JPS62116274A

JPS62116274A - 電子デバイス駆動回路

Info

Publication number: JPS62116274A
Application number: JP60256262A
Authority: JP
Inventors: Yoshihiro Saitou; 斉藤　佳大; Toshiaki Ogura; 小椋　利明
Original assignee: Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1985-11-15
Filing date: 1985-11-15
Publication date: 1987-05-27

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］この発明は、電−ｒデバイスの検査システムにおいて被
検査電−ｒ−デバイスを駆動する電子デバイス駆動回路
に関し、さらに詳細には、電圧値がダイナミックに変化
する多値駆動電圧を被検査電子デバイスのピンに印加す
るための電ｒ・デバイス駆動回路に関する。

［従来の技術］７［ｉ子デバイス検査システムにおいては、被検査電ｒ
デバイスと直接的にインターフェイスする部分であるテ
ストヘッドに、被検査電子デバイスのピンを駆動するた
めの電子デバイス駆動回路が多数設けられている。

従来、そのような電ｒデバイス駆動回路は、出力モード
（ピン駆動モード）時にアクティブ状態となってプラス
極性の駆動電圧またはマイナス極性の駆動電圧を出力し
、入力モード時に高インピーダンス杖態となる構成であ
った。

［解決しようとする問題点コところで、アナログメモリなどのアナログＩＣを検査す
る場合、特定のピンに印加する駆動電圧値をダイナミッ
クに変化させたい場合が少なくない。しかし、従来の電
子デバイス駆動回路は、駆動電圧の極性はダイナミック
に切り換えることができるが、電圧値はダイナミックに
変化させることはできないという問題があった。

そこで、そのような駆動電圧値をダイナミックに変化さ
せて電子デバイスの検査を行うには、例えば一つのピン
に対して複数の電子デバイス駆動回路を設け、それぞれ
の電ｒデバイス駆動回路に異なった駆動型ハ値を設定し
、その電ｒデバイス駆動回路をダイナミックに選択して
作動させるなどの方法をとらざるをｆＪながった。

しかし、駆動対象のビン数が多いと、ピン駆動系全体の
回路１［が膨大となってしまう。また、ピンに複数の電
子デバイス駆動回路が接続される関係から、駆動電圧の
伝播経路の浮遊容Ｉｉ１が増加し、その結果、ピン駆動
電圧波形（出力モード時）およびピン出力信り波形（入
力モード時）の歪みが増大するという問題もある。

［発明の［１的］この発明は、そのような従来技術の問題点に鑑み、電圧
値がダイナミックに変化する多値駆動電圧を電子デバイ
スのピンに印加できる電ｒデバイス駆動回路を提供する
ことを目的とするものである。

［問題点を解決するためのＰ段］この［１的を達成するために、電ｒデバイスの検査シス
テムにおける、この発明にＪ：る電子デバイス駆動回路
は、出力モードおよび入力モードを有し、駆動制御信号
に従って出力モード時にアクティブ状態となって電圧印
加端子の印加電圧に対応した駆動電圧を出力し、入力モ
ード時に高インピーダンス杖態となるドライバと、電圧
選択制御信号に従って複数の直流電源から一つの直流電
源をダイナミックに選択して前記電圧印加端子に接続す
る電子スイッチとを備えてなるものである。

［作用］出力モード時にドライバより出力される駆動電圧は電子
スイッチによって選択された直流電源に対応するもので
あるから、複数の直流電源のそれぞれの電圧値を異なら
せ、電子スイッチによって、それらの選択をダイナミッ
クに切り換えれば、一つの回路にて電圧値がダイナミッ
クに変化する多値駆動電圧を被検査電子デバイスのピン
に印加することができる。

このように、この発明の電子デバイス駆動回路は、一つ
の回路で多値駆動電圧を被検査素子に印加することがで
きるため、従来のように複数の電子デバイス駆動回路を
並設するよりも、被電ｒデバイスの駆動回路系の回路ｌ
ｉｔを大幅に減らすことができ、また駆動型３１の伝播
経路の浮遊容品を減らして駆動型１１波形およびピン出
力信号波形を改善することができる。

［実施例］以下、図面を参照し、この発明の一実施例について説明
する。

第１図は、この発明による電γ・デバイス駆動回路の一
実施例を示す回路図である。この図において、１０はド
ライバであり、電子スイッチとしてのダイオード・ブリ
ッジ１２．１４、その制御のためのＰＮＰ型バイポーラ
Ｉ・ランジスタ１６，１８およびＮＰＮ型バイポーラト
ランジスタ２０゜２２、定電流源２４．２８からなる。

ダイオード・ブリッジ１２．１４の−・対のノードは図
示のようにバイポーラトランジスタ１６〜２２を介して
定電流源２４．２８にそれぞれ接続されている。

３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃはプラス極性の異電圧値の直流
電源である。これらの直流電源とドライバ１０の第１の
電圧印加端Ｊ’ＴＩ（ダイオード・ブリッジ１４の・つ
のノード）との間に、電子スイッチ３４が介在している
。この電子スイッチ３４は、ここでは電界効果トランジ
スタ３８Ａ、３６Ｂ、３６Ｃからなる。

３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃはマイナス極性の異電月’、（
ｌｌ′ｌの直流電源である。これらの直流電源とドライ
バ１０の第２の電圧印加端子Ｔ２（ダイオード・ブリッ
ジ１２の一つのノード）との間に、電子スイッチ３８が
介在している。ここでは、電子スイッチ３８は電界効果
トランジスタ４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃからなっている。

ＰＨ，ＰＨ＊、ＰＬ、ＰＬ＊は当該電子デバイス駆動回
路に供給される駆動制御信号であり、図示のようにバイ
ポーラトランジスタ１６〜２２の対応するもののベース
にそれぞれ印加される。これらの信号によって、出力モ
ード時にバイポーラトランジスタＩＥ３．２０またはバ
イポーラトランジスタ１８．２２がオンせしめられ、入
力モード時にバイポーラトランジスタ１８．２２がオン
せしめられる。

ＰＡ、ＰＢ、ＰＣはプラス側の電圧選択制御信号であり
、これら信−ノによって電界効果トランジスタ３６Ａ〜
３６Ｃがダイナミ’７りに選択されてオンせしめられる
。ＮＡ、ＮＢ、ＮＣはマイナス側の電圧選択制御信ぢ・
であり、これら信号によって電界効果トランジスタ４０
Ａ〜４０Ｃがダイナミックに選択されてオンせしめられ
る。

ドライバ１０の出力端’ｆ’Ｔ３　（ダイオード・ブリ
ッジ１２および１４の相ＪＥに結合されたノード）は、
信号伝送路４２（例えば特性インピーダンスが５００の
マイクロストリップ線路）を介してピン接続端子４４に
接続されている。４６はインピーダンス整合用の抵抗（
例えば５０Ω）である。

なお、この電子デバイス駆動回路は被検査デバイスの駆
動の必要なピンに対応させて設けられるが、直流電源３
０Ａ〜３０Ｃ，３２Ａ〜３２Ｃは、複数の電子デバイス
駆動回路に共通に使用され得るものである。

次に、この電子デバイス駆動回路の動作を説明する。ま
ず出力モード（駆動モード）時について説明すれば、相
補信号であるＰＨ倍信号よびＰＨ＊信壮、またはＰＬ信
号およびＰＬ＊信号が同時にオンする。

ＰＨ倍信号よびＰＨ＊信号がオンしたとすると、バイポ
ーラトランジスタ１８．２２が同時にオン杖態となって
定電流源２４．２８によりダイオード・ブリッジ１４の
各ダイオードが順バイアスされる。したがって、電源印
加端子Ｔ１がダイオード・ブリッジ１４を介して出力端
子Ｔ３に接続さ。

れ、電圧印加端子Ｔ１の印加電圧に対応した駆動電圧（
プラス極性）がピン接続端子４４に印加される。

ＰＬ信号およびＰＬ＊信号がオンした場合、バイポーラ
トランジスタ１８．２０がオンしてダイオード・ブリッ
ジ１２の各ダイオードが順バイアスされ、電源印加端子
２１の印加電圧に対応した駆動電圧（マイナス極性）が
ピン接続端子４４に印加される。

このような印加電圧の極性選択は、駆動制御信号によっ
てダイナミックに制御される。

入力モード時には駆動制御信％ｊはすべてオフするため
、ダイオード・ブリッジ１２．１４のダイオードは逆バ
イアス状態となり、ドライバＩＯは高インピーダンス状
態となる。このモード時に、ピン接続端子４４に接続さ
れている被検査電子デバイスのピンの出力信号がコンパ
レークなとによってチェックされることになる。

さて、直流電源３０Ａ〜３０Ｃは、電圧選択制御信号Ｐ
Ａ−ＰＣに従って電子スイッチ３４によってダイナミッ
クに選択され電圧印加端子Ｔ１に接続される。他方の直
流電源３２Ａ〜３２Ｃも同様に、電圧選択制御信号ＮＡ
−ＮＣに従って電子スイッチ３８によってダイナミック
に選択され電圧印加端子Ｔ２に接続される。そして、出
力モード時に、ドライバ１０から出力される駆動電圧は
、電圧印加端子Ｔ１またはＴ２に接続された直流電源の
電圧に対応するものである。したがって、この電子デバ
イス駆動回路によれば、電１ト値並びに極性がダイナミ
・ツクに変化する多値駆動電圧を被接合電子デバイスの
ピンに印加することができる。

なお、モードは出力モードと入力モードとに交ｒＩＨに
切り換えられる場合と、各モードが連続する場合とがあ
る。いずれの場合についても、一つの出力モード期間中
に駆動電圧を２同辺−１−１連続的に切り換えることも
可能である。

ここで、この電子デバイス駆動回路は、一つの回路で駆
動電圧値をダイナミックに切り換え可能である。したが
って、従来のように複数の電子デバイス駆動回路を一つ
のピン接続端子４４に並列する構成に比較し、駆動回路
系の回路量を大幅に減らすことができる。また、ピン接
続端子４４から見た静電界隈を減少させることができる
ため、ピン駆動電圧およびピン出力信号の波形のなまり
等を減少させることができる。

なお、ドライバの電圧印加端子を１個だけとし、電圧印
加端子の選択を行わないようにドライバを構成すること
もｒ１ｆ能である。

また、前記実施例のドライバは電子スイッチからなる構
成であったが、電圧印加端子の印加電圧を増幅する電１
１増幅器と、その出力型ハ、の電流増幅を行う電流ブー
スタ回路とからなるような構成とすることもできる。

直流電源の選択接続のための電子スイッチは、高速動作
の１丁能なものであれば、その構成は適宜変更してよい
。

［発明の効果］以−１−詳細に説明したように、この発明によれば電子
デバイス駆動回路は、出力モードおよび入力モードを有
し、駆動制御信号に従って出力モード時にアクティブ状
態となって電圧印加端子の印加電圧に対応した駆動電圧
を出力し、入力モード時に高インピーダンス状態となる
ドライバと、電圧選択制御信シ３に従って複数の直流電
源から−・つの直流電源をダイナミックに選＋３１！　
して前記電圧印加端子に接続する電子スイッチとからな
る構成とされるから、　・つの回路にて電１１′値がダ
イナミックに変化する多値駆動電圧を被検杏電子デバイ
スのピンに印加することができ、従来のように複数の電
子デバイス駆動回路を一１ｒｌ設するよりも、被電子デ
バイスの駆動回路系の回路量を大幅に減らすことができ
、また駆動電圧の伝播経路の浮遊容量を減らして駆動電
圧波形およびピン出力信号波形を改ざｔすることができ
るなど、従来技術の欠点を解消した電ｒ出は駆動回路を
実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による電子デバイス駆動回路の一実施
例を示す回路図である。１０・・・ドライバ、１２．１４・・・ダイオード・ブ
リッジ、２４．２６・・・定電流源、３０Ａ〜３０Ｃ１
３２Ａ〜３２Ｃ・・・直流電源、３４．３８・・・電子
スイッチ、４４・・・ピン接続端子。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）電子デバイスの検査システムにおいて被検査電子
デバイスのピンを駆動するための電子デバイス駆動回路
であって、出力モードおよび入力モードを有し、駆動制
御信号に従って出力モード時にアクティブ状態となって
電圧印加端子の印加電圧に対応した駆動電圧を出力し、
入力モード時に高インピーダンス状態となるドライバと
、電圧選択制御信号に従って複数の直流電源から一つの
直流電源をダイナミックに選択して前記電圧印加端子に
接続する電子スイッチとを備え、電圧値がダイナミック
に変化する多値駆動電圧を被検査電子デバイスのピンに
印加することを特徴とする電子デバイス駆動回路。
（２）電圧印加端子は複数個あり、電子スイッチおよび
直流電源はその各電圧印加端子毎に設けられ、ドライバ
は駆動制御信号に従って出力モード時に前記複数個の電
圧印加端子中の一つを選択し、その電圧印加端子の印加
電圧に対応した駆動電圧を出力するようにしてなること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の電子デバイス
駆動回路。
（３）電圧印加端子は２個あり、その一方の電圧印加端
子には電子スイッチを介してプラス極性の直流電源が選
択的に接続され、他方の電圧印加端子には電子スイッチ
を介してマイナス極性の直流電源が選択的に接続される
ことを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の電子デバ
イス駆動回路。