JPS62112123A - スポツト径制御装置 - Google Patents
スポツト径制御装置Info
- Publication number
- JPS62112123A JPS62112123A JP25328385A JP25328385A JPS62112123A JP S62112123 A JPS62112123 A JP S62112123A JP 25328385 A JP25328385 A JP 25328385A JP 25328385 A JP25328385 A JP 25328385A JP S62112123 A JPS62112123 A JP S62112123A
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- Japan
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- spot diameter
- scanning
- laser
- lens
- collimation lens
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Links
- 238000004033 diameter control Methods 0.000 title claims description 28
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 14
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 13
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 241000016649 Copaifera officinalis Species 0.000 description 1
- 239000004859 Copal Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Dot-Matrix Printers And Others (AREA)
- Laser Beam Printer (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Exposure Or Original Feeding In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はスポット径制御装置に関し、特にレーザビーム
プリンタにおいてレーザビームの走査面上のスポット径
を制御するｌに関する。
プリンタにおいてレーザビームの走査面上のスポット径
を制御するｌに関する。
従来のこの種のスポット径制御装置としては、異なるビ
ーム径を与える光学系を複数段は機械的手段を用いてこ
れらを切り換えることによってスポ、１・径を変化させ
る装置や、毛導体レーザの放射ビームの形が楕円である
ことを利用して半導体レーザを含む光源部を機械的手段
を用いて光軸を中心として任１口の角度に回転させるこ
とによってスボ、トの副走査方向のサイズを変更するＭ
Ｗなどがずでに提案されている。
ーム径を与える光学系を複数段は機械的手段を用いてこ
れらを切り換えることによってスポ、１・径を変化させ
る装置や、毛導体レーザの放射ビームの形が楕円である
ことを利用して半導体レーザを含む光源部を機械的手段
を用いて光軸を中心として任１口の角度に回転させるこ
とによってスボ、トの副走査方向のサイズを変更するＭ
Ｗなどがずでに提案されている。
、Ｉ：述した従来のスポット径制御装置は、４！！＆械
的な手段を用いてスポット径の制？ｆｆＯを行っている
ので、スポット径切換の応答速度に限界があり、スポッ
ト径を走査中に高速で切り換えることができないという
問題点があった。
的な手段を用いてスポット径の制？ｆｆＯを行っている
ので、スポット径切換の応答速度に限界があり、スポッ
ト径を走査中に高速で切り換えることができないという
問題点があった。
本発明の目的は、レーザ発生手段のコリメーションレン
ズに対する相対的な位置を圧電変位手段を用いて変化さ
せることによって、スポット径を高速で変化させること
ができるスポット径制？ｎ”Ａ置を提供することにある
。
ズに対する相対的な位置を圧電変位手段を用いて変化さ
せることによって、スポット径を高速で変化させること
ができるスポット径制？ｎ”Ａ置を提供することにある
。
また、本発明の他の目的は、コリメーションレンズの構
成群間隔を圧電変位手段を用いて変化させることによっ
て、スポット径を高速で変化させることができるスポッ
ト径制御装置を提供することにある。
成群間隔を圧電変位手段を用いて変化させることによっ
て、スポット径を高速で変化させることができるスポッ
ト径制御装置を提供することにある。
本発明に係るスポット径制御装置は、レーザビームを発
生するレーザ発生手段と、上記レーザビームを平行ビー
ムに変換するコリメーションレンズと、上記平行ビーム
を走査ビームとして走査させる走査手段と、上記走査ビ
ームを集光して走査面に結像させる結像レンズと、上記
レーザ発生手段を一体的に取り付けていて上記レーザ発
生手段の上記コリメーションレンズに対する相対的な位
置を変化させることによって上記走査面上における上記
走査ビームのスポット径を制御する圧電変位手段とを有
する。
生するレーザ発生手段と、上記レーザビームを平行ビー
ムに変換するコリメーションレンズと、上記平行ビーム
を走査ビームとして走査させる走査手段と、上記走査ビ
ームを集光して走査面に結像させる結像レンズと、上記
レーザ発生手段を一体的に取り付けていて上記レーザ発
生手段の上記コリメーションレンズに対する相対的な位
置を変化させることによって上記走査面上における上記
走査ビームのスポット径を制御する圧電変位手段とを有
する。
また、本発明に係るスポット径制御装置は、レーザビー
ムを発生するレーザ発生手段と、上記レーザビームを平
行ビームに変換する複数群構成のコリメーションレンズ
と、上記平行ビームを走査ビームとして走査させる走査
手段と、上記走査ビームを集光して走査面に結像させる
結像レンズと、上記コリメーションレンズの一部の構成
群を一体的に取り付けていてに記コリメーノぢンレンズ
に４３ける構成群間隔を変化させることによって上記走
査面上における上記走査ビームのスポット径を制御する
圧電変位手段とを任する。
ムを発生するレーザ発生手段と、上記レーザビームを平
行ビームに変換する複数群構成のコリメーションレンズ
と、上記平行ビームを走査ビームとして走査させる走査
手段と、上記走査ビームを集光して走査面に結像させる
結像レンズと、上記コリメーションレンズの一部の構成
群を一体的に取り付けていてに記コリメーノぢンレンズ
に４３ける構成群間隔を変化させることによって上記走
査面上における上記走査ビームのスポット径を制御する
圧電変位手段とを任する。
（作 用）
本発明における圧電変位手段は、電気信号をきわめて速
い速度で機械的変位に変換するので、レーザ発生手段を
高速で変位させることによって、スポット径を高速で変
化させる。
い速度で機械的変位に変換するので、レーザ発生手段を
高速で変位させることによって、スポット径を高速で変
化させる。
また、本発明における圧電変位手段は、電気信号をきわ
めて速い速度で機械的変位に変換するので、コリメーシ
ョンレンズにおける構成群間隔を高速で変化させること
によって、スポット径を高速で変化させる。
めて速い速度で機械的変位に変換するので、コリメーシ
ョンレンズにおける構成群間隔を高速で変化させること
によって、スポット径を高速で変化させる。
以下、本発明について図面を参照して詳細に説明する。
第１図および第２図は、本発明の一実施例を示しており
、本実施例のスボ７ ｔ・径制御装置は、レーザビーム
を射出するレーザダイオード１と、図示しない不動部材
に取り付けられたシリンダ２と、このシリンダ２内に挿
入された伸長性のコイルばね３と、上記シリンダ２に摺
動自在に嵌合され突出端面にレーザダイオードｌを取り
付けたピストン部材４と、レーザダイオード１の一部に
衝合し上記コイルばね３の伸長によるレーザダイオ−１
′１の移動を規制するストッパ部材５と、一端をレーザ
ダイオードｌに固着され他端を不動部材１１に固定され
たバイモルフ型圧電アクチュエータ６とで構成されてい
る。
、本実施例のスボ７ ｔ・径制御装置は、レーザビーム
を射出するレーザダイオード１と、図示しない不動部材
に取り付けられたシリンダ２と、このシリンダ２内に挿
入された伸長性のコイルばね３と、上記シリンダ２に摺
動自在に嵌合され突出端面にレーザダイオードｌを取り
付けたピストン部材４と、レーザダイオード１の一部に
衝合し上記コイルばね３の伸長によるレーザダイオ−１
′１の移動を規制するストッパ部材５と、一端をレーザ
ダイオードｌに固着され他端を不動部材１１に固定され
たバイモルフ型圧電アクチュエータ６とで構成されてい
る。
次に、このように構成された本実施例のスポット径制御
装置の動作について説明する。
装置の動作について説明する。
まず、第１図に示すバイモルフ型圧電アクチュエータ６
に電圧を印加しない状態では、レーザダイオードｌから
出力されたレーザビームは、コリメーションレンズ７で
平行ビームに変換され、走査手段８によって走査された
後に、結像レンズ９によって走査面ｌＯ上に収束されて
小さなスポット径で結像される。
に電圧を印加しない状態では、レーザダイオードｌから
出力されたレーザビームは、コリメーションレンズ７で
平行ビームに変換され、走査手段８によって走査された
後に、結像レンズ９によって走査面ｌＯ上に収束されて
小さなスポット径で結像される。
次に、バイモルフ型圧電アクチェエータ６に電圧が印加
されると、第２図に示すように印加電圧に応してアクチ
ュエータ６が直ちに湾曲してコイルばね３の伸長弾力に
抗してピストン部材４をシリンダ２内に押し込み、レー
ザダイオード１を変位させる。よって、コリメーション
レンズ７を通過したレーザビームは完全な平行ビームで
はなくなり、結像レンズ９によって走査面１０の手前に
結像され、走査面１０にデフォーカスされた若干大きな
スポット径を有するビームとして入射される。
されると、第２図に示すように印加電圧に応してアクチ
ュエータ６が直ちに湾曲してコイルばね３の伸長弾力に
抗してピストン部材４をシリンダ２内に押し込み、レー
ザダイオード１を変位させる。よって、コリメーション
レンズ７を通過したレーザビームは完全な平行ビームで
はなくなり、結像レンズ９によって走査面１０の手前に
結像され、走査面１０にデフォーカスされた若干大きな
スポット径を有するビームとして入射される。
なお、バイモルフ型圧電アクチュエータ６への印加電圧
を制御することにより、レーザダイオード１の位置を第
１図に示す最小スポット径が得られる位置から第２図に
示す最大スポット径が得られる位置まで無段階的に変化
させることができる。
を制御することにより、レーザダイオード１の位置を第
１図に示す最小スポット径が得られる位置から第２図に
示す最大スポット径が得られる位置まで無段階的に変化
させることができる。
第３図および第４図は、本発明の他の実施例を示してお
り、この実施例のスポット径制御装置では、レーザダイ
オード１は不動部材１３に一端を固着された積層型圧電
アクチュエータ１２の他端に取り付けられている。
り、この実施例のスポット径制御装置では、レーザダイ
オード１は不動部材１３に一端を固着された積層型圧電
アクチュエータ１２の他端に取り付けられている。
このように構成された本実施例のスポット径制御装置で
は、第３図に示す積層型圧電アクチュエータ１２に電圧
を印加しないアクチュエータ１２の自然長の状態で、レ
ーザダイオード１から出力されたレーザビームがコリメ
ーションレンズ７で平行ビームに変換され、結像レンズ
９によって走査面ｌＯ上に小さなスポット径で結像され
る。そして、積１型圧電アクチュエータ１２に電圧が印
加されると、第４図に示すように、印加電圧に応して積
層型圧電アクチュエータ１２の全長が短くなり、コリメ
ーションレンズ７を通過したビームが平行ビームからず
れて、結像レンズ９により走査面１０上にレーザビーム
が大きなスポット径で入射される。
は、第３図に示す積層型圧電アクチュエータ１２に電圧
を印加しないアクチュエータ１２の自然長の状態で、レ
ーザダイオード１から出力されたレーザビームがコリメ
ーションレンズ７で平行ビームに変換され、結像レンズ
９によって走査面ｌＯ上に小さなスポット径で結像され
る。そして、積１型圧電アクチュエータ１２に電圧が印
加されると、第４図に示すように、印加電圧に応して積
層型圧電アクチュエータ１２の全長が短くなり、コリメ
ーションレンズ７を通過したビームが平行ビームからず
れて、結像レンズ９により走査面１０上にレーザビーム
が大きなスポット径で入射される。
なお、本実施例の場合も、積層型圧電アクチー１エータ
１２への印加電圧を制御することにより、レーザのスポ
ット径を無段階的に変化させることができることはいう
までもない。
１２への印加電圧を制御することにより、レーザのスポ
ット径を無段階的に変化させることができることはいう
までもない。
第５図および第６図は、本発明のさらに他の実施例を示
しており、本実施例のスポット径制御装置は、図示しな
い不動部材に取り付けられたシリンダ２と、このシリン
ダ２内に挿入され同シリンダ２内に一端が固着された収
縮性のコイルばね３′と、上記シリンダ２に摺動自在に
嵌合され上記コイルばね３′の他端が内端面に固着され
たピストン部材４と、このピストン部材４の突出端面に
固着され、上端部に前群レンズ７Ａおよび後群レンズ７
Ｂからなるコリメーションレンズ７の後群レンズ７Ｂを
取り付けたレンズ取付部材１４と、一端をレンズ取付部
材１４に固着され他端を不動部材Ｉｆに固定されたバイ
モルフ型圧電アクチュエータ６とで構成されている。な
お、第５図に示す状態では、コイルばね３゛の収縮弾力
によるピストン部材４の移動は、レンズ取付部材１４が
シリンダ２の開口端面に衝合することによって規制され
ている。
しており、本実施例のスポット径制御装置は、図示しな
い不動部材に取り付けられたシリンダ２と、このシリン
ダ２内に挿入され同シリンダ２内に一端が固着された収
縮性のコイルばね３′と、上記シリンダ２に摺動自在に
嵌合され上記コイルばね３′の他端が内端面に固着され
たピストン部材４と、このピストン部材４の突出端面に
固着され、上端部に前群レンズ７Ａおよび後群レンズ７
Ｂからなるコリメーションレンズ７の後群レンズ７Ｂを
取り付けたレンズ取付部材１４と、一端をレンズ取付部
材１４に固着され他端を不動部材Ｉｆに固定されたバイ
モルフ型圧電アクチュエータ６とで構成されている。な
お、第５図に示す状態では、コイルばね３゛の収縮弾力
によるピストン部材４の移動は、レンズ取付部材１４が
シリンダ２の開口端面に衝合することによって規制され
ている。
このように構成された本実施例のスポット径制御装置に
おいては、第５図に示すバイモルフ型圧電アクチュエー
タ６に電圧を印加しない状態では、レーザダイオード１
から出力されたレーザビームは、コリメーションレンズ
７で平行ビームに変換され、走査手段８によって走査さ
れた後に、結像レンズ９によって走査面１０上に収束さ
れて小さなスポット径で結像される。
おいては、第５図に示すバイモルフ型圧電アクチュエー
タ６に電圧を印加しない状態では、レーザダイオード１
から出力されたレーザビームは、コリメーションレンズ
７で平行ビームに変換され、走査手段８によって走査さ
れた後に、結像レンズ９によって走査面１０上に収束さ
れて小さなスポット径で結像される。
次に、バイモルフ型圧電アクチュエータ６に第２図に示
した実施例の場合とは反対極性の電圧を印加すると、第
６図に示すように印加電圧に応してアクチュエータ６が
直ちに湾曲してコイルばね３゛の収縮弾力に抗してピス
トン部材４をシリンダ２内から引き出し、後群レンズ７
Ｂを後方に変位させる。したがって、コリメーションレ
ンズ７における前群レンズ７Ａと後群し・ンズ７Ｂとの
群間隔が長（なり、コリメーションレンズ７の（ｆ；
句、距離が短くなる。よって、コリメーションレンズ７
を通過したレーザビームは完全な平行ビームではなくな
り、結像レンズ９によって走査面ｉｏの手前に結像され
、走査面１０にデフォーカスされた若干大きなスポット
径を有するビームとして入射される。
した実施例の場合とは反対極性の電圧を印加すると、第
６図に示すように印加電圧に応してアクチュエータ６が
直ちに湾曲してコイルばね３゛の収縮弾力に抗してピス
トン部材４をシリンダ２内から引き出し、後群レンズ７
Ｂを後方に変位させる。したがって、コリメーションレ
ンズ７における前群レンズ７Ａと後群し・ンズ７Ｂとの
群間隔が長（なり、コリメーションレンズ７の（ｆ；
句、距離が短くなる。よって、コリメーションレンズ７
を通過したレーザビームは完全な平行ビームではなくな
り、結像レンズ９によって走査面ｉｏの手前に結像され
、走査面１０にデフォーカスされた若干大きなスポット
径を有するビームとして入射される。
なお、バイモルフ型圧電アクチュエータ６への印加電圧
を制御することにより、後群レンズ７Ｂの位置を第５図
に示す最小スポット径が得られる位置から第６図に示す
最大スボ、・ト径が得らねる位置まで無段階的に変化さ
せることができる。
を制御することにより、後群レンズ７Ｂの位置を第５図
に示す最小スポット径が得られる位置から第６図に示す
最大スボ、・ト径が得らねる位置まで無段階的に変化さ
せることができる。
第７図および第８図は、本発明のさらに他の実施例を示
しており、この実施例のスポット径制御装置では、後群
レンズ７Ｂは不動部材１３に一端を固着された積層型圧
電アクチュエータ１２の他端にレンズ取付部材１４°を
介して取り付けられている。
しており、この実施例のスポット径制御装置では、後群
レンズ７Ｂは不動部材１３に一端を固着された積層型圧
電アクチュエータ１２の他端にレンズ取付部材１４°を
介して取り付けられている。
このように構成された本実施例のスポット径制御装置で
は、第７図に示す積層型圧電アクチュエータ１２に電圧
を印加しないアクチュエータ１２の自然長の状態で、レ
ーザダイオード１から出力されたレーザビームがコリメ
ーションレンズ７で平行ビームに変換され、結像レンズ
９によって走査面１０上に小さなスポット径で結像され
る。そして、積層型圧電アクチュエータ１２に第４図に
示した実施例の場合とは反対橿性の電圧を印加すると、
第８図に示すように、印加電圧に応じて積層型圧電アク
チュエータ１９の全長が長くなり、コリメーションレン
ズ７における前群レンズ７Ａと後群レンズ７Ｂとの群間
隔が大きくなる。よって、コリメーションレンズ７を通
過したビームが平行ビームからずれて、結像レンズ９に
より走査面ｉ ｏ 、、、ｈにレーザビームが大きなス
ポット径で入射される。
は、第７図に示す積層型圧電アクチュエータ１２に電圧
を印加しないアクチュエータ１２の自然長の状態で、レ
ーザダイオード１から出力されたレーザビームがコリメ
ーションレンズ７で平行ビームに変換され、結像レンズ
９によって走査面１０上に小さなスポット径で結像され
る。そして、積層型圧電アクチュエータ１２に第４図に
示した実施例の場合とは反対橿性の電圧を印加すると、
第８図に示すように、印加電圧に応じて積層型圧電アク
チュエータ１９の全長が長くなり、コリメーションレン
ズ７における前群レンズ７Ａと後群レンズ７Ｂとの群間
隔が大きくなる。よって、コリメーションレンズ７を通
過したビームが平行ビームからずれて、結像レンズ９に
より走査面ｉ ｏ 、、、ｈにレーザビームが大きなス
ポット径で入射される。
本実施例の場合も、積層型圧電アクチュエータ１２への
印加電圧を制御することにより、レーザビームのスポッ
ト径を無段階的に変化させることができることはいうま
でもない。
印加電圧を制御することにより、レーザビームのスポッ
ト径を無段階的に変化させることができることはいうま
でもない。
なお、上記第５．６図および第７，８図に示した各実施
例においては、後群レンズ７Ｂを変位させてコリメーシ
ョンレンズ７の構成群間隔を変化させるようにしたが、
前群レンズ７Ａを変位さゼるようにしてもよい。
例においては、後群レンズ７Ｂを変位させてコリメーシ
ョンレンズ７の構成群間隔を変化させるようにしたが、
前群レンズ７Ａを変位さゼるようにしてもよい。
また、コリメーションレンズ７を２群構成としたが、複
数群構成とし、このうちのいくつかの構成群を変位させ
るようにしてもよい。
数群構成とし、このうちのいくつかの構成群を変位させ
るようにしてもよい。
以上述べたように、本発明によれば、レーザ発生手段に
機械的な変位を与えるために圧電変位手段を用いたので
、走査中でも高速でスポット径を変化させることができ
るスポット径制御装置が得られる。
機械的な変位を与えるために圧電変位手段を用いたので
、走査中でも高速でスポット径を変化させることができ
るスポット径制御装置が得られる。
また、コリメーションレンズの一部の構成群に機械的な
変位を与えるために応答速度の速い圧電変位手段を用い
たので、走査中でも高速でスポット径を変化させること
ができるスポット径制御装置が得られる。
変位を与えるために応答速度の速い圧電変位手段を用い
たので、走査中でも高速でスポット径を変化させること
ができるスポット径制御装置が得られる。
さらに、機械的な変位を与えるために変位量を調整可能
な圧電変位手段を用いたので、スポット径を無段階的に
変化させることができるスポット径制１１１１装置が得
られる。
な圧電変位手段を用いたので、スポット径を無段階的に
変化させることができるスポット径制１１１１装置が得
られる。
第１図は、本発明の一実施例を示すスポット径制御装置
の構成図、 第２図は、第１図のスボ７）径制御装置の動作図、 第３図は、本発明の他の実施例を示すスポット径制御ゴ
Ｉｔ装置の構成図、 第４図は、第３図のスポット径制御装置の動作図、 第５図は、本発明のさらに他の実施例を示すスポット径
制ｆｆｆｌｌ装置の構成図、 第６図は、第５図のスポット径制装■装置の動作図、 第７図は、本発明のさらに他の実施例を示すスポット径
制御装置の構成図、 第８図は、第７図のスポット径制御装置の動作図である
。 図において、 １・・・・・レーザダイオード、 ２・ ・ ・ ・ ・シリンダ、 ３・・・・・伸張性コイルばね、 ３′ ・・・・収縮性コイルばね、 ４・・・・・ピストン部材、 ５・・・・・ストツバ部材、 ６・・・・・バイモルフ型圧電アクチュエータ、７・・
・・・コリメーションレンズ、 ７Ａ・・・・前群レンズ、 ７Ｂ・・−・後群レンズ、 ８・−・・・走査手段、 ９ ・・・・結像レンズ、 ＩＯ・・・ 走査面、 １２・・・・・積層型圧電アクチュエータ、１４．１４
° ・・レンズ取付部材、 １５・・・・・ストッパ部材である。 特許出願人 コパル電子株式会社 株式会社コパル
の構成図、 第２図は、第１図のスボ７）径制御装置の動作図、 第３図は、本発明の他の実施例を示すスポット径制御ゴ
Ｉｔ装置の構成図、 第４図は、第３図のスポット径制御装置の動作図、 第５図は、本発明のさらに他の実施例を示すスポット径
制ｆｆｆｌｌ装置の構成図、 第６図は、第５図のスポット径制装■装置の動作図、 第７図は、本発明のさらに他の実施例を示すスポット径
制御装置の構成図、 第８図は、第７図のスポット径制御装置の動作図である
。 図において、 １・・・・・レーザダイオード、 ２・ ・ ・ ・ ・シリンダ、 ３・・・・・伸張性コイルばね、 ３′ ・・・・収縮性コイルばね、 ４・・・・・ピストン部材、 ５・・・・・ストツバ部材、 ６・・・・・バイモルフ型圧電アクチュエータ、７・・
・・・コリメーションレンズ、 ７Ａ・・・・前群レンズ、 ７Ｂ・・−・後群レンズ、 ８・−・・・走査手段、 ９ ・・・・結像レンズ、 ＩＯ・・・ 走査面、 １２・・・・・積層型圧電アクチュエータ、１４．１４
° ・・レンズ取付部材、 １５・・・・・ストッパ部材である。 特許出願人 コパル電子株式会社 株式会社コパル
Claims (1)
- （１）レーザビームを発生するレーザ発生手段と、上記
レーザビームを平行ビームに変換するコリメーションレ
ンズと、 上記平行ビームを走査ビームとして走査させる走査手段
と、 上記走査ビームを集光して走査面に結像させる結像レン
ズと、 上記レーザ発生手段を一体的に取り付けていて上記レー
ザ発生手段の上記コリメーションレンズに対する相対的
な位置を変化させることによって上記走査面上における
上記走査ビームのスポット径を制御する圧電変位手段と
、 を備えることを特徴とするスポット径制御装置（２）レ
ーザビームを発生するレーザ発生手段と上記レーザビー
ムを平行ビームに変換する複数群構成のコリメーション
レンズと、 上記平行ビームを走査ビームとして走査させる走査手段
と、 上記走査ビームを集光して走査面に結像させる結像レン
ズと、 上記コリメーションレンズの一部の構成群を一体的に取
り付けていて上記コリメーションレンズにおける構成群
間隔を変化させることによって上記走査面上における上
記走査ビームのスポット径を制御する圧電変位手段と、 を備えることを特徴とするスポット径制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25328385A JPS62112123A (ja) | 1985-11-12 | 1985-11-12 | スポツト径制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25328385A JPS62112123A (ja) | 1985-11-12 | 1985-11-12 | スポツト径制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62112123A true JPS62112123A (ja) | 1987-05-23 |
Family
ID=17249126
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25328385A Pending JPS62112123A (ja) | 1985-11-12 | 1985-11-12 | スポツト径制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62112123A (ja) |
Cited By (5)
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