JP2009536337A - 接触感知プローブ - Google Patents
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Abstract
Description
図1、5を参照すると、本発明のプローブ2が示されている。
プローブ2は、座標位置決め機への装着に適したプローブ本体4を備える。本実施例において、プローブ2は、携帯型連接測定アームへの装着に適した手動走査プローブである。プローブ2は、解放可能に取り付け可能なスタイラス6、および駆動回路10によって駆動される圧電スタック(piezo−electric stack)8の形の変換器を備える。この構成によってスタイラス6が必要振動数で長手方向に振動することができるようになる。
Claims (13)
- プローブ本体と、
前記プローブ本体内に装着される物体接触スタイラスと、
前記スタイラスを振動させるように前記スタイラスに機械的に結合される変換器と、
前記スタイラスの振動を前記プローブ本体から機械的に隔離する手段と、
を備える接触感知プローブであって、
前記スタイラスを隔離する手段が、マス、および前記プローブ本体と前記スタイラスの間に連続して連結される少なくとも1つのコンプライアント部材を備え、前記マスは、前記スタイラスと前記コンプライアント部材の間に連結されることを特徴とする接触感知プローブ。 - 前記スタイラスを隔離する手段は、機械的な低域通過フィルタを形成することを特徴とする請求項1に記載の接触感知プローブ。
- 前記変換器は、前記マスと前記スタイラスの間に装着されることを特徴とする請求項1または2に記載の接触感知プローブ。
- 前記コンプライアント部材は、スプリングを備えることを特徴とする前記請求項のいずれか一項に記載の接触感知プローブ。
- 前記コンプライアント部材は、可撓性ダイヤフラムを備えることを特徴とする請求項1から4までのいずれか一項に記載の接触感知プローブ。
- 前記スタイラスと前記プローブ本体の間に連結された2つの可撓性ダイヤフラムがあることを特徴とする請求項5に記載の接触感知プローブ。
- 前記スタイラスの物体接触先端は、そこに取り付けられる追加のマスを有することを特徴とする前記請求項のいずれか一項に記載の接触感知プローブ。
- 前記変換器は、1つまたは複数の圧電素子を備えることを特徴とする前記請求項のいずれか一項に記載の接触感知プローブ。
- 前記変換器は、前記スタイラスを長手方向に振動させることを特徴とする前記請求項のいずれか一項に記載の接触感知プローブ。
- 前記スタイラスを隔離する手段は、前記長手方向を横切る方向において堅いことを特徴とする請求項9に記載の接触感知プローブ。
- 前記請求項のいずれか一項に記載の接触感知プローブを組み込んでいることを特徴とする座標位置決め機。
- 座標位置決め機内に装着された接触感知プローブを使用して工作物表面を走査する方法であって、
前記プローブは、プローブ本体と、長手方向軸を有する物体接触スタイラスと、前記プローブ本体内の前記スタイラス用の装着物と、前記スタイラスを前記長手方向に振動させるために前記スタイラスに機械的に結合された変換器とを備え、前記装着物は、前記長手方向軸を横切る方向において堅く、
前記方法が、
前記工作物表面と前記スタイラスを横方向に接触させること、
前記工作物表面と前記スタイラスの間の接触を横方向に維持しながら、前記表面を走査すること、
前記スタイラスの振動から、前記走査中に接触が引き続き維持されていることを検出すること、および
前記検出ステップで決定されたとおりに前記接触が引き続き維持されている間、前記座標位置決め機に前記工作物表面の一連の連続座標読み取りをおこなわせること
を含むことを特徴とする方法。 - 前記装着物は、前記長手方向軸を横切る2つの直交する前記方向において堅いことを特徴とする請求項12に記載の方法。
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