JPS62122159A - 外部リ−ドの成形方法 - Google Patents

外部リ−ドの成形方法

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JPS62122159A
JPS62122159A JP60261991A JP26199185A JPS62122159A JP S62122159 A JPS62122159 A JP S62122159A JP 60261991 A JP60261991 A JP 60261991A JP 26199185 A JP26199185 A JP 26199185A JP S62122159 A JPS62122159 A JP S62122159A
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JP
Japan
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bending
external lead
bent
outer lead
bending process
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JP60261991A
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English (en)
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JPH0368536B2 (ja
Inventor
Makoto Ando
真 安藤
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Yamada Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Yamada Seisakusho KK
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/48Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
    • H01L21/4814Conductive parts
    • H01L21/4821Flat leads, e.g. lead frames with or without insulating supports
    • H01L21/4842Mechanical treatment, e.g. punching, cutting, deforming, cold welding

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は、半導体装置の外部リードを所定形状に折り
曲げる半導体装置の外部リード成形方法に関する。
(従来の技術およびその問題点) 半導体装置の外部リードの折曲げ方法に種々の方法があ
るが、外部リードと樹脂部との接合間にマイクロラック
が生じたり、外部リードの表面処理材(例えば半田メッ
キ)とパンチとの摩擦力によって表面処理材が剥がれた
り、厚さむらなどが生じ製品の品質を悪くしていた。
そこで、この発明は表面処理材が剥がれたり、マイクロ
クラックが生ずることがない外部リードの成形方法を提
供することを目的とする。
(問題点を解決するための手段) この発明は上記問題点を一掃するもので次の構成を備え
て成る。
モールド成形された半導体装置の外部リードのJ曲げ成
形において、前記外部リードの中間部を両側から挟圧し
て先端をフリー状態とし、該フリー端部側を押圧して挟
圧部直近で略直角に曲げる第1曲げ工程と、外部リード
の基部を挟圧して外部リードの中間部および先端方向を
フ’+)−状態とし、中間部付近を押圧して基部直近で
前記第1曲げ工程における曲げ工程と同一方向に90°
以内の角度で予備的に曲げる第2曲げ工程と、該第2曲
げ工程に続いて、第2曲げ工程での曲げ位置をさらに外
部リードに対して滑ることなく曲げパンチを当てて曲げ
て第2曲げ工程での曲げ分と合わせて略90゛に曲げる
第3曲げ工程と、外部リードの先端を内法に弧状に曲げ
るカーリング工程を具備することを特徴とする。
(実施例) 以下、この発明の好適な実施例を添付図面に基づいて詳
細に説明する。
第3図は半導体装置の外部リードを成形加工するフォー
ミング装置の正面図、第4図は平面図を示す。
このフォーミング装置10は、基台8上に5つのプレス
機10A、IOB、IOC,IOD、IOEが直線状に
配置されている。そして、第1プレス機10Aの近傍に
所定長さに切断されているリードフレーム12を供給す
る供給機構14が設けられ、第5プレス機10Eに半導
体装置の排出機構16が並設している。
前記第1プレス1lOAに供給されるリードフレーム1
2はICチップをモールド成形し、所定長さに切断され
たものである。そして、このリードフレーム12はマガ
ジン14a内に積層状態で収納されている。
14Aはマガジン供給装置であり、複数のマガジン14
aが収納されている。このマガジン供給装置14A内に
は、リードフレーム12の送り位ff1Lに対し、各々
マガジン14aが供給ラインM上に並列状態で収納され
、供給手段(図示せず)により供給方向に押されている
。そして、マガジン14aが供給位置mに送られると、
マガジン14a下方に位置するリフト装置14cにより
リードフレーム12が上方へ押し上げられ、最上部のり
−トフレーム12はチャック装面18により送り位iL
に送られる。そして、最上部のリードフレーム12が送
られると、リフト装置14cによりリードフレーム12
は一枚の厚さ分押し上げられる。
そして、マガジンL4a内のリードフレーム12がなく
なると、マガジン14aが第4図上右方向シこ排出手段
(図示せず)により送られ、さらに送り手段(図示せず
)により空のマガジン14aは反供給方向に送られる。
前記送り位置しのリードフレーム12は、シリンダ20
によりリードフレーム12の長平方向(各プレス機の配
列方向)に送られ、第1プレス機10Aに供給される。
前記第1プレス機10Aから第4プレスtM 10 D
の各プレス機には、リードフレーム、12を各プレス機
に移動、供給すべる搬送機構が設けられている。この世
道機構として、各プレス機の金型の供給側および排出例
に送りアーム22がそれぞれ設けられている(なお、第
4プレス機10Dでは供給側のみに設けられている)。
これら送りアーム22はシリンダ24にそれぞれ連繋し
、同期してリードフレーム12を送る。また、第4プレ
ス機10Dと第5プレスiM 10 Eには、金型の両
側に対に配設された複数の送りローラ26・・・が設け
られ、この送りローラ26はリードフレーム12のクレ
ードル部12aを挾持し回転することによりI殻送する
続いて、各プレス機10A〜IOEの曲げ工程および切
断工程について述べる。また、第1図(a)〜(d)は
各工程の曲げ加工状jコを示す金型の断面説明図を示す
。 第1プレス機10Aでは、レジンバリ28の除去、
タイバー26の切断除去を行う(第2図参照)。
第2プレスi!10Bでは、外部リード30aを所定長
さに切断する切断工程、2段階の曲げ工程(第1曲げ工
程、第2曲げ工程)を行う。
第1曲げ工程は、第1図(a)に示すように、水平に延
出する外部リード30aの先端を残して(フリー状態と
して)、中間部(基部を含めてもよい)をグイ32Bと
ノックアウト34Bで挾圧する。そして、外部リード3
0aの先端を、ダイ32Bの曲面部32aに沿うように
パンチ36Bでほぼ直角に曲げる。
第2曲げ工程は、第1図(b)に示すように、外部リー
ド30aの基部をダイ33Bとノックアウト35Bで挟
圧し、パンチ37Bとダイ33Bの曲げ面33bで外部
リード30aを45度に曲げる。
第3プレス機10Cでは、第3曲げ工程を行う。
第3曲げ工程は、第1図(c)に示すように、ダイ32
Cで半導体装置30を支持するとともに、ノックアウト
34Cで外部リード30aの基部を押え、外部リード3
0aの曲げ方向に対してカム機構(図示せず)等により
曲げパンチ36Cを外部リード30a面に対して滑るこ
となく接触させ、弧状に降下させて外部リード30aを
ほぼ垂直に曲げる。
第4プレスtalODでは、外部リード30aの先端を
弧状に曲げる予備カーリングと成形カーリング(第4曲
げ工程)を行う。
予備カーリング、成形カーリングは共にバラ1−ブロッ
ク34Dで半導体装置30の上面および外部リードの基
部を押圧し、ダイ32Dの曲げ部32dで外部リード3
0a先端を弧状に曲げる。なお、予備カーリングと成形
カーリングではダイ32Dの曲げ部32dの曲率の大小
が違う。38はカーリング後の半導体装置30を突き出
すエジェクトピンである。
第5プレス機とIOEでは、リードフレーム12から曲
げ加工を行った半導体装置30の分離をする。
例えば、第2図に示すように、リードフレーム12のク
レードル部12aと半導体装置30の角部とを吊りピン
12cにて連結しておき、第1〜第4プレスtJ3jl
OA〜10Dにおいて各切断、曲げ加工を行う。
上述するように、第5プレス機10Eにて分離された半
導体装置30は、排出機構16例えば吸盤40a・・・
を有するロボットハンド40にてトレイ42上に搬送さ
れる。一方、クレードル部12aは送りローラ2Gによ
り第5プレス機10Eの前方に排出される。
(発明の効果) この発明は、上述のように外部リードの曲げ工程におい
て、曲げ部分の直近を挟圧、支持して曲げるため、マイ
クロラックを起こすことなく、また表面処理材の厚さむ
らが生ずることがない。このため、良質の半導体装置を
得ることができる等の著効を奏する。
以上本発明につき好適な実施例を挙げて種々説明したが
、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、発明
の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を施し得るのは
もちろんのことである。
【図面の簡単な説明】
第1図(a)〜(d)はこの発明の実施例を示す工程図
、第2図はリードフレームの概略的説明図、第3図は外
部リードを曲げるフォーミング装置の正面図、第4図は
同じく平面説明図である。 10A〜10E・・・プレス機、 12a・・・クレードル部、  12・・・リードフレ
ーム、 14・・・供給機構、 16・・・排出機構、 18・・・チャック装置、22
・・・送りアーム、 26・・・送りローラ、30・・
・半導体装置、 30a・・・外部リード、  32B
、32D・ ・ ・ダイ、40・ ・ ・ロボットハン
ド、  42・ ・ ・ トレイ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、モールド成形された半導体装置の外部リードのJ曲
    げ成形に、おいて、前記外部リードの中間部を両側から
    挾圧して先端をフリー状態とし、該フリー端部側を押圧
    して挟圧部直近で略直角に曲げる第1曲げ工程と、外部
    リードの基部を挾圧して外部リードの中間部および先端
    方向をフリー状態とし、中間部付近を押圧して基部直近
    で前記第1曲げ工程における曲げ工程と同一方向に90
    °以内の角度で予備的に曲げる第2曲げ工程と、該第2
    曲げ工程に続いて、第2曲げ工程での曲げ位置をさらに
    外部リード面に対して滑ることなく曲げパンチを当てて
    曲げて第2曲げ工程での曲げ分と合わせて略90°に曲
    げる第3曲げ工程と、外部リードの先端を内方に弧状に
    曲げるカーリング工程とを具備する外部リードの成形方
    法。
JP60261991A 1985-11-21 1985-11-21 外部リ−ドの成形方法 Granted JPS62122159A (ja)

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