JPH01112416U - - Google Patents

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JPH01112416U
JPH01112416U JP658788U JP658788U JPH01112416U JP H01112416 U JPH01112416 U JP H01112416U JP 658788 U JP658788 U JP 658788U JP 658788 U JP658788 U JP 658788U JP H01112416 U JPH01112416 U JP H01112416U
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diffraction
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、本考案に係る格子干渉型変位検出装
置の第１実施例の構成を示す断面図、第２図は、
同じく第２実施例の構成を示す断面図、第３図は
、従来の格子干渉型変位検出装置の一例の構成を
示す断面図である。 １０……スケール、Ａ，Ｂ，Ｃ……回折点、１
４……レーザビーム、２２Ｂ，２２Ｃ，４４Ａ，
４４Ｂ……受光素子、３１……光源、４２Ａ，４
２Ｂ，６２Ａ，６２Ｂ……偏光子、４５……加算
器、４６Ａ，４６Ｂ……差演算器、６０，６８Ａ
，６８Ｂ……ハーフミラー、６２Ａ，６２Ｂ……
ミラー、ａ，ｂ……入射ビーム。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 回折格子が形成されたスケールと、 前記回折格子に光束を照射する光源、及び、前
    記回折格子によつて生成された複数の光束の混合
    波を光電変換する受光素子を含む検出器とを備え
    、 前記スケールと検出器の相対変位に応じて、周
    期的に変化する検出信号を生成する格子干渉型変
    位検出装置において、 前記光源からの光束を２分して前記回折格子上
    の異なる回折点に入射する光学要素と、 前記異なる回折点で生成された光束の一部を抽
    出する光学要素と、 該抽出された光束を光電変換して参照信号を得
    る受光素子と、 該参照信号で前記検出信号のレベル変動の補償
    を行う回路とを備えたことを特徴とする格子干渉
    型変位検出装置。 (2) 回折格子が形成されたスケールと、 前記回折格子に光束を照射する光源、及び、前
    記回折格子によつて生成された複数の光束の混合
    波を光電変換する受光素子を含む検出器とを備え
    、 前記スケールと検出器の相対変位に応じて、周
    期的に変化する検出信号を生成する格子干渉型変
    位検出装置において、 前記光源からの光束を２分する光学要素と、 該２分された光束をそれぞれ前記回折格子上の
    同一の回折点に入射させる光学要素と、 前記回折格子で生成された回折光の一部を分離
    する光学要素と、 該分離された回折光を光電変換して参照信号を
    得る受光素子と、 該参照信号で前記検出信号のレベル変動の補償
    を行う回路とを備えたことを特徴とする格子干渉
    型変位検出装置。
JP1988006587U 1988-01-21 1988-01-21 格子干渉型変位検出装置 Expired - Lifetime JPH0620969Y2 (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009252990A (ja) * 2008-04-04 2009-10-29 Nikon Corp 露光方法及びデバイス製造方法、並びに露光装置
JP2014102260A (ja) * 2014-03-12 2014-06-05 Taiyo Yuden Co Ltd 変位計測装置及び変位計測方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5939683A (ja) * 1982-08-27 1984-03-05 株式会社日立製作所 吊り具

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5939683A (ja) * 1982-08-27 1984-03-05 株式会社日立製作所 吊り具

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009252990A (ja) * 2008-04-04 2009-10-29 Nikon Corp 露光方法及びデバイス製造方法、並びに露光装置
JP2014102260A (ja) * 2014-03-12 2014-06-05 Taiyo Yuden Co Ltd 変位計測装置及び変位計測方法

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JPH0620969Y2 (ja) 1994-06-01

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