JPS62128312U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62128312U JPS62128312U JP1644986U JP1644986U JPS62128312U JP S62128312 U JPS62128312 U JP S62128312U JP 1644986 U JP1644986 U JP 1644986U JP 1644986 U JP1644986 U JP 1644986U JP S62128312 U JPS62128312 U JP S62128312U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- measuring device
- semiconductor laser
- dimension measuring
- light source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は、本考案に係る走査型光学式寸法測定
装置の実施例の要部構成を示す斜視図、第２図は
、従来の走査型光学式寸法測定装置の全体構成の
例を示す、一部ブロツク線図を含む正面図、第３
図は、従来の装置で用いられている半導体レーザ
ユニツトの構成を示すブロツク線図、第４図は、
前記半導体レーザユニツトにおける、レーザダイ
オードとフオトダイオードの配置の例を示す斜視
図、第５図及び第６図は、本考案の原理を説明す
るための、モニタ用受光器と計測用受光器の出力
の関係の例を示す線図、第７図は、本考案の実施
例における、モニタ用受光器出力と計測用受光器
出力の関係の例を示す線図である。 １６……ポリゴン、１８……コリメータレンズ
、２２……集光レンズ、２４……測定対象物、２
６……計測用受光器、５１……温度補償装置、Ｌ
Ｄ……レーザダイオード、ＰＤ……フオトダイオ
ード（モニタ用）、５２……フイードバツク回路
、５４……出力調整回路、６０……遮蔽板、６０
Ａ……ピンホール。
装置の実施例の要部構成を示す斜視図、第２図は
、従来の走査型光学式寸法測定装置の全体構成の
例を示す、一部ブロツク線図を含む正面図、第３
図は、従来の装置で用いられている半導体レーザ
ユニツトの構成を示すブロツク線図、第４図は、
前記半導体レーザユニツトにおける、レーザダイ
オードとフオトダイオードの配置の例を示す斜視
図、第５図及び第６図は、本考案の原理を説明す
るための、モニタ用受光器と計測用受光器の出力
の関係の例を示す線図、第７図は、本考案の実施
例における、モニタ用受光器出力と計測用受光器
出力の関係の例を示す線図である。 １６……ポリゴン、１８……コリメータレンズ
、２２……集光レンズ、２４……測定対象物、２
６……計測用受光器、５１……温度補償装置、Ｌ
Ｄ……レーザダイオード、ＰＤ……フオトダイオ
ード（モニタ用）、５２……フイードバツク回路
、５４……出力調整回路、６０……遮蔽板、６０
Ａ……ピンホール。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 半導体レーザ光源からのレーザビームを平
行走査光ビームに変換する平行走査光ビーム発生
手段と、走査範囲内に配置された測定対象物を通
過した平行走査光ビームを受けて、その明暗に相
応した電気信号に変換する光電変換器と、該電気
信号を処理して測定対象物の寸法や形状に関する
測定値を求める電子回路とを含んで形成された走
査型光学式寸法測定装置において、 前記半導体レーザ光源に、前記平行走査光ビー
ムが測定対象物を走査した時に生ずる反射光が、
該半導体レーザ光源のモニタ用受光器に入射する
のを阻止する手段を設けたことを特徴とする走査
型光学式寸法測定装置。 (2) 前記反射光入射阻止手段を、ピンホール付
遮蔽板として実用新案登録請求の範囲第１項記載
の走査型光学式寸法測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1644986U JPS62128312U (ja) | 1986-02-07 | 1986-02-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1644986U JPS62128312U (ja) | 1986-02-07 | 1986-02-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62128312U true JPS62128312U (ja) | 1987-08-14 |
Family
ID=30808313
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1644986U Pending JPS62128312U (ja) | 1986-02-07 | 1986-02-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62128312U (ja) |
-
1986
- 1986-02-07 JP JP1644986U patent/JPS62128312U/ja active Pending
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