JP2956911B2 - Ic試験装置 - Google Patents

Ic試験装置

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JP2956911B2 JP3001858A JP185891A JP2956911B2 JP 2956911 B2 JP2956911 B2 JP 2956911B2 JP 3001858 A JP3001858 A JP 3001858A JP 185891 A JP185891 A JP 185891A JP 2956911 B2 JP2956911 B2 JP 2956911B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は試験信号をドライバへ
供給し、そのドライバの出力を複数のバッファへ供給
し、その各バッファの出力をそれぞれ各別の被試験IC
素子へ供給して、同時に複数のIC素子を試験するよう
にしたIC試験装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図3Aに示すように、ドライバ11に試
験信号、通常2値のパターンデータが供給され、そのド
ライバ11の出力が、それぞれリレー接点K1,K2を
通じ、更にケーブルC1,C2を通じて、被試験IC素
子IC1,IC2の同一端子ピンへ供給されて、同時に
二つの被試験IC素子を試験することが行われている。
同様にして1つのドライバ11から更に多くの被試験I
C素子の同一端子ピンへ試験信号を供給して、IC試験
装置を有効に利用することが行われている。特に記憶容
量の大きなICメモリの試験は、1回の試験時間が長く
なるため、このように複数の被試験IC素子を同時に試
験することは、IC試験装置を効率的に利用できる点で
好ましい。
【0003】この構成によれば、被試験IC素子に対す
る入力ピンの数の分だけのドライバ11を用意すればよ
く、ハードウェアの規模を小さくすることができる。し
かし、被試験IC素子IC1,IC2のインピーダンス
がばらついたり、何れかのIC素子が不良であった場合
はリレー接点K1,K2の一方を開にする。また最後の
試験で被試験IC素子数が不足し、ケーブルC1,C2
の一方に接続する被試験IC素子がなくなった場合に対
応するリレー接点を開にする。このように一方のリレー
接点が開にされると、試験信号の反射波が二つのリレー
接点K1,K2側で異なり、駆動試験信号の波形が乱れ
る。よって高品質で試験をすることができなくなる。
【0004】このような駆動試験信号の波形劣化を防止
する点から、図3Bに示すように、ドライバ11の出力
をそれぞれ高入力インピーダンスのバッファB1,B2
を介してリレー接点K1,K2へ供給することが考えら
れる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】図3Bのようにすれば
リレー接点K1,K2の一方を開にした状態で試験をし
ても、高品質の試験を行うことができるが、そのための
条件として、バッファB1,B2の遅延時間、遷移時
間、オフセット電圧、利得などに差がないことが前提と
なる。しかし、このように特性が揃ったバッファを簡単
な構成で、かつ安価に提供できるものが知られていな
い。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明によればドライ
バから共通の駆動出力が供給される各バッファは、それ
ぞれ次のように構成されている。つまりドライバの出力
が第1,第2レベルシフト用抵抗器の一端に印加され、
第1レベルシフト用抵抗器の他端と第1電源端子との間
に第1電流源が挿入され、第2レベルシフト用抵抗器の
他端と第2電源端子との間に第2電流源が挿入され、第
2電源端子の電位は第1電源端子の電位より低くされ、
第1,第2レベルシフト用抵抗器と第1,第2電流源と
の各接続点に、それぞれ第1,第2エミッタフオロア回
路が接続され、これら第1,第2エミッタフオロア回路
は互いにプッシュプル接続され、その接続点が出力端子
に接続され、また第1,第2エミッタフオロア回路の各
トランジスタのエミッタ間に抵抗分圧回路が接続され、
この分圧回路の分圧出力とドライバの出力との差が演算
増幅器で検出され、その検出出力が第1,第2電流源に
負帰還される。
【0007】
【実施例】図1にこの発明の実施例の要部を示し、図3
と対応する部分には同一符号を付けてある。この発明で
はバッファB1は次のように構成されている。バッファ
B2の構成は図に示していないがバッファB1と同様に
構成されている。ドライバ11の出力側は第1,第2レ
ベルシフト用抵抗器12a,12bの一端に接続され、
第1,第2レベルシフト用抵抗器12a,12bの他端
はそれぞれ第1,第2電流源13a,13bを通じて第
1,第2電源端子14a,14bに接続される。第1電
流源13aは例えばpnpトランジスタ15aのコレク
タが第1レベルシフト用抵抗器12aに接続され、エミ
ッタが抵抗器16aを介して第1電源端子14aに接続
され、ベースが抵抗器17aを介して第1電源端子14
aに接続されて構成される。第2電流源13bもnpn
トランジスタ15b、抵抗器16b,17bにより同様
に構成される。第1電源端子14aに印加される電位よ
り第2電源端子14bに印加される電位は低くされ、こ
の例では第1電源端子14aに+Vが印加され、第2電
源端子14bに−Vが印加されている。
【0008】第1,第2レベルシフト用抵抗器12a,
12bと第1,第2電流源13a,13bとの各接続点
に第1,第2エミッタフオロア回路18a,18bの入
力側がそれぞれ接続される。第1,第2エミッタフオロ
ワ回路18a,18bの出力側は互いに接続されて出力
端子19に接続される。つまり第1エミッタフオロワ回
路18aにおいてnpnトランジスタ21aのコレクタ
が保護用の電流制限回路22aを通じて第1電源端子1
4aに接続され、エミッタが抵抗器23aを通じて出力
端子19に接続され、ベースが第1レベルシフト用抵抗
器12a及び第1電流源13aの接続点に接続される。
第2エミッタフオロア回路18bにおいてpnpトラン
ジスタ21bのコレクタが電流制限回路22bを通じて
第2電源端子14bに接続され、エミッタが抵抗器23
bを通じて出力端子19に接続され、ベースが第2レベ
ルシフト用抵抗器12b及び第2電流源13bの接続点
に接続される。第1エミッタフオロア回路18aよりの
電流がケーブルC1へ流れ、ケーブルC1からの電流が
第2エミッタフオロア回路18bに流入するように、第
1,第2エミッタフオロア回路18a,18bは互いに
プッシュプルに接続されている。
【0009】トランジスタ21aのエミッタとトランジ
スタ21bのエミッタとの間に抵抗器24a,24bよ
りなる分圧回路25が接続される。分圧回路25の分圧
点は抵抗器26を通じて演算増幅器27の非反転入力端
に接続される。演算増幅器27の非反転入力端は抵抗器
28を通じて可変電圧源29に接続され、反転入力端は
抵抗器31を通じて接地されると共に、抵抗器32を通
じてドライバ11の出力側に接続され、出力端は抵抗器
33a,33bをそれぞれ通じてトランジスタ15a,
15bのベースにそれぞれ接続される。つまり分圧回路
25の出力とドライバ11の出力との差が演算増幅器2
7で検出され、その検出出力により第1,第2電流源1
3a,13bが負帰還制御される。
【0010】まず、ドライバ11の出力V0 が0Vにな
るように設定し、バッファB1,B2の各出力V0 1,
0 2がそれぞれ0Vになるように、バッファB1,B
2内の各可変電圧源29の電圧を調整する。バッファB
1の利得は抵抗器24a,24b,26,28,31,
32の各抵抗値により設定し、同様にバッファB2にお
いても、対応する抵抗器の抵抗値により設定する。
【0011】この状態からドライバ11の出力が例えば
高レベルVHになると、演算増幅器27の反転入力側が
非反転入力側より高くなり、演算増幅器27の出力が下
がり、第1電流源13aの電流が増加し、第2電流源1
3bの電流が減少し、トランジスタ21a,21bの各
ベース電位が上昇し、トランジスタ21a,21bのエ
ミッタ電位が上昇し、出力端子19の出力電圧がVHに
なるように動作する。同様にしてドライバ11の出力が
低レベルVLになると、出力端子19の出力もVLにな
る。
【0012】なんらかの原因でバッファB1の出力端子
19の出力レベルが低下したとすると、演算増幅器27
の非反転入力端のレベルも低下し、演算増幅器27の出
力も低下し、トランジスタ15a,15bのベースの電
位も低下し、トランジスタ15aのコレクタ電流が増大
し、トランジスタ21aのベース電位が増加する。また
トランジスタ15bのコレクタ電流が減少し、トランジ
スタ21bのベース電位が増加する。よって出力端子1
9のレベル低下は元に戻される。
【0013】なお第1,第2レベルシフト用抵抗器12
a,12bでドライバ11の出力レベルをそれぞれ、高
くしてトランジスタ21aを、低くしてトランジスタ2
1bを駆動している。以上のようにして1度調整すれ
ば、出力が所定値からずれようとすると自動的に所定値
に戻され、1つのドライバに接続された複数のバッファ
から同一の出力をそれぞれ被試験IC素子へ供給するこ
とができる。
【0014】演算増幅器27として図2Aに示すように
オフセット調整端子が設けられているものを仕様すれ
ば、そのオフセット調整端子に印加される電圧を可変抵
抗器35により調整して、可変電圧源29を省略するこ
とができる。図2Bに示すように、第1,第2レベルシ
フト用抵抗器12a,12bの各一部をレベルシフト用
ツエナダイオード36a,36bで代用してもよい。
【0015】更に図2Cに示すようにドライバ11の出
力をpnpトランジスタ37a、npnトランジスタ3
7bの各ベースへ供給し、トランジスタ37aのコレク
タを第2電源端子14bに接続し、エミッタを第1レベ
ルシフト用抵抗器12aに接続し、トランジスタ37b
のコレクタを第1電源端子14aに接続し、エミッタを
第2レベルシフト用抵抗器12bに接続して、ドライバ
11の出力を第1,第2レベルシフト用抵抗器12a,
12bの各一端に印加してもよい。
【0016】図1の構成においては例えば演算増幅器2
7の出力が低下して、トランジスタ15aのコレクタ電
流が増加し、トランジスタ15bのコレクタ電流が減少
し、これら電流の変動が、ドライバ11側に流れて悪影
響するおそれがあるが、図2Cに示す構成とすればその
ようなおそれはない。以上のようにバッファB1,B2
のオフセット電圧、利得の差は演算増幅器27や抵抗器
の抵抗値で調整して揃えることができる。バッファB
1,B2で生じる遅延時間(遷移時間)の差は、エミッ
タフオロワ回路の1段で生じる遅延時間の差であるた
め、特性を揃えることは容易であり、つまり素子のばら
つきは無視でき、ほとんど発生しない。レベルシフトは
信号を通過させるものでないから遅延時間に影響しな
い。なおバッファB1,B2間の遅延時間を調整する必
要があれば、ドライバ11とバッファB1,B2とをそ
れぞれ接続するケーブル38a,38bの長さを調整し
て行えばよい。遷移時間については、バッファB1,B
2間で調整が必要な場合は、ケーブル38a,38bに
挿入したフィルタ39a,39bの時定数を調整して行
うことができる。上述では1個のドライバに2つのバッ
ファを接続する場合にこの発明を適用したが、3つ以上
のバッファを接続する場合にも、その各バッファを上述
した構成としてこの発明を適用することができる。上述
ではバッファをバイポーラトランジスタで構成したがF
ETで構成してもよい。
【0017】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、1
個のドライバに複数のバッファを接続し、その各バッフ
ァを、第1,第2レベルシフト抵抗器、第1,第2電流
源、第1,第2エミッタフオロワ回路、演算増幅器など
の頗る簡単な構成でなり、安価に構成でき、しかも特性
を揃えることが容易であり、かつ帰還作用によりずれが
防止される構成となっているから、1つのドライバに接
続された複数のバッファの1乃至複数に被試験IC素子
が接続されなくても、高品質の試験を行うことができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施例の要部を示す接続図。
【図2】Aは演算増幅器27の部分の変形例を示す図、
Bはバッファ中のレベルシフト部の変形例を示す図、C
はその更に他の変形例を示す図である。
【図3】Aは従来のIC試験装置のこの発明と関連する
部分を示すブロック図、Bはその提案されている改良し
たものを示す図である。

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 試験信号をドライバへ供給し、そのドラ
    イバの出力を複数のバッファへ供給し、その各バッファ
    の出力をそれぞれ各別の被試験IC素子へ供給して試験
    を行うIC試験装置において、上記各バッファはそれぞ
    れ、上記ドライバの出力が一端に印加される第1、第2
    レベルシフト用抵抗器と、その第1レベルシフト用抵抗
    器の他端と第1電源端子との間に挿入された第1電流源
    と、上記第2レベルシフト用抵抗器の他端と、上記第1
    電源端子の電位より低い電位が印加される第2電源端子
    との間に挿入された第2電流源と、これら第1,第2レ
    ベルシフト用抵抗器と第1、第2電流源との各接続点に
    それぞれ接続され、互いにプッシュプルに接続され、そ
    の接続点が出力端子に接続された第1,第2エミッタフ
    オロワ回路と、これら第1,第2エミッタフオロワ回路
    の各トランジスタのエミッタ間に接続された抵抗分圧回
    路と、その抵抗分圧回路の分圧出力と上記ドライバの出
    力との差を上記第1,第2電流源に帰還する演算増幅器
    と、からなることを特徴とするIC試験装置。
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