JPS6212509A

JPS6212509A - ウェハ搬送装置

Info

Publication number: JPS6212509A
Application number: JP14386085A
Authority: JP
Inventors: Toshiaki Taniuchi; 谷内　俊明
Original assignee: Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1985-07-02
Filing date: 1985-07-02
Publication date: 1987-01-21
Also published as: JPH0478524B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］この発明は、例えばＬＳＩ用ウェハのような被搬送物を
搬送する搬送装置に関し、さらに詳細には、異サイズの
複数種類の被搬送物を搬送可能な搬送装置に関する。

［従来の技術］例えばウェハの異物検査システムにおいて、ウェハを検
査部へ搬入にしたり、検査部からウェハを搬出したりす
るための搬送装置は、搬送ベルトの両側にガイド板を配
置し、そのガイド板により搬送中のウェハの側面を案内
するようになっている。ガイド板は、ウェハのサイズ別
に複数種類用意されており、搬送すべきウェハのサイズ
に適合したガイド板を搬送ベルトの両側に取り付け、ガ
イド板間隔をウェハのサイズに合わせている。

［解決しようとする問題点］このように、従来は、複数種類のガイド板を用意しなけ
ればならず、その保管や製作のコストなどの面で好まし
くなかった。

またウェハ・サイズの変更の度に、ガイド板を交換しな
ければならないという不便があった。その交換作業にか
なり時間がかかるため、ウェハのサイズがしばしば変更
になるような場合、ガイド板の交換のための動作停止１
〕時間が長いという問題があった。

［発明のに１的］この発明の目的は、部品を交換することなく、複数種類
の異サイズの被搬送物に対応できるようにし、前述のよ
うな問題点を解決した搬送ｇＷを提供することにある。

［問題点を解決するための手段］この目的を達成するために、この発明によれば、搬送装
置は、被搬送物の搬送路の少なくとも片側に、その搬送
路からの距離が異なる複数の案内面が階段状に形成され
た案内部材を備えるともに、その案内部材の搬送路に対
する高さを調整する高さ調節手段を備え、案内部材の高
さ調節により、案内部材の案内面が被搬送物の案内のた
めに選択的に使用されるように構成される。

［作用］案内部材の高さを調節するだけで、異サイズの被搬送物
に容易かつ迅速に対応すことができる。

また、案内部材は複数のサイズに共通に利用されるため
、サイズ別に用意しておく必要がなくなる。

［実施例］以下、図面を参照し、この発明の一実施例につき詳細に
説明する。

第１図は、この発明によるウェハ搬送装置の概略平面図
である。この図において、ウェハの搬送路１０には、１
対の搬送ベル１−１２が設けられており、その両側には
、１対の案内板１４が設けられている。

第２図は第１図の■−■線断面図であり、案内板１４と
、それを高さ調節可能に支持する手段を示している。図
示のように、案内板１４には、搬送路１０からの距離が
異なる３つの案内面１６゜１８．２０が階段状に形成さ
れている。各案内面は、それぞれ異なったサイズのウェ
ハに対応付けられている。すなわち、対向する１対の案
内面１６の間隔Ｌ／が最小サイズのウェハの直径より微
小量だけ大きく、案内面１８の間隔Ｌ２が中サイズのウ
ェハの直径より微小量だけ大きく、下段の案内面２０の
間隔Ｌ３の間隔が最大ウェハの直径よりわずかに大きく
なるように、案内板１４の配置および各案内面の形成位
置が選ばれている（第１図）。

案内板１４に形成された貫通孔２２に、径大頭部２４を
有する詩さ調節ピン２６が挿通し、その下端部分は固定
板２８の貫通孔３０を介してスリーブ３２に挿入せしめ
られている。このスリーブ３２は固定板２８に固着され
ており、その下端には、第３図（第２図のＡ矢視図）に
示すように、深さの異なる複数の溝が形成されている。

３４Ａは最も浅い溝であり、３４Ｂは溝３４Ａよりも案
内面の高さ分だけ深い溝であり、また３４Ｃは溝３４Ｂ
よりも案内面の高さ分だけ深い溝である。

高さ調節ピン２６の下端には、それらの溝に係止する１
対の係止ピン３６が突設されている。

また第４図（第１図のｍＶ−ＩＶ線概略断面図）に示す
ように、各案内板１４には、ガイドピン４２が２本、Ｆ
向きに植設されている。ベース板２８には、ガイドピン
４２が嵌挿されるガイドスリーブ４４が設けられている
。これらガイドピン４２および高さ調節ピン２６には、
案内板１４を押しｔげるための圧縮ばね３８が挿着され
ている。

以上の構成において、高さ調節ピン２６を、その径大頭
部２４を持って押し下げると（案内板１４も、ガイドピ
ン４２およびガイドスリーブ４４に案内されながら、ば
ね３８に抗して下降する）、または案内板１４を直接押
し下げると（高さ調節ピン２６も自重により下降する）
、係止ピン３６がスリーブ３２の溝から脱出するので、
高さ調節ピン２６は回転可能となる。この状態で径大頭
部２４を持って高さ調節ピン２６を所定の角度に回し、
径大頭部２６を放すと、押し上げばねの力により、案内
板１４とともに高さ調節ピン２４が押し上げられ、係止
ピン３６が所望の溝３４に入り係止される。

例えば係止ピン３６を中間の深さの溝３４Ｂに係止させ
た場合、案内板１４は第２図に示す高さに保持される。

この場合、中段の案内面１８が打効となり、搬送ベル）
１２上を搬送されるウェハ４０の側面に案内面１８が対
向する。したがって、両方の案内板１４をこの中間高さ
に調節すれば、中間サイズのウェハを案内面１８で案内
しながら搬送することができる。

高さ調節ピン２６の係止ピン３６を最も浅い溝３４Ａに
係止させると、案内板１４は最も低い位置に保持され、
上段の案内面２０がウェハの側面に対向する位置に来る
。したがって、両方の案内板１４をこの高さに調節すれ
ば、最大のウェハの搬送が可能となる。

係止ピン３６を最も深い溝３４Ｃに係止させれば、案内
板１４は最も高い位置に保持され、下段の案内面１６が
有効となる。最小のウェハを搬送する場合、両方の案内
板１４を、最も高い位置に調節すればよい。

このように、案内板１４の高さを調節するだけで、３種
類の異サイズのウェハの搬送が可能であり、ウェハの種
類変更にも迅速容易に対応できる。

なお、搬送ベルト１２の駆動機構の詳細説明は割愛する
。

ここで、前記実施例においては、搬送路の両側に高さ調
節可能な案内板１４が設けられているが、搬送路の一方
の側に固定の案内部材を設け、他方の側に前記案内板１
４または同様の高さ調整可能な案内部材を設けることも
可能である。

前記実施例の案内板１４には３つの案内面が形成されて
いたが、２つまたは４つ以ｌ―の案内面を形成してもよ
い。

前記案内板１４は一体構造であったが、例えば３枚の幅
の異なる板を重ね合わせて作ることも可能である。

搬送ベルトの代わりに、他の搬送手段を用いることもで
きる。

さらに、傾斜した搬送面に沿って、被搬送物を自重によ
り滑走させて搬送するような搬送装置においても、この
発明を適用できる。その場合、搬送面の片側または両側
に前記案内板１４のような高さ調整可能な案内部材を設
ければよい。

前記の案内板１４の高さ調節手段は、構造が簡易で高さ
調節操作も簡単であるが、これに限定されるものではな
く、適宜変更してもよい。

また、この発明は、ウェハ以外の被搬送物を搬送する搬
送装置にも、同様に適用できることは当然である。

［発明の効果コこの発明は以に説明した通りであるから、案内部材の高
さを調節するだけで、異サイズの被搬送物に容易かつ迅
速に対応すことができるようになり、また、案内部材は
複数サイズに共通に利用されるため、従来のようにサイ
ズ別に何種類も用意する必要がな（なり、その保管や製
作のコストを削減できる、などの効果を得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明による搬送装置の概略平面図、第２
図は第１図■−■線概略断面図、第３図は第２図のＡ矢
視図、第４図は第１図のＩＶ−ＩＶ線概略断面図である
。１０・・・搬送路、１２・・・搬送ベルト、１４・・・
案内板、１６．１８．２０・・・案内面、２６・・・高
さ調節ピン、３２・・・スリーブ、３４Ａ、３４Ｂ、３
４Ｃ・・・溝、３６・・・係止ピン、３８・・・ばね、
４２・・・ガイドピン、４４・・・ガイドスリーブ。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）被搬送物の搬送路の少なくとも片側に、該搬送路
からの距離が異なる複数の案内面が高さ位置を相互にず
らされて設けられた案内部材を備えるとともに、該案内
部材の前記搬送路に対する高さを調整する高さ調節手段
を備え、前記案内部材の高さ調節により、前記案内面が
被搬送物の案内のために選択的に使用されることを特徴
とする搬送装置。