磁極片ユニットに換えて試料を観察すると、対物レ
ンズの前方磁界レンズの強度が変化する。そのため、最
初にティルト調節が行なえるように前記２段の偏向コイ
ルへ送られる偏向電流の比率を調整しておいても、その
ままではティルト調整を行なえる状態を維持できなくな
る。そのため、従来においては、磁極片ユニットを交換
する都度、２段の偏向コイルへ供給する偏向電流の比率
を再調整しいるが、このような調整は時間がかかり面倒
であった。
物レンズにセットして観察している状態から、高分解能
用の磁極片ユニットに換えて試料を観察すると、対物レ
ンズの前方磁界レンズの強度が変化する。そのため、最
初にティルト調節が行なえるように前記２段の偏向コイ
ルへ送られる偏向電流の比率を調整しておいても、その
ままではティルト調整を行なえる状態を維持できなくな
る。そのため、従来においては、磁極片ユニットを交換
する都度、２段の偏向コイルへ供給する偏向電流の比率
を再調整しいるが、このような調整は時間がかかり面倒
であった。
本発明はこのような従来の問題点を解決し、試料に照射
される電子線の開き角が種々の値に設定されている状態
において、対物レンズの磁極片を交換しても、試料に照
射される電子線の開き角を維持したまま、簡単に２段偏
向器によるティルトの調整状態に復帰することができる
電子顕微鏡を提供することを目的としている。
される電子線の開き角が種々の値に設定されている状態
において、対物レンズの磁極片を交換しても、試料に照
射される電子線の開き角を維持したまま、簡単に２段偏
向器によるティルトの調整状態に復帰することができる
電子顕微鏡を提供することを目的としている。
［問題点を解決するための手段］ このような目的を達成するため、本発明は電子線を偏向
するための２段の偏向器と、偏向信号発生手段と、該２
段の偏向器の後段に配置されその磁極片が交換可能な対
物レンズと、前記２段の偏向器と対物レンズとの間に配
置され試料に照射される電子線の開き角を制御するため
の集束レンズと、試料に入射する電子線の照射位置を固
定したまま電子線の傾斜角が変えられるように前記偏向
信号発生手段の出力信号を前記２段の偏向器に分配する
際の比率を制御するためのデータであって前記対物レン
ズに設置される磁極片を表す信号と前記開き角に対応す
る信号とに基づいてアドレス指定されるデータを記憶す
るための記憶手段と、前記２種のアドレス指定信号によ
り前記記憶手段より読み出された信号に基づいて前記比
率を制御するための制御手段を備える電子顕微鏡を特徴
としている。
するための２段の偏向器と、偏向信号発生手段と、該２
段の偏向器の後段に配置されその磁極片が交換可能な対
物レンズと、前記２段の偏向器と対物レンズとの間に配
置され試料に照射される電子線の開き角を制御するため
の集束レンズと、試料に入射する電子線の照射位置を固
定したまま電子線の傾斜角が変えられるように前記偏向
信号発生手段の出力信号を前記２段の偏向器に分配する
際の比率を制御するためのデータであって前記対物レン
ズに設置される磁極片を表す信号と前記開き角に対応す
る信号とに基づいてアドレス指定されるデータを記憶す
るための記憶手段と、前記２種のアドレス指定信号によ
り前記記憶手段より読み出された信号に基づいて前記比
率を制御するための制御手段を備える電子顕微鏡を特徴
としている。
［実施例］ 以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述する。
第１図は、本発明の一実施例を示すためのもので、図中
１，２，３は図示外の電子銃よりの電子線ＥＢを集束す
るための第１，第２，第３段の集束レンズであり、これ
ら集束レンズ１，２，３によって集束された電子線ＥＢ
は、対物レンズ４の前方及び後方磁界レンズ４ａ，４ｂ
によって集束されて試料５に照射される。上記第３の集
束レンズは所謂コンデンサミニレンズと称されるもの
で、その励磁電流を変えることにより試料に入射する電
子線ＥＢの開き角αを変えるために備えられている。対
物レンズ４の上下磁極片ユニットは前記のように観察目
的に応じて交換できるようになっている。６ｘ，７ｘは
第１，第２のＸ方向アライメント用の偏向コイルであ
り、図示していないが、これらコイル６ｘ，７ｘの各々
に対を成してＹ方向アライメント用の偏向コイルも備え
られている。８はティルト調整を行なうための摘子８ｔ
と、第３段の集束レンズ３の励磁強度を調整するための
摘子８ｃとキーボード８ｋを有する入力装置であり、こ
の入力装置８は中央演算制御装置９に接続されている。
中央演算制御装置９よりの信号は第１のＲＡＭ（ランダ
ムアクセスメモリ）１０に送られている。第１のＲＡＭ
１０には前記入力装置８により指定された試料入射電子
線ＥＢの傾斜角θを実現するために必要な第２の偏向コ
イル７ｘの偏向電流値を指定するためのデータが記憶さ
れている。第１のＲＡＭ１０から読み出された信号は第
１のＤＡ変換器１１に送られている。第１のＤＡ変換器
１１の出力信号は前記第２のＸ方向アライメント用偏向
コイル７ｘへ偏向電流を供給するための偏向電源１２に
送られている。尚、この第１の変換器１１には前記電子
線ＥＢの加速電圧を表わす信号が参照信号として送られ
ている。又、中央演算制御装置９よりの信号は第２のＲ
ＡＭ１３に送られている。第２のＲＡＭ１３には前記傾
斜角θを実現するために必要なデータであって、第１の
偏向コイル６ｘの偏向電流が第２の偏向コイル７ｘの電
流に対してどのような比率にあるかを表わすデータが記
憶されている。この比率は対物レンズ４の上下磁極片ユ
ニットを換えると変えなければならないが、前記試料入
射電子線ＥＢの開き角αを変化させるため第３の集束レ
ンズ３の励磁電流を変えた場合にも変えなければならな
い。そのため、磁極片ユニットの型をＰ１，Ｐ２，Ｐ
３，…、開き角αの異なった離散値をα１，α２，α
３，…とすると、第２のＲＡＭ１３には第２図に示すよ
うに磁極片ユニットの型と開き角の各組み合わせに対応
して比率データＲ（Ｐｉ，αｊ）が記憶されている。１
６は第３のＲＡＭであり、第３のＲＡＭ１６には、試料
に入射する電子線の開き角αを摘子８ｃで指定した値α
ｉにするために必要な第３の集束レンズ３の励磁電流値
を指定するデータが記憶されている。第３のＲＡＭ１６
より読み出された信号は第３のＤＡ変換器１７を介して
第３の集束レンズ３の励磁電源１８に送られている。
尚、前記各ＲＡＭに記憶されるデータは予め調整により
求められて記憶されている。
１，２，３は図示外の電子銃よりの電子線ＥＢを集束す
るための第１，第２，第３段の集束レンズであり、これ
ら集束レンズ１，２，３によって集束された電子線ＥＢ
は、対物レンズ４の前方及び後方磁界レンズ４ａ，４ｂ
によって集束されて試料５に照射される。上記第３の集
束レンズは所謂コンデンサミニレンズと称されるもの
で、その励磁電流を変えることにより試料に入射する電
子線ＥＢの開き角αを変えるために備えられている。対
物レンズ４の上下磁極片ユニットは前記のように観察目
的に応じて交換できるようになっている。６ｘ，７ｘは
第１，第２のＸ方向アライメント用の偏向コイルであ
り、図示していないが、これらコイル６ｘ，７ｘの各々
に対を成してＹ方向アライメント用の偏向コイルも備え
られている。８はティルト調整を行なうための摘子８ｔ
と、第３段の集束レンズ３の励磁強度を調整するための
摘子８ｃとキーボード８ｋを有する入力装置であり、こ
の入力装置８は中央演算制御装置９に接続されている。
中央演算制御装置９よりの信号は第１のＲＡＭ（ランダ
ムアクセスメモリ）１０に送られている。第１のＲＡＭ
１０には前記入力装置８により指定された試料入射電子
線ＥＢの傾斜角θを実現するために必要な第２の偏向コ
イル７ｘの偏向電流値を指定するためのデータが記憶さ
れている。第１のＲＡＭ１０から読み出された信号は第
１のＤＡ変換器１１に送られている。第１のＤＡ変換器
１１の出力信号は前記第２のＸ方向アライメント用偏向
コイル７ｘへ偏向電流を供給するための偏向電源１２に
送られている。尚、この第１の変換器１１には前記電子
線ＥＢの加速電圧を表わす信号が参照信号として送られ
ている。又、中央演算制御装置９よりの信号は第２のＲ
ＡＭ１３に送られている。第２のＲＡＭ１３には前記傾
斜角θを実現するために必要なデータであって、第１の
偏向コイル６ｘの偏向電流が第２の偏向コイル７ｘの電
流に対してどのような比率にあるかを表わすデータが記
憶されている。この比率は対物レンズ４の上下磁極片ユ
ニットを換えると変えなければならないが、前記試料入
射電子線ＥＢの開き角αを変化させるため第３の集束レ
ンズ３の励磁電流を変えた場合にも変えなければならな
い。そのため、磁極片ユニットの型をＰ１，Ｐ２，Ｐ
３，…、開き角αの異なった離散値をα１，α２，α
３，…とすると、第２のＲＡＭ１３には第２図に示すよ
うに磁極片ユニットの型と開き角の各組み合わせに対応
して比率データＲ（Ｐｉ，αｊ）が記憶されている。１
６は第３のＲＡＭであり、第３のＲＡＭ１６には、試料
に入射する電子線の開き角αを摘子８ｃで指定した値α
ｉにするために必要な第３の集束レンズ３の励磁電流値
を指定するデータが記憶されている。第３のＲＡＭ１６
より読み出された信号は第３のＤＡ変換器１７を介して
第３の集束レンズ３の励磁電源１８に送られている。
尚、前記各ＲＡＭに記憶されるデータは予め調整により
求められて記憶されている。
このような構成において、例えば磁極片ユニット４とし
てＰ２を選択したとすると、入力装置８のキーボード８
ｋを用いて磁極片ユニット４としてＰ２を選択したこと
を中央演算制御装置９に知らせる。又、その際開き角α
１で観察しようとする場合には、入力装置８の摘子８ｃ
を操作して開き角としてα１を指示する。その結果、中
央演算制御装置９は第２のＲＡＭ１３より第２図に示す
比率データＲ（Ｐ２，α１）を読み出してＤＡ変換器１
４に送る。そこで、入力装置８の摘子８ｔを回転させて
試料５に入射する電子線ＥＢの傾斜角をθ３に指定すれ
ば、中央演算制御装置９は第１のＲＡＭ１０よりθ３に
対応するデータＩｂ３を読み出してＤＡ変換器１１に送
る。そのため、第２の偏向コイル７ｘには前記データＩ
ｂ３に対応した電流が供給される。又、このとき第２の
ＤＡ変換器１４には参照信号としてＩｂ３に対応した信
号が送られるため、第２のＤＡ変換器１４よりＩａ３＝
Ｉｂ３×Ｒ（Ｐ２，α１）に対応する信号が電源１５に
送られる。更に又、このとき、中央演算制御装置９によ
り第３のＲＡＭ１６に記憶されているデータのうち開き
角α１に対応したデータが読み出され、このデータに基
づいて第３の集束レンズ３が励磁される。その結果、試
料４には開き角α１の電子線が傾斜角θ３で入射する。
次に、入力装置８の摘子８ｃを回転させて傾斜角θとし
てθ２を指定すれば、第１のＲＡＭ１０よりθ２に対応
するデータが読み出されてＤＡ変換器１１に送られるた
め、電子線ＥＢは試料５への入射点を固定したまま傾斜
角θ２で試料５に入射し、ティルト調節を行なうことが
できる。
てＰ２を選択したとすると、入力装置８のキーボード８
ｋを用いて磁極片ユニット４としてＰ２を選択したこと
を中央演算制御装置９に知らせる。又、その際開き角α
１で観察しようとする場合には、入力装置８の摘子８ｃ
を操作して開き角としてα１を指示する。その結果、中
央演算制御装置９は第２のＲＡＭ１３より第２図に示す
比率データＲ（Ｐ２，α１）を読み出してＤＡ変換器１
４に送る。そこで、入力装置８の摘子８ｔを回転させて
試料５に入射する電子線ＥＢの傾斜角をθ３に指定すれ
ば、中央演算制御装置９は第１のＲＡＭ１０よりθ３に
対応するデータＩｂ３を読み出してＤＡ変換器１１に送
る。そのため、第２の偏向コイル７ｘには前記データＩ
ｂ３に対応した電流が供給される。又、このとき第２の
ＤＡ変換器１４には参照信号としてＩｂ３に対応した信
号が送られるため、第２のＤＡ変換器１４よりＩａ３＝
Ｉｂ３×Ｒ（Ｐ２，α１）に対応する信号が電源１５に
送られる。更に又、このとき、中央演算制御装置９によ
り第３のＲＡＭ１６に記憶されているデータのうち開き
角α１に対応したデータが読み出され、このデータに基
づいて第３の集束レンズ３が励磁される。その結果、試
料４には開き角α１の電子線が傾斜角θ３で入射する。
次に、入力装置８の摘子８ｃを回転させて傾斜角θとし
てθ２を指定すれば、第１のＲＡＭ１０よりθ２に対応
するデータが読み出されてＤＡ変換器１１に送られるた
め、電子線ＥＢは試料５への入射点を固定したまま傾斜
角θ２で試料５に入射し、ティルト調節を行なうことが
できる。
そこで、磁極片ユニット４を例えばＰ３に交換する場合
には、入力装置８のキーボード８ｋにより磁極片がＰ３
に換えられたことを入力すれば、中央演算制御装置９の
制御により第２のＲＡＭ１３よりデータＲ（Ｐ２，α
１）が読み出されてＤＡ変換器１４に送られるため、第
１のアライメント用偏向コイル６ｘへ供給される偏向電
流が変えられ、ティルトの調整状態を引き続き維持する
ことができる。
には、入力装置８のキーボード８ｋにより磁極片がＰ３
に換えられたことを入力すれば、中央演算制御装置９の
制御により第２のＲＡＭ１３よりデータＲ（Ｐ２，α
１）が読み出されてＤＡ変換器１４に送られるため、第
１のアライメント用偏向コイル６ｘへ供給される偏向電
流が変えられ、ティルトの調整状態を引き続き維持する
ことができる。
尚、上述した実施例においては、簡単のため電子線をＸ
方向にアライメントする場合について説明したが、Ｙ方
向にアライメントする場合にも本発明は同様に適用でき
る。
方向にアライメントする場合について説明したが、Ｙ方
向にアライメントする場合にも本発明は同様に適用でき
る。
ところで、アライメント用コイルを用いての調節には、
試料に照射される電子線の傾斜角を固定したまま電子線
の試料入射位置を移動させる所謂シフト調節がある。上
記のように、所謂ティルト調節状態が磁極片の交換にか
かわらず簡単に復帰できる場合には、同時にこのシフト
調節状態にも復帰できる。
試料に照射される電子線の傾斜角を固定したまま電子線
の試料入射位置を移動させる所謂シフト調節がある。上
記のように、所謂ティルト調節状態が磁極片の交換にか
かわらず簡単に復帰できる場合には、同時にこのシフト
調節状態にも復帰できる。
［発明の効果］ 上述した説明から明らかなように、本発明に基づく電子
顕微鏡によれば、試料に照射される電子線の開き角が種
々の値に設定されている状態において、対物レンズの磁
極片を交換しても、試料に照射される電子線の開き角を
維持したまま、簡単に２段偏向器によるティルトの調整
状態に復帰することができる電子顕微鏡が提供され、そ
の操作性を大きく向上させることができる。
顕微鏡によれば、試料に照射される電子線の開き角が種
々の値に設定されている状態において、対物レンズの磁
極片を交換しても、試料に照射される電子線の開き角を
維持したまま、簡単に２段偏向器によるティルトの調整
状態に復帰することができる電子顕微鏡が提供され、そ
の操作性を大きく向上させることができる。
第１図は本発明の一実施例を示すための図、第２図は第
１図における第２のＲＡＭに記憶されている第１，第２
の偏向コイルへの電流の供給比率を表わすデータを説明
するための図である。 １：電子銃、２，３：集束レンズ ４：対物レンズ、５：試料 ６ｘ，７ｘ：偏向コイル ８：入力装置、８ｃ，８ｔ：摘子 ８Ｋ：キーボード、９：演算制御装置 １０，１３，１６：ＲＡＭ １１，１４，１７：ＤＡ変換器 １２，１５：偏向電源 １８：励磁電源
１図における第２のＲＡＭに記憶されている第１，第２
の偏向コイルへの電流の供給比率を表わすデータを説明
するための図である。 １：電子銃、２，３：集束レンズ ４：対物レンズ、５：試料 ６ｘ，７ｘ：偏向コイル ８：入力装置、８ｃ，８ｔ：摘子 ８Ｋ：キーボード、９：演算制御装置 １０，１３，１６：ＲＡＭ １１，１４，１７：ＤＡ変換器 １２，１５：偏向電源 １８：励磁電源
Claims (1)
- 【請求項１】電子線を偏向するための２段の偏向器と、
偏向信号発生手段と、該２段の偏向器の後段に配置され
その磁極片が交換可能な対物レンズと、前記２段の偏向
器と対物レンズとの間に配置され試料に照射される電子
線の開き角を制御するための集束レンズと、試料に入射
する電子線の照射位置を固定したまま電子線の傾斜角が
変えられるように前記偏向信号発生手段の出力信号を前
記２段の偏向器に分配する際の比率を制御するためのデ
ータであって前記対物レンズに設置される磁極片を表す
信号と前記開き角に対応する信号とに基づいてアドレス
指定されるデータを記憶するための記憶手段と、前記２
種のアドレス指定信号により前記記憶手段より読み出さ
れた信号に基づいて前記比率を制御するための制御手段
を備える電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60274687A JPH0636347B2 (ja) | 1985-12-06 | 1985-12-06 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60274687A JPH0636347B2 (ja) | 1985-12-06 | 1985-12-06 | 電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62133656A JPS62133656A (ja) | 1987-06-16 |
| JPH0636347B2 true JPH0636347B2 (ja) | 1994-05-11 |
Family
ID=17545160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60274687A Expired - Lifetime JPH0636347B2 (ja) | 1985-12-06 | 1985-12-06 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0636347B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0760659B2 (ja) * | 1989-08-22 | 1995-06-28 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡用偏向装置 |
| JP2603739B2 (ja) * | 1990-01-31 | 1997-04-23 | 日本電子株式会社 | 電子線装置の自動ティルト調整装置 |
| JP7208212B2 (ja) * | 2020-11-30 | 2023-01-18 | 日本電子株式会社 | 透過電子顕微鏡および光学系の調整方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59181449A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-15 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡等用の２段偏向装置 |
-
1985
- 1985-12-06 JP JP60274687A patent/JPH0636347B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62133656A (ja) | 1987-06-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |