JPS61203544U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61203544U JPS61203544U JP8842485U JP8842485U JPS61203544U JP S61203544 U JPS61203544 U JP S61203544U JP 8842485 U JP8842485 U JP 8842485U JP 8842485 U JP8842485 U JP 8842485U JP S61203544 U JPS61203544 U JP S61203544U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- reaction processing
- faces
- mounting table
- sample mounting
- Prior art date
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- Granted
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- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案に係る一実施例であるプラズマ
反応処理装置の正面図、第２図は同プラズマ反応
処理装置の断面図、第３図は別実施例に係るプラ
ズマ反応処理装置の断面図である。 尚、図面中１はプラズマ反応処理装置、２，２
０は本体、５は外部電極、７はチヤンバー、８は
内部電極、９は小孔、１５は試料載置台、Ｓ１は
プラズマ発生室、Ｓ２は反応処理室、Ｗは試料で
ある。
反応処理装置の正面図、第２図は同プラズマ反応
処理装置の断面図、第３図は別実施例に係るプラ
ズマ反応処理装置の断面図である。 尚、図面中１はプラズマ反応処理装置、２，２
０は本体、５は外部電極、７はチヤンバー、８は
内部電極、９は小孔、１５は試料載置台、Ｓ１は
プラズマ発生室、Ｓ２は反応処理室、Ｗは試料で
ある。
Claims (1)
- チヤンバーの外側に外部電極を設け、この外部
電極と対峠する多数の小孔を形成した内部電極を
チヤンバー内に配設することでチヤンバー内を上
部のプラズマ発生室と下部の反応処理室とに区画
し、この反応処理室には試料を一枚づつ処理する
ための試料載置台を臨ませ、更に前記外部電極、
内部電極及び試料載置台上面をそれぞれ平行関係
をもつて配設したことを特徴とするプラズマ反応
処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985088424U JPH0517880Y2 (ja) | 1985-06-12 | 1985-06-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985088424U JPH0517880Y2 (ja) | 1985-06-12 | 1985-06-12 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61203544U true JPS61203544U (ja) | 1986-12-22 |
| JPH0517880Y2 JPH0517880Y2 (ja) | 1993-05-13 |
Family
ID=30641543
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985088424U Expired - Lifetime JPH0517880Y2 (ja) | 1985-06-12 | 1985-06-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0517880Y2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5324303A (en) * | 1976-08-19 | 1978-03-07 | Still Carl Friedrich | Device for autmatically and periodically switching regenerative heating of coke oven battery and changing kind of heating gas |
| JPS5494282A (en) * | 1977-12-30 | 1979-07-25 | Ibm | Negative ion extractor |
| JPS5799743A (en) * | 1980-12-11 | 1982-06-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Apparatus and method of plasma etching |
-
1985
- 1985-06-12 JP JP1985088424U patent/JPH0517880Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5324303A (en) * | 1976-08-19 | 1978-03-07 | Still Carl Friedrich | Device for autmatically and periodically switching regenerative heating of coke oven battery and changing kind of heating gas |
| JPS5494282A (en) * | 1977-12-30 | 1979-07-25 | Ibm | Negative ion extractor |
| JPS5799743A (en) * | 1980-12-11 | 1982-06-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Apparatus and method of plasma etching |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0517880Y2 (ja) | 1993-05-13 |