KR0164501B1 - 반도체 웨이퍼 이송장비용 캐리어 가이드 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체소자의 제조공정에서 공정장비와 공정장비 사이에 웨이퍼를 이송하는 이송장비에 관한 것으로 특히 웨이퍼의 이송동작시 캐리어를 일정간격으로 정렬하여 주는 캐리어 가이드에 대한 것이다.

종래의 캐리어 가이드는 캐리어의 변형이나 크기의 오차가 심하면 웨이퍼 캐리어 슬롯의 위치와 캐리어 슬롯의 위치가 틀어지게 되어, 이 상태에서 웨이퍼를 차져로 반송하게 되면 슬롯의 정렬미스로 인하여 웨이퍼가 파손되는 문제점이 있었다.

본 발명은 상술한 문제점들을 극복하기 위한 것으로, 캐리어 가이드의 일측에 유동이 가능하도록 슬라이드 블록을 삽입하고 캐리어가 장착되는 부위에 일측으로 캐리어를 밀착시켜 주는 고정수단을 통하여 캐리어의 유동을 방지하고 캐리어와 캐리어 사이의 간격을 조절하므로서 웨이퍼의 반송시 정렬미스에 의한 웨이퍼의 파손을 방지하도록 하였다.

Description

반도체 웨이퍼 이송장비용 캐리어 가이드

제1도는 본 발명에 따른 캐리어 가이드의 전체적인 구조를 나타낸 분해사시도.

제2도는 제1도의 캐리어 가이드의 조립상태의 동작상태도.

제3a도 및 제3b도는 캐리어 가이드의 간격조절동작 상태도.

제4도는 웨이퍼 이송장치에서 종래의 캐리어 가이드에 의한 캐리어의 정렬 간격과 챠저의 피치와 상관 관계도.

제5도는 종래의 캐리어 가이드의 개략적인 구성도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

110 : 가이드 편 111 : 공간

113 : 장공 114 : 고정나사

120 : 슬라이드 블록 122 : 체결공

130 : 가압부재

본 발명은 반도체소자의 제조공정에서 공정장비와 공정장비 사이에 웨이퍼를 이송하는 이송장비에 관한 것으로 특히 웨이퍼의 이송동작시 캐리어를 일정간격으로 정렬하여 주는 캐리어 가이드에 대한 것이다.

일반적으로 캐리어 가이드는 캐리어에 적재되어 있는 웨이퍼들이 챠저로 정확하게 반송되도록 유도하는 기능을 하게 된다.

제4도는 상기 캐리어에서 차져로 웨이퍼 이송시 캐리어 가이드의 기능을 개략적으로 나타낸 것이다.

10은 챠저(Charger)로 웨이퍼가 삽입되는 복수개의 슬롯(11)이 일정간격(12)을 두고 양측에 형성된 구조를 가지며 캐리어(20)에 장착되어 있는 웨이퍼가 반송될 수 있도록 캐리어 상부에서 동작되는 구조를 가지고 있다.

이러한 구조를 갖는 웨이퍼 이송장비에 있어 상기 캐리어(20)와 캐리어(20) 사이의 간격 b를 상기 챠저(10)의 슬롯(11) 사이의 간격 'a와 일치되도록 캐리어를 정렬하여 주는 것이 캐리어 가이드(Guide;30)이다.

제5도는 상술한 기능을 갖는 종래 캐리어 가이드의 개략적인 평면구성과 이 가이드에 장착된 캐리어의 상호 결합 관계를 나타낸 것이다.

종래의 캐리어 가이드는 캐리어 2개가 동시에 안착될수 있는 각각의 장착홈(31)을 갖는 가이드 편(30)이 서로 대칭되게 배열된 구조를 가지고 있다.

그리고 상기 장착홈(31)과 홈 사이의 간격, 즉 캐리어 사이의 간격 ar가 반송하고자 하는 챠저(11)의 슬롯들 사이의 간격 b과 일치되도록 형성된 구조를 가지고 있다.

상기 캐리어 가이드에 장착되는 캐리어는 그들마다 약간의 크기의 오차(약±0.7㎜)를 가지고 있으며 장시간 장기간 사용하게 되면 형상자체의 변형을 가져오게 된다.

캐리어(20)에 이러한 크기의 오차나 변형이 있을 경우 상기 캐리어 가이드에 장착되면 장착홈과 캐리어 사이에 정확한 정렬이 어렵고 유동이 발생하여 캐리어 사이의 간격이 일정하게 유지되지 못하게 된다.

이러한 상태에서는 웨이퍼 캐리어의 슬롯의 위치와 캐리어 슬롯의 위치가 틀어지게 되어 웨이퍼를 캐리어에서 차져로 반송하게 되면 슬롯의 정렬미스로 인하여 웨이퍼가 파손된다.

이러한 웨이퍼의 파손은 함께 이송되는 동일 배치의 모든 웨이퍼에 영향을 주게 되고 이때 발생하는 파티클은 장비를 오염시켜 공정진행에 막대한 지장을 주는 문제점이 있었다.

본 발명은 상술한 문제점들을 해소하기 위한 것으로, 챠저의 슬롯사이의 간격에 따라 캐리어 사이의 간격의 조절과 캐리어의 유동을 방지할 수 있도록 한 반도체 웨이퍼 이송장비용 캐리어 가이드를 제공하는데 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징으로는 반도체 웨이퍼가 장착된 캐리어를 일정한 간격으로 정렬하여 챠저로 반송하기 위한 캐리어 가이드에 있어서, 캐리어 가이드 양측 편에 상기 캐리어와 캐리어 사이의 간격을 조절되도록 하는 간격조절수단과, 상기 캐리어 가이드에 장착되는 캐리어를 일측으로 밀어 고정되도록 하는 캐리어 고정수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

이를 위하여 상기 간격조절수단은 가이드편의 캐리어가 장착되는 일측 부위에 소정의 공간을 형성하고, 이 공간내에 삽입되어 소정간격 유동되도록 캐리어 가이드에 고정되고 캐리어가 장착되는 홈을 구비한 슬라이드 블록으로 구성한다.

이를 위해서 상기 캐리어 고정수단은 가이드 편에 삽입되는 캐리어 일측에서 상대측으로 밀어 주도록 캐리어 가이드의 일측과 상기 슬라이드 블록의 일측에 가압부재를 설치한다.

상술한 구성을 갖는 본 발명은 캐리어 가이드에 장착되는 캐리어의 유동의 방지와 캐리어와 캐리어 사이의 간격을 조절할 수 있도록 한 것이다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예 및 작용·효과를 첨부된 도면에 따라서 상세히 설명한다.

제2도는 본 발명의 실시예에 따른 캐리어 가이드의 구조와 동작관계를 나타낸 것으로, 캐리어가 장착된 위치에서 유동되지 않도록 가압하는 고정수단과 캐리어와 캐리어 사이의 간격을 조절할 수 있도록 한 간격조절수단을 구비한 것을 특징으로 한다.

이를 위한 본 발명의 구체적인 구성과 동작관계를 설명하면 다음과 같다.

제1도는 본 발명에 따른 캐리어 가이드의 일측 가이드편의 전체적인 구조를 나타낸 분해사시도로, 타측의 가이드편도 도시된 가이드 편과 동일한 구조로 대칭되게 위치한다.

본 발명의 캐리어 가이드는 가이드편(110)과 간격조절수단과 캐리어 고정수단으로 크게 구성된다.

상기 간격조절수단은 가이드편(110)의 일측 캐리어 삽입부에 캐리어 길이 보다 상대적으로 큰 소정크기의 공간(111)을 형성하고, 이 공간에서 삽입 되어 좌우 슬라이드 되는 슬라이드 블록(120)으로 구성한다.

상기 슬라이드 블록(120)은 캐리어가 삽입되는 홈(121)과 상부에 상기 가이드 편(110)에 고정되는 체결공(122)을 가지고 있다.

상기 가이드 편(110)에는 상기 슬라이드 블록(120)이 삽입되어 좌우로 이동되는 체결공(122)의 위치에 장공(113)을 형성하여 상기 슬라이드 블록의 나사(114)를 통하여 가이드 편의 소정의 위치에서 고정될 수 있도록 한다.

상기 캐리어 고정수단은 슬라이드 블록(120)의 일측과 가이드 블록이 삽입되지 않는 캐리어 가이드의 일측에 캐리어(200)를 일측 방향으로 밀어주는 가압부재(130)를 설치한다.

상기 가압부재(130)는 탄성스프링(132)과 이 탄성스프링에 끼워져 일측으로 가압하는 샤프트(132)에 연결된 롤러(133)와, 상기 탄성스프링, 샤프트 및 롤러를 지지하는 고정편(131)으로 구성된다.

제2도는 상술한 구성을 갖는 본 발명의 캐리어 가이드의 조립상태를 개략적으로 나타낸 평면도로, 일측은 캐리어 가이드 편(110)에 직접 캐리어(200)가 안착되고 타측은 상기 슬라이드 블록(120)에 캐리어(200)가 안착되는 구조를 가지고 있다.

이때 캐리어(200)는 각각 일측이 상기 가압부재(130)의 롤러(134)에 접촉되어 탄성스프링(132)에 밀려 중심방향으로 밀착되어 유동되지 않도록 한다.

제2a도 및 제2b도는 상기 캐리어와 캐리어 사이의 간격의 조절동작과정을 나타낸 것이다.

간격 조절과정은 먼저 캐리어 가이드(110)와 슬라이드 블록(120)을 고정하는 나사(114)를 슬라이드 블록(120)이 유동될 수 있을 정도로 느슨하게 풀어 웨이퍼를 반송하고자 하는 차져의 슬롯 간격과 일치되도록 좌측 또는 우측방향으로 이동시키고 다시 나사(114)를 죄여 고정한다.

상술한 동작으로 본 발명은 캐리어의 변형이나 크기의 오차로 인하여 캐리어 가이드의 장착시 발생하는 유동을 방지할 수 있으며, 캐리어 사이의 간격이 조절되므로서 웨이퍼가 정확히 반송되도록 하였다.

따라서 본 발명은 웨이퍼의 이송과정에서 발생하는 정렬미스에 의한 웨이퍼의 파손을 효과적으로 방지하므로서 웨이퍼 파손시 발생하는 파티클에 의한 장비의 오염과 이로인한 공정결함을 예방하고 장비의 이송효율 및 제품의 생산성을 향상시킬수 있는 이점이 있다.

Claims (6)

1. 반도체 웨이퍼가 장착된 캐리어를 일정한 간격으로 정렬하여 챠저로 반송하기 위한 캐리어 가이드에 있어서, 캐리어 가이드 양측편에 상기 캐리어 사이의 간격을 조절되도록 하는 간격조절수단과, 상기 캐리어 가이드에 장착되는 캐리어를 일측으로 밀어 고정되도록 하는 캐리어 고정수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 이송장비용 캐리어 가이드.
2. 제1항에 있어서, 상기 간격조절수단은 가이드편의 캐리어가 장착되는 일측부위에 소정의 공간을 형성하고, 이 공간내에 삽입되어 소정간격 유동되도록 캐리어 가이드에 고정되고 캐리어가 장착되는 홈을 구비한 슬라이드 블록으로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 이송장비용 캐리어 가이드.
3. 제2항에 있어서, 상기 슬라이드 블록은 캐리어 가이드에 장착되는 캐리어와 캐리어 사이의 간격을 조절할 수 있는 방향으로 이동되어 고정되는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 이송장비용 캐리어 가이드.
4. 제1항에 있어서, 상기 캐리어 고정수단은 가이드 편에 삽입되는 캐리어 일측에서 상대측으로 밀어 주도록 캐리어 가이드의 일측과 상기 슬라이드 블록의 일측에 가압부재를 설치한 것을 특징으로 한 반도체 웨이퍼 이송장비용 캐리어 가이드.
5. 제4항에 있어서, 상기 가압부재는 탄성스프링과 이 탄성스프링에 끼워져 일측으로 가압하는 샤프트에 연결된 롤러와, 상기 탄성스프링, 샤프트 및 롤러를 지지하는 고정편으로 구성된 반도체 웨이퍼 이송장비용 캐리어 가이드.
6. 제4항에 있어서, 상기 가압부재는 캐리어 가이드와 슬라이드 블록의 바깥측에 설치되어 내측으로 동작되도록 하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 이송장비용 캐리어 가이드.