JPS62124847U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62124847U JPS62124847U JP1218886U JP1218886U JPS62124847U JP S62124847 U JPS62124847 U JP S62124847U JP 1218886 U JP1218886 U JP 1218886U JP 1218886 U JP1218886 U JP 1218886U JP S62124847 U JPS62124847 U JP S62124847U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- gas
- counter electrode
- gas introduction
- introduction channels
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 claims description 3
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 2
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第1図は本考案のプラズマエツチング装置を示
す縦断面図、第2図は対向電極の平面図、第3図
は従来のプラズマエツチング装置の断面図である
。 1……処理室、2……ウエーハ、3……電極、
4……対向電極、5……圧力センサ、6……ガス
吹出し穴、7……ガス排気路、8……ガス流量調
整器、9……ガス導入路、10……ガス導入路、
11……放電空間。
す縦断面図、第2図は対向電極の平面図、第3図
は従来のプラズマエツチング装置の断面図である
。 1……処理室、2……ウエーハ、3……電極、
4……対向電極、5……圧力センサ、6……ガス
吹出し穴、7……ガス排気路、8……ガス流量調
整器、9……ガス導入路、10……ガス導入路、
11……放電空間。
Claims (1)
- 試料を載置する電極と、該電極に対向する対向
電極とを有し、該対向電極に、ガス流量を調節可
能な複数個のガス導入路と、該ガス導入路に対応
した同心円上に配置した複数個のガス吹出し穴お
よび直径方向に配置した複数個の圧力センサとを
備えたことを特徴とするプラズマエツチング装置
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1218886U JPS62124847U (ja) | 1986-01-30 | 1986-01-30 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1218886U JPS62124847U (ja) | 1986-01-30 | 1986-01-30 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62124847U true JPS62124847U (ja) | 1987-08-08 |
Family
ID=30800085
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1218886U Pending JPS62124847U (ja) | 1986-01-30 | 1986-01-30 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62124847U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03290928A (ja) * | 1990-04-06 | 1991-12-20 | Fuji Electric Co Ltd | 加工方法 |
-
1986
- 1986-01-30 JP JP1218886U patent/JPS62124847U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03290928A (ja) * | 1990-04-06 | 1991-12-20 | Fuji Electric Co Ltd | 加工方法 |