JPS6212231B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

本発明はシランおよびシロキサンの精製、特に
シランおよびシロキサンからビフエニルおよび塩
素化ビフエニルを除去する方法に関する。なお、
本明細書において、シラン、シロキサン、ビフエ
ニルなどの用語はそれぞれシラン類、シロキサン
類、ビフエニル類などを包含するものとする。 近年、ビフエニル、中でもポリ塩素化ビフエニ
ルは塩化ビニルや四塩化炭素と同様に人間の健康
に対して有害であり、従つてこのような物質との
接触をできるだけ避けるべきであると考えられる
ようになつた。 従つて、工場で処理される化学物質および製造
工場から輸送もしくは販売される化学物質に含有
されるビフエニルおよび他の不純物の量をできる
だけ少なくすることが、化学工業においては極め
て望ましくなつている。 シリコーン工業において、フエニルクロロシラ
ンを製造する場合、クロロベンゼンをシリコン金
属と少量の塩化水素ガスおよび金属銅触媒の存在
下約500℃またはそれ以上の温度で反応させて
種々のクロロシランをつくる。クロロベンゼンと
シリコン金属との反応により形成される化合物
は、ヒドロトリクロロシラン、四塩化珪素、ヒド
ロフエニルジクロロシラン、フエニルトリクロロ
シランおよびジフエニルジクロロシランである。
これらの化合物は種々のシリコーンポリマーの製
造および種々のシリコーン製品の生成に用いられ
る。残念なことに、かゝるフエニルクロロシラン
の製造方法においては、生成物から除去するのが
望ましいビフエニルおよび塩素化ビフエニルが少
量生成することがある。また、塩化ビニルおよび
四塩化炭素のような不純物が偶然シランおよびシ
ロキサン流に混入することもある。ある場合に
は、ビフエニルおよび他の不純物の所望のクロロ
シラン生成物からの分離を蒸留によつて達成する
ことができる。しかし、上記反応の重要な生成物
の一つ、即ちジフエニルジクロロシランの場合、
ジフエニルジクロロシランからビフエニルを普通
の方法で分離することは困難である。例えば、ジ
フエニルジクロロシランの沸点が種々の塩素化ビ
〓〓〓〓〓
フエニルの沸点とほゞ近似する範囲内にある結
果、普通の蒸留方法でジフエニルジクロロシラン
を精製するとともにこれからビフエニルを除去す
ることは難しい。ジフエニルジクロロシランは、
シリコーンポリマー中にフエニル基を導入する一
手段となり、かゝるシリコーンポリマーを用いて
シリコーン生成物を製造することができるので、
極めて望ましいシラン生成物である。別の意味
で、ジフエニルジクロロシランをポリ塩素化ビフ
エニルおよび他の不純物から完全に精製して、
かゝるクロロシランを用いてシリコーン工業向け
の種々の生成物を製造できるようにすることが特
に望ましい。 また留意すべきことに、シリコーン化学プラン
トでの重合プロセスにおいて、シリコーンポリマ
ー中に、即ち製造プラント内で製造されるシラン
およびシロキサンポリマー中に外部からビフエニ
ルが導入される可能性もある。時には精製を蒸留
によつて行うことができるが、このようなケース
は少ない。これは、先のジフエニルジクロロシラ
ンの場合に、ビフエニルの沸点と所望生成物の沸
点とが近似しているため、ビフエニルを普通の蒸
留技術により分離するのが困難であるのと同様で
ある。従つて、場合によつては、上述した方法に
より生成されたフエニルクロロシランからビフエ
ニルを分離することだけでなく、製造プラント中
に存在するクロロシランおよびシロキサンからあ
らゆる種類のビフエニルおよび他の不純物、例え
ば塩化ビニルおよび四塩化炭素を除去する、製造
プラント内での精製技術を得ることが極めて望ま
しい。 従つて、ビフエニルおよび他の不純物をクロロ
シラン、シロキサンまたはポリシロキサン流から
分離する技術は、例えば液体クロマトグラフイを
用いることにより達成できる。しかし、液体クロ
マトグラフイ分離技術は実験室規模での分離に適
当であるにすぎない。第２の例では、上述したよ
うに、不所望なビフエニルおよび他の不純物を除
去する精製技術として蒸留を用いることができ
る。しかし、この方法は、シランおよびシロキサ
ンとビフエニルとの間の沸点の差が大きい場合に
のみ可能である。 従つて、沸点の差に依存せず、不所望なビフエ
ニルの除去に極めて効果的であり、かつ実験室で
使用できるだけでなく製造プラントで使用するよ
うにスケールアツプできる、シランおよびシロキ
サンからビフエニルおよび他の不純物を除去する
精製技術を得ることが強く望まれている。従つ
て、本発明の目的は、シランおよびシロキサンか
らビフエニルおよび他の不純物、例えば塩化ビニ
ルおよび四塩化炭素を除去する方法を提供するこ
とにある。 本発明の他の目的は、普通のプラント操業用に
スケールアツプして使用可能な、クロロシランか
らビフエニルおよび他の不純物を極めて効率的に
除去する方法を提供することにある。 本発明のさらに他の目的は、ジフエニルジクロ
ロシランおよび他のクロロシランからビフエニル
を効率的に除去する方法を提供することにある。 本発明のさらに他の目的は、活性炭またはモレ
キユラーシーブの吸着床を用いてクロロシランお
よびシロキサンからビフエニルを除去する方法を
提供することにある。 上記目的および他の目的を達成する本発明を以
下に詳細に説明する。 本発明の不純なシランおよびシロキサンからビ
フエニルおよび他の不純物を除去する方法は、(1)
不純なシランおよびシロキサンをモレキユラーシ
ーブまたは木炭よりなる吸着床に通し接触させ、
(2)精製されたシランおよびシロキサンが所望の純
度を越えない間、上記吸着床から精製シランおよ
びシロキサンを取出し、(3)上記吸着床がビフエニ
ルの吸着に関して飽和点に達するまで、上記吸着
床に上記不純なシランおよびシロキサンを送給し
続け、(4)押出し用炭化水素溶媒を上記吸着床に導
入して上記吸着床中のシランおよびシロキサンを
さらに精製するために置換、除去、回収し、(5)脱
着用炭化水素溶媒を上記吸着床に通して上記押出
し用炭化水素溶媒を除去するとともに、吸着され
ていたビフエニルを除去し、さらに不純なシラン
ならびに残留シランおよびシロキサンを上記溶媒
からさらに精製するために分離し、(6)上記吸着床
中の上記脱着用炭化水素溶媒を精製シランおよび
シロキサンで置換し、この脱着用炭化水素溶媒か
ら不純なシランおよびシロキサンを回収し、(7)上
記精製シランおよびシロキサンを上記吸着床から
回収し、さらに(8)再度不純なシランおよびシロキ
サンを上記吸着床に通し、精製されたシランおよ
〓〓〓〓〓
びシロキサンを上記吸着床から回収する工程を含
む。 本発明の方法を説明する目的で記載した上記工
程の組合せは、単に本発明の好適例の一つであ
る。本発明のもつとも簡単な実現方法は、単にク
ロロシラン、特にフエニルクロロシランまたはシ
ロキサンの不純な流れをモレキユラーシーブまた
は木炭、好ましくは活性炭よりなる吸着床に通し
て接触さすことである。不純なシランおよびシロ
キサンをシランおよびシロキサンの所望の精製度
に従つて所望の時間吸着床と接触させた後、精製
されたシランおよびシロキサンを吸着床から除去
する。この際ビフエニルは吸着剤粒子の表面に吸
着されている。 さらに指摘すべきこととして、前述の第１の好
適例に記載した本発明方法の特定条件下におい
て、押出し用炭化水素溶媒を使用することは必ず
しも必要ではない。その理由は、かゝる吸着床の
再生プロセスを、吸着床が飽和点に達した後に、
単に脱着用炭化水素溶媒を吸着床に通すことによ
り、押出し用炭化水素溶媒を使用することなく実
施することができるからである。このような手法
に伴なう唯一の問題は、不純なクロロシランおよ
びシロキサンの吸着床への送給を停止した時点で
吸着床中に存在するクロロシランおよびシロキサ
ンをかゝる吸着性溶媒が置換するとき、吸着性炭
化水素溶媒を使用すると、この吸着性炭化水素溶
媒により置換されるクロロシランおよびシロキサ
ン中に存在するビフエニルおよび他の不純物の量
が増加することである。このようなわけで、脱着
用炭化水素溶媒から回収されるクロロシランおよ
びシロキサンは、比較的純度が低く、本発明に従
つて上記吸着床または別の吸着床とさらに接触さ
せることにより低ビフエニル含量に精製する必要
がある。 同じ文脈で、もし前記好適例に記載したように
精製されたクロロシランまたはシロキサンの流れ
が脱着用炭化水素溶媒を置換せず、単に不純なシ
ランおよびシロキサンをその精製のために脱着用
溶媒を押し出すように吸着床に接触通過させる
と、脱着用炭化水素溶媒の存在が原因して吸着床
の効率が低減し、吸着床から出てくる精製された
クロロシランおよびシロキサンの流れはビフエニ
ル含量が高い。従つて、ビフエニルおよび他の不
純物の含量が極めて低いシランおよびシロキサン
の流れを得るのが望ましい場合には、脱着用炭化
水素溶媒を精製されたシランおよびシロキサンの
流れで置換することが必要である。 前述したように、本発明の方法は不純はシラン
およびシロキサン、例えばフエニルクロロシラ
ン、特にジフエニルジクロロシランを精製するの
に好適であるが、この方法は任意のシランまたは
ポリシロキサン流ならびに活性炭やモレキユラー
シーブの吸着特性を阻害しない他の化学材料を精
製するのに用いることができる。本発明の方法を
室温で行うのが好ましいが、それより僅かに高い
温度であつてもこの方法の効率は低下しない。好
適な押出し用炭化水素溶媒はイソオクタンまたは
任意の飽和脂肪族炭化水素溶媒であり、また好適
な吸着用炭化水素溶媒は芳香族溶媒、例えばベン
ゼン、クロロベンゼン、キシレンおよびトルエン
である。 ほかに指摘しておくべきこととして、不純なシ
ランおよびシロキサンを吸着床に通す流量は、吸
着床の構造ならびにその吸着能および吸着効率に
依存する。その理由は、材料を吸着床に余りに急
速にポンプ送給すると、吸着床がその吸着機能を
完全に発揮する時間がなくなり、一方材料を吸着
床に通す速度が余りに遅いと、液相内の乱流が少
なくなるのでビフエニルの吸着剤中への拡散が遅
くなる。 一般に、不純なシランまたはシロキサンの流れ
を吸着床の断面積１平方フイート当り５〜500ポ
ンド／時の流量でポンプ送給することができる。
しかし、この範囲は例示であつて、吸着床を通過
する不純なシランまたはシロキサン流の実際の送
給流量は、吸着床の外形および構造ならびにその
断面積および吸着能力によつて決まる。従つて上
記範囲は本発明の方法を限定するものではなく、
むしろ手引である。 本発明の方法は不純なシランおよびシロキサン
からビフエニルおよび塩素化ビフエニルを除去す
るのに用いるのが好適であるが、本発明の方法は
一般にシランまたはシロキサン流から他の不純物
を除去するのに用いることができる。従つて一般
に本発明の方法は、シランおよびシロキサン流か
ら塩化ビニルや四塩化炭素のような不純物を除去
するのに用いることができる。本発明の方法はシ
〓〓〓〓〓
ランおよびシロキサン流から芳香族炭化水素不純
物を除去するのに使用することもできる。このよ
うな種々の不純物を本明細書においては「他の不
純物」と称する。 本発明の方法により精製し得るシリコーン化合
物はシランおよびシロキサンである。シランは塩
素置換シランおよび他の種類の置換シラン、例え
ばメチルトリアセトキシシランを包含する。一般
にほとんどのシランが十分に低い粘度を有し、従
つて吸着床を通過させて処理することができるの
で、大抵のシランを本発明の方法に使用できる。
本発明の方法により精製し得るシランの例には、
例えばメチルトリクロロシラン、ジメチルジクロ
ロシラン、メチルトリアセトキシシラン、メチル
トリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン
などがある。前述したように、ほとんどのシラン
が十分に低い値の粘度を有するので、本発明の方
法の第１工程において容易に吸着床を通してポン
プ送給、言い換えれば処理することができる。一
般に、本発明の方法で精製し得るシランは次式： Ｒ_aSiX₄―_a （式中のＲは一価の炭化水素基または一価のハ
ロゲン化炭化水素基を示し、Ｘは加水分解可能な
基、例えば塩素、アルコキシ基、アセトキシ基、
アミン基などを示し、ａは１〜４の整数である）
を有する。本発明の方法で精製し得るシランのほ
かに、本発明の方法により多数のシロキサンを精
製することもできる。本発明の方法で精製し得る
ポリシロキサンの例には、ジメチルポリシロキサ
ン、ジフエニルポリシロキサン、ジメチルジフエ
ニルポリシロキサンなどがある。一般に、本発明
の方法で精製し得るシロキサンは次式： Ｒ_oSiO〓〓 を有する。式中のｎは１〜３の整数で、このシロ
キサンにおいてＲ対Siの比は1.7：2.1で任意に変
化する。上記シロキサン式において、Ｒは任意の
一価の炭化水素基または一価のハロゲン化炭化水
素基、具体的にはアルキル基、例えばメチル、エ
チル、プロピル；アルケニル基、例えばビニル、
アリル；シクロアルキル基、例えばシクロヘキシ
ル、シクロヘブチル：単核アリール基、例えばフ
エニル、メチルフエニル、エチルフエニルなどを
示し、一価のハロゲン化炭化水素基としては、例
えば３，３―トリフルオロプロピルを示す。一般
に、吸着床の作用を阻害せず、吸着床を通過させ
るに十分な低さの粘度を有する任意のシランおよ
びシロキサンを本発明の方法により精製してビフ
エニルを除去することができる。本発明の方法で
精製し得る他のシロキサンは環状ポリシロキサ
ン、テトラシロキサン、ペンタシロキサンなどで
ある。環状化合物の例には、オクタメチルテトラ
環状シロキサンおよびオクタフエニルテトラ環状
シロキサンがある。本発明の方法に使用する場
合、25℃で100000センチポアズ以下の粘度、特に
25℃で25000センチポアズ以下の粘度を有するシ
ランおよびシロキサンを用いるのが好ましい。本
発明の方法をフエニルクロロシランおよびフエニ
ル含有ポリシロキサンの精製に適用するのが特に
好適である。本発明の方法に用いる吸着床は種々
の材料から同様に構成でき、好ましくは木炭およ
びモレキユラーシーブから選択する。木炭はビフ
エニルの吸着能力が大きいので、モレキユラーシ
ーブより一層好適である。 一般に、本発明の方法では後述する寸法限度内
の任意の木炭を吸着床に用いることができる。特
に好ましい木炭の一形態は活性炭である。活性炭
が好適なのは吸着能力が普通の木炭より大きいか
らである。活性炭は、普通の木炭を極めて高温に
加熱して揮発分を除去するとともに吸着性を増す
ことによつて製造できる。木炭を使用する場合、
その木炭が米国メツシユ寸法で4000メツシユ〜1/
４インチの寸法を有することが好ましい。本発明
の方法の第１工程において吸着床に使用し得る材
料の例を挙げると、活性炭Pittsburgh BL（325
メツシユ、カルゴン・コーポレイシヨンCalgon
Corporation製造）、活性炭Pittsburgh CAL（12
×40メツシユ、カルゴン・コーポレイシヨン製
造）、活性ヤシ木炭Pittsburgh PCB（４×10メツ
シユ、カルゴン・コーポレイシヨン製造）、ヤシ
木炭（70×80メツシユ、アナラブス・インコーポ
レイテツドAnalabs.Inc.製造）、10モレキユラー
シーブ45×60メツシユ、Hylar Ｍ（ギルド・コ
ーポレイシヨンGuild Corporation製造・販売）、
および13モレキユラーシーブ600メツシユ（W.R.
グレイス・アンド・カンパニー、デイビソン・ケ
ミカル・デイビジヨンDavison Chemical
Division of W.R.Grace and Company製造・販
売）がある。モレキユラーシーブも4000米国メツ
〓〓〓〓〓
シユ〜1/4インチの寸法を有することが好まし
い。 本発明の方法の第１工程においては、不純なク
ロロシランまたはシロキサン流を上記吸着剤を含
有する吸着床に通す。吸着床を垂直カラムに入れ
るのが好ましいが、水平床とすることもできる。
モレキユラーシーブおよび木炭または活性炭に望
ましい米国メツシユ寸法は50メツシユ〜1/8イン
チであることに留意すべきである。このようにし
て不純なシランおよびシロキサンを吸着床に通
し、吸着床からの流出液がビフエニル含量に関し
て精製シランおよびシロキサンに望まれる純度レ
ベルに達するまで流通を行う。 なお、不純なシランおよびシロキサンを処理す
る吸着床の数は１つである必要はなく、多数の吸
着床を有する多数のカラムを用い、これらカラム
に順に不純なシランおよびシロキサンを通すのが
好適である。一般に、不純なシランおよびシロキ
サンを吸着床に流す速度は、シランまたはシロキ
サンの粘度および吸着床中の活性炭またはモレキ
ユラーシーブの粒径に依存する。吸着床に流す不
純なシランおよびシロキサンの流量を、吸着床の
断面積１平方フイート当り５〜500ポンド／時と
なるように制御すれば、ほとんどの目的に十分で
ある。しかし、この流量は通常の範囲にすぎず、
本発明の方法において用いられる実際の範囲は上
記因子およびさらに他の２つの因子に依存する。
シランおよびシロキサン流を吸着床に余りに速い
流量で流すと、シランおよびシロキサン流からビ
フエニルおよび他の不純物を吸着する吸着床の能
力の点で、流量が吸着床の能力限界を越えてしま
う。他方、流量が遅すぎると、液相における乱流
が減少する結果、ビフエニルの吸着が遅くなり、
従つて吸着床の効率が悪くなる。 従つて、本発明の範囲内で、吸着床を流れる不
純なシランおよびシロキサン流の流量は上記因子
により決められる。従つて本発明の方法の第１工
程においては、吸着床から出て来る流出液中のビ
フエニルおよび他の不純物が増加して、特定の生
成物について許容されているビフエニル含量レベ
ルに達するまで、不純なシランおよびシロキサン
流を吸着床に送給接触させる。ビフエニルが上記
レベルに達したところで、脱着用溶媒を吸着床に
強制送給して吸着床からビフエニルを脱着し、従
つて吸着床を再生して次に吸着床に送られる追加
のクロロシランおよびシロキサンからビフエニル
を吸着できるようにする。 本発明の方法の一層好適な変更例においては、
吸着床を最高に利用するために、吸着床への不純
なシランまたはシロキサン流の供給を、ビフエニ
ルおよび他の不純物の精製限度に達した後も、吸
着床がそのビフエニルおよび他の不純物を吸着す
る能力限界に達するまで継続する。即ち、吸着床
が多量のビフエニルおよび他の不純物を吸着し
て、処理中の不純なシランおよびシロキサン流か
ら有意量のビフエニルおよび他の不純物をさらに
吸着することができなくなるまで継続する。 従つてこのようにすれば、吸着床が不純なシラ
ンおよびシロキサン流から除去すべきビフエニル
および他の不純物の特定の所望レベルに関する精
製限度に達した後も、吸着床を不純なシランおよ
びシロキサン流からビフエニルを吸着するのに使
用し続けることができる。従つて本発明の好適例
においては、吸着床がその吸着力の限界に達する
まで、吸着床を用いて不純なシランおよびシロキ
サン流からビフエニルを吸着し続ける。 一般にこのことは、吸着床が供給されるシラン
またはシロキサン流中の不純物の５〜25重量％ま
たはこれ以下を吸着することを意味する。精製レ
ベルを越えた高レベルのビフエニルを含有する、
吸着床からのシランおよびシロキサン流の流出液
を吸着床から収集する。そして、この流出液から
十分な量のビフエニルが除去されて、流出液が特
定のシランまたはシロキサン生成物の望ましいビ
フエニル含量の精製上限に達するまで、上記流出
液を他の吸着床でさらに処理することができる。 精製限度に達した後なおも不純なシランおよび
シロキサンを吸着床に流し通けるこの好適工程を
とれば、本発明の方法において吸着床を最大限に
使用することができる。従つて、どのレベルに達
したか、即ち不純なシランおよびシロキサン流の
精製限度に達したか、吸着床の吸着力限界に達し
たかに係わりなく、本発明の方法の経済性を最高
にするために、吸着床に吸着されたビフエニルを
除去することにより吸着床を再生することが必要
である。勿論、吸着床を捨て新しい吸着材を床に
充填すればよいと簡単に言うこともできる。しか
し、この別法は本発明の方法のコストが不当に高
〓〓〓〓〓
くなり、研究用またはパイロツトプラント運転の
場合を除いて著しく高価である。 従つて、本発明の方法の効率および経済性を最
高にするためには、木炭またはモレキユラーシー
ブから吸着されたビフエニルおよび他の不純物を
除去することによつて、吸着床を再生する必要が
ある。従つて、本発明の方法をもつとも簡単に使
用する場合、吸着床に脱着用炭化水素溶媒を流し
て、この溶媒が吸着床の表面からビフエニルを脱
着し、かくして吸着床を精製することができる。
このようにすれば、吸着床を不純なシランおよび
シロキサン流からビフエニルを吸着するのに再使
用できる。しかし、本発明の一層好適な例におい
ては、最初に押出し用炭化水素溶媒を用いる。押
出し用炭化水素溶媒とは吸着剤による被吸着性が
相対的に弱い溶媒を言う。例えば、このような吸
着性溶媒を任意の脂肪族飽和炭化水素溶媒、例え
ばヘキサン、ヘプタン、オクタンなど、好ましく
はイソオクタンとすることができる。好適な押出
し用炭化水素溶媒の他の例には、ヘキセン、アセ
トン、エチルエーテル、酢酸エチルなどがある。 押出し用炭化水素溶媒の機能は、処理すべき不
純なシランおよびシロキサンからビフエニルを吸
着する吸着工程の終了時に吸着床内のシランまた
はシロキサンを単に置換する（追い出す）ことで
ある。本発明の一例において押出し用炭化水素溶
媒を使用せず、脱着用炭化水素溶媒を直ちに使用
する場合には、ビフエニルに対して親和性を有す
る脱着用炭化水素溶媒がビフエニルを吸引し、こ
れをシランおよびシロキサン流に付与する。即
ち、脱着用炭化水素溶媒はそれが置換した量のシ
ランおよびシロキサンに吸着床中で多量のビフエ
ニルを付加するので、この置換量のシランおよび
シロキサンをビフエニルのレベルに関して所望の
純度レベルに到達させるには、押出し用炭化水素
溶媒を使用した場合と比較して著しく大幅に上記
置換量のシランおよびシロキサンを精製しなけれ
ばならなくなる。従つて、本発明の好適例におい
ては、吸着床がそのビフエニル吸着能力限界に達
した後、もしくは吸着床からの精製流出液に望ま
れる純度レベルに達した後に、イソオクタンのよ
うな押出し用炭化水素溶媒を用いて吸着床中のシ
ランおよびシロキサンを置換する。一般に、押出
し用炭化水素溶媒の量は吸着床の容積と等しくす
る。押出し用炭化水素溶媒が吸着床中のシランお
よびシロキサンを置換し終つた後、この押出し用
炭化水素溶媒を吸着床から除去し、脱着用炭化水
素溶媒を吸着床に通して、吸着床を再生するとと
もに吸着床に吸着されたビフエニルを除去する。
なお、押出し用炭化水素溶媒が吸着床を通過した
後、この溶媒を取出し、蒸留して溶媒中に収集さ
れていたシランおよびシロキサンを分離する。押
出し用炭化水素溶媒から除去または分離されたシ
ランおよびシロキサンを次に新しい吸着床または
再生後の同じ吸着床で、シランおよびシロキサン
が所望の必要精製限度に達するまで処理する。シ
ランおよびシロキサンが所望の精製限度に達した
時点で吸着を停止する場合には、蒸留により押出
し用炭化水素溶媒から回収されたシランおよびシ
ロキサンはおそらく、吸着床から以前に収集され
た精製された流出液と一緒にするのに十分な純度
になつている。どのような場合であれ、さらに精
製が必要か否かは本発明の方法に用いられる特定
の工程によつて決められる。 本発明の方法のもつとも好適な例においては、
押出し用炭化水素溶媒が吸着床中のシランおよび
シロキサンを置換し終つた後、脱着用炭化水素溶
媒を用いて押出し用炭化水素溶媒を吸着床から置
換または送出する。かゝる脱着用炭化水素溶媒
は、吸着剤に対してビフエニルおよび他の不純物
より強い吸着引力を有する性質のものでなければ
ならない。この目的のために、一般に、吸着床の
作用を阻害しないものであれば任意の極性炭化水
素溶媒を脱着用溶媒として使用できる。本発明の
方法に使用できる吸着性炭化水素溶媒の例には、
芳香族炭化水素溶媒、塩素化芳香族溶媒および塩
素化脂肪族溶媒がある。 もつとも好適な吸着性炭化水素溶媒はクロロベ
ンゼン、トルエンおよびキシレンであり、なかで
もクロロベンゼンが特に好適である。本発明の方
法において吸着床を再生するのに使用し得る他の
吸着性炭化水素溶媒は、例えばジクロロベンゼ
ン、１，２―ジクロロエタン、塩化メチレン、ペ
ルクロロエチレンである。脱着用炭化水素溶媒を
吸着床に通過させる速度は、脱着用炭化水素溶媒
の特性に依存するが、一般に精製のために不純な
シランおよびシロキサンを吸着床に通過させる際
の速度とほゞ同じである。従つて、一般に、吸着
〓〓〓〓〓
性炭化水素溶媒を吸着床の断面積１平方フイート
当り５〜500ポンド／時の流速で送給する。勿
論、脱着用炭化水素溶媒の量は、吸着床の吸着能
力および吸着床に吸着されたビフエニルの量に依
存する。吸着床が多量のビフエニルを吸着してい
ると、吸着性炭化水素溶媒の量は当然多くなる。 一般に、ここでもほとんどの場合に、吸着床を
再生するのに吸着床の容積の２倍容の吸着性炭化
水素溶媒で十分である。なお、必要とした吸着性
炭化水素溶媒の上記流速および量は例示にすぎな
い。吸着床を特定の精製方法の特定の段階に合わ
せて再生するのに必要な吸着性炭化水素溶媒の量
は、多数の因子、例えば処理すべき不純なシラン
およびシロキサン流に望まれる精製限度に依存す
る。一般に、吸着性炭化水素溶媒、例えばクロロ
ベンゼンは押出し用炭化水素溶媒を置換し、吸着
床中に存在するビフエニルの大部分を吸着するの
に十分な時間吸着床と接触状態に留まる。 本発明の方法の次善の好適例においては、次の
工程で脱着用炭化水素溶媒を吸着床から除去し、
ビフエニルの除去が望まれる不純なシランおよび
シロキサン流を吸着床に通す。しかし、吸着性炭
化水素溶媒の除去に引続いて不純なシランおよび
シロキサンを吸着床に導入すると、かゝる吸着床
から得られる流出液の最初の部分はビフエニル含
量が高くなることを見出した。このビフエニル含
量の増加は、脱着用炭化水素溶媒が吸着床の機能
を妨害し、吸着床がその吸着機能を完全に果すの
を許さないことに原因がある。従つて、本発明に
おいて吸着床を一層効率的に利用するために、ま
た再処理を行つてビフエニル含量が特定の操作に
望ましい限度に達するようにビフエニルを除去す
ることの必要な、吸着床からのシランおよびシロ
キサン流出液の量を最小にするために、吸着床中
の脱着用炭化水素溶媒を精製されたシランまたは
シロキサン流で置換するのが好適である。次に脱
着用炭化水素溶媒を蒸留処理して、これに混入さ
れているシランおよびシロキサンを分離し、得ら
れるシランおよびシロキサンを再生された吸着床
でさらに精製処理してシランおよびシロキサンを
ビフエニルおよび他の不純物に関して所望の含量
に精製する。 勿論、脱着用炭化水素溶媒および押出し用炭化
水素溶媒は、蒸留処理により精製した後、本発明
の方法に再使用できる。即ち、押出し用炭化水素
溶媒の場合には吸着床中のシランおよびシロキサ
ンを置換するために、脱着用炭化水素溶媒の場合
にはビフエニルを除去することにより吸着床を再
生するために使用できる。従つて、本発明の好適
例においては、精製されたシランおよびシロキサ
ン流を用いて吸着床から脱着用炭化水素溶媒を置
換し、次いでこの脱着用炭化水素溶媒を収集し、
蒸留などの手段により溶媒中のシランまたはシロ
キサンを回収して該溶媒を精製する。脱着用炭化
水素溶媒を吸着床内で精製シランおよびシロキサ
ンにより完全に置換し終つたら、さらに精製する
ことが望ましいシランおよびシロキサン流を吸着
床を通して再処理する。 従つて、吸着性炭化水素溶媒を置換するのに精
製シランまたはシロキサンを使用すると、その結
果吸着床カラムから得られる流出液は、ビフエニ
ル含量が極めて低く、吸着床からの流出液中のビ
フエニル含量がppbレベルに達するように吸着床
でビフエニルを除去することができる。この時点
から本発明の方法の単なる繰返しとなり、吸着床
からの流出液の純度が精製生成物を収集するだけ
ですむ所望のレベルに達するまで、シランおよび
シロキサン流を吸着床で処理する。次に、好まし
くは前述したように、吸着床がその吸着能力限界
に達するまで、吸着床をシランおよびシロキサン
流からのビフエニルおよび他の不純物の吸着に継
続使用する。いずれの場合にも、吸着床から脱着
用炭化水素溶媒を置換するのに最初に用いられた
精製シランおよびシロキサン流は、常に精製生成
物として収集することができる。その理由は、そ
のビフエニル含量が、脱着用炭化水素溶媒を置換
するために吸着床に導入する以前のシランおよび
シロキサン流のビフエニル含量レベルにほゞ留ま
るからである。いずれの場合にも、本発明の方法
を前述した諸工程に従つて再び繰返し、シランお
よびシロキサンが所望のビフエニル含量レベルに
精製されるまで、シランおよびシロキサン流から
ビフエニルを除去し続ける。なお留意すべきこと
には、本発明の方法では不純なシランおよびシロ
キサン流の精製をビフエニル含量がppbのレベル
に下るまで行うことができる。また、ビフエニル
が押出し用炭化水素溶媒および脱着用炭化水素溶
媒と接触しこれらに含有されるが、かゝるビフエ
〓〓〓〓〓
ニルは蒸留により溶媒から簡単に除去し、次いで
燃焼させ消尽することができる。比較的簡単だ
が、あまり経済的ではない方法においては、シラ
ンおよびシロキサンを分離した後の、ビフエニル
が残存する脱着用炭化水素溶媒流および押出し用
炭化水素溶媒流を、含有ビフエニルと共に燃焼さ
せることにより簡単に消尽することができる。ま
た、押出し用炭化水素溶媒および脱着用炭化水素
溶媒中に存在するシランおよびシロキサンの大部
分を除去（回収）し、さらに精製して収率を上げ
るとともに、精製すべき、従つてビフエニル含量
を減少させるべき不純なシランおよびシロキサン
流の損失を最小にする。 本発明の方法のもつとも簡単な構成が、不純な
シランおよびシロキサン流を吸着床に通すことで
あることは前述した通りである。本発明の方法の
好適な変更例においては、使用済吸着床を廃棄せ
ず、従つて吸着床を再生することとし、前述した
ように、この目的のために脱着用炭化水素溶媒を
使用する。本発明のもつとも好適な例は、シラン
およびシロキサン流を所望のレベルまで精製しか
つ生成物の損失を最小にすることが望ましい場合
に、また吸着床の経済的利用を計るために、使用
される。従つてこのような用途の場合には、前述
したように本発明の方法の好適例に上記事項、例
えば押出し用炭化水素溶媒の使用や、脱着用炭化
水素溶媒を置換する精製シランおよびシロキサン
流の使用などのすべての事項を採用する。当然予
想されるように、本発明の方法の各工程は、シラ
ンおよびシロキサンからビフエニルを除去する特
定の必要性に従つて、前述したことのほかに別の
変更を加えることができる。従つて、吸着床が吸
着能力限界に達した後に吸着床中のシランおよび
シロキサンを置換するのに、押出し用炭化水素溶
媒の代りに不活性ガス、例えば窒素を用いること
ができる。さらに、脱着用炭化水素溶媒を用いる
代りに、窒素雰囲気を内包した吸着床を100℃以
上の温度に加熱するとともに窒素流を床に流し、
かくして吸着床の作用を阻害しない窒素または他
の不活性ガス流でビフエニルを蒸発除去すること
ができる。押出し用炭化水素溶媒の代りの押出し
用不活性ガスは、シランおよびシロキサンのガス
からの分離が簡単になるなど多数の利点を有する
が、吸着床の加熱は吸着床を再生する十分経済的
な方法ではないので然程有利ではない。即ち、加
熱用に、吸着床を適当なレベルに加熱するのに十
分な加熱装置または加熱ジヤケツトを吸着床に設
ける必要がある。しかし、加熱カラムを使用し、
かつビフエニルを吸着床から除去するのに不活性
ガスを用いるのが望ましい場合には、窒素のよう
な不活性ガスを吸着床に流すことによりこれら手
段を採用でき、吸着床をこのようにして再生する
ことができる。次に、ビフエニルを含有する不活
性ガスを処理してビフエニルを除去するために、
かゝる不活性ガスを燃焼雰囲気に送入し、ここで
ビフエニルを燃焼し、消尽する。本発明の方法に
おける押出し用炭化水素溶媒および脱着用炭化水
素溶媒の使用は室温で行え、このようなわけで不
活性ガスおよび加熱を用いて吸着床を再生する場
合に比して操作が簡単である。勿論、窒素ガスを
用いる別法は吸着床中に存在するシランおよびシ
ロキサンを分離するのがはるかに簡単であり、従
つて回収率は押出し用炭化水素溶媒および吸着性
炭化水素溶媒の場合より高くなる。 なお、本発明の方法をシランおよびシロキサン
からのビフエニル除去に関連して説明したが、本
発明の方法は、その広い範囲での一般的なもの
も、特定の具体例も、前述した任意の他の不純物
（塩化ビニル、四塩化炭素など）を除去するのに
使用できる。 第１図に関連して本発明の方法の一例をダイヤ
グラム的に例説してみる。即ち、本発明のもつと
も好適な例を図解的に概説する。区画におい
て、不純なシラン流をライン２から供給タンク４
に導入する。ビフエニルを除去すべき不純なシラ
ンおよびシロキサン流を供給タンク４からライン
６を経て、ライン６，８および１０により直列に
接続された吸着カラムＡ，ＢおよびＣに送る。こ
れらの吸着床には活性炭が充填されている。 最終的に流出液流がカラムＣからライン１２を
経て出て来て、ライン１４から精製生成物タンク
１６に流入する。以上のプロセスは連続で、この
間カラムＤは区画にある。カラムＤはその最大
吸着点に達しており、従つて供給タンク４からラ
イン６，８および１０を経てのシランおよびシロ
キサンの吸着系から切り離なされている。従つて
カラムＤ内のシランおよびシロキサンはタンク１
８からの押出し用炭化水素溶媒、イソオクタンで
〓〓〓〓〓
置換される。イソオクタンはライン２０を通過し
てカラムＤ内のシランおよびシロキサンを置換
し、カラムＤの流出液はライン２２を経て蒸留カ
ラム２４に流入する。蒸留カラム２４で、イソオ
クタンを精製し、これをライン２６を経てイソオ
クタン供給タンク、即ちタンク１８に戻す。蒸留
カラム２４での蒸留中に除去されるクロロシラン
をライン３０を経て供給タンク４に送り、さらに
精製する。 次に区画で、カラムＤにその吸着床中のビフ
エニルの脱着処理を行う。従つて、脱着用炭化水
素溶媒であるクロロベンゼンをタンク３２からラ
イン３４を経てカラムＤに送り、カラム中のイソ
オクタンを置換除去するとともに、吸着床に吸着
されたビフエニルを脱着する。 従つて、このビフエニル脱着段階の間カラムＤ
からのクロロベンゼン流出液をライン３６を経て
蒸留カラム４０に送り、この蒸留カラムでイソオ
クタンを除去精製し、精製されたイソオクタンを
ライン４２を経てイソオクタン供給タンク１８に
送る。なお、必要に応じてライン１９からイソオ
クタン供給タンク１８に新しいイソオクタンを供
給する。区画において、そして蒸留カラム４０
に関して、クロロシランおよびビフエニルを含有
するクロロベンゼン流を蒸留カラム４０からライ
ン４４を経て蒸留カラム４６に送る。カラム４６
では、上記クロロベンゼン流をさらに精製して、
クロロベンゼンおよびイソオクタン（押出し用炭
化水素溶媒）ならびに少量の回収クロロシラン残
分を含有する塔頂流を蒸留カラム４６から取出
し、ライン４８、弁５４およびライン５６を経て
供給タンク３２に送る。次に少量のクロロシラン
残分および高濃度のビフエニルをライン５０を経
て収集タンク５２に送り、しかる後これを消尽す
る。タンク５２の内容物からクロロシランを除去
する処理を行つて後、この内容物を燃焼により消
尽することもできる。蒸留カラム４６からの塔頂
流はライン４８を経て、さらに弁５４およびライ
ン５６を経てクロロベンゼン供給タンク３２に戻
る。クロロベンゼンの追加が必要なときには、ラ
イン５８から供給タンク３２にクロロベンゼンを
追加することができる。 次に区画では、吸着床カラムＤに精製クロロ
シランによるクロロベンゼン（脱着用炭化水素溶
媒）の置換を行う。精製クロロシラン生成物を区
画のタンク１６からライン１４および５８を経
て高純度クロロシランタンク６０に送る。さらに
精製クロロシランをタンク６０からライン６２を
経てカラムＤに送入し、このカラムの吸着床内の
クロロベンゼンを置換する。カラムＤからクロロ
ベンゼンおよび精製クロロシランを塔頂ライン６
４を経て蒸留カラム６６に送る。蒸留カラム６６
ではクロロベンゼン（脱着用炭化水素溶媒）が塔
頂へ蒸留され、ライン６８、弁５４およびライン
５６を経てクロロベンゼン供給タンク３２に戻
る。蒸留カラム６６でクロロベンゼンから分離ま
たは精製された、精製クロロシラン生成物流は次
にライン７０を経て高純度クロロシラン供給タン
ク６０に入り、吸着床カラムの再生プロセスに再
び使用するためにここに貯蔵される。この時点
で、カラムＤは、区画に於けるように、タンク
４からくる不純なクロロシラン流からビフエニル
を吸着するための吸着床として再使用でき、そし
て他のカラムが吸着能力限界に達していたらその
カラムを切離し、前述したように区画，およ
びの再生工程を順次行う。 上述した処理工程から明らかなように、本発明
のもつとも好適な例においては、所望に応じて、
不純なシランおよび／またはシロキサン流からビ
フエニルを吸着する連続方法が得られる。前述し
たように、このダイヤグラム的概説は本発明の方
法を連続的に使用できる好適例を示しているにす
ぎない。本発明の方法は例説以外の形態に所望に
応じて変更することができ、さらに連続法または
バツチ法のいずれとしてもよく、不純なシランお
よびシロキサン流を単一カラムまたは複数カラム
に適し、また例示の具体例で示した工程をとる代
りにカラムを単に停止して再生を行うようにする
ことができる。例解したプロセスまたは本発明の
方法の諸工程のこのような種々の変更は、当業者
には自明であるので、詳細な説明を省略する。本
発明の方法は所望に応じて特定の要求を満たすよ
うに、または特定のシランおよびシロキサンの特
定の精製条件下で最高の効率が得られるように改
変できると述べておけば十分である。今までのダ
イヤグラム的例解はクロロシランに対する特定の
処理工程構成を示すが、既知の変更をもつてシロ
キサンの精製にも適用できる。上述した限定条項
〓〓〓〓〓
を具え、吸着床を用いてシランおよびシロキサン
流からビフエニルを吸着する本発明の方法は、シ
ランまたはシロキサン流からビフエニルを除去す
ることに係わる特定の目的を達成し、あるいは適
当な要求を満たすように任意適当に改変できるこ
とに留意すべきである。 本発明の方法の実施を具体的に説明するために
以下に実施例を示す。これらの実施例はいかなる
意味でも本発明の範囲を限定するものではない。
実施例および以上の説明において、クロロシラン
流中のビフエニルの濃度は次のようにして測定し
た。クロロシラン流出液の一部を取出し秤量し、
これを水酸化カリウム水溶液およびヘキサンと接
触させた。水酸化カリウムはクロロシラン、特に
ジフエニルジクロロシランと反応してクロロシラ
ンを水性相中に保持し、一方ビフエニルはヘキサ
ン相に移動した。次いでヘキサンを取出し、分離
し、さらにストリツピングにより濃縮し、ビフエ
ニルを濃縮した。次にヘキサン流をガスクロマト
グラフイに通して最初のサンプル中のビフエニル
の量をppbで検出した。本発明ではすべて、供給
流中であれ、実施例に示すような生成物の流出液
流からのサンプル中であれ、ビフエニル濃度の測
定には上記測定法を使用した。なお、下記の実施
例にはジフエニルジクロロシランからのビフエニ
ルの除去を記載したが、同じ手順で任意のシラン
またはシロキサン流からビフエニルおよび他の不
純物を除去することができる。 実施例 １ 16インチ、スケジユール40鋼の長さ10フイート
の管よりなる容器に、322b.の乾燥吸着剤（活
性炭、Pittsburgh CAL、12×40メツシユ、カル
ゴン・コーポレイシヨン製造）を充填し、ここに
2060ppmのビフエニルを含有する不純なジフエ
ニルジクロロシラン（φ₂SiCl₂）を容器断面積１
平方フイート当り175b.／時の質量速度でポン
プ送給した。容器から出て来る流れ中のビフエニ
ルの濃度を測定し、次の結果を得た。

【表】

【表】 実施例 ２ 実施例１の終了後、合計3630b.のクロロベン
ゼンを同じ吸着床に通してビフエニルを脱着し、
吸着床を再生した。次に1960ppmのビフエニル
を含有する不純なφ₂SiCl₂をこの吸着床に実施例
１で使用したのと同じ質量速度で通した。容器か
ら出て来る流出液中のビフエニルの濃度を測定
し、次の結果を得た。

【表】 実施例 ３ 実施例２の終了後、同じ吸着床にクロロベンゼ
ンを流すことによりこの吸着床を再生し、次いで
2780ppmのビフエニルを含有する不純なφ₂SiCl₂
を実施例１で使用したのと同じ質量速度でこの吸
着床に通した。そして前と同じように、容器から
出て来る流出液中のビフエニルの濃度を測定し、
次の結果を得た。

【表】 〓〓〓〓〓

【表】 実施例 ４ 上記実施例で使用した吸着床をクロロベンゼン
を通すことにより再生し、この吸着床に780ppm
のビフエニルを含有する不純なφ₂SiCl₂を実施例
１で使用したのと同じ質量速度で供給した。容器
から出て来る流出液中のビフエニルの濃度を測定
し、次の結果を得た。

【表】 次の２つの実施例は、前述した本発明の方法の
吸着工程(1)および(2)の終了時に吸着床に残るφ
₂SiCl₂を置換し回収するために、ビフエニルに対
して吸着性が弱い「押出し用溶媒」を使用する効
果を示す。 実施例 ５ １インチ、スケジユール40鋼の長さ４インチの
管に充填された347ｇの乾燥吸着剤（活性炭、
Pittsburgh CAL、12×40メツシユ、カルゴン・
コーポレイシヨン製造）の吸着床に、4080ppm
のビフエニルを含有する不純なφ₂SiCl₂を供給し
た。流出液φ₂SiCl₂のビフエニル含量が3380ppm
になつたところで、不純なφ₂SiCl₂の供給を停止
し、クロロベンゼンを184ml／時の流量で供給し
た。クロロベンゼンを供給している間の吸着床か
らの流出液中のビフエニルおよびφ₂SiCl₂の濃度
を測定し、次の結果を得た。

【表】 実施例 ６ １インチ、スケジユール40鋼の長さ４フイート
の管に充填された347ｇの乾燥吸着剤（活性炭、
Pittsburgh CAL、12×40メツシユ、カルゴン・
コーポレイシヨン製造）の吸着床に、実施例５で
使用したのと同じ不純なφ₂SiCl₂を供給した。流
出液φ₂SiCl₂のビフエニル含量が3150ppmに達し
たところで、不純なφ₂SiCl₂の供給を停止し、１
のイソオクタンを180ml／時の流量で供給し
た。イソオクタン供給終了後、クロロベンゼンを
同じ流量で供給した。イソオクタンを供給してい
る間の吸着床からの流出液中のビフエニルおよび
φ₂SiCl₂の濃度を測定し、次の結果を得た。

【表】 実施例５および６の結果を比較すると、ビフエ
ニルに対して相対的に吸着性が強い溶媒、例えば
クロロベンゼンと較べて吸着床による被吸着性が
相対的に弱い溶媒、例えばイソオクタンを使用す
ることにより、吸着の最後に吸着床中に残される
φ₂SiCl₂を一層純粋な形態で回収できることが明
らかである。従つて回収φ₂SiCl₂をさらに精製す
るのに必要な処理が少なくてよく、精製φ₂SiCl₂
の収率における総合的改良が実現される。このこ
〓〓〓〓〓
とは極めて高い純度の生成物が望ましい場合に特
に重要である。その理由は、吸着剤１b.当りの
精製生成物のb.量で表示される吸着床の能力が
生成物の純度に関する規格が低下するにつれて減
少するからであり、また純度規格の低下に伴つて
精製生成物１b.当りの必要な再生および再処理
が多くなるからである。 上表において最後の２つのデータに関して回収
φ₂SiCl₂中のビフエニル濃度（ppm）が増大して
いるのは、流出液中にクロロベンゼンが現れてい
るからで、ここでは吸着床からのビフエニルの脱
着が始まつている。 次の２つの実施例は、吸着床に精製φ₂SiCl₂を
供給することにより脱着用溶媒を置換する効果を
示す。 実施例 ７ １インチ、スケジユール40鋼の長さ４フイート
の管に充填された347ｇの吸着剤（活性炭、
Pittsburgh CAL 12×40メツシユ、カルゴン・コ
ーポレイシヨン製造）の吸着床で、不純なφ
₂SiCl₂からビフエニルを吸着するのに既に使用さ
れたことがあり、クロロベンゼンで再生された吸
着床に、4080ppmのビフエニルを含有する不純
なφ₂SiCl₂を94ml／時の流量で供給した。不純な
φ₂SiCl₂の供給開始時に、吸着床はクロロベンゼ
ン充満状態にあつた。吸着床からの流出液中のビ
フエニルおよびφ₂SiCl₂の濃度を測定し、次の結
果を得た。

【表】 実施例 ８ １インチ、スケジユール40鋼の長さ４フイート
の管に充填された347ｇの吸着剤（活性炭、
Pittsburgh CAL、12×40メツシユ、カルゴン・
コーポレイシヨン製造）の吸着床で、不純なφ
₂SiCl₂からビフエニルを吸着するのに既に使用さ
れたことがあり、クロロベンゼンで再生された吸
着床に、3ppmのビフエニルを含有する精製φ
₂SiCl₂を２供給して吸着床からクロロベンゼン
を置換した。次に実施例７に使用したのと同じ不
純なφ₂SiCl₂を94ml／時の流量で供給した。吸着
床からの流出液中のビフエニルおよびφ₂SiCl₂の
濃度を測定した。不純なφ₂SiCl₂が吸着床を通過
した後に得られる流出液についての結果を下記に
示す。

【表】 実施例７および８の結果を比較すると、脱着用
溶媒、例えばクロロベンゼンを精製φ₂SiCl₂で置
換することにより、吸着工程の再開時に高純度の
生成物が得られることが明らかである。 次の実施例は、異なるタイプの種々の吸着剤に
よりφ₂SiCl₂からビフエニルを除去する例を示
す。 実施例 ９ 下記の吸着剤をそれぞれ別々にバツチ操作に
て、下記の濃度のビフエニルを含有するφ₂SiCl₂
と24時間振盪することにより接触させた。処理φ
₂SiCl₂中のビフエニルの濃度を測定し、下記の結
果を得た。すべての実験について、未処理の不純
なφ₂SiCl₂対乾燥吸着剤の重量比は４であつた。 〓〓〓〓〓

【表】 【図面の簡単な説明】

図は本発明の方法を例示する系統線図である。 ４…不純シラン供給タンク、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ…
吸着カラム、１６…精製物タンク、１８…押出用
炭化水素溶媒タンク、２４…蒸留カラム、３２…
脱着用炭化水素溶媒タンク、４０，４６…蒸留カ
ラム、５２…収集タンク、６０…高純度シランタ
ンク、６６…蒸留カラム。 〓〓〓〓〓

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ (1) 不純なフエニルおよびクロロ置換基含有
   オルガノシランをモレキユラーシーブまたは木
   炭よりなる吸着床に通して接触させ、次いで (2) 精製されたシランを上記吸着床から取り出す
   ことを特徴とする不純なフエニルおよびクロロ
   置換基含有オルガノシラン類からビフエニルお
   よび他の不純物を除去する方法。 ２ 得られるシランが所望の純度に達するまでシ
   ランを上記吸着床に通し、精製されたシランを上
   記吸着床から取り出し、この後さらに上記吸着床
   がビフエニルおよび他の不純物に関して飽和点に
   達するまで不純なシランを上記吸着床に通し、部
   分的に精製されたシランを吸着床から取り出す特
   許請求の範囲第１項記載の方法。 ３ 上記部分的に精製されたシランを追加の吸着
   床に、シランが所望の純度に達するまで通す特許
   請求の範囲第２項記載の方法。 ４ 上記ビフエニルおよび他の不純物に対して吸
   着性が弱い押出し用炭化水素溶媒を送給して上記
   吸着床中の精製されたシランを押し出して置換す
   る特許請求の範囲第１項記載の方法。 ５ 上記ビフエニルおよび他の不純物に対して吸
   着性が強い脱着用炭化水素溶媒を上記吸着床に通
   し、これにより吸着床中の上記押出し用炭化水素
   溶媒を置換し、上記押出し用炭化水素溶媒から置
   換分のシランを回収し、これを吸着床に通してさ
   らに精製する特許請求の範囲第４項記載の方法。 ６ 上記吸着床からビフエニルおよび他の不純物
   を強く脱着し、かつ吸着床中の精製されたシラン
   を置換し得る脱着用炭化水素溶媒を吸着床に通す
   特許請求の範囲第１項記載の方法。 ７ 上記吸着床中の脱着用炭化水素溶媒を精製シ
   ランで置換し、上記脱着用炭化水素溶媒から置換
   分のシランを回収し、これを吸着床に通してさら
   に精製する特許請求の範囲第５項記載の方法。 ８ 上記精製シランを上記吸着床から取出し、こ
   のシランを精製生成物として収集し、次いで不純
   なシランを上記吸着床に、このシランが所望の純
   度に達するまで通す特許請求の範囲第７項記載の
   方法。 ９ 不純なシランを不純なフエニルクロロシラン
   とする特許請求の範囲第１項記載の方法。 １０ 上記不純なフエニルクロロシランをジフエ
   ニルジクロロシランとする特許請求の範囲第９項
   記載の方法。 １１ 処理を周囲温度で行う特許請求の範囲第１
   項記載の方法。 １２ 上記押出し用炭化水素溶媒を炭素原子数４
   〜16個の飽和脂肪族炭化水素溶媒とする特許請求
   〓〓〓〓〓
   の範囲第４項記載の方法。 １３ 上記押出し用炭化水素溶媒をイソオクタン
   とする特許請求の範囲第１２項記載の方法。 １４ 上記脱着用炭化水素溶媒を芳香族溶媒、塩
   素化芳香族溶媒および塩素化脂肪族溶媒のなかか
   ら選択する特許請求の範囲第６項記載の方法。 １５ 上記脱着用炭化水素溶媒をクロロベンゼン
   とする特許請求の範囲第１４項記載の方法。 １６ 上記吸着床が4000メツシユから1/4インチ
   までの大きさの活性炭よりなる特許請求の範囲第
   １項記載の方法。 １７ シランを吸着床の断面１平方フイート当り
   ５〜500b.／時の流量で吸着床に供給する特許
   請求の範囲第１項記載の方法。 １８ 上記吸着床に不活性ガスを送給して吸着床
   の空〓を埋めているシランを除去し、部分的に精
   製されたシランをさらに精製するために取り出す
   特許請求の範囲第１項記載の方法。 １９ 上記吸着床に不活性ガスを流すとともに吸
   着床を100℃以上に十分な時間加熱して吸着床に
   吸着されたビフエニルおよび他の不純物ならびに
   シランを除去し、これを別の吸着床に通して不純
   なシランを精製する特許請求の範囲第１８項記載
   の方法。 ２０ (1)不純なフエニルおよびクロロ置換基含有
   オルガノシランをモレキユラーシーブまたは木炭
   よりなる吸着床に通して接触させ、(2)精製された
   シランが所望の純度を越えない間、上記吸着床か
   ら上記精製シランを取り出し、さらに(3)上記吸着
   床への上記不純なシランの送給を、吸着床がビフ
   エニルおよび他の不純物の吸着に関して飽和点に
   達するまで継続し、(4)上記吸着床に押出し用炭化
   水素溶媒を加えて吸着床中のシランをさらに精製
   するために置換、回収し、(5)上記吸着床に脱着用
   炭化水素溶媒を通して上記押出し用炭化水素溶媒
   を置換するとともに、上記吸着床からビフエニル
   および他の不純物を脱着し、さらに上記押出し用
   炭化水素溶媒から不純なシランをさらに精製する
   ために分離し、(6)上記吸着床中の上記脱着用炭化
   水素溶媒を精製シランで置換し、上記脱着用炭化
   水素溶媒から精製シランを回収し、(7)上記吸着床
   から上記精製シランを回収し、次いで、(8)上記吸
   着床に不純なシランを通し、精製されたシランを
   上記吸着床から回収することを特徴とする不純な
   フエニルおよびクロロ置換基含有オルガノシラン
   類からビフエニル及び他の不純物を除去する方
   法。