JPH0233234U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0233234U JPH0233234U JP10935188U JP10935188U JPH0233234U JP H0233234 U JPH0233234 U JP H0233234U JP 10935188 U JP10935188 U JP 10935188U JP 10935188 U JP10935188 U JP 10935188U JP H0233234 U JPH0233234 U JP H0233234U
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- JP
- Japan
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- grounded electrode
- controlled
- grounded
- whose temperature
- processing apparatus
- Prior art date
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- Granted
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
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- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Treatment Of Fiber Materials (AREA)
- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
Description
第1図は本考案装置の一具体例を示す箱形のプ
ラズマ処理装置の正面概要図であり、第2図は電
極群の正面概要図である。第3図は、実施例に用
いた装置の電極回りの模式図である。
ラズマ処理装置の正面概要図であり、第2図は電
極群の正面概要図である。第3図は、実施例に用
いた装置の電極回りの模式図である。
Claims (1)
- 温調可能な複数の非接地電極1と、該非接地電
極群の外側に温調可能な接地電極2とを配置し、
かつ被処理物8を該非接地電極に接触させる為の
案内手段6とを真空容器3中に具備する事を特徴
とするプラズマ処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1988109351U JPH0630877Y2 (ja) | 1988-08-19 | 1988-08-19 | プラズマ処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1988109351U JPH0630877Y2 (ja) | 1988-08-19 | 1988-08-19 | プラズマ処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0233234U true JPH0233234U (ja) | 1990-03-01 |
JPH0630877Y2 JPH0630877Y2 (ja) | 1994-08-17 |
Family
ID=31345516
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1988109351U Expired - Lifetime JPH0630877Y2 (ja) | 1988-08-19 | 1988-08-19 | プラズマ処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0630877Y2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016502588A (ja) * | 2012-10-09 | 2016-01-28 | ユーロブラズマ エンヴェー | 表面コーティングを塗布する装置及び方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60226533A (ja) * | 1984-04-25 | 1985-11-11 | Hitachi Ltd | 連続式プラズマ処理装置 |
JPS63120163A (ja) * | 1986-11-07 | 1988-05-24 | 堤 四郎 | 低温プラズマ発生装置 |
-
1988
- 1988-08-19 JP JP1988109351U patent/JPH0630877Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60226533A (ja) * | 1984-04-25 | 1985-11-11 | Hitachi Ltd | 連続式プラズマ処理装置 |
JPS63120163A (ja) * | 1986-11-07 | 1988-05-24 | 堤 四郎 | 低温プラズマ発生装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016502588A (ja) * | 2012-10-09 | 2016-01-28 | ユーロブラズマ エンヴェー | 表面コーティングを塗布する装置及び方法 |
JP2019035153A (ja) * | 2012-10-09 | 2019-03-07 | ユーロブラズマ エンヴェー | 表面コーティングを塗布する装置及び方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0630877Y2 (ja) | 1994-08-17 |