JPH0248809U - - Google Patents

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JPH0248809U
JPH0248809U JP12847088U JP12847088U JPH0248809U JP H0248809 U JPH0248809 U JP H0248809U JP 12847088 U JP12847088 U JP 12847088U JP 12847088 U JP12847088 U JP 12847088U JP H0248809 U JPH0248809 U JP H0248809U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、本考案に係る格子干渉型変位検出装
置の基本的な構成を示す断面図、第２図は、本考
案の第１実施例の構成を示す断面図、第３図は、
第１実施例の各部動作波形を示す線図、第４図は
、本考案の第２実施例の構成を示す断面図、第５
図は、従来の格子干渉型変位検出装置の一例の構
成を示す断面図、第６図は、出願人が実願昭６３
―６５８７で提案した格子干渉型変位検出装置の
構成を示す断面図、第７図は、第６図の装置の各
部動作波形を示す線図である。 １０…スケール、Ａ，Ｂ，Ｃ…回折点、１４…
レーザビーム、２２Ｂ，２２Ｃ，４４Ａ，４４Ｂ
…受光素子、３１…レーザダイオード、４５Ａ，
４５Ｂ，５２Ａ，５２Ｂ…プリアンプ、４６…加
算器、５０…レーザドライバ、５４Ａ，５４Ｂ…
アンプ、６０…フオトダイオード、７０，７８Ａ
，７８Ｂ…ハーフミラー、９２Ａ，９２Ｂ…ミラ
ー、ａ，ｂ…入射ビーム。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 回折格子が形成されたスケールと、 前記回折格子に光束を照射する光源、及び、前
    記回折格子によつて生成された複数の光束の混合
    波を光電変換する受光素子を含む検出器とを備え
    、 前記スケールと検出器の相対変位に応じて、周
    期的に変化する検出信号を生成する格子干渉型変
    位検出装置において、 前記光源からの光束を２分して前記回折格子上
    の回折点に入射する光学要素と、 前記回折点で生成された光束の一部を抽出する
    光学要素と、 該抽出された光束を光電変換して参照信号を得
    る受光素子と、 該参照信号のレベルが一定となるように前記光
    源の出力を制御する回路と、 を備えたことを特徴とする格子干渉型変位検出
    装置。 (2) 請求項１において、前記光源の絶対出力を
    監視するための受光素子を備え、該受光素子の出
    力レベルにより、前記光源の絶対出力が設定値以
    上にならないように前記光源出力制御回路の作動
    を制限したことを特徴とする格子干渉型変位検出
    装置。
JP12847088U 1988-09-30 1988-09-30 格子干渉型変位検出装置 Expired - Lifetime JPH062085Y2 (ja)

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JP12847088U JPH062085Y2 (ja) 1988-09-30 1988-09-30 格子干渉型変位検出装置

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JP12847088U JPH062085Y2 (ja) 1988-09-30 1988-09-30 格子干渉型変位検出装置

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JPH0248809U true JPH0248809U (ja) 1990-04-04
JPH062085Y2 JPH062085Y2 (ja) 1994-01-19

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JP12847088U Expired - Lifetime JPH062085Y2 (ja) 1988-09-30 1988-09-30 格子干渉型変位検出装置

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JPH062085Y2 (ja) 1994-01-19

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