JP2001091206A

JP2001091206A - タッチセンサ

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Publication number: JP2001091206A
Application number: JP27245199A
Authority: JP
Inventors: Akinori Saito; 章憲齋藤; Kazuhiko Hidaka; 和彦日高; Kaoru Matsuki; 薫松木; Nobuhisa Nishioki; 暢久西沖; Kunitoshi Nishimura; 国俊西村
Original assignee: Mitutoyo Corp; Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Current assignee: Mitutoyo Corp; Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Priority date: 1999-09-27
Filing date: 1999-09-27
Publication date: 2001-04-06
Anticipated expiration: 2019-09-27
Also published as: JP3650555B2

Abstract

(57)【要約】【課題】スタイラスの軸方向共振振動を完全に軸方向
成分のみとすることで、微細な表面形状の測定を可能に
するタッチセンサを提供する。【解決手段】スタイラス１は、その軸方向に略対称の
構造である。スタイラス１とスタイラスホルダ５とを連
結する支持部材６〜９のスタイラス側の支持部１０〜１
３は、スタイラスの重心３に対してスタイラスの軸方向
に対称となる複数個所で、更に、その各個所においてス
タイラスの軸４に対称な複数個所である。スタイラスの
軸方向同一個所における各組の支持部材の重心が略前記
軸上に有る。加振手段３１および検出手段３２の少なく
とも一方は、重心３から等距離となる少なくともスタイ
ラス上の２個所に橋渡しされるように設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば、微細形
状測定機や表面粗さ測定機などによって被測定物の微細
な表面形状を測定する場合、あるいは、小穴測定機で穴
の内面形状を測定する場合などに用いられるプローブ用
のタッチセンサに関する。

【０００２】

【背景技術】微細形状測定機や小穴測定機には各種プロ
ーブが使用される。たとえば、小穴測定機用の接触式タ
ッチトリガプローブの１つに、特願平１０−２２０４７
４号（本出願人が出願したもの）で開示される超音波式
のタッチ信号プローブがある。図６に、そのプローブ用
センサの概略を示す。このプローブ用センサ１００は、
図６に示すように、スタイラスホルダ１０１と、このス
タイラスホルダ１０１に２個所の支持部１０２，１０３
で支持されるとともに、先端に被測定物と接触する接触
部１０４を有するスタイラス１０５と、このスタイラス
１０５の２個所の支持部１０２，１０３の中央部を振動
の節として、スタイラス１０５の軸方向の固有振動数に
等しい振動数でスタイラス１０５を加振する加振手段１
０６と、スタイラス１０５の接触部１０４が被測定物に
接触する際に発生する振動状態の変化から、その接触を
検知する検出手段１０７とを含む構造であって、スタイ
ラス１０５の２個所の支持部１０２，１０３の中央部
が、スタイラス１０５の重心と一致するように、しか
も、スタイラス１０５の軸方向振動の節となるようした
ことを特徴としている。なお、図中に示す１０８はカウ
ンタバランス、１０９は支持部１０２，１０３を形成す
る支持部材である。

【０００３】ここで、スタイラス１０５は形状的には軸
方向に略対称の構造を有し、加振手段１０６と検出手段
１０７とを支持部１０２，１０３の近傍に配置してい
る。加振手段１０６により、スタイラス１０５自身は非
接触時には共振状態にあり、スタイラス１０５の先端に
ある接触部１０４が被測定物に接触する際の共振状態の
変化を検出手段１０７により検出し、その接触状態を知
る。これが、スタイラス１０５が振動子と呼ばれる所以
であり、また、スタイラス１０５自身が接触状態を検知
できる機能を有しているのでセンサとも呼ばれる所以で
ある。加振手段１０６と検出手段１０７とは、たとえ
ば、圧電素子で実装される。

【０００４】上記のほかに、微細形状測定機や小穴測定
機に用いられる接触式タッチトリガプローブとして、特
願平１０−２４０３５１号（本出願人が出願したもの）
で開示されるプローブ用センサがある。図７に、そのプ
ローブ用センサの概略を示す。このプローブ用センサ２
００は、図７に示すように、１枚の金属板をエッチング
などでくり抜き、水熱合成法で加振手段２０１および検
出手段２０２をスタイラス２０３の表面に形成（加振手
段２０１の裏側に検出手段２０２が形成される）した構
造である。ここで、２０１Ａは加振手段２０１を構成す
る圧電材料膜、２０１Ｂは加振手段２０１を構成する導
電材料層、２０４はスタイラス２０３の先端にある接触
部、２０５はスタイラスホルダ、２０６，２０７はスタ
イラス２０３の軸方向と直交する方向に設けられてスタ
イラス２０３を支持する支持部、２０８は取り付け用の
孔である。

【０００５】これは、図６で開示されるプローブ用セン
サ１００と同様に、スタイラス２０３がその軸方向に縦
振動の共振を起こすように、加振手段２０１に正弦波の
駆動信号が与えられ、スタイラス２０３の先端にある接
触部２０４が被測定物に接触したときの振動変化を検出
手段２０２で検出することで、被測定物との接触を検知
する原理のセンサである。図６で開示されるプローブ用
センサ１００と比較して、小形化が可能であり、また、
大量生産が可能であることで安価なものとなるという特
徴がある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した２
つのプローブ用センサ１００，２００の大きな違いの１
つは、スタイラスの支持法である。すなわち、図６に示
すプローブ用センサ１００では、スタイラス１０５の支
持部１０２，１０３は、スタイラス１０５の軸方向に沿
った２個所であるが、図７に示すプローブ用センサ２０
０では、スタイラス２０３の支持部２０６，２０７は、
スタイラス２０３の軸に対して直角方向に位置する２個
所である。この違いにより、それぞれ長所、短所が生ず
る。

【０００７】図６で示すプローブ用センサ１００は、高
感度でありながら、外乱振動に強い特徴を有し、小型化
に適した構造である。しかしながら、スタイラス１０５
は片側で支持され、支持部１０２，１０３を形成する支
持部材１０９の重心がスタイラス１０５の軸上にないた
め、スタイラス１０５の曲げ剛性は方向によって異なる
結果となる。すなわち、スタイラス１０５の先端におい
て、スタイラス軸に対して直角方向に様々な方向から力
を加える場合、その方向により曲げの量が異なることに
なる。このため、スタイラス１０５の軸方向に共振振動
をさせる場合、軸方向ばかりでなく、曲げ振動が重畳さ
れることになる。

【０００８】この状態のスタイラス１０５を表面形状測
定機のプローブ用センサとして用いる場合を図８に示
す。同図に示すように、スタイラス１０５の触針部（先
端）は理想的には実線で示すように垂直方向のみの振動
であるが、曲げ振動が重畳されると、点線で示すよう
に、斜めの姿勢で被測定物の表面に接することになる。
従って、被測定物表面との接触点がスタイラス軸の延長
上より外れるため、本来の形状を忠実に表現できない欠
点が生ずる。

【０００９】図７で示すプローブ用センサ２００は、同
様に高感度であることに加えて、図６で示すプローブ用
センサ１００の欠点であった、スタイラス軸に直角方向
から接触する場合の方向による感度の差が顕著に現れな
いという長所がある。しかし、スタイラス２０３を支持
する支持部２０６，２０７がスタイラス２０３の軸方向
に関しては１個所しかないため、本来はスタイラスホル
ダ２０５の作る面と振動子（スタイラス２０３）の作る
面とは一致する筈であるが、僅かな加工誤差や加工歪み
により両者の面がねじれるという欠点がある。この欠点
は、振動子（スタイラス２０３）の大きさが小さいほど
顕著となり、所望の振動を阻害する要因となる。つま
り、センサとしての感度を鈍化させる原因となる。

【００１０】また、仮に、このような問題が解決された
場合でも、この支持法では測定の誤差を発生しかねない
という問題が残る。なぜならば、支持部２０６，２０７
がスタイラス２０３の軸方向に関して１個所であるた
め、被測定物の外力によりスタイラス２０３が支持部２
０６，２０７を支点として図中の矢印の方向に回転運動
を起こし易く、これがために、図８に示すように、走査
方向に依存してスタイラス先端に作用する摩擦力によ
り、スタイラス２０３の先端があるべき位置から位置ず
れを起こしてしまうからである。

【００１１】本発明の目的は、かかる事情に鑑みてなさ
れたものであって、スタイラスの軸方向共振振動を完全
に軸方向成分のみとすることで、微細な表面形状の測定
を実現可能とするタッチセンサを提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明のタッチセンサは、スタイラスホルダと、こ
のスタイラスホルダに支持されるスタイラスと、前記ス
タイラスを軸方向に共振状態で振動させるための加振手
段と、前記スタイラスの先端部が被測定物に接触する際
に生ずる前記共振状態の変化から前記接触を検出する検
出手段とを含むタッチセンサにおいて、前記スタイラス
は、その軸方向に略対称の構造であり、前記スタイラス
と前記スタイラスホルダとを連結する支持部材のスタイ
ラス側の支持部は、前記スタイラスの重心に対して前記
スタイラスの軸方向に対称となる複数個所で、更に、そ
の各個所において前記スタイラスの軸に対称な複数個所
であり、前記スタイラスの軸方向同一個所における各組
の支持部材の重心が略前記軸上に有ることを特徴とす
る。

【００１３】ここで、上述した本発明のタッチセンサの
構成を、図１を参照して説明する。図中、１はスタイラ
ス、２はスタイラス１の先端に設けられる接触部、３は
スタイラス重心、４はスタイラス軸、５はスタイラスホ
ルダ、６，７，８，９は支持部材を構成するスタイラス
支持部材、１０，１１，１２，１３は支持部を構成する
スタイラス支持部である。本発明では、支持部は、スタ
イラス１の重心３に対してスタイラス１の軸方向に対称
となる複数個所で、更に、その各個所においてスタイラ
ス１の軸４に対称な複数個所（たとえば、２個所）であ
り、この構成に従って、図１に示すように、スタイラス
１をたとえば４点で支持するようにしたことを特徴とし
ている。

【００１４】すなわち、図６に示すプローブ用センサ１
００の場合、スタイラス１０５の支持は、スタイラス１
０５の軸方向に沿った２個所であり、図７に示すプロー
ブ用センサ２００の場合、スタイラス２０３の支持は、
スタイラス２０３の軸方向に直交する方向の２個所であ
るのに対して、本発明では、スタイラス１をたとえば４
点で支持するようにしたことを特徴としている。

【００１５】本発明では、図１に示すように、スタイラ
ス１をその軸方向に複数個所で支持することにより、ス
タイラス１の先端に設けられる接触部２の位置決めを確
固たるものとし、また、その各個所で、スタイラス１の
軸方向と直交する方向に複数個所、たとえば、２個所で
スタイラス１を支持することにより、スタイラス軸方向
と直交する方向への横ぶれ振動が無視できるほど微小な
ものとすることを実現している。

【００１６】本発明においても、振動形態がスタイラス
の重心からスタイラス軸方向に対称な振動モードとなる
軸方向振動であり、これから、前記支持部材をスタイラ
ス軸に対して軸対称構造とすることで、前記支持部の中
心がスタイラスの軸方向振動の節と一致し、かつ、スタ
イラスの重心と一致するように構成することが好まし
い。更に、この効果を確かなものとするために、スタイ
ラスホルダをスタイラス軸に対して軸対称構造とするこ
とが好ましい。

【００１７】また、この効果をより確かなものとすると
ために、スタイラスを支持する全ての支持部を軸方向に
平均した位置がスタイラスの振動の節に略一致するよう
に設定されていることが好ましい。更に、スタイラスの
振動の節が１つ以上ある場合に、少なくとも１組の支持
部の軸方向位置をスタイラスの振動の節に略一致させる
ことにより、更に確実なスタイラスの支持が可能とな
る。また、前記加振手段および前記検出手段の少なくと
も一方は、前記重心から等距離となる少なくとも前記ス
タイラス上の２個所に橋渡しされるように設ける構造と
することによって、スタイラスをコンパクトにまとめる
ことができる。

【００１８】また、前記加振手段および前記検出手段を
一体の素子に形成し、この素子を、前記重心を境に前記
スタイラスの軸方向に前記加振手段、前記検出手段とな
るようにして、前記スタイラスの軸に沿った平面の表裏
もしくは前記平面と直交する２個所に配置することが好
ましい。このようにすると、スタイラスの重心に振動の
節を形成することができるとともに、加振手段および検
出手段のスタイラスへの取り付けも容易で、かつ、全体
として小型化できる。

【００１９】また、スタイラスの振動を妨げないように
するために、前記支持部材のスタイラス軸方向の曲げ剛
性がスタイラスの軸方向の剛性よりも低いように構成す
ることが好ましい。また、タッチセンサを構成する、前
記スタイラス、前記スタイラスホルダおよび前記支持部
材は、一体的に生成もしくは加工されていることが好ま
しい。このようにすれば、スタイラスホルダに対する取
付強度が強固なものとなることから、多少の外力が加わ
っても変形の心配がなく、安定した測定が可能になるう
え、ワイヤーカットや精密ロストワックスや電着メッキ
等の手段により一体化した製作が可能となることから、
安価で安定した特性のものを提供できる。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
について、添付図面を参照して詳細に説明する。図２
に、本実施形態にかかるタッチセンサを示す。同図に示
すように、スタイラスホルダ５は取付部５０と固定部５
１とを持つ。取付部５０には、スタイラス１との連結を
実現するための４つのスタイラス支持部材６，７，８，
９が設けられ、一方、固定部５１には、図示しない測定
器本体等に固定するためのねじ穴等（図示せず）が設け
られている。

【００２１】スタイラス１の一端には、被測定物と接触
する接触部２が設けられ、スタイラス１の他端には、カ
ウンタバランス２０が必要に応じて設けられている。こ
のスタイラス１は、概ね同一断面形状からなる柱状体で
あり、その重心位置３は、略スタイラス１の軸方向の中
心であり、かつ、スタイラス軸４上にある。つまり、ス
タイラス１は、軸方向に略対称な構造である。

【００２２】ちなみに、スタイラス１を小穴測定機のプ
ローブ用センサとして用いる場合には、接触部２は球形
あるいは円盤状の形状となり、表面粗さ計のプローブ用
センサとして用いる場合には、図２に示すように、接触
部２はその先端が尖った触針形状となる。また、カウン
タバランス２０は接触部２と同一形状でもよいが、重量
が同一の角形などの別形状でもよいし、その重量がスタ
イラス重量に比較して無視できる場合には省略すること
も可能である。

【００２３】スタイラス１には、４個所のスタイラス支
持部１０，１１，１２，１３が形成され、この部分でス
タイラス支持部材６，７，８，９と連結することで、ス
タイラスホルダ５と連結する。スタイラス支持部１０，
１１のスタイラス重心３からの距離は、スタイラス支持
部１２，１３のスタイラス重心３からの距離と一致して
いる。つまり、スタイラス支持部１０，１１とスタイラ
ス支持部１２，１３とは、スタイラス１の重心３に対し
てスタイラス１の軸方向に対称となる位置、具体的に
は、スタイラス１の重心３からスタイラス１の軸方向に
等距離となる個所に設けられている。そして、スタイラ
ス支持部１０とスタイラス支持部１１とは、スタイラス
軸４に対して軸対称の位置に設けられ、また、スタイラ
ス支持部１２とスタイラス支持部１３とは、スタイラス
軸４に対して軸対称の位置に設けられる。

【００２４】すなわち、４個所のスタイラス支持部１
０，１１，１２，１３は、スタイラス１の重心（中心）
３に対して対称の位置に設けられ、かつ、スタイラス軸
４に対して軸対称の位置に設けられているこれらのスタ
イラス支持部１０，１１，１２，１３には、スタイラス
ホルダ５の取付部５０から突出するスタイラス支持部材
６，７，８，９が連結されており、スタイラス支持部材
６とスタイラス支持部材７との組の重心がスタイラス軸
４上にあるとともに、スタイラス支持部材８とスタイラ
ス支持部材９との組の重心がスタイラス軸４上にあるよ
うに、これらのスタイラス支持部材６，７，８，９はス
タイラス軸対称に設けられている。

【００２５】更に、スタイラス支持部材６，７，８，９
のスタイラス軸方向の曲げ剛性がスタイラス１の軸方向
の剛性よりも低くなるように、スタイラス支持部材６，
７，８，９の腕が細くなるように形成されている。これ
は、スタイラス支持部材６，７，８，９の曲げの剛性が
スタイラス１の軸方向の振動を妨げないようにするため
である。

【００２６】一方、加振手段３１および検出手段３２は
一体の圧電素子３０に形成され、そして、スタイラス１
の重心３を境にして、スタイラス１の軸方向に、たとえ
ば加振手段３１がカウンタバランス２０の側に配置さ
れ、たとえば検出手段３２が接触部２の側に配置される
という形で並んで配列されるように形成される。このよ
うにして形成される圧電素子３０は、スタイラス１の重
心３から等距離に設けられる２個所の支持部１４，１５
に、それらの中間にある窪み部分１６を跨ぐような形
で、接着や半田付けなどの手段により固着される。

【００２７】同様にして、スタイラス１の裏面にも、ス
タイラス軸４が対称軸となるように同一形状の圧電素子
３０が固着される。スタイラス１の中央部分が若干薄く
削られることより形成される窪み部分１６が設けられる
ことで、圧電素子３０との固定部分がその両端になるよ
うにと工夫されているが、これは圧電素子３０を橋渡し
するための一手段に過ぎず、他の手段を用いることも可
能である。たとえば、圧電素子３０の両端にのみ接着剤
を塗布し、スタイラス１に圧電素子３０を押し付けて接
着を行うようにすれば、スタイラス１の中央部分を薄く
削らなくても固定部分が両端のみとなることで、この橋
渡しを実現できる。

【００２８】圧電素子３０の表面の電極は駆動電極と検
出電極とに２分割されているが、接着面となる裏面は共
通電極として１つの電極構造となっている。そして、駆
動電極に駆動電圧を印加するためのリード線を設け、ま
た、検出電極に検出信号を取り出すためのリード線を設
けることで、それぞれ加振手段３１、検出手段３２が構
成される。

【００２９】この実施形態においては、加振手段３１に
よりスタイラス１は軸方向に振動させられ、その振動の
節はスタイラス１の重心３の位置に略一致する。また、
４個所のスタイラス支持部１０，１１，１２，１３のそ
れぞれの位置を軸方向に平均した位置はスタイラス１の
重心３、すなわち、振動の節に略一致することになる。

【００３０】このように構成されるタッチセンサでは、
スタイラス１をその軸方向に複数箇所（２個所）で支持
することにより、スタイラス１の先端に設けられる接触
部２の位置決めを確固たるものとし、また、その各個所
で、スタイラス１の軸方向と直交する方向に、たとえ
ば、２個所でスタイラス１を支持することにより、スタ
イラス軸方向と直交する方向への横ぶれ振動が無視でき
るほど微小なものとすることができる。

【００３１】その結果、本実施形態のタッチセンサによ
れば、スタイラス１の軸方向共振振動が完全に軸方向成
分のみとなり、微細な表面形状の測定を実現できるよう
になる。

【００３２】上述した図２のセンサでは、スタイラス１
とスタイラスホルダ５とを連結するスタイラス支持部材
６〜９のスタイラス１側の支持部１０〜１３が、スタイ
ラス１の重心３に対してスタイラス１の軸方向に対称と
なる各個所において、スタイラス１の軸４に対称な２個
所であったが、スタイラス１の重心３に対してスタイラ
ス１の軸方向に対称となる各個所において、スタイラス
１の軸４に対称な３個所以上であってもよい。

【００３３】また、図２においては、スタイラス１の軸
方向２個所において左右から、計４個所を支持する例を
示したが、スタイラス１の重心３位置を含む軸方向の奇
数個所で支持する構造とすることもできる。図３は、そ
の例を示すタッチセンサの側方断面図である。このセン
サでは、図２に対して、スタイラス１の重心３（振動の
節にあたる）の両側（左右）に支持部１７，１８が追加
されている。振動の節においては、振動変位が少ないた
め、この支持部１７，１８の部材には他の支持個所より
剛性の高い支持部材を用いることができる。このような
支持構造とすることによって、更に支持の安定度を高め
ることができる。

【００３４】また、図２のセンサ構造では、スタイラス
軸４に対して完全対称な構造となっているが、本発明は
これに限定されるものではなく、たとえば、図４に示す
ように、測定機本体のアーム４０との装着法によっては
様々なスタイラスホルダ５の形状が考えられる。

【００３５】また、圧電素子３０に一体形成される加振
手段３１および検出手段３２の配置についても、図２や
図４に示す実施形態に限定されるものではなく、たとえ
ば、図５に示すように、加振手段３１と検出手段３２と
をスタイラス１の軸方向に平行に配置する形で設けるよ
うにしてもよい。

【００３６】また、圧電素子３０の装着位置について
も、図２や図４に示す実施形態のように、スタイラス１
の軸に沿った平面の表裏に配置する場合に限らず、たと
えば、図５に示すように、前記平面（スタイラス１の軸
に沿った平面）と直交する２個所、具体的には、スタイ
ラス１の側面に装着するようにしてもよい。

【００３７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のタッチセ
ンサによれば、完全な軸対称構造を有していることか
ら、スタイラスの軸方向共振振動は完全に軸方向成分の
みとなるので、微細な表面形状の測定が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の模式図である。

【図２】本発明の一実施形態にかかるタッチセンサの斜
視図である。

【図３】本発明の他の実施形態にかかるタッチセンサの
側方断面図である。

【図４】本発明の他の実施形態にかかるタッチセンサの
斜視図である。

【図５】本発明の他の実施形態にかかるタッチセンサの
斜視図である。

【図６】先に出願したプローブ用センサの斜視図であ
る。

【図７】先に出願したプローブ用センサの斜視図であ
る。

【図８】本発明が解決すべき問題点の説明図である。

【符号の説明】

１スタイラス２接触部３スタイラス重心４スタイラス軸５スタイラスホルダ６〜９スタイラス支持部材１０〜１３スタイラス支持部１７，１８スタイラス支持部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者松木薫茨城県つくば市上横場430−１株式会社ミツトヨ内 (72)発明者西沖暢久茨城県つくば市上横場430−１株式会社ミツトヨ内 (72)発明者西村国俊茨城県つくば市上横場430−１株式会社ミツトヨ内Ｆターム(参考） 2F063 AA41 DA02 EB02 EB05 EB15 EB23 2F069 AA61 GG01 GG51 GG52 HH01 LL03 LL06

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】スタイラスホルダと、このスタイラスホ
ルダに支持されるスタイラスと、前記スタイラスを軸方
向に共振状態で振動させるための加振手段と、前記スタ
イラスの先端部が被測定物に接触する際に生ずる前記共
振状態の変化から前記接触を検出する検出手段とを含む
タッチセンサにおいて、前記スタイラスは、その軸方向に略対称の構造であり、前記スタイラスと前記スタイラスホルダとを連結する支
持部材のスタイラス側の支持部は、前記スタイラスの重
心に対して前記スタイラスの軸方向に対称となる複数個
所で、更に、その各個所において前記スタイラスの軸に
対称な複数個所であり、前記スタイラスの軸方向同一個所における各組の支持部
材の重心が略前記軸上に有る、ことを特徴とするタッチセンサ。
【請求項２】請求項１に記載のタッチセンサにおい
て、前記各組の支持部材は、前記スタイラスの軸に対して軸
対称構造に配置されていることを特徴とするタッチセン
サ。
【請求項３】請求項１または請求項２に記載のタッチ
センサにおいて、前記スタイラスホルダは、前記スタイラスの軸に対して
軸対称構造に形成されていることを特徴とするタッチセ
ンサ。
【請求項４】請求項１に記載のタッチセンサにおい
て、前記全ての支持部の位置を軸方向に平均した位置が前記
スタイラスの振動の節に略一致するように設定されてい
ることを特徴とするタッチセンサ。
【請求項５】請求項１に記載のタッチセンサにおい
て、前記少なくとも１組の支持部の位置が前記スタイラスの
振動の節に略一致するように設定されていることを特徴
とするタッチセンサ。
【請求項６】請求項１に記載のタッチセンサにおい
て、前記加振手段および前記検出手段の少なくとも一方は、
前記重心から等距離となる少なくとも前記スタイラス上
の２個所に橋渡しされるように設けられていることを特
徴とするタッチセンサ。
【請求項７】請求項６に記載のタッチセンサにおい
て、前記加振手段および前記検出手段は一体の素子に形成さ
れ、この素子は、前記重心を境に前記スタイラスの軸方向に
前記加振手段、前記検出手段となるようにして、前記ス
タイラスの軸に沿った平面の表裏もしくは前記平面と直
交する２個所に配置されていることを特徴とするタッチ
センサ。
【請求項８】請求項１に記載のタッチセンサにおい
て、前記支持部材の前記軸方向の曲げ剛性が前記スタイラス
の軸方向の剛性よりも低いことを特徴とするタッチセン
サ。
【請求項９】請求項１に記載のタッチセンサにおい
て、前記スタイラス、前記スタイラスホルダおよび前記支持
部材は、一体的に生成もしくは加工されていることを特
徴とするタッチセンサ。