JP4357291B2 - サイドエントリ型試料移動機構を備えた荷電粒子線装置 - Google Patents
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(1) 試料ステージの固有振動の腹又は腹の近傍に接触体を設け、試料ステージと摩擦させることによって減衰比を高め、共振時の振幅を低減させる。
(2) 試料ステージの球体9より試料側の部分の材料を、密度が小さく剛性の高い材料とし、固有振動数を予想される外乱の振動数よりも高くして、固有振動数が外乱の振動数とオーバラップしないようにする。
(1) 試料ステージの固有振動の腹の近傍に接触体を設け、試料ステージと摩擦させることによって試料戴置端の振幅を抑制し、高い解像度あるいは高い加工精度が得られるようになる。
(2) 球体9から試料側の部分の密度を小さく剛性を高くすることにより、外部振動による共振が起こりにくくなり、試料載置端の振動が抑制されて高い解像度あるいは高い加工精度が得られるようになる。
f=(1.875/L)2(EI/ρA)1/2 /(2π) …(1)
但し、
L:長さ
d:直径
E:ヤング率
ρ:密度
I:断面2次モーメント(=πd4 /64)
A:断面積(=π・d2/4)
Claims (7)
- 一部が回転自在に支持されて試料載置端が首振運動する試料微動手段と、
一端が前記試料微動手段の試料載置端に対してピボット運動可能に支持され他端が固定端に対してピボット運動可能に支持されたロッドと
を含む試料移動機構を備える荷電粒子線装置において、
前記試料微動手段の一部に接触して摩擦減衰を生じさせ、前記試料微動手段の減衰比を高める接触体を具備し、
前記接触体は、前記試料微動手段の軸を中心とするリング形状であり、前記試料微動手段の固有振動の腹あるいはその近くに位置し、
前記接触体の接触面の形状は、前記試料微動手段の首振運動の支点を中心とする球面の一部に一致する
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線装置において、前記接触体の接触面は樹脂であることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1又は2記載の荷電粒子線装置において、前記接触体の接触面に粘性を持つグリースが塗布されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1〜3のいずれか1項記載の荷電粒子線装置において、前記接触体は前記試料微動手段を支持する支持系に対して摺動可能であり、前記接触体は前記試料微動手段に固定された2つの受けに挟まれていることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1〜4のいずれか1項記載の荷電粒子線装置において、前記接触体あるいは前記接触体の受けの少なくとも一つがバネによって前記接触面に向かって押圧されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1〜5のいずれか1項記載の荷電粒子線装置において、前記試料微動手段の首振運動の支点から試料側の構造材は、導電性セラミックスまたはその表面に導電膜を有するセラミックスであり、前記首振運動の支点から試料側の部分の固有振動数が少なくとも1200Hzより大きいことを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項6記載の荷電粒子線装置において、前記導電性セラミックスはSiCであることを特徴とする荷電粒子線装置。
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