JPS62129702A - 表面粗さ測定機 - Google Patents
表面粗さ測定機Info
- Publication number
- JPS62129702A JPS62129702A JP26981385A JP26981385A JPS62129702A JP S62129702 A JPS62129702 A JP S62129702A JP 26981385 A JP26981385 A JP 26981385A JP 26981385 A JP26981385 A JP 26981385A JP S62129702 A JPS62129702 A JP S62129702A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- surface roughness
- ceramic
- roughness measuring
- measuring machine
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、物体の表面粗さや表面形状を測定する表面粗
さ測定機に関するものである。
さ測定機に関するものである。
表面粗さ測定機の一般的なピックアップ部の構造は、第
３図に示すように、先端にダイヤモンド製の触針１を備
えた金属製アーム２を支持部材３で支えるようになって
いた。また、特に、細大の内側面を測定するためのピッ
クアップ部の構造は、第２図に例示するように、先端に
超硬質材よりなる球状の触針１を備えた金属製アーム２
およびアタッチメント４をアーム支持部材３で支えるよ
うになっていた。この触針１を被測定物体５の測定面に
接触させたまま被測定物体５を矢印方向にスライドさせ
、表面の粗さに応じた触針１の微細な上下の動きをアー
ム２やアタッチメント４を通じてアーム支持部材３で読
み取り、電気的に増幅させて、その信号波形によって表
面粗さや形状を測定するようになっていた。このような
表面粗さ測定機は、周囲の振動を伝えにくいように装置
全体が防振台に載置されており縦方向に最大１０万倍に
゛拡大して測定可能であった。
３図に示すように、先端にダイヤモンド製の触針１を備
えた金属製アーム２を支持部材３で支えるようになって
いた。また、特に、細大の内側面を測定するためのピッ
クアップ部の構造は、第２図に例示するように、先端に
超硬質材よりなる球状の触針１を備えた金属製アーム２
およびアタッチメント４をアーム支持部材３で支えるよ
うになっていた。この触針１を被測定物体５の測定面に
接触させたまま被測定物体５を矢印方向にスライドさせ
、表面の粗さに応じた触針１の微細な上下の動きをアー
ム２やアタッチメント４を通じてアーム支持部材３で読
み取り、電気的に増幅させて、その信号波形によって表
面粗さや形状を測定するようになっていた。このような
表面粗さ測定機は、周囲の振動を伝えにくいように装置
全体が防振台に載置されており縦方向に最大１０万倍に
゛拡大して測定可能であった。
ところが従来の表面粗さ測定機の場合、アーム２がステ
ンレス鋼などの金属により形成されているため、次のよ
うな問題点があった。まず、金属は重く、曲がりやすい
ためアーム２を細長くするとたわんだり塑性変形を起こ
したりして正しい測定ができなくなるため、アーム２を
細く又は長くすることができず、極細穴や長穴の内側面
を測定することができなかった。また、アーム２を含め
殆どの部材が振動減衰率の小さい金属より形成されてい
るため、防振台に裁置されているものの、わずかな周囲
からの振動を伝えてしまい高倍率の測定を行うときは誤
差が生じやすかった。
ンレス鋼などの金属により形成されているため、次のよ
うな問題点があった。まず、金属は重く、曲がりやすい
ためアーム２を細長くするとたわんだり塑性変形を起こ
したりして正しい測定ができなくなるため、アーム２を
細く又は長くすることができず、極細穴や長穴の内側面
を測定することができなかった。また、アーム２を含め
殆どの部材が振動減衰率の小さい金属より形成されてい
るため、防振台に裁置されているものの、わずかな周囲
からの振動を伝えてしまい高倍率の測定を行うときは誤
差が生じやすかった。
上記に鑑みて、本発明は表面粗さ測定機の少なくともア
ームをセラミックにより形成したものである。
ームをセラミックにより形成したものである。
本発明実施例に係る表面粗さ測定機の細穴用ピックアッ
プ部は、第１図に示すようにセラミックよりなる球状の
触針１を先端に備えたセラミックよりなるアーム２およ
びアタッチメント４をアーム支持部材３で固定して構成
されている。
プ部は、第１図に示すようにセラミックよりなる球状の
触針１を先端に備えたセラミックよりなるアーム２およ
びアタッチメント４をアーム支持部材３で固定して構成
されている。
本発明実施例に係るアルミナセラミック製アームおよび
従来のステンレス製アームをさまざまな長さ、線径のも
とに試作してそれぞれ自重による先端のたわみ量を測定
した結果、たわみが小さく笛 １ 実 現実に使用可能なものは第１表に示す通りであった。第
１表中Ｎｏ、１〜３は細穴測定用アームの場合でステン
レス製アームは線径が０．２３ｍｍで長さが６ｍｍのも
の（克１）でたわみが０．０４μｍあり、これより細く
すると、たわみが大きくなるため正確な測定が行えなく
なる。一方アルミナセラミ、り製アームで阻１と同じ大
きさのもの（Ｎ１１２ ）はたわみが０．００８ μｍ
と小さく、線径を０．０６ｍｍと細くしたもの（１１ｋ
Ｌ３ ）でもたわみが０．０４μｍと掻めて小さく、そ
の結果、いずれも正確な測定を行うことができる。同じ
く第１表中１１ｋ１４〜６は長穴測定用のアームの場合
で、ステンレス製アームにくらべて、アルミナセラミッ
ク製アームは、たわみが小さくアームを長くしても正確
な測定を行うことができる。
従来のステンレス製アームをさまざまな長さ、線径のも
とに試作してそれぞれ自重による先端のたわみ量を測定
した結果、たわみが小さく笛 １ 実 現実に使用可能なものは第１表に示す通りであった。第
１表中Ｎｏ、１〜３は細穴測定用アームの場合でステン
レス製アームは線径が０．２３ｍｍで長さが６ｍｍのも
の（克１）でたわみが０．０４μｍあり、これより細く
すると、たわみが大きくなるため正確な測定が行えなく
なる。一方アルミナセラミ、り製アームで阻１と同じ大
きさのもの（Ｎ１１２ ）はたわみが０．００８ μｍ
と小さく、線径を０．０６ｍｍと細くしたもの（１１ｋ
Ｌ３ ）でもたわみが０．０４μｍと掻めて小さく、そ
の結果、いずれも正確な測定を行うことができる。同じ
く第１表中１１ｋ１４〜６は長穴測定用のアームの場合
で、ステンレス製アームにくらべて、アルミナセラミッ
ク製アームは、たわみが小さくアームを長くしても正確
な測定を行うことができる。
第２表に鉄および他のセラミックより構成したものの特
性を示したが、セラミックは、ヤング率が大きく比重は
小さい。即ちセラミックは軽くて曲がりにくいため、表
面粗さ測定機のアームを形成した場合、真直性、剛性を
保ったまま細長くすることができ、極細穴や長穴などの
内側面の測定も可能となる。
性を示したが、セラミックは、ヤング率が大きく比重は
小さい。即ちセラミックは軽くて曲がりにくいため、表
面粗さ測定機のアームを形成した場合、真直性、剛性を
保ったまま細長くすることができ、極細穴や長穴などの
内側面の測定も可能となる。
第２表
また、第２表より、セラミックは振動減衰率が大きいた
め、セラミックによりアームを形成した場合、外部のわ
ずかな振動を伝えにり＜、高倍率の測定を行っても誤差
が生じにくい。従来のステンレス製アームの場合は縦方
向に１０万倍の測定が限界で、これ以上の倍率にすると
誤差が大きかったが、アルミナセラミック製アームの場
合は縦方向に５０万倍の正確な測定を行うことができた
。
め、セラミックによりアームを形成した場合、外部のわ
ずかな振動を伝えにり＜、高倍率の測定を行っても誤差
が生じにくい。従来のステンレス製アームの場合は縦方
向に１０万倍の測定が限界で、これ以上の倍率にすると
誤差が大きかったが、アルミナセラミック製アームの場
合は縦方向に５０万倍の正確な測定を行うことができた
。
さらに、アームだけでなくアーム支持部材やその他の部
分もセラミックにより形成すれば、より高倍率の測定が
可能となる。
分もセラミックにより形成すれば、より高倍率の測定が
可能となる。
このようなアームを形成する材質としてはアルミナ以外
にジルコニア、炭化珪素、窒化珪素、サファイアなどの
セラミック材でもよく、これらのうち、特にアルミナ、
サファイヤが好適であった。
にジルコニア、炭化珪素、窒化珪素、サファイアなどの
セラミック材でもよく、これらのうち、特にアルミナ、
サファイヤが好適であった。
また、上記実施例では表面粗さ測定機の細穴用ピックア
ップ部のアームのみを示したが、第３図に示すような一
般用ピツクアップ部のアームのみをセラミックで形成し
ても同様の効果を生しることは言うまでもない。
ップ部のアームのみを示したが、第３図に示すような一
般用ピツクアップ部のアームのみをセラミックで形成し
ても同様の効果を生しることは言うまでもない。
畝上のように、本発明によれば、表面粗さ測定機の少な
くともアームをセラミックにより形成したことによって
、アームを細長く形成することができ、極細穴や長大の
内側面等も測定可能となるだけでなく、周囲からのわず
かな振動も伝えにくいため、高倍率の測定が可能になる
など多くの長所を有した高性能の表面粗さ測定機を提供
できる。
くともアームをセラミックにより形成したことによって
、アームを細長く形成することができ、極細穴や長大の
内側面等も測定可能となるだけでなく、周囲からのわず
かな振動も伝えにくいため、高倍率の測定が可能になる
など多くの長所を有した高性能の表面粗さ測定機を提供
できる。
第１図は本発明実施例に係る表面粗さ測定機のピックア
ップ部の斜視図、第２図は従来の表面粗さ測定機の細穴
用ピックアップ部の斜視図、第３図は従来の表面粗さ測
定機の一般用ピツクアップ部の斜視図である。 １：触針 ２：アーム３：アーム
支持部材
ップ部の斜視図、第２図は従来の表面粗さ測定機の細穴
用ピックアップ部の斜視図、第３図は従来の表面粗さ測
定機の一般用ピツクアップ部の斜視図である。 １：触針 ２：アーム３：アーム
支持部材
Claims (1)
- アーム先端に備えた触針を被測定物体の表面に接触させ
たままスライドさせ、該触針の上下動きによって被測定
物体の表面粗さを測定する表面粗さ測定機において、少
なくとも前記アームをセラミックで形成したことを特徴
とする表面粗さ測定機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26981385A JPS62129702A (ja) | 1985-11-29 | 1985-11-29 | 表面粗さ測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26981385A JPS62129702A (ja) | 1985-11-29 | 1985-11-29 | 表面粗さ測定機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62129702A true JPS62129702A (ja) | 1987-06-12 |
Family
ID=17477527
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26981385A Pending JPS62129702A (ja) | 1985-11-29 | 1985-11-29 | 表面粗さ測定機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62129702A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014089133A (ja) * | 2012-10-31 | 2014-05-15 | Mitsubishi Motors Corp | 表面粗さ測定器用アタッチメント及び表面粗さ測定器 |
| JP2015059793A (ja) * | 2013-09-18 | 2015-03-30 | 株式会社ミツトヨ | 梃子式測定器 |
-
1985
- 1985-11-29 JP JP26981385A patent/JPS62129702A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014089133A (ja) * | 2012-10-31 | 2014-05-15 | Mitsubishi Motors Corp | 表面粗さ測定器用アタッチメント及び表面粗さ測定器 |
| JP2015059793A (ja) * | 2013-09-18 | 2015-03-30 | 株式会社ミツトヨ | 梃子式測定器 |
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